电镀药水化验操作标准规范.doc

电镀药水化验操作规范
制作单位：品保部
文献编号：QY-QA3009-05
制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-1页 共10页
工序
槽名体积
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
清洁1线886L2线820L
C D-210
0.16-0.24N
1次/班
(1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚
红批示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V (2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V (3)补加:CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽
微蚀 1线886L 2线900L
SPS
65-95g/l
3次/班
(1) 取样品2ml加DI水50ml、10% H2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml.
(2)用0.1N KMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A. (3)取DI水代替样品,重复上述环节,滴定毫升数为B. (4)计算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)补加:SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000
H2SO4
2.0-3.0%
(1) 取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙批示剂3-4滴. 用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V.
(2)计算H2SO4(%)=1.33NV% (3)补加:H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/100
Cu2+
≤25g/l
(1)取样品2ml加入DI水50ml，加入20ml PH=10缓冲液，加PAN批示剂2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黄色即为终点. (2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2
微蚀速率
30-50U"
1次/班
(1) 取a×bcm覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30分钟,冷却称重W1.
(2) 经微蚀槽(与流程微蚀槽时间同样)水洗,吹干在120℃烘干30分钟,冷却称重W2.
(3)计算:U"=(W1-W2)*106/（2ab*8.92*2.54）

电镀药水化验操作规范
制作单位：品保部
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制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-2页 共10页

工序
槽名
体积
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H
化 学 铜 (1线L 2线2526L)
Cu2+
1.8-2.2g/l
3次/班
(1) 取试样20ml于锥形瓶中,加入20%硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，加10%KSCN 20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点，体积为V。
(2)计算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V .
(3)补加：EC-251A(L)=(2-测)*26.67
NaOH
8-10g/l
(1) 取试样5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至PH=10.5滴定数为B
(2)计算:NaOH(g/l)=8*A*N HCHO(g/l)=6*B*N (3)补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67 EC-251C(L)=(6-测值)*8.33
HCHO
5-7g/l
络合剂
>0.05N
(1) 取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX批示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点
(2)计算:络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+
(3)补加:EC-251M(L)=(0.06-测)*2667
沉积
速率
0.4-0.6μm
1次/班
(1) 将a×b无铜基板按化铜正常流程走出后,将实验板放入250ml烧杯中,加20ml PH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN批示剂用0.05N EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V.
(2)沉积厚度(μm )=635NV/(2ab*8.92)
除 胶 渣
总锰
60-70g/l
1次/班
(1) 取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水，加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3
(2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黄色加1%淀粉批示剂5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至无色,记下一共所需毫升数.
(3)计算:Mn(g/l)=31.6NV
(4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000

水化验操作规范
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制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-3页 共10页

工序
槽名(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
化学沉铜线
P
T
H

除 胶 渣 ( 1线1800L 2线2616L)
六价锰

<20g/l

1次/班
(1) 取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时吸光度为A、B。
(2) 计算：Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A
(3) 计算：Mn7+(g/l)=85.7A-170.1B
七价锰
35-55g/l
NaOH
35-45g/l
(1) 取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。
(2) 以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点.
(3) 计算:NaOH(g/L)=40NV
(4) 补加:NaOH(L)=(40-测)*V/400
除胶渣速率
20-50mg/dm2
(1) 取a×bcm双面板无铜基板,在120℃烘烤30分钟，冷却称重为W1(g).
(2) 将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120℃下烘烤30min,冷却称重为W2(g).
(3) 计算:成果=(W1-W2)*100000/ab
中 和 (1线886L 2线820L)
Nu-121
90-110ml/l
1次/班
(1) 取槽液2ml加50mlDI水加入10ml20%硫酸,加热至60℃,用0.1N KMnO4滴定至淡红色为终点，滴定数为V.
(2) 计算:Nu-121(ml/l)=74NV (3) 补加:Nu-121(ml)=(100-测)*V槽
H+
1.8-2.2N
(1) 取2mL槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4滴酚酞批示剂.
(2) 用0.5N氢氧化钠滴至红色为终点,滴定体积为V。
(3) 计算：〔 H+〕(N)=0.5NV (4) 补加:H2SO4(L)=(2.0-测值)* V槽/18.4
膨润 1线886L 2线820L
SW-110
35-45%
1次/班
(1)取槽液数滴于旋光光度计内,直接读数A. (2)计算:SW-110(%)=1.43A (3)补加:SW-110（L）=(40-测)*V槽∕100

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制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-4页 共10页

工序
槽名(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
化
学
沉
铜
P
T
H
预浸
1线886L
2线820L
PD-221B
0.58-0.78N
1次/班
(1)取试样2ml,加50mlDI水,加2-4滴PP批示剂以0.5N NaOH滴至红色滴定数为V.
(2)计算:PD-221B(N)=0.5NV (3)补加:PD-221B（L） =(0.68-测)*V槽*70/680
活化
1线886L
2线900L
PD-221B
0.68-1.08N
1次/班
同上
Pd2+
50-60ppm
(1)取5ml活化槽液，至100ml容量瓶中，加纯硝酸少量，解胶至澄清为止，加纯水定容到刻度，摇匀，用AA机测，读数为a.
(2)计算：Pd2+（ppm）=20*a.
添加公式：CA-230( L )=(中値-测値)*V槽/1500
比重
>1.145
用量程为1.1-1.2比重计测,直接读数.
速化
1线886L
2线900L
AL-242B
0.9-1.3%
1次/班
(1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色，加入淀粉批示剂继续滴至无色为终点。
(2)计算:AL-242B(%)=1.2NV%
(3)补加:AL-242B(L)=(1.2%-测)*V槽
PH
8.75-9.25
用PH计直接测量

