p-a-SiC：H降低晶体硅异质结太阳能电池寄生损失的研究.pdf

D O I:1 0.3 9 6 9/j.i s s n.1 0 0 3-0 9 7 2.2 0 2 4.0 2.0 0 4 文章编号:1 0 0 3-0 9 7 2(2 0 2 4)0 2-0 1 5 9-0 6p-a-S i C:H降低晶体硅异质结太阳能电池寄生损失的研究陆晓曼1,2,肖振宇1,陈传亮2,3,李彦磊1,訾 威1*,方国家2(1.信阳师范大学 建筑节能材料河南省协同创新中心,河南 信阳 4 6 4 0 0 0;2.武汉大学 物理科学与技术学院,湖北 武汉 4 3 0 0 7 2;3.湖北文理学院 物理与电子工程学院,湖北 襄阳 4 4 1 0 5 3)摘 要:使用宽带隙的p型氢化非晶硅碳(p-a-S i C:H)薄膜作为晶体硅异质结(S H J)太阳能电池的窗口层,使用时域有限差分法(F D T D)模拟证明,p-a-S i C:H不仅能明显降低窗口层的短波寄生吸收损失,而且可以减少S H J太阳能电池的反射损失,从而增强S H J太阳能电池的光谱响应。实验结果也证明,使用优化的p-a-S i C:H窗口层可以提升S H J太阳能电池的短路电流(Js c)达1.4 mA/c m2,电池光电转化效率达到了2 1.8%。这主要是由于p-a-S i C:H低的寄生吸收以及使用p-a-S i C:H窗口层降低了S H J太阳能电池的反射损失所致。关键词:晶体硅异质结太阳能电池;p型非晶硅碳;时域有限差分法;寄生吸收中图分类号:TM 9 1 4.4 1 文献标识码:A 开放科学(资源服务)标识码(O S I D):S t u d y o n R e d u c i n g P a r a s i t i c L o s s o f C r y s t a l l i n e S i l i c o n H e t e r o j u n c t i o n S o l a r C e l l s b y p-a-S i C:HL U X i a o m a n1,2,X I A O Z h e n y u1,C H E N C h u a n l i a n g2,3,L I Y a n l e i1,Z I W e i1*,F A N G G u o j i a2(1.E n e r g y-s a v i n g B u i l d i n g M a t e r i a l s I n n o v a t i v e C o l l a b o r a t i o n C e n t e r o f H e n a n P r o v i n c e,X i n y a n g N o r m a l U n i v e r s i t y,X i n y a n g 4 6 4 0 0 0,C h i n a;2.S c h o o l o f P h y s i c s a n d T e c h n o l o g y,W u h a n U n i v e r s i t y,Wu h a n 4 3 0 0 7 2,C h i n a;3.S c h o o l o f P h y s i c s a n d E l e c t r o n i c E n g i n e e r i n g,H u b e i U n i v e r s i t y o f A r t s a n d S c i e n c e,X i a n g y a n g 4 4 1 0 5 3,C h i n a)A b s t r a c t:T h e w i d e-b a n d g a p p-t y p e h y d r o g e n a t e d a m o r p h o u s s i l i c o n c a r b o n(p-a-S i C:H)f i l m w a s u s e d a s w i n d o w l a y e r o f s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n(S H J)s o l a r c e l l s.F i n i t e d i f f e r e n c e t i m e d o m a i n(F D T D)s i m u l a t i o n r e s u l t s s h o w e d t h a t p-a-S i C:H n o t o n l y s i g n i f i c a n t l y r e d u c e d t h e s h o r t-w a v e p a r a s i t i c a b s o r p t i o n l o s s o f t h e w i n d o w l a y e r,b u t a l s o r e d u c e d t h e r e f l e c t i o n l o s s o f S H J s o l a