NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程.docx

NSTDA非晶硅薄膜太阳能组件生产工艺流程

TCO涂层玻璃

玻璃磨边机

玻璃清洗

第一次激光刻划

玻璃清洗

负载
气体箱 玻璃衬底 动力梯 负载箱

气体箱 负载箱 预热炉

非晶/微晶沉积的PECVD系统

冷却炉

涂敷薄膜硅的玻璃衬底

二次激光刻划

ZnO/Al Ag沉积溅射系统

三次激光刻划

层压