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制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-5页 共10页

工序
槽名(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
　脉 冲 电 镀 线
铜槽　

1500L
H2SO4
210-230g/L
1次/3天
计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸　
CuSO4.5H2O
60-80g/L
1次/3天
计算与分析办法同一铜线硫酸铜
　CL-
55-85ppm
1次/3天
计算与分析办法同一铜线CL-　
　光剂
3-5mL/L
1次/周
计算与分析办法同一铜线光剂　
哈氏实验

1次/周
电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
酸洗700L
　H2SO4
　9-11%
1次/3天
计算与分析办法同一铜线酸洗　
脱铜
600L
　HNO3
300-500mL/L
1次/3天
计算与分析办法同一铜线脱铜　

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文献编号：QY-QA3009-05
制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-6页 共10页

工序
槽名(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
填 孔 电 镀 线
铜槽　

H2SO4
210-230g/L
1次/3天
计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸
CuSO4.5H2O
60-80g/L
1次/3天
计算与分析办法同一铜线硫酸铜
　CL-
55-85ppm
1次/3天
计算与分析办法同一铜线CL-
　光剂
2.5-6.5mL/L
1次/周
计算与分析办法同一铜线光剂
润湿剂
7-11mL/L
1次/周
1） 用 8mL/L润湿液作原则曲线并保存
2） 把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据
整平剂
6-10mL/L
1次/周
1) 作整平剂曲线并保存
2) 用50mL含LEVER原则液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂(6-光剂测值)/20毫升,润湿剂 (25-润湿测值)/20毫升,按分析即可,记录数据
哈氏实验

1次/周
电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
预浸
预浸剂
9-11%
1次/周
1) 用75mLINTERCEPT原则液作空白
2) 加入25mL预浸槽液按分析即可,记录数据
酸洗
H2SO4
　9-11%
1次/3天
计算与分析办法同一铜线酸洗
脱铜
HNO3
300-500mL/L
1次/3天
计算与分析办法同一铜线脱铜

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制作单位：品保部
文献编号：QY-QA3009-05
制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-7页 共10页

工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
一 次 电 镀 铜 1# 线
电 镀 铜 槽 (1L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .
(2) 计算:H2SO4=49*N*V
(3) 补加:H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示
剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2) 计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.　
(3)补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加
入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.
(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到
清晰,清晰度与此液比较核算.
(4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏实验

1次/周
电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(2800L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1600L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析

电镀药水化验操作规范
制作单位：品保部
文献编号：QY-QA3009-05
制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-8页 共10页

工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
一 次 电 镀 铜 2# 线
电 镀 铜 槽 (5500L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液滴定至
黄色为终点,滴定毫升数为V .
(2) 计算:H2SO4=49*N*V
(3) 补加:H2SO4=(220-测)*17.1
CuSO4·5H2O
55-75g/l
(1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示
剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2) 计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.　
(3) 补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*12
Cl-
40-80ppm
(1) 取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加
入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2) 重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液.
(3) 用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰，清晰度与此液比较核算.
(4) 计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5) 添加:HCl(mL)=(60-测)*31.5
哈氏实验

1次/周
电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(2768L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为
终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1600L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班

同PTH线微蚀槽中H2SO4分析

电镀药水化验操作规范
制作单位：品保部
文献编号：QY-QA3009-05
制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-9页 共10页

工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
一 次 电 镀 铜 3# 线
电 镀 铜 槽 (3700L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
（1） 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液
滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V .
（2）计算:H2SO4=49*N*V
（3）补加:H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示
剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2)计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.　
(3)补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3
标液.
(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核算.
(4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏实验

1次/周
电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(780L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为
终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1200L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析

电镀药水化验操作规范
制作单位：品保部
文献编号：QY-QA3009-05
制作日期：/01/20
版 本 号：D1
总 页 数：第05-10页 共10页

工序
槽名
(体积)
分析项目
控制范畴
分析频率
分析办法及计算公式
一 次 电 镀 铜 4# 线
电 镀 铜 槽 (3700L)
H2SO4
200-240g/l
1次/3天
(1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液滴定至
黄色
为终点,滴定毫升数为V .
(2)计算:H2SO4=49*N*V
(3)补加:H2SO4=(220-测)*7.9
CuSO4·5H2O
55-75g/l
（1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶
液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示
剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴
定毫升数为V
(2)计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V.　
(3)补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5
Cl-
40-80ppm
(1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较
(2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3
标液.
(3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核算.
(4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5
哈氏实验

1次/周
电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换
光剂含量
1-3mL/L
1次/周
由CVS仪直接测定
污染指数
≤120uA
1次/周
由CVS仪直接测定
脱铜
(780L)
HNO3
300-500ml/l
1次/3天
(1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,
用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为
终点,记下NaOH之毫升数V.
(2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N
(3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000
酸洗
(1200L)
H2SO4
6-8%
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析
养板槽(1000L)
H2SO4
0.5-1.0%
1次/班
同PTH线微蚀槽中H2SO4分析