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,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,本资料仅供参考,不能作为科学依据。谢谢。本资料仅供参考,不能作为科学依据。本资料仅供参考,不能作为科学依据。谢谢。不能作为科学依据。,电子显微分析,四川大学分析测试中心,王 辉,9月,1/71,联 系 方 式,办公室:85412850,手 机:1398852,E_mail:scu_wanghui,2/71,参考资料,:,电子显微镜图象分析原理与应用,黄孝瑛著,宇航 出版社 1989 79.871/14,电子显微镜原理和设计,西门纪业,葛肇生编著,科学出版社 1979 79.871/2,电子显微镜原理和应用,朱宜,张存编著,北京大学出版社 1983 79.871/4,电子显微镜,朱祖福等编,机械工业出版社 1984 79.871/6,电子显微镜与超微结构,郭仁强编著,人民卫生出版社 1985 79.871/9,其它,仪器分析,相关书籍,3/71,1.电镜诞生与发展,1923 Louis De Broglie指出:光、电子、质子都有波、粒二象性,电子束能够代替光波成像,1926 H.Busch 提出“轴对称磁场对电子束起透镜作用”,1932 德国Knollhe和Ruska制成第一台12 透射式电镜,1940 英国剑桥大学制成第一台扫描式电镜,50年代末期起,我国也开始研制并生产电镜,80年代中期,我国开始引进生产国外高性能电镜,4/71,2.电镜应用,微观形貌和结构,成份分析,5/71,3.电子光学,3.1光折射和光学透镜成像,(1)光折射,(2)凸透镜成像原理,(3)光学显微镜原理,6/71,3.2光衍射和光学显微镜分辨本事理论极限,(1)光衍射,7/71,结论:埃利斑半径与照明光源波长成正。,8/71,(2)光学显微镜分辨本事理论极限,分辨率定义,设某成像装置所能区分开两点(或两条线)之间最小距离为,则这一成像装置最正确分辨率d 即为。,分辨率d 是衡量成像仪器主要指标,也是各种原因综合参数指征。,人眼睛分辨率普通不高于,0.2 mm(d,0.2mm),。,理论极限:,照明光源半波长。,9/71,(3)放大倍率M 与分辨率d 关系,放大倍率M=像长/物长,但必须确保在一定成像质量前提下才有意义,有效放大倍率,M=d(人眼)/d(仪器)即,相对于人眼睛分辨率,仪器所能提升分辨率倍率,光镜M=d(人眼)/d(光镜)=0.2 mm/0.2 m=1000,电镜M=d(人眼)/d(电镜)=0.2 mm/0.2 nm=100万,10/71,结论:,突破光学显微镜分辨本事和有效放大倍数极限,必须寻找一个即要波长短,又能使之聚焦成像新型照明源。,11/71,3.3电子波动性及其波长,电子波长与其加速电压平方根成反比,加速电压越高,电子波长越短。,12/71,3.4电子透镜,静电透镜,磁透镜,13/71,3.5电磁透镜像差,(1)几何像差:因为透镜磁场几何缺点引发 ,包含球差、像散和像畸变。,球差,产生机理;,影响;,像散,14/71,(2)色差,因为成像电子波长(或能量)改变引发电磁透镜焦距改变而产生一个像差。,能够用消像散器适当地进行赔偿。,像畸变,15/71,3.6电磁透镜分辨本事,不一样电磁波波长对成像分辨率限制,可见光:红、橙、黄、绿、青、蓝、紫波长大约在0.78 0.39 m,所以,光镜最正确分辨率,d=0.39,m/2,0.2,m,使用紫外光荧光显微镜分辨率能够更高一点,电子束波长极短(1 nm),考虑到其它制造技术和工艺限制,电镜分辨率也能够到达,d=0.2 nm,以上,16/71,3.7电子束与固体样品相互作用,17/71,结论:,二次电子:SEM;表面形貌;图像分辨率好,能量低。,背散射电子:SEM;成份形貌;图像分辨率低,能量分布广。,透射电子:TEM。,特征X射线:EDS,WDS;成份分析。,俄歇电子:电子能谱;表面成份分析。,18/71,4.电子显微镜基础知识,4.1电子显微镜分类,透射电子显微镜(TEM)以电子束照射样品,利用透过样品电子束穿越电磁场透镜,形成放大影像。