1、2024 年第 2 期仪 表 技 术 与 传 感 器Instrument Technique and Sensor基金项目:国家自然科学基金青年科学基金项目(61701384);西安市科技计划先进制造业技术攻关项目(21XJZZ0016);陕西省重点研发计划项目(2023-YBGY-349)收稿日期:2023-07-15基于 LabVIEW 的红外气体传感器自动批量标定测试系统宋栓军,张 婕西安工程大学机电工程学院 摘要:针对红外气体传感器在标定过程中存在效率低、工作量大、易出错等问题,设计了一种基于LabVIEW 的红外气体传感器自动批量标定测试系统。系统由红外气体传感器、流量计、温湿度实验
2、箱、采集板及上位机组成。采用 LabVIEW 编写软件程序,功能包括:参数设置、采集板和红外气体传感器的连通性测试、控制温箱和流量计实现定时保温和定时通入比例气体、采集红外气体传感器数据、自动标定、自动处理数据等。该软件编程采用多线程,保证各项功能同时进行,具有界面美观、运行速度快、稳定性强、可靠性高的优点。标定测试结果显示:系统结构紧凑,运行稳定且操作简单,该系统可高效并广泛应用在实际生活中的大批量红外传感器自动标定。关键词:自动批量标定;LabVIEW;红外气体传感器;数据通讯中图分类号:TH74 文献标识码:AAutomatic Batch Calibration Test System
3、 ofInfrared Gas Sensor Based on LabVIEWSONG Shuanjun,ZHANG JieSchool of Mechanical&Electrical Engineering,Xian Polytechnic UniversityAbstract:Aiming at the problems of low efficiency,heavy workload and error-prone in the calibration process of infrared gas sensors,an automatic batch calibration test
4、 system for infrared gas sensors based on LabVIEW was designed.The system consisted of infrared gas sensor,flowmeter,incubator,acquisition board and upper computer.The software program was written by LabVIEW,and its functions include parameter setting,connectivity test between the acquisition board
5、and the infrared gas sensor,controlling the temperature box and flowmeter to realize regular heat preservation and regular introduction of proportional gas,acquiring infrared gas sensor data,automatic calibration,automatic data processing and so on.The software adopted multi-thread programming to en
6、sure that all functions can be carried out at the same time,and has the advantages of beautiful interface,fast running speed,strong stabili-ty and high reliability.The calibration test results show that the system is compact in structure,stable in operation and simple in operation.The system can be
7、efficiently and widely used in the automatic calibration of a large number of infrared sensors in real life.Keywords:automatic batch calibration;LabVIEW;infrared gas sensor;data communication0 引言红外气体传感器广泛应用于环境监测、工业生产和安全管理等领域1。然而由于气体传感器受环境温度等因素影响,输出信号可能存在误差,需进行标定保证准确性和可靠性2。标定是指在特定体积分数和温度下测定实验并采集数据,建立