r c e l l s,t h e r e b y e n h a n c i n g t h e s p e c t r a l r e s p o n s e o f S H J s o l a r c e l l s.M e a n w h i l e,t h e e x p e r i m e n t a l r e s u l t s s h o w e d t h a t t h e o p t i m i z e d p-a-S i C:H w i n d o w l a y e r c o u l d i n c r e a s e t h e Js c o f S H J s o l a r c e l l s t o 1.4 mA/c m2,a n d a c h i e v e d a c e l l e f f i c i e n c y o f 2 1.8%.T h i s i m p r o v e m e n t i s p r i m a r i l y a t t r i b u t e d t o t h e l o w p a r a s i t i c a b s o r p t i o n o f t h e p-a-S i C:H w i n d o w l a y e r a n d i t s a b i l i t y t o r e d u c e r e f l e c t i o n l o s s e s i n S H J s o l a r c e l l s.K e y w o r d s:c r y s t a l l i n e s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l;p-t y p e a m o r p h o u s s i l i c o n c a r b o n;f i n i t e d i f f e r e n c e t i m e d o m a i n m e t h o d;p a r a s i t i c a b s o r p t i o n 收稿日期:2 0 2 3-1 1-1 3;修回日期:2 0 2 4-0 1-0 5;*.通信联系人,E-m a i l:4 4 6 8 1 2 1 1 3q q.c o m;z i w e i x y n u.e d u.c n 基金项目:国家自然科学基金项目(5 1 7 0 2 2 7 6);河南省自然科学基金项目(2 0 2 3 0 0 4 1 0 3 4 4);河南省高等学校重点科研项目(1 9 B 5 1 0 0 0 9);信阳师范学院“南湖学者奖励计划”青年项目(1 8 1 2 8)作者简介:陆晓曼(1 9 8 3),女,河南洛阳人,工程师,硕士,主要从事新型太阳能电池及回收技术研究;訾威(1 9 8 1),男,安徽宿州人,讲师,博士,主要从事无机光伏器件及光电材料研究。引用格式:陆晓曼,肖振宇,陈传亮,等.p-a-S i C:H降低晶体硅异质结太阳能电池寄生损失的研究J.信阳师范学院学报(自然科学版),2 0 2 4,3 7(2):1 5 9-1 6 4.L U X i a o m a n,X I AO Z h e n y u,C HE N C h u a n l i a n g,e t a l.S t u d y o n r e d u c i n g p a r a s i t i c l o s s o f c r y s t a l l i n e s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l s b y p-a-S i C:HJ.J o u r n a l o f X i n y a n g N o r m a l U n i v e r s i t y(N a t u r a l S c i e n c e E d i t i o n),2 0 2 4,3 7(2):1 5 9-1 6 4.951信阳师范学院学报(自然科学版)J o u r n a l o f X i n y a n g N o r m a l U n i v e r s i t y第3 7卷 第2期 2 0 2 4年4月N a t u r a l S c i e n c e E d i t i o n V o l.3 7 N o.2 A p r.2 0 2 40 引言晶体硅异质结(S H J)太阳能电池采用本征非晶硅(i-a-S i C:H)层来钝化晶体硅(c-S i)表面,因其效率高、制造工艺简单以及潜在低成本而备受关注1-3。与传统的晶体硅太阳能电池的结构相比,S H J太阳能电池中的窗口层、i-a-S i C:H和氧化铟锡(I TO)以及A g电极的光寄生吸收将严重减少S H J太阳能电池的短路电流4-5。对于S H J太阳能电池的窗口层来说,通常使用p型a-S i:H(p-a-S i C:H)层作为窗口层。