,扫描电子显微镜(SEM)以电子探针(极细电子束)在样品上做不停轰击扫描运动,将反射回来“二次电子”搜集成像。,分析型电子显微镜 将含有波谱(WDS)、能谱(EDS)等分析功效分析仪器与透射或扫描电镜结合起来,进行形态和成份分析电子显微镜。,19/71,扫描隧道式电子显微镜(STM)用纳米级直径金属探针、以极其靠近距离在样品表面上,做连续扫描运动,将隧道效应产生微弱电流检测出来,并处理成影像信息以供显示。,原子力显微镜(AFM)针尖与样品表面轻轻接触,因为针尖尖端原子与样品表面原子间存在极微弱排斥力,经过光学检测法或隧道电流检测法,可测得针尖对应于扫描各点位置改变,从而能够取得样品表面形貌信息。,环境扫描电镜(ESEM),20/71,4.2电子束产生,电子束由电子枪产生(灯丝),热电子发射:,场发射:,21/71,4.3电子束特点,含有一定指向和速度、本身带有负电荷电子流含有波、粒二象性,受“洛仑兹”力作用,穿越磁场时会偏转前进方向即折射,透镜成像基础,电子束轰击生物样品,会在不一样深度激发出不一样信息电子信号,只有样品很薄时,才能穿透样品另一侧,波长极短,不能被人眼直接观察;但可使某种胶片感光或荧光屏发光,从而转化为可供观察信息形式,波长与加速电压V 相关,电压恒定则波长也单纯(有利于成像质量和分辨率提升),故电镜影像无颜色可言,为单色图像,22/71,4.4 图像质量,视场选择正确,图像清楚。,衬度,黑与白对比程度,也称反差。,层次,黑与白之间过渡级数。,缩小光阑能够显著提升图像反差。,普通而言,反差与层次二者相互矛盾,以适中为宜。,23/71,4.5,电镜工作条件,稳压稳流降低色差、降低各种像散、提升成像质量。,供水散热给大功率元器件、真空扩散泵降温。,防磁、防震、防尘、恒温、恒湿等。,24/71,成像系统,1),物镜(O),紧贴在样品台下方,第一级成像元件,精度要求极高,强磁透镜,焦距很短,改变物镜电流,能够调整焦点,用以聚焦,以其主要性,常被谓之为电镜“心脏”,2)中间镜(I)和投影镜(P),在物镜之下,常设有中间镜、第一、第二投影镜,共同配合完成放大作用,改变各级透镜工作电流,可实现放大倍率变换M=MOMI MP1MP2,工作台面板上有对应旋钮,供使用者调整,电镜工作放大倍率M=各级中间镜和投影镜放大倍率之积,25/71,真空系统,保持镜体真空意义:,维持灯丝工作必要条件防止氧化、延缓老化、延长灯丝寿命,确保电子束正常传输不与气体分子碰撞发生电离,防止电子枪中高压放电,样品处于高真空中降低污染,26/71,5.2透射电镜样品制备,超薄切片,:通常以锇酸和戊二醛固定样品,以环氧树脂包埋,以热膨胀或螺旋推进方式推进样品切片,,切片厚度2050nm,,切片采取重金属盐染色,以增大反差,27/71,6.3扫描电镜特点,适合用于粗糙表面和断口分析观察,28/71,6.4,扫描电镜样品处理,1.要求试样能够是块状或粉末颗粒固体。,2.,镀膜方法有两种,真空镀膜。,离子溅射镀膜。,29/71,7.环境扫描电镜(ESEM),7.1 与SEM区分:,7.2 原理,气体放大原理,30/71,7.3 应用,含水样品及非导体,动态观察,原位观察,31/71,9.原子力显微镜(AFM),9.1原理及结构,原子力显微镜(Atomic Force Microscopy,AFM)是由IBM 企业Binnig与史丹佛大学Quate 于1986年所创造,其目标是为了使非导电样品表面结构也能够采取扫描探针显微镜(SPM)进行观察。,32/71,10.电子探针X射线显微分析,10.1 X射线基础知识,X射线产生,1)自由电子,2)电子定向高速运动,3)电子运动途中碰到障碍物突然减速,X射线谱,1)连续X射线谱,2)特征X射线谱,33/71,10.2波谱分析(WDX),应用:成份分析,原理,特征X射线,波长决定原子序数Z,布拉格定律:,34/71,限制条件:,35/71,10.3 能谱分析(EDX、EDS),特征X射线波长决定原子序数Z,波长与光子能量关系:,36/71,10.4波谱分析与能谱分析比较:,分辨率,灵敏度,检测速度,37/71,X衍射,1.1x射线物理学基础,1.1.2,1.1.3,1.1.4,38/71,1.3 x射线衍射理论,1、x射线衍射概念,2、,布拉格定律,=2dsin,n,3、布拉格方程讨论,1)选择反射,2)产生衍射极限条件,3)衍射花样与晶体结构关系,2d,2,2,sin,d=,4a,2,(,h,+,k,+,l,),2,2,2,立方晶系:,一、衍射产生及衍射方向,39/71,1.4.3粉末X射线衍射仪,40/71,热分析及其应用,热分析(thermal analysis),顾名思义,能够解释为以热进行分析一个方法。