8、传感器输出电压与体积分数、温度之间的关系3。传统传感器标定过程耗时、费力、易出错,需使用专门设备与技术,并通过繁琐调试与测试。特别在生产线或大规模生产中进行大批量传感器标定时,传统手动标定方法无法满足实际需求,而采用自动批量标定系统可提高效率、标定准确度,降低成本,从而更大程度地满足实际应用需求4-5。因此,传感器自动批量标定系统的研究非常重要,它推动传感器标定技术的进一步发展和领域应用。传感器自动批量标定系统是一种自动化工具,可短时间对大批量传感器进行标定,该系统包括硬件、软件和算法等。卢军民等6设计了基于 LabVIEW 的测试系统,采用模块化设计方法,用串口方式与上位机通信,但仅对少数参
9、数进行测量,界面简单,人机交互性有待提高。何美燕等7以虚拟仪器软件作为开发平台设计了自动标定系统,但标定过程易出错,数据处理方面功能还需完善。赵耀原等8采用单片机技术开发了针对气体传感器的56 仪 表 技 术 与 传 感 器第 2 期智能调校检定仪,但同一时间只能对单台传感器标定,只适用于同类型个别传感器标定。祝国源9设计了一种矿用气体传感器自动标定系统,实现了按预设条件同时对不同类型矿用气体传感器自动标定验证,标定效率仍有很大的提升空间。裴昱10在恒定温度条件下,对 NDIR 二氧化碳气体传感器进行体积分数标定,需对传感器测定范围内每一温度进行标定,过程复杂、成本高。经过上述研究发现,目前标
10、定系统精度不高11、标定时间长且易出错,即使利用算法改进,依旧设计复杂、适应性差,无法适用于普遍生产中。为提高红外气体传感器标定效率和准确性,本文设计了红外气体传感器自动批量标定测试系统,实现了自动控制温箱、自动配气、自动采集、自动标定、自动处理数据等,通过标定数据的收集和分析,帮助用户了解传感器性能参数和使用条件等。可根据不同传感器类型和规格进行调整和定制,以满足具体应用的需求。1 自动批量标定系统原理与设计1.1 自动批量标定系统工作原理自动批量标定系统包括流量计、温湿度实验箱、红外气体传感器、采集板、计算机软硬件程序等,自动标定系统的硬件连接如图 1 所示,传感器和采集板之间通过 RS2
11、32 串口连接;上位机软件通过 RS485 串口通信实现与下位机间的命令收发和数据读写,进行温湿度实验箱的监测和控制、流量计的控制。1.2 自动批量标定系统数据通讯协议自动批量标定系统数据通讯包含 3 个通道:上位图 1 自动标定系统硬件连接图机与温湿度实验箱、上位机与流量计、上位机与采集板。系统编写了多种通讯协议,上位机利用十六进制格式实现对温湿度实验箱、流量计和采集板同时发送命令字,接收到下位机的返回命令字后,读取判断、格式转换、计算求出所需的数据并显示。上位机与温湿度实验箱、流量计以及采集板之间通过 RS232/485 串口通信,波特率默认为 9 600 bit/s,数据位为 8,停止位
12、为 1,校验位为 None。传感器和采集板在通讯时不需匹配地址,它们是一一对应的关系,只需匹配上位机和采集板。此处以温箱“读取温度”、流量计“读取流量”、“设置命令”中上位机“连接采集板设置传感器波特率”为例,上位机发送命令字格式如表 1 所示,Add 表示地址,Command 表示功能命令,上位机读温度命令以 0 x53 开始,0 x41 结束;上位机读流量命令以地址 0 x20 开始,0 x00 结束,Check Sum 表示异或后的校验字,为 0 xC7;本系统同时连 3个采集板,“设置命令”Add 表示不同采集板地址,Command 后 两 位 代 表 不 同 波 特 率:9 600、
13、19 200、38 400。表 1 上位机发送的命令字格式读取温度STAAddCommandEND0 x530 x300 x310 x230 x390 x390 x230 x41读取流量AddSTXCommandENDCheck Sum0 x200 x020 x800 x030 x680 x010 xB90 x00L设置命令STAAddCommandEND0 x230 x310 x310 x300 x310 x21 下位机返回命令字格式如表 2 所示,“读取温度”中“value”表示温箱数据,包含当前温度值、当前温度设定值、当前湿度值、当前湿度设定值,MOD 表示和校验,保留最后 1 字节且两
14、个校验码相同,字节分别为0 xCB、0 xCB;“读取流量”中“value”表示当前瞬时流量值,Check Sum 的字节为 0 x35。2 自动批量标定系统硬件设计自动批量标定系统的硬件包括温湿度实验箱、CS200 流量计和采集板。传感器通信方式为 USART,上位机通信方式为 RS485 通信。本系统采用 TEMI990 系列温湿度光照可程式控制器实现温度的测量与控制,控制灵活、性能稳定,温度测量范围为-90200;采用 CS200 系列数字式气体质量流量控制器实现配气工作,准确、可靠且具有多气体多量程等功能;采集板主要包含电源、RS485 通信、串口扩展和 MCU。66 第 2 期宋栓军