然而,p-a-S i C:H的光学带隙仅为1.71.8 e V,并且短波(3 0 06 0 0 n m)范围内具有强的光吸收系数,即使p-a-S i C:H窗口层的厚度仅为几纳米,也会导致S H J太阳能电池在短波区域内产生强的光学寄生吸收损失6-7。因此,减少p-a-S i C:H窗口层的寄生吸收损失对于提高S H J太阳能电池的短路电流至关重要。针对此问题,当前研究的重点是开发宽带隙的窗口层材料来代替p-a-S i C:H层,例如氢化非晶氧化硅(a-S i Ox:H)8、氢 化 微 晶 硅 氧 化 物(c-S i Ox:H)9、n型纳晶硅碳(n-nc-S i C:H)1 0以及p型氢化非晶硅碳(p-a-S i C:H)1 1等材料已经被开发并应用到S H J太阳能电池上。Z HANG等1 1研究了以p-a-S i C:H为窗口层的S H J太阳能电池,但是其有效面积效率仅为2 0.8%,Vo c低至0.6 8 2 V。这些结果低于使用p-a-S i C:H窗口层的S H J太阳能电池性能1 2。因此,针对p-a-S i C:H窗口层更加详细及深入的研究是必要的。本文详细研究了p-a-S i C:H窗口层对S H J太阳能电池的寄生吸收及电池性能的影响。首先,利用椭偏仪测试获得了p-a-S i C:H和不同碳含量的p-a-S i C:H薄膜的折射率和消光系数;其次,通过使用时域有限差分法(F D T D),模拟了不同带隙的窗口层对S H J太阳能电池中c-S i层的吸收、窗口层的寄生吸收以及电池表面反射的影响;最后,分别研究了p-a-S i C:H和不同带隙的p-a-S i C:H窗口层材料对太阳能电池性能的影响。与使用p-a-S i C:H窗口层的S H J电池相比,使用优化的p-a-S i C:H窗口层将提高S H J太阳能电池的短路电流达1.4 mA/c m2,这主要得益于p-a-S i C:H窗口层降低了电池的寄生吸收和反射损失。1 S H J太阳能电池的制备与F D T D模拟方法本实验中S H J太阳能电池的结构如下:A g栅极/I TO(8 0 n m)/p-a-S i:H或p-a-S i C:H(1 0 n m)/i-a-S i C:H(5 n m)/c-S i(1 4 0 m)/i-a-S i C:H(5 n m)/n-a-S i C:H(1 0 n m)/I TO(1 2 0 n m)/A g(2 0 0 n m)。S H J太阳能电池的制备过程如下:(1)清洗制绒n型单晶硅片,硅片电阻率为13 c m;(2)利用 等 离 子 增 强 化 学 气 相 沉 积(P E C V D)(MVs y s t e m s,I n c.)沉积厚度为5 n m的i-a-S i C:H层对硅片正反表面进行钝化;(3)在电池正面沉积p-a-S i C:H或p-a-S i C:H层作为窗口层,并在背面沉积n-a-S i C:H;(4)通过磁控溅射在正面和背面沉积I TO层;(5)正面蒸发A g栅极,背面在室温下溅射厚度为2 0 0 n m的A g层作为电极和背反层。S H J太阳能电池面积控制在1.0 c m2。测试条件和主要设备如下:在标准测试条件下(2 5,AM 1.5 G光谱,1 0 0 mW/c m2光强)测试S H J太阳能电池的电流密度-电压(J-V)与电池的外量子效率(E Q E)(C R OWN T E C H Q T 1 0 0 0 A D)。电池的反射率通过紫外可见近红外分光光度计(P e r k i n E l m e r L a m b d a 9 5 0)测量获得。为了测量p型窗口层的电学和光学特性,膜层沉积在石英玻璃上。使用光谱椭偏仪(H o r i b a UV I S E L)测试来获取p-a-S i C:H和p-a-S i C:H膜层的厚度、折射率n和消光系数k。p-a-S i C:H薄膜的激活能Ea测试如下:采用真空蒸铝在p-a-S i C:H薄膜上制作共面电极,电极长为8 mm、宽为5 mm,两电极间距为1 mm。在暗室下两电极之间加上3 5 V的电压,测试得到电流I,然后计算出材料的暗态电导率(d)。通过测试室温到1 0 0 下,材料暗态电导率随着温度T的变化,然后做l g d与1 0 0 0/T图,对应的直线斜率为材料激活能Ea。表1总结了不同窗口层的P E C V D沉积条件。3个不同的CH4流量(6、1 2、2 0 c m3/m i n)用于制备不同碳含量的窗口层,对 应 的 薄 膜 分 别 为p-a-S i C 1、p-a-S i C 2和p-a-S i C 3。使用F D T D方法(L u m e r i c a l S o l u t i o n s,I n c)进行S H J太 阳 能 电 池 光 学 模 拟。图1显 示 了F D T D模拟周期二维结构的S H J太阳能电池示意图。三角陷光单元的尺寸为已有报道中最优的陷光结构1 3。图1中橙色虚线所围绕的单元为模拟单元,红色箭头为平面波,垂直入射到电池表面,入射波的振幅强度固定为1 V/m。模拟中使用的边界均为完美匹配层(PML),而垂直边界使用周期性边界条件(P B C)。