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1、电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-1页 共10页 工序 槽名体积 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 化学沉铜线 P T H 清洁1线886L2线820L C D-210 0.16-0.24N 1次/班 (1)取5ml槽液加入250ml锥形瓶中加50ml纯水及甲酚 红批示剂用0.1N盐酸滴至绿黄为终点体积为V (2)计算:CD-210(N)=0.2*N*V
2、 (3)补加:CD-210(L)=(0.20-测)*0.263V槽 微蚀 1线886L 2线900L SPS 65-95g/l 3次/班 (1) 取样品2ml加DI水50ml、10% H2SO4 10ml,用移液管取100g/l(NH4)2Fe(SO4)210ml. (2)用0.1N KMnO4滴定至浅红色为终点,滴定毫升数A. (3)取DI水代替样品,重复上述环节,滴定毫升数为B.
3、 (4)计算:SPS(g/l)=5.95(B-A) (5)补加:SPS(kg)=(80-测)*V槽/1000 H2SO4 2.0-3.0% (1) 取样品2ml加DI水50ml,加入甲基橙批示剂3-4滴. 用0.5NNaOH标液滴定至黄色即为终点.滴定毫升数为V. (2)计算H2SO4(%)=1.33NV%
4、 (3)补加:H2SO4(L)=(2.5-测)*V槽/100 Cu2+ ≤25g/l (1)取样品2ml加入DI水50ml，加入20ml PH=10缓冲液，加PAN批示剂2-3滴用0.05N EDTA-2Na滴至黄色即为终点. (2)计算Cu2+(g/l)=63.5*N*V/2 微蚀速率 30-50U" 1次/班 (1) 取a×bcm覆铜基板经酸性除油水洗在120℃烘干30分钟,冷却称重W1. (2) 经微蚀槽(与流程微蚀槽时间同样
5、)水洗,吹干在120℃烘干30分钟,冷却称重W2. (3)计算:U"=(W1-W2)*106/（2ab*8.92*2.54） 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-2页 共10页 工序 槽名 体积 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 化学沉铜线 P T H 化 学 铜 (1线L 2线2526L) Cu2+ 1.8-2.2g/l 3次/班 (1) 取试样20ml于锥形瓶中,加入20%
6、硫酸15ml,20%KI10ml,逐滴滴加硫代硫酸钠至淡黄色，加10%KSCN 20ml加数滴淀粉并用0.1N硫代硫酸钠滴至白色为终点，体积为V。 (2)计算:Cu2+(g/l)=3.175*N*V . (3)补加：EC-251A(L)=(2-测)*26.67 NaOH 8-10g/l (1) 取试样5ml加50mlDI水以0.1N HCl滴至PH=10.5,滴定毫升数为A,加10ml 10% Na2SO3用0.1N HCl 滴至PH=10.5滴定数为B (2)计算:NaOH(g/l)=8*A*N
7、 HCHO(g/l)=6*B*N (3)补加:EC-251B(L)=(9-测值)*6.67 EC-251C(L)=(6-测值)*8.33 HCHO 5-7g/l 络合剂 >0.05N (1) 取5ml槽液放入锥形瓶中加0.2gMX批示剂摇匀用0.01N硫酸铜标液滴至绿色为终点 (2)计算:络合剂(N)=0.002v+0.0158Cu2+ (3)补加:EC-251M(L)=(0.06-测)*2667 沉积 速率 0.4-0.6μm 1次/班 (1) 将a×b无铜基
