大流量尘埃粒子计数器的光学传感器.doc

大流量尘埃粒子计数器的光学传感器单 位：南京理工大学地 址：南京市孝陵卫200号 邮 编：210094联 系 人：卞保民 电 话：025-84315019电子信箱：bianbaomin_56成果简介：该项目研发了一种大流量尘埃粒子计数器的光学传感器。应用领域：超净环境洁净度检测。技术指标：采样流量28.3L/min，最小探测粒径0.3m，对0.38m和0.54m标准粒子的分辨率可以做到75%以上，计数效率效率大于90%（0.38m）。创新内容：结构简单，成本低，相关性能达到国家标准要求，在国内同类产品中第一个通过CMC认证。成熟程度：相关产品已产业化。