061第3 7卷 第2期信阳师范学院学报(自然科学版)h t t p:/j o u r n a l.x y n u.e d u.c n2 0 2 4年4月表1 不同窗口层的沉积条件T a b.1 D e p o s i t i o n p a r a m e t e r s o f d i f f e r e n t w i n d o w l a y e r s窗口层S i H4流量/(c m-3m i n)H2流量/(c m-3m i n)B2H6(2%)流量/(c m-3 m i n)CH4流量/(c m-3m i n)功率/W压力/P a温度/oCp-a-S i:H6.51 3.03.00.06.01 9 9.9 82 0 0p-a-S i C 16.51 3.03.06.06.01 9 9.9 82 0 0p-a-S i C 26.51 3.03.01 2.06.01 9 9.9 82 0 0p-a-S i C 36.51 3.03.02 0.06.01 9 9.9 82 0 0 膜层吸收功率Aa b s由方程(1)计算获得:Aa b s=12 E,2 dVd。(1)式中:是波长,()是入射光的角频率,()是介电常数的虚部,是空间坐标,E(,)是电场强度。通过计算Aa b s/Ai n获得吸收层的光学吸收度(A b s o r b a n c e),Ai n是总入射功率。图1 F D T D模拟的S H J太阳能电池结构示意图F i g.1 S c h e m a t i c d i a g r a m o f S H J s o l a r c e l l s t r u c t u r e s i m u l a t e d b y F D T D2 结果与讨论图2显示了不同窗口层材料的折射率n和消光系数k。可以发现,p-a-S i C:H的n和k值是4个样品中最大的。随着CH4流量从6 s c c m增加到2 0 s c c m,在短波范围,p-a-S i C:H的k值不断降低。材料的吸收系数与其消光系数k可以根据公式()=4 k()/计算。从方程式中可以看出,在短波范围随着C H4流量的增加,p-a-S i C:H材料变得更加透明。图3显示了p-a-S i C:H和p-a-S i C:H的光学带隙(Eo p t)、暗电导率d和激活能Ea随CH4流量的变化。可以得出,p-a-S i C:H的Eo p t和Ea随着CH4流量的增加而单调增加。由吸收系数计算得到p-a-S i C:H、p-a-S i C 1、p-a-S i C 2和p-a-S i C 3的带隙分别为1.7 8、1.8 9、2.0 4、2.1 1 e V,对应的Ea分别为0.1 5、0.2 5、0.3 7、0.4 6 e V。激活能的增大了说明材料的费米能级与价带的距离增大,材料的载流子浓度下降。随着CH4流量的增加,p型材料的d从81 0-4 S/c m快速降至21 0-8 S/c m,降低的d将增加器件的电损耗,从而降低S H J太阳能电池的填充因子(F F)。图2 p-a-S i C:H和p-a-S i C:H薄膜的折射率n和消光系数kF i g.2 R e f r a c t i v e i n d e x n a n d e x t i n c t i o n c o e f f i c i e n t k o f p-a-S i:H a n d p-a-S i C:H f i l m s图3 p-a-S i C:H和p-a-S i C:H窗口层薄膜的光学带隙、暗电导率和激活能随C H4流量的变化F i g.3 O p t i c a l b a n d g a p,d a r k c o n d u c t i v i t y a n d a c t i v a t i o n e n e r g y o f p-a-S i:H a n d p-a-S i C:H w i n d o w l a y e r s v a r i e d w i t h C H4 f l o w r a t eF D T D用于模拟窗口层带隙对S H J太阳能电池光学性能的影响研究。图4(a)为模拟c-S i的吸收随着窗口层带隙的变化,插图为S H J太阳能电池的Js c随着带隙的变化,其中Js c值通过对吸收161陆晓曼,肖振宇,陈传亮,等.p-a-S i C:H降低晶体硅异质结太阳能电池寄生损失的研究曲线积分获 得1 3。可 以 发 现,窗 口 层 主 要 影 响c-S i在短波区域的吸收。当使用p-a-S i C:H作为窗口层时,相对较低的带隙导致c-S i在短波区域存在低的吸收。随着窗口层的带隙增加,c-S i在短波区域的吸收也逐渐增强。从图4(a)插图可以看出,随着窗口层带隙从1.7 8 e V增加到2.1 1 e V,Js c从3 7.8 mA/c m2增加到3 8.8 mA/c m2。图4(b)显示了4个窗口层的寄生吸收(Pa b s),插图显示了窗口层带隙与寄生损失电流的关系。