15、等:基于 LabVIEW 的红外气体传感器自动批量标定测试系统 表 2 下位机返回的命令字格式读取温度CommandvalueMOD0 x630 x020 x1B0 x180 x000 x000 x7C0 x150 x000 x000 xE80 x1E0 x000 x000 x880 x130 x000 x00H L读取流量STAAddSTXCommandvalueENDCheck Sum0 x060 x000 x020 x800 x050 x680 x010 xB90 x3D0 x4F0 x00L设置命令STACommandEND0 x280 x4F0 x4B0 x292.1 电源模块输入电
16、压为 DC 12 V,采用 2 A、27 V 同步降压变换器 MP1482 提供主电源;本采集板输出电压为5.3 V(输出电压可调节),用 SPX3819 以 5.3 V 为输入各模块供电,一路输出 5 V 为 RS485 通信模块供电,另一路输出 3.3 V 为单片机及外围电路、串口扩展及外部 EEPROM 供电。2.2 RS485 通信模块单片机通过 USART2 与 RS485 模块连接;通过RS485 协议接收上位机发送的指令并给上位机返回数据。2.3 串口扩展模块用 18 个三态输出的四总线缓冲门 SN74LV125D通过单片机 I/O 口控制信号通断,其中,2 个将单片机串口通信口
17、扩为 4 个,其余 16 个各自完成 2 个传感器数据读取与发送,因此共可读取 32 个传感器数据。2.4 MCUSTM32F103RBT6 用于处理与上位机和传感器之间通信,完成对 SN74LV125D 的控制、读取和写入数据,拨码开关实现上位机对多个采集板的通信。每个采集板可对32 台传感器进行数据采集、标定和处理。下位机收到上位机指令后,单片机通过串口接收传感器数据并储存打包发给上位机。采集板可以指定读取单个传感器数据,对传感器进行点名操作。3 自动批量标定系统软件设计3.1 采集卡下位机软件设计采集卡下位机软件流程如图 2 所示,初始化并读硬件地址,判断是否收到对应的执行命令,并根据收
18、到的指令执行相应功能。3.1.1 点名及读数据1 个采集板连接 32 台传感器,下位机依次向传感器发读数据指令;向上位机返回点名数组和数据数组,格式为左括号开头、右括号结尾,内容为32 个数据(1 和 0,1 代表连接成功,0 代表连接失败),从第 1 到第 32 依次代表 32 台传感器,中间用 Tab 键隔开。采集传感器数据时,下位机接收到传感器的返回值,记录并存储 4 列值,并将状态置 1。本系统设置下位机图 2 采集卡下位机软件流程图与当前传感器间读数据最多交互 3 次,若 3 次后还未接收到返回值,则不记录该通道的数据,并将该位状态置 0。判断当前通道数是否为 32,若为 32,则表
19、示采集完毕并输出完整的数据数组和状态数组;反之,切换通道继续采集数据。3.1.2 校准下位机向传感器发零点或 SPAN 点校准;向上位机返回传感器标志数组,格式为左括号开头、右括号结尾,内容为传感器编号及“OK”,数据间用分号隔开。3.1.3 写特征下位机向传感器先发送写特征指令,再发送接收到的特征;向上位机返回传感器标志数组,格式为左括号开头、右括号结尾,内容为传感器编号及“OK”,76 仪 表 技 术 与 传 感 器第 2 期数据间用分号隔开。3.1.4 参数读取下位机向单台传感器发送读取特征指令或校准系数指令,再向上位机返回单台传感器返回的所有信息。3.2 上位机软件设计基于 LabVI
20、EW12的红外气体传感器自动批量标定测试系统程序上位机软件设计依托于状态机结构和模块化设计来实现多线程技术,实现了上位机与温湿度实验箱、流量计、采集板之间的串口通讯。3.2.1 上位机软件结构组成及设计自动标定过程中,各功能相互协调,目标温度点和体积分数点配置的加载和控制、采集并存储数据和数据处理等,如图 3 所示。图 3 自动批量标定系统上位机软件功能图3.2.1.1 采集参数设置包括串口配置、文件存储位置设置和采集参数设置等。打开界面时设置采集参数,选择数据要保存的路径位置。进行串口配置,若通讯正常,则进行采集和标定;反之,则提示错误并重新配置。3.2.1.2 连通性测试包括传感器连通性测
21、试和采集板连通性测试。上位机给下位机发送连接采集板设置传感器波特率、传感器点名指令,若连接成功,则为 1;反之,为 0。上位机进行程序编写显示传感器点名情况。3.2.1.3 配置保存与载入当本次自动标定工作的目标温度点与体积分数点和之前相同时,可以加载配置文件中的温度点与体积分数点到本次标定的表格中,方便快捷。3.2.1.4 自动标定包括保温时间点设定、温度点设定、体积分数点设定、流量阀设置等。图 4 为自动标定详细流程图。步骤 1:上位机发送打开温箱指令。步骤 2:上位机发送设定温度指令。步骤 3:上位机读温度并判断当前温度是否达到目标温度点,若达到设定温度,则进入步骤 4;反之,进入步骤
