厂务系统概述简单中文介绍.ppt

厂务系统概述一、厂务系统功能目录三、厂务系统流程二、厂务系统使用材质一、厂务系统功能1.1水系统在制程中的功能PCW制程冷却水制程机台冷却UPW/DIW超纯水补水/清洗/稀释Chill Water冰水冷却用冷源/空调用冰水RW回收水DI回收/冷凝回收/再生使用CW自来水原水/一般用水1.2气体系统在制程中的功能CDA压缩干燥空气搬运器/仪器之气压缸/一般冲吹GN2一般氮气Purge/洁净冲吹PN2纯化氮气Purge/空间填充/超洁净冲吹其他B-GAS大宗气体制程需求/空间填充/超洁净冲吹S-GAS特殊气体制程填充需求/制程需求1.3化学系统在制程中的功能Chemical化学药品清洁清洗/制程需求1.4 真空系统在制程中的功能PV制程真空吸引搬移HV清洁真空尘屑吸引清洁 Pump Line制程高真空 制程转换之高真空建立Exhaust排气系统 制程转换之废气排除Drain排水系统 制程使用之废DI/Chemical排放1.5排气/排水系统在制程中的功能二、厂务系统使用材质2.1水系统使用材质PCW制程冷却水SUS 304/高压软管UPW/DIW超纯水CPVC/PVDF/PFA Chill Water冰水SUS 304RW回收水SUS 304CW自来水SUS 304CDA压缩干燥空气SUS 304L AP/BA/316L BAGN2一般氮气SUS 316L BA/EPPN2纯化氮气SUS 316L EP其他B-GAS大宗气体SUS 316L EP/PH2有时用双套管(EP/AP)S-GAS特殊气体SUS 316L EP/双套管/加热套2.2气体系统使用材质2.3化学系统使用材质有机类化学药品溶剂类SUS 316 BA一般酸碱化学药品H2SO4/NaOHPVC/CPVC其他化学药品CPVC/PFA/PVDF/PTFE2.4真空系统使用材质PV制程真空PVC SCH80/SUS 304HV清洁真空PVC SCH80/SUS 3042.5排气系统使用材质Pump Line制程高真空SUS 316 BA/EPGEX一般排气镀锌螺旋风管Solvent有机排气SUS 304全焊式不锈钢风管Acid/Ak酸硷排气不锈钢Teflon Coating风管2.6排水系统使用材质Drain一般排水PVC/PVC SCH80Solvent有机排气水SUS 304不锈钢管Acid/Ak酸硷排气水PVC SCH80/PVDF/PTFE/PFA三、厂务系统流程3.1制程冷却水系统简略流程原水补水膨胀水箱冰水出冰水进板 热制程管线机台冷却进水回水3.2冰水系统简略流程冷却水塔MAU冰水出冰水回大 气冰水主机冷媒循环VAUAHU其他空调箱板 热冷却水3.3 纯水系统简略流程精密滤器5M 滤心逆渗透模块City Water自来水多层过滤器阴/阳离子交换树脂塔RO TankRO进水槽热交换器RO 储水槽精密滤器1M 滤心CEDI纯水储水槽紫外线杀菌灯核子级树脂精密滤器1M 滤心精密滤器0.2M 滤心制程使用点3.4自来水/回收水系统简略流程自来水外管水表/隔离阀供应管线使用点自来水空气中水份冷盘/空调箱回收管线回收水槽回收水使用点3.5 CDA/GN2/PN2系统简略流程CDAGN2/PN2大气空压机蓄压槽初级过滤器冷冻式干燥机吸附式干燥机精密过滤器大气氮气产生器液氮槽蒸发器减压站过滤器纯化器使用点一/二次管二次盘CQC使用点一/二次管二次盘CQC3.6其他大宗气体/特气系统简略流程O2Specialty Gas钢瓶Cabinet气瓶柜VMB/P阀箱管线使用点液氧储槽减压站过滤器纯化器CQCHe/Ar/Kr/H2钢瓶/BundleTrunker减压站过滤器一/二次管二次盘使用点蒸发器使用点一/二次管二次盘纯化器CQC管线3.7高真空/排气系统简略流程Pumping LineOthers Exhaust机台制程Chamber真空泵高真空管路ScrubberGEX机台出口Damper风管风机高真空管路大气Exhaust风管机台出口Damper风管风机Scrubber大气3.8真空系统简略流程PV制程机台使用点真空管路真空储槽真空PumpHV一/二次管二次盘配置需求使用点真空管路真空清洁储槽真空Pump开关盒3.9化学系统简略流程Chemical化学品供应槽车传送系统供应槽分配系统化学品储槽VMB/P化学管路使用点回收管线废液回收槽3.10废水收集系统简略流程DrainPipe机台排放点废水处理厂收集管线3.11废水处理系统简略流程WasteWaterTreatment废水收集槽曝气槽生物接触槽PH反应槽PH调整槽澄清槽聚合物凝结槽沉淀槽污泥收集槽污泥脱水机污泥饼储槽运弃英文缩写对照