8、板按化铜正常流程走出后,将实验板放入250ml烧杯中,加20ml PH=10缓冲液和7-8滴H2O2,加50mlDI水和5滴PAN批示剂用0.05N EDTA滴定至苹果绿为终点.滴定数为V. (2)沉积厚度(μm )=635NV/(2ab*8.92) 除 胶 渣 总锰 60-70g/l 1次/班 (1) 取1ml槽液于250ml锥形瓶中,加50mLDI水，加入10mL 20% KI和10ml 50% HNO3 (2) 用0.1N Na2S2O3 滴至淡黄色加1%淀粉批示剂5-6滴,再用0.1N Na2S2O3滴至无色,
9、记下一共所需毫升数. (3)计算:Mn(g/l)=31.6NV (4)补加:KMnO4(kg)=(65-测值)*V/1000 水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-3页 共10页 工序 槽名(体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 化学沉铜线 P T H 除 胶 渣 ( 1线1800L 2线2616L) 六价锰 <20g/l
10、1次/班 (1) 取1ml槽液定容至1000ml容量瓶中,以纯水作参比,用玻璃比色皿取样.读取波长为540、610nm时吸光度为A、B。 (2) 计算：Mn6+(g/l)=147.3B-13.6A (3) 计算：Mn7+(g/l)=85.7A-170.1B 七价锰 35-55g/l NaOH 35-45g/l (1) 取试样1ml,加50mlDI水于250ml烧杯中。 (2) 以0.1N盐酸滴至PH=10.5为终点. (3) 计算:NaOH(g/L)=40NV (4) 补加:NaOH(L)=(40-测)*V/400 除胶渣速率 20-50mg/dm2 (1) 取
11、a×bcm双面板无铜基板,在120℃烘烤30分钟，冷却称重为W1(g). (2) 将上述基板从膨润走至中和槽水洗吹干在120℃下烘烤30min,冷却称重为W2(g). (3) 计算:成果=(W1-W2)*100000/ab 中 和 (1线886L 2线820L) Nu-121 90-110ml/l 1次/班 (1) 取槽液2ml加50mlDI水加入10ml20%硫酸,加热至60℃,用0.1N KMnO4滴定至淡红色为终点，滴定数为V. (2) 计算:Nu-121(ml/l)=74NV
12、 (3) 补加:Nu-121(ml)=(100-测)*V槽 H+ 1.8-2.2N (1) 取2mL槽液于250mL锥形瓶中加50mLDI水及3-4滴酚酞批示剂. (2) 用0.5N氢氧化钠滴至红色为终点,滴定体积为V。 (3) 计算：〔 H+〕(N)=0.5NV (4) 补加:H2SO4(L)=(2.0-测值)* V槽/18.4 膨润 1线886L 2线820L SW-110 35-45% 1次/班 (1)取槽液数滴于旋光光度计
13、内,直接读数A. (2)计算:SW-110(%)=1.43A (3)补加:SW-110（L）=(40-测)*V槽∕100 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-4页 共10页 工序 槽名(体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 化 学 沉 铜 P T H 预浸 1线886L
14、2线820L PD-221B 0.58-0.78N 1次/班 (1)取试样2ml,加50mlDI水,加2-4滴PP批示剂以0.5N NaOH滴至红色滴定数为V. (2)计算:PD-221B(N)=0.5NV (3)补加:PD-221B（L） =(0.68-测)*V槽*70/680 活化 1线886L 2线900L PD-221B 0.68-1.08N 1次/班 同上 Pd2+ 50-60ppm (1)取5ml活化槽液，至100ml容量瓶中，加纯硝酸少量，解胶至澄清为止，加纯水定容到刻度，摇匀，用AA机测，读数为a.