22、3。步骤 4:温箱保温,若到达所需保温时间,进入步骤 5;反之,进入步骤 4。步骤 5:上位机发流量计控制指令,打开流量阀并判断设置是否正确,若正确,则进入步骤 6;反之,进入步骤 5,且本系统设计最多通讯 20 次,若流量阀还未图 4 自动标定详细流程图正常打开,则跳过,进入步骤 6。步骤 6:上位机发通气指令,流量阀进行对应比例配气,并设通气时间,若到达通气时间,则进入步骤 7;反之,进入步骤 6。步骤 7:开始采集,上位机发读数据指令,若采集数据正确,则存储;反之,最多读 3 次,若不正确,存储一个特殊标志,以防程序无法进行下一步。在这一步骤中,若选择了通入 N2来清理残余气体,则进入步
23、骤86 第 2 期宋栓军等:基于 LabVIEW 的红外气体传感器自动批量标定测试系统 8;反之,进入步骤 9。步骤 8:上位机发送通 N2的指令,并判断通 N2的时间是否结束,若结束,则进入步骤9;反之,进入步骤8。步骤 9:判断自动标定工作是否完成,判断是否到达最后一个体积分数点,若未到,则进入步骤 5;若已经到达,则判断当前是否到最后一个温度点,若未到,则进入步骤 2;若已经到达,进入步骤 10。步骤 10:自动标定完成,生成 result 文件,即特征表格数据。3.2.1.5 数据处理包括读 EEPROM、写 EEPROM、批量校准和擦除灵敏度系数等。当采集或标定结束后,本系统自动按既
24、定的方法进行处理并保存数据、烧录和回读数据。在整个过程中,原始数据以及处理后的数据均可显示并保存。整个实验脱离人工操作自动完成采集、标定和数据处理。上位机发送读取数据指令,下位机返回已经处理好的四列值,经过上位机程序利用吸光度定义13进行计算得到特征表格,特征表格是气体体积分数和吸光度的对应关系表,上位机在采集到 N2和各体积分数的被测气体后计算得到吸光度,最后得到吸光度与气体体积分数的对应关系表,并发送给下位机将其存储到 EEPROM 中。数据表的组成如图 5 所示,文件格式以左括号开始,右括号结束,行与行之间是回车,列与列之间是 Tab 键隔开。图 5 特征表的组成第 1 行到第 8 行:
25、每行表示不同体积分数吸光度,从上到下递增;每列表示不同温度吸光度,从左至右递减。第 9 行:每列表示温度值,从左至右递减。第10 行:表 示 不 同 温 度 下 先 通 入 N2,计 算 S0/R01 000 000 的值,即零点。最后一行:表示所通入气体体积分数,最后一个体积分数称为量程。无论量程为多少,统一记为 10 000,其他体积分数按比例计算,得到一行范围是 010 000 的气体体积分数,上位机向下位机发指令,下位机根据程序所设定量程反推该行数据代表的真实体积分数。当特征表格全部生成完毕后,开始写 EEPROM,上位机对每台传感器依次发送写特征的指令,下位机返回“OK”,上位机再下
26、发特征文件,若上位机连续下发3 次都无数据返回,则证明其中为空,进行标记并记录。发读 EEPROM 指令,查看传感器是否正常并记录。上位机可进行全部或个别传感器校准,若全部校准,则全体发校准指令,再发校准体积分数点,接收下位机返回的全部处理结果后显示;若个别校准,则个别发校准指令,发送需校准传感器编号,再发校准体积分数点,接收下位机返回的处理结果后显示。3.2.2 上位机软件界面及程序功能上位机软件设计了两级软件界面,一级界面为菜单界面,如图 6 所示,用于串口配置、点名等;二级界面为自动批量标定系统程序界面,用于控制数据采集、自动标定、数据处理、数据显示、异常报警、出错信息记录等。(a)串口
27、配置界面(b)点名界面图 6 菜单界面可以选择自动加载配置设温度点与体积分数点,设置保温时间,选择需要打开的流量阀地址与个数,设置通气时间及气体比例。4 系统标定测试与结果分析4.1 测试方法及过程为测试本系统自动标定和数据采集及处理等的有效性和稳定性,选取96 台待标定的传感器在标准大气压下进行测试,使用装有标准体积分数气体的标气瓶(有氮气混合),然后对组装好的气体传感器进行性能检测。本次实验用 0、8、20、100、200、1 000、2 000、4 000、10 000 ppm(1 ppm=10-6)体积分数的标气和99.99%高纯度氮气进行配比,待均匀混合后输送到传感器腔体中,传感器放