可以看出,随着窗口层带隙的增加,在短波区域窗口层的寄生吸收逐渐降低。图4(b)插图显示,随着窗口层带隙的增加,窗口层寄生吸收引起的电流损失从1.2 0 0 mA/c m2降低至0.5 1 5 mA/c m2,这意味着更多的光将进入c-S i吸收 体,将有助于 提高S H J太 阳 能 电 池 的Js c。图4(c)显示了不同窗口层带隙的S H J太阳能电池的反射光谱,插图显示了S H J太阳能电池的反射电流损失与窗口层带隙的关系。可以看出,在短波区域内,随着窗口层带隙的增加,电池的反射率略微降低。图4(c)插图显示,随着窗口层带隙的增加,S H J电池的反射电流损失从5.4 5 mA/c m2降低至5.1 9 mA/c m2。图4 F D T D模拟c-S i的吸光度(a)、窗口层Pa b s(b)和电池的反射率(c)随窗口层带隙的变化F i g.4 F D T D s i m u l a t i n g o f c-S i a b s o r b a n c e(a),w i n d o w l a y e r Pa b s(b)a n d c e l l r e f l e c t a n c e(c)v a r i a t i o n w i t h w i n d o w l a y e r b a n d g a p 在F D T D模拟研究的同时,将4个不同带隙的窗口层应用到实际的S H J太阳能电池中,图5显示了不同带隙的窗口层对S H J太阳能电池性能的影响结果。从图5(a)可以看出,不同带隙的窗口层对S H J电池的Vo c几乎没有影响。这主要是因为,S H J太阳能电池的开压Vo c与内建电势Vd相关,而Vd与窗口层和c-S i的费米能级位置相关,当窗口层材料图5 窗口层带隙对S H J太阳能电池性能的影响(a)Vo c;(b)Js c;(c)F F;(d)效率F i g.5 E f f e c t s o f w i n d o w l a y e r b a n d g a p s o n t h e p e r f o r m a n c e o f S H J s o l a r c e l l s(a)Vo c;(b)Js c;(c)F F;(d)e f f i c i e n c y 261第3 7卷 第2期信阳师范学院学报(自然科学版)h t t p:/j o u r n a l.x y n u.e d u.c n2 0 2 4年4月的带隙从1.7 8 e V增加到2.1 1 e V,材料的激活能从0.1 5 e V提高到0.4 6 e V,激活能反映了材料的费米能级与导带的距离。因此尽管窗口层材料的带隙增大,但是窗口层材料的费米能级位置几乎没有移动,最终导致对电池的Vo c影响可以忽略。然而,Js c值强烈依赖于窗口层带隙。由图5(b)可以看出,随着窗口层带隙的增加,Js c平均值从3 6.7 mA/c m2显著增加到3 8.3 mA/c m2,表明宽带隙窗口层可以有效减少电池的寄生吸收。另一方面,窗口层也明显影响F F值。从图5(c)看出,随着窗口层带隙的增加,F F值逐渐降低,这是由于p-a-S i C:H较低的电导率增加了电池的串联电阻所致。最终,当p-a-S i C:H窗口层的带隙为2.0 4 e V时,S H J太阳能电池获得了最优的电池转化效率(图5(d)。图6为使用p-a-S i C:H(1.7 8 e V)和p-a-S i C:H(2.0 4 e V)分别作为窗口层的两个S H J太阳能电池的E Q E和反射光谱曲线(无银栅极)。结果显示,使用宽带隙的p-a-S i C:H(2.0 4 e V)作为窗口层时,S H J太阳能电池的短波响应明显增加,电池的Js c可以达到4 0.3 mA/c m2,相对于使用p-a-S i C:H作为窗口层时,电池Js c增加了1.4 0 mA/c m2,同时电池反射损失从2.5 0 mA/c m2降低到2.1 3 mA/c m2,减少了0.3 7 mA/c m2。图7(a)显示了使用p-a-S i C:H(2.0 4 e V)作为窗口层,S H J太阳能电池实现2 1.8%的最高电池转化效率,其中电池的Vo c为0.7 2 6 V,Js c为3 8.1 2 mA/c m2(有栅极测试),F F为7 8.7 7%。图6 使用两个p-a-S i C:H(1.7 8 e V和2.0 4 e V)分别作为窗口层的S H J太阳能电池的E Q E和反射光谱曲线F i g.6 E Q E a n d r e f l e c t i o n s p e c t r a l c u r v e s o f S H J s o l a r c e l l s u s i n g t w o p-a-S i:H(1.7 8 e V a n d 2.0 4 e V)a s w i n d o w l a y e r s,r e s p e c t i v e l y图7(b)显示了S H J太阳能电池的E Q E、反射率R和寄生吸收曲线Pa b s(1-R-E Q E)。