15、 (2)计算：Pd2+（ppm）=20*a. 添加公式：CA-230( L )=(中値-测値)*V槽/1500 比重 >1.145 用量程为1.1-1.2比重计测,直接读数. 速化 1线886L 2线900L AL-242B 0.9-1.3% 1次/班 (1)取加速槽液5mL于锥形瓶中加入50mL水加入6N盐酸25mL,加入20%碘化钾10ml用0.1N硫代硫酸钠标液滴定至黄色，加入淀粉批示剂继续滴至无色为终点。 (2)计算:AL-242B(%)=1.2NV% (3)补加:AL-242B(L)=(1.2%-测)*V槽 PH 8.75-9.25 用PH计
16、直接测量 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-5页 共10页 工序 槽名(体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 脉 冲 电 镀 线 铜槽 1500L H2SO4 210-230g/L 1次/3天 计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸 CuSO4.5H2O 60-80g/L 1次/3天 计算与分析办法同一铜线硫酸铜 CL- 55-85ppm 1次/3天 计
17、算与分析办法同一铜线CL- 光剂 3-5mL/L 1次/周 计算与分析办法同一铜线光剂 哈氏实验 1次/周 电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换 污染指数 ≤120uA 1次/周 由CVS仪直接测定 酸洗700L H2SO4 9-11% 1次/3天 计算与分析办法同一铜线酸洗 脱铜 600L HNO3 300-500mL/L 1次/3天 计算与分析办法同一铜线脱铜 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-Q
18、A3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-6页 共10页 工序 槽名(体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 填 孔 电 镀 线 铜槽 H2SO4 210-230g/L 1次/3天 计算与分析办法同一铜线铜槽硫酸 CuSO4.5H2O 60-80g/L 1次/3天 计算与分析办法同一铜线硫酸铜 CL- 55-85ppm 1次/3天 计算与分析办法同一铜线CL- 光剂 2.5-6.5mL/L 1次/周 计算与分析办法同一铜线光剂 润湿剂 7-11mL/L 1次
19、/周 1） 用 8mL/L润湿液作原则曲线并保存 2） 把槽液放在吸管下,把VMS液放在电极下,按分析即可,记录数据 整平剂 6-10mL/L 1次/周 1) 作整平剂曲线并保存 2) 用50mL含LEVER原则液作INTERCEPT,再加入50mL槽液,并加光剂(6-光剂测值)/20毫升,润湿剂 (25-润湿测值)/20毫升,按分析即可,记录数据 哈氏实验 1次/周 电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换 污染指数 ≤120uA 1次/周 由CVS仪直接测定 预浸 预浸剂 9-11% 1次/周 1) 用75mLINTERC
20、EPT原则液作空白 2) 加入25mL预浸槽液按分析即可,记录数据 酸洗 H2SO4 9-11% 1次/3天 计算与分析办法同一铜线酸洗 脱铜 HNO3 300-500mL/L 1次/3天 计算与分析办法同一铜线脱铜 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-7页 共10页 工序 槽名 (体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 一 次 电 镀 铜 1# 线 电 镀 铜 槽 (1L) H2
21、SO4 200-240g/l 1次/3天 (1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V . (2) 计算:H2SO4=49*N*V (3) 补加:H2SO4=(220-测)*7.9 CuSO4·5H2O 55-75g/l (1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶 液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示 剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴 定毫升数为V (2) 计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V. (3)补加：CuSO
22、4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5 Cl- 40-80ppm (1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加 入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液. (3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到 清晰,清晰度与此液比较核算. (4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5 哈氏实验 1次/周 电流2A ，记时5min，由
23、赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换 光剂含量 1-3mL/L 1次/周 由CVS仪直接测定 污染指数 ≤120uA 1次/周 由CVS仪直接测定 脱铜 (2800L) HNO3 300-500ml/l 1次/3天 (1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000 酸洗 (1600L) H2SO4 6-8% 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 养板槽(
24、1000L) H2SO4 0.5-1.0% 1次/班 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-8页 共10页 工序 槽名 (体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 一 次 电 镀 铜 2# 线 电 镀 铜 槽 (5500L) H2SO4 200-240g/l 1次/3天 (1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原
25、则液滴定至 黄色为终点,滴定毫升数为V . (2) 计算:H2SO4=49*N*V (3) 补加:H2SO4=(220-测)*17.1 CuSO4·5H2O 55-75g/l (1) 取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶 液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示 剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴 定毫升数为V (2) 计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V. (3) 补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*12 Cl- 40-80ppm (1) 取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加 入25