28、置在温箱中通过 RS232 串口与采集板连接,上位机通过 RS485 连接并控制温箱、采集板和流量计。打开上位机软件界面,选择流量计、采集板和温箱的串口,设定各自波特率,数据位为 8,停止位为 1,无校96 仪 表 技 术 与 传 感 器第 2 期验位,状态灯亮表示连接成功。点击“配置采集卡”,上位机连接采集卡设置传感器的波特率。串口配置成功后进行点名,传感器对应单元格背景均为黑色,表示传感器通讯正常。采集前进行参数设置,建立文件夹存储数据,如图 7 所示,点击“数据读取”,每台传感器采集10 次取平均值显示在“数据监测”表格中。SigData 表示测量通道 AD 值,RefData 表示参考
29、通道 AD 值,Temp-Data 表示温度 AD 值。96 台传感器编号是连续的,设计“编号转换”模块方便用户查看某一编号传感器连接的采集板编号或某几个连续编号传感器在其连接采集板从“1”开始排序的编号。“点名显示连接”可以不用重新下发指令直接查看当前传感器连接状态。图 7 参数配置与数据采集界面采集数据完毕后需衡量系统特性是否符合朗伯-比尔定律,目前很多研究用非线性最小二乘拟合,相对误差较大,三次样条插值可以避开函数曲线难以确定的问题14。利用软件进行三次样条插值计算,确保检测结果的正确性,提高传感器在复杂温湿度环境中的测量精度。三次样条插值15将所有已知数据分割成若干段,每段对应一个插值
30、函数(3 次函数形式且有4 个系数),得到一个插值函数序列。为使误差更小,对插值曲线进行修正。对传感器在同一体积分数下对不同温度进行线性插值,得到多组温度-S/R 值曲线。用气体体积分数、温度及 S/R值的插值数据点,得到拟合曲面。选温度为-5、15、25、35 时不同体积分数(100、500、1 500、5 000、7 000、9 000 ppm)24 个测试点进行误差测试分析,通过三次样条插值并修正得到的气体体积分数与实际体积分数间有一定偏差,偏差大小代表气体传感器精度的高低。偏差率 的表达式如式(1)所示:=Cm-CsCs100%(1)式中:Cm为待测气体的标准体积分数;Cs为实际检测到
31、的气体体积分数。本次实验温度点为-10、0、10、20、30、40,体积分数点为 0、8、20、100、200、1 000、2 000、4 000、10 000 ppm,保温时间为30 min,通气时间为 20 min,所打开的流量阀有MFC1、MFC2、MFC3、MFC4、MFC5、MFC6。当进行某个温度点和体积分数点时,表格中该行单元格背景变为灰色,界面右下角显示当前标定工作进展,温箱表格中“备注”显示剩余保温时间,流量计栏中剩余通气时间,流量计表格中“当前流量”行显示当前流量。如图 8 所示,温箱和流量计表格的所有单元格背景均为灰色,表示自动标定全部完成并自动生成 result文件。之
32、后通入 N2,排出残余气体,方便下次标定。4.2 结果分析自动标定结束后,系统自动生成特征表格。采集96 个待标定传感器在不同体积分数和不同温度下的AD 值(每组测 10 次取平均值)。以 1 号传感器为例,不同温度和体积分数采集数据结果如表 3 所示。误差测试分析结果如表 4 所示,以-5 数据为例,待测气体标准体积分数为 500 ppm,实际体积分数为 497 ppm,误差为 3 ppm,偏差率 0.60%;待测气体标准体积分数为 9 000 ppm,实际体积分数为 8 894 ppm,偏差率 1.18%。按误差范围是气体传感器量程的 2%为合格标准,综合计算不同温度、体积分数条件下各待测
33、标准体积分数点与实际测得体积分数点间的误差与偏差率可知,标定后的传感器测量误差均在允许范围内,相较于传统标定系统,本文所设计的自动批量标定系统具有更高的精准度。经三次样条插值计算并修正得到的数据拟合曲面如图 9 所示。07 第 2 期宋栓军等:基于 LabVIEW 的红外气体传感器自动批量标定测试系统 图 8 自动标定完成界面表 3 1 号传感器采集数据表温度/不同体积分数(ppm)下对应的电压比值 S/R0 ppm8 ppm20 ppm100 ppm200 ppm1 000 ppm2 000 ppm4 000 ppm10 000 ppm-101.413 2961.370 5481.323 9
34、731.145 5921.023 9080.714 3840.628 0660.566 7590.517 71201.405 5891.362 3981.316 0771.140 8171.021 0610.728 1360.645 6640.592 1420.545 394101.397 4181.353 7011.307 5361.136 2711.019 6340.741 8920.666 2160.617 1510.572 299201.388 4741.345 7631.299 4591.132 6131.019 6090.756 4110.687 5850.639 2450.598