电池的E Q E积分可获得最高4 0.3 0 mA/c m2的积分电流(无栅极),反射损失为2.1 3 mA/c m2。尽管采用宽带隙的p-a-S i C:H作为窗口层,已经大幅降低了电池的寄生损失,但该电池仍存在严重的寄生损失,相应的寄生损失电流损失达到3.8 0 mA/c m2。其中在短波区域的寄生损失主要是窗口层与本征a-S i:H的寄生吸收导致,这一部分的寄生吸收电流达到1.2 0 mA/c m2。而在长波区域的寄生损失电流主要来自I TO的自由载流子吸收和背电极A g的等离子体寄生吸收,这一部分的寄生吸收电流达到2.6 0 mA/c m2,减少这些寄生损失将进一步提高S H J太阳能电池的效率。图7 采用p-a-S i C:H作为窗口层的S H J太阳能电池性能(a)J-V和P-V曲线;(b)E Q E、Pa b s 和R曲线F i g.7 P e r f o r m a n c e o f S H J s o l a r c e l l s u s i n g p-a-S i C:H a s w i n d o w l a y e r(a)J-V a n d P-V c u r v e s;(b)E Q E,Pa b s a n d R c u r v e s361陆晓曼,肖振宇,陈传亮,等.p-a-S i C:H降低晶体硅异质结太阳能电池寄生损失的研究3 结论本文详细研究了宽带隙p-a-S i C:H对S H J太阳能电池光学及电池性能的影响。F D T D模拟与实验结果表明,p-a-S i C:H作为S H J太阳能电池的窗口层能有效地减少电池的寄生吸收和反射,增强c-S i吸收层的吸收。最终使用优化的p-a-S i C:H(2.0 4 e V)作为窗口层时,S H J太阳能电池Js c可以增加1.4 mA/c m2,达到4 0.3 mA/c m2,电池转化效率最高可达2 1.8%。参考文献:1 B A T T A G L I A C,C U E VA S A,D E WO L F S S.H i g h-e f f i c i e n c y c r y s t a l l i n e s i l i c o n s o l a r c e l l s:S t a t u s a n d p e r s p e c t i v e sJ.E n e r g y&E n v i r o n m e n t a l S c i e n c e,2 0 1 6,9(5):1 5 5 2-1 5 7 6.2 KO B AYA S H I E,D E WO L F S,L E V R A T J,e t a l.I n c r e a s i n g t h e e f f i c i e n c y o f s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l s a n d m o d u l e s b y l i g h t s o a k i n gJ.S o l a r E n e r g y M a t e r i a l s a n d S o l a r C e l l s,2 0 1 7,1 7 3:4 3-4 9.3 L I N H a o,YAN G M i a o,RU X i a o n i n g,e t a l.S i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l s w i t h u p t o 2 6.8 1%e f f i c i e n c y a c h i e v e d b y e l e c t r i c a l l y o p t i m i z e d n a n o c r y s t a l l i n e-s i l i c o n h o l e c o n t a c t l a y e r sJ.N a t u r e E n e r g y,2 0 2 3,8(8):7 8 9-7 9 9.4 HO LMAN Z C,F I L I P IC M,D E S C O E U D R E S A,e t a l.I n f r a r e d l i g h t m a n a g e m e n t i n h i g h-e f f i c i e n c y s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n a n d r e a r-p a s s i v a t e d s o l a r c e l l sJ.J o u r n a l o f A p p l i e d P h y s i c s,2 0 1 3,1 1 3(1):0 1 3 1 0 7.5 B A R R AUD L,HO LMAN Z C,B A D E L N,e t a l.H y d r o g e n-d o p e d i n d i u m o x i d e/i n d i u m