1977年在日本京都召开国际热分析协会(ICTA)第七次会议上,给热分析下了以下定义:,即热分析是在程序控制温度下,测量物质物理性质与温度关系一类技术。,第一节 热分析定义及发展概况,41/71,包含三个方面:,程序控制温度;,普通是指线性升温或线性降温,当然也包含恒温、循环或非线性升温、降温。,选择物质一个被测物理量P;,被测物理量P随温度T改变。,42/71,其中,P是物质一个物理量;,T是物质温度。,程序控制温度也就是把温度看作是时间函数:T(t),其中t是时间。,其数学表示式为:,Pf(T),则,Pf(T或t),43/71,第二章 热重法(TG),第一节,热重法定义及失重量计算方法,热重法(Thermogravimetry)简称TG,是在程序控制温度下,测量物质质量与温度关系一个技术。数学表示式为:,W=f(T或t),一、热重法定义,44/71,通常有以下两种类型:,等温(或静态)热重法:,非等温(或动态)热重法:,45/71,上图是一条经典TG曲线,纵坐标是重量(mg),从上向下表示重量降低,横坐标是温度(,或K),有时也可用时间(t),从左向右表示T或t增加。,二、热重曲线,46/71,三、,失重量计算,CuSO,4,5H,2,O TG曲线,47/71,平台AB表示试样在此温度区间是稳定,其组成即原试样CuSO,4,5H,2,O,其重量W,0,10.8mg;BC表示第一次失重,失重量W,0,W,1,1.55mg(下降小格数,0.2mg,小格即得),对应失重率W,0,W,1,W,0,100()14.35;平台CD代表另一个稳定组成,对应重量为,W,1;,一样,DE和FG分别代表第二、三次失重,失重量分别为16mg与08mg,失重率分别为14.8和7.4;总失重率W,0,W,3,W,0,100()36.6,即失水百分数;固体余重是136.663.4。平台EF和GH分别代表一个稳定组成,。,48/71,结晶硫酸铜分三阶段脱水:,CuSO,4,5H,2,O,CuSO,4,3H,2,O 2H,2,O,(1),CuSO,4,3H,2,O,CuSO,4,H,2,O 2H,2,O,(2),CuSO,4,H,2,O,CuSO,4,H,2,O,(3),49/71,第一次理论失重率为,2H,2,OCuSO,4,5H,2,O=14.4;,第二次失重率也是144;,第三次为72;,理论固体余重639,,总水量361。,与TG测定位基本一致。,说明TG曲线第一、二次失重分别失去2个H,2,O,第三次失去1个H,2,O。,50/71,第二节 影响热重曲线原因,一、仪器影响,1.浮力影响,(1)热天平在热区中,其部件在升温过程中排开空气重量在不停减小,即浮力在减小,也就是试样,表观增重,。,(2)热天平试样周围气氛受热变轻会向上升,形成向上热气流,作用在热天平上相当于减重,这叫对流影响。,51/71,2.坩埚影响,热分析用坩埚(或称试样杯、试样皿)材质,要求对试样、中间产物、最终产物和气氛都是惰性,即不能有反应活性,也不能有催化活性。,坩埚大小、重量和几何形状对热分析也有影响。,52/71,3.挥发物再冷凝影响,试样热分析过程逸出挥发物有可能在热天平其它部分再冷凝,这不但污染了仪器,而且还使测得失重量偏低,待温度深入上升后,这些冷凝物可能再次挥发产生假失重,使TG曲线变形,使测定不准,也不能重复。为处理这个问题可适当向热天平通适量气体。,53/71,二、操作条件影响,1.,升温速率影响,这是对TG测定影响最大原因。升温速率越大温度滞后越严重,开始分解温度T,i,及终止分解温度T,f,都越高。温度区间也越宽。,普通进行热重法测定不要采取太高升温速率,对传热差高分子物试样普通用510Kmin,对传热好无机物、金属试样可用1020Kmin,对作动力学分析还要低一些。