35、 786301.380 5011.337 8481.291 6111.129 1421.018 9060.770 0610.707 5480.661 7250.621 294401.375 5071.332 8831.286 0041.126 3521.020 2580.782 3460.724 3940.681 9420.640 836表 4 标定后传感器误差测量结果序号S/R温度/标准体积分数/ppm实际体积分数/ppm误差/%序号S/R温度/标准体积分数/ppm实际体积分数/ppm误差/%11.169-5 100 991.00131.14425 100 100021.092-550049
36、70.60141.070255005030.6030.805-51 5001 4910.60150.768251 5001 5080.5340.685-55 0004 9530.94160.630255 0005 0320.6450.627-57 0006 9720.40170.559257 0007 0610.8760.472-59 0008 8941.18180.386259 0009 0740.8271.15415100991.00191.125351001011.0081.083155004960.80201.059355005051.0090.788151 5001 4900.672
37、10.757351 5001 5130.87100.659155 0004 9750.50220.610355 0005 0541.08110.597157 0006 9550.64230.533357 0007 0721.03120.437159 0008 9120.98240.343359 0009 0810.90图 9 1 号传感器数据拟合曲面 1 号传感器特征表格如表 5 所示,S0/R0表示该温度 0 ppm 时 S/R 值乘以 1 000 000(为利于进行细致比较,对其进行倍数化处理,避免了过小导致数据结果相似)。表 5 中特征数据规律排序,进一步说明本系统标定结果准确性高。5
38、结论对本文设计的基于 LabVIEW 的红外气体传感器自动批量标定测试系统进行实验测试,结果表明该系统可以稳定、快捷地实现自动控制温度、自动配气、自动采集数据、自动批量标定、自动数据处理等。该系17 仪 表 技 术 与 传 感 器第 2 期表 5 1 号传感器的特征表格数据温度/AD 值不同体积分数(ppm)下对应的特征值0 ppm8 ppm20 ppm100 ppm200 ppm1 000 ppm2 000 ppm4 000 ppm10 000 ppmS0/R0-10798030 98865 069181 137258 268431 231473 362504 225534 1091 375
39、 5070928030 89764 390182 078261 930442 187487 470520 663549 9501 380 501101 084030 76164 110184 275265 662455 221504 791539 606568 7451 388 474201 243031 28464 320186 878270 344469 098523 252558 363590 4601 397 418301 410030 72863 683188 371273 571481 971540 645578 723611 9821 405 589401 580030 2476
40、3 202189 418275 518494 526555 602598 981633 6851 413 296统自动化程度高,使标定过程更快、更准确,不仅可广泛应用于大批量红外气体传感器的自动标定工作,还可适用于红外气体传感器温度实验和一些需配气的领域,如汽车工业、航空航天、机器人等。实验结果证明本系统合格率高、可靠性强、具有很好的实时性。参考文献:1 JING Y,HAO L,YAN H,et al.One-step hydrothermal syn-thesis of near-infrared emission carbon quantum dots as fluo-rescence
41、aptamer sensor for cortisol sensing and imagingJ.Talanta,2023,260:124637-124651.2 张河斌,秦刚,张和铭.MEMS 惯性传感器自主标定系统设计J.国外电子测量技术,2022,41(7):62-68.3HIROSHI S,FUMIE K,NOBUHIRO K,et al.Thermal and near-infrared sensor for carbon observation Fourier transform spectrometer-2(TANSO-FTS-2)on the greenhouse gases
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