t i n o x i d e b i l a y e r s f o r h i g h-e f f i c i e n c y s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l sJ.S o l a r E n e r g y M a t e r i a l s a n d S o l a r C e l l s,2 0 1 3,1 1 5:1 5 1-1 5 6.6 HO LMAN Z C,D E S C O E U D R E S A,B A R R AU D L,e t a l.C u r r e n t l o s s e s a t t h e f r o n t o f s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l sJ.I E E E J o u r n a l o f P h o t o v o l t a i c s,2 0 1 2,2(1):7-1 5.7 D UAN W e i y u a n,L AMB E R T Z A,B I T T KAU K,e t a l.A r o u t e t o w a r d s h i g h-e f f i c i e n c y s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l sJ.P r o g r e s s i n P h o t o v o l t a i c s:R e s e a r c h a n d A p p l i c a t i o n s,2 0 2 2,3 0(4):3 8 4-3 9 2.8 WE N L i l a n,Z HAO L e i,WANG G u a n g h o n g,e t a l.B e y o n d 2 5%e f f i c i e n t c r y s t a l l i n e s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l s w i t h h y d r o g e n a t e d a m o r p h o u s s i l i c o n o x i d e s t a c k e d p a s s i v a t i o n l a y e r s f o r r e a r e m i t t e rJ.S o l a r E n e r g y M a t e r i a l s a n d S o l a r C e l l s,2 0 2 3,2 5 8:1 1 2 4 2 9.9 Z HAO Y i f e n g,MA Z Z A R E L L A L,P R O C E L P,e t a l.D o p e d h y d r o g e n a t e d n a n o c r y s t a l l i n e s i l i c o n o x i d e l a y e r s f o r h i g h-e f f i c i e n c y c-S i h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l sJ.P r o g r e s s i n P h o t o v o l t a i c s:R e s e a r c h a n d A p p l i c a t i o n s,2 0 2 0,2 8(5):4 2 5-4 3 5.1 0 KHL E R M,P OMA S KA M,P R O C E L P,e t a l.A s i l i c o n c a r b i d e-b a s e d h i g h l y t r a n s p a r e n t p a s s i v a t i n g c o n t a c t f o r c r y s t a l l i n e s i l i c o n s o l a r c e l l s a p p r o a c h i n g e f f i c i e n c i e s o f 2 4%J.N a t u r e E n e r g y,2 0 2 1,6(5):5 2 9-5 3 7.1 1 Z HAN G D o n g,D E L I G I ANN I S D,P A P AKON S TAN T I NOU G,e t a l.O p t i c a l e n h a n c e m e n t o f s i l i c o n h e t e r o j u n c t i o n s o l a r c e l l s w i t h h y d r o g e n a t e d a m o r p h o u s s i l i c o n c a r b i d e e m i t t e rJ.I E