26、ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2) 重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3标液. (3) 用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰，清晰度与此液比较核算. (4) 计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5) 添加:HCl(mL)=(60-测)*31.5 哈氏实验 1次/周 电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换 光剂含量 1-3mL/L 1次/周 由CVS仪直接测定 污染指数 ≤120uA 1
27、次/周 由CVS仪直接测定 脱铜 (2768L) HNO3 300-500ml/l 1次/3天 (1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水, 用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为 终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000 酸洗 (1600L) H2SO4 6-8% 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 养板槽(1000L) H2SO4 0.5-1.0% 1次/班 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 电镀药水化验操作规范
28、 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-9页 共10页 工序 槽名 (体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 一 次 电 镀 铜 3# 线 电 镀 铜 槽 (3700L) H2SO4 200-240g/l 1次/3天 （1） 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水,加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液 滴定至黄色为终点,滴定毫升数为V . （2）计算:H2SO4=49*N*V （3）补加:H2SO4=(220-测)
29、7.9 CuSO4·5H2O 55-75g/l （1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶 液呈深蓝色,加50mlDI水加2-3滴PAN批示 剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴 定毫升数为V (2)计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V. (3)补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5 Cl- 40-80ppm (1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3 标液. (3)用0.01N Hg(NO
30、3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核算. (4)计算:Cl-(ppm)=1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5 哈氏实验 1次/周 电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换 光剂含量 1-3mL/L 1次/周 由CVS仪直接测定 污染指数 ≤120uA 1次/周 由CVS仪直接测定 脱铜 (780L) HNO3 300-500ml/l 1次/3天 (1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加
31、入50mlDI水, 用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为 终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000 酸洗 (1200L) H2SO4 6-8% 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 养板槽(1000L) H2SO4 0.5-1.0% 1次/班 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 电镀药水化验操作规范 制作单位：品保部 文献编号：QY-QA3009-05 制作日期：/01/20 版 本 号：D1 总 页 数：第05-10页 共10页
32、 工序 槽名 (体积) 分析项目 控制范畴 分析频率 分析办法及计算公式 一 次 电 镀 铜 4# 线 电 镀 铜 槽 (3700L) H2SO4 200-240g/l 1次/3天 (1) 取1ml样于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水, 加2-3滴甲基橙.用0.5N NaOH原则液滴定至 黄色 为终点,滴定毫升数为V . (2)计算:H2SO4=49*N*V (3)补加:H2SO4=(220-测)*7.9 CuSO4·5H2O 55-75g/l （1）取1ml样于锥形瓶中加PH=10缓冲液至溶 液呈深蓝色,加50mlDI水
33、加2-3滴PAN批示 剂用0.05N EDTA-2Na滴至黄绿色为终点,滴 定毫升数为V (2)计算：CuSO4·5H2O(g/l)=250*N*V. (3)补加：CuSO4·5H2O(Kg)=(65-测)*5.5 Cl- 40-80ppm (1)取样25ml置入锥形瓶中,加入50mlDI水,加入25ml50%HNO3摇匀,作其后之比较 (2)重复上述环节,将测试液加5-6滴0.1N AgNO3 标液. (3)用0.01N Hg(NO3)2滴定至清晰为止,再滴1-2滴,如澄清则已到终点,如浑浊则继续滴直到清晰,清晰度与此液比较核算. (4)计算:Cl-(ppm)=
34、1420*N*V (5)添加:HCl(mL)=(60-测)*14.5 哈氏实验 1次/周 电流2A ，记时5min，由赫尔槽打哈氏片鉴定，哈氏看板三个月一换 光剂含量 1-3mL/L 1次/周 由CVS仪直接测定 污染指数 ≤120uA 1次/周 由CVS仪直接测定 脱铜 (780L) HNO3 300-500ml/l 1次/3天 (1)取样1ml于250ml锥形瓶中,加入50mlDI水, 用2-3滴甲基橙批示剂0.5NNaOH滴至黄色为 终点,记下NaOH之毫升数V. (2)计算:HNO3(L)=65.94*V*N (3)补加:HNO3(L)=(400-测)*V槽/1000 酸洗 (1200L) H2SO4 6-8% 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析 养板槽(1000L) H2SO4 0.5-1.0% 1次/班 同PTH线微蚀槽中H2SO4分析
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