,54/71,2.气氛影响,热天平周围气氛改变对TG曲线影响也非常显著。,在流动气氛中进行TG测定时,流速大小、气氛纯度、进气温度等是否稳定,对TG曲线都有影响。普通,气流速度大,对传热和逸出气体扩散都有利。使热分解温度降低。对于真空和高压热天平,气氛压力对TG也有很大影响。,55/71,3.试样用量、粒度和装填情况影响,试样用量多时,要过较长时间内部才能到达分解温度。,试样粒度对TG曲线影响与用量影响相同,粒度越小,反应面积越大,反应更易进行,反应也越快,使TG曲线T,i,和T,f,都低,反应区间也窄。,试样装填情况首先要求颗粒均匀,必要时要过筛。,56/71,第一节 DTA定义及DTA仪,第三章 差热分析法(DTA),一、DTA定义,差热分析(DTA)是在程序控制温度下,建立被测量物质和参比物温度差与温度关系一个技术。数学表示式为,TT,s,T,r,(T或t),其中:T,s,,,T,r,分别代表试样及参比物温度;T是程序温度;t是时间。统计曲线叫差热曲线或DTA曲线。,57/71,上图是一个经典吸热DTA曲线。纵坐标为试样与参比物温度差(,T),向上表示放热,向下表示吸热。横坐标为T或t,从左向右为增加方向。,58/71,第二节 影响DTA曲线原因,一、仪器方面影响,设计和制造仪器时,试样支持器与参比物支持器要完全对称,它们在炉子中位置及传热情况都要仔细考虑。,59/71,二、操作条件影响,1.升温速率影响,上图为升温速率对高岭土脱水反应DTA曲线影响,60/71,2.气氛影响,气氛成份对DTA曲线影响很大,能够被氧化试样在空气或氧气氛中会有很大氧化放热峰,在氮气或其它惰性气体中就没有氧化峰了。,对于不包括气相物理改变,如晶型转变、熔融、结晶等改变,转变前后体积基本不变或改变不大,则压力对转变温度影响很小,DTA峰温基本不变;但对于放出或消耗气体化学反应或物理改变,压力对平温度有显著影响,则DTA峰温有较大改变,如热分解、升华、汽化、氧比、氢还原等。另外,峰温移动程度还与过程热效应大小成正比。,61/71,三、样品方面影响,1.试样量影响,最近发展微量技术普通用515mg左右。最新仪器有用16mg试样。当前普通习惯把50mg以上算常量,50mg以下算微量。,试样用量越多,内部传热时间越长,形成温度梯度越大,DTA峰形就会扩张,分辨率要下降,峰顶温度会移向高温,即温度滞后会更严重。,62/71,2.试样粒度、形状影响,上图为硝酸银转变DTA曲线,(a)原始试样 (b)稍微粉碎试样 (c)仔细研磨试样,从左图中,我们能够看出:对试样要尽可能均匀,最好过筛。,63/71,3.,参比物和稀释剂影响,热分析用参比物普通都用,Al,2,O,3,即在高温下锻烧过氧化铝粉末。,作参比物条件:,第一,要求在所使用温度范围内是热惰性。,第二,要求参比物与试样比热及热传导率相同或相近,这么DTA曲线基线漂移小。,64/71,第一节 DSC定义,第四章 差示扫描量热法(DSC),一、DSC定义,DSC是测量输入到试样和参比物热流量差或功率差与温度或时间关系。,65/71,差示扫描量热测定时统计热谱图称之为DSC曲线,其纵坐标是试样与参比物功率差dH/dt,也称作热流率,单位为毫瓦(mW),横坐标为温度(T)或时间(t)。,66/71,普通在DSC热谱图中,,吸热(endothermic)效应用凸起峰值来表征(热焓增加),放热(exothermic)效应用反向峰值表征(热焓降低)。,67/71,第二节 仪器结构介绍,一、分类,按照测量方法不一样能够分为:,功率赔偿型,热流型,68/71,第三节 DSC与DTA比较,1、DSC与DTA测定原理不一样,DSC是在控制温度改变情况下,以温度(或时间)为横坐标,以样品与参比物间温差为零所需供给热量为纵坐标所得扫描曲线。,DTA是测量,T-T 关系,而DSC是保持,T=0,测定,H-T 关系。二者最大差异是DTA只能定性或半定量,而DSC结果可用于定量分析。,69/71,2、灵敏度和测量精度3、测量温度,70/71,第四节 DSC和DTA应用,71/71,
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