GB 50646-2020 特种气体系统工程技术标准.pdf

UDC中华人 民共和 国国家标准GB 5 0 6 4 6一 2 0 2 0特种气体系统工程技术标准T e c h n i c a l s t and a r d fo r s P e c i a l t y g a s s y s t e m e n g i n e e ri n g2 0 2 0 一0 2 一2 7 发布2 0 2 0 一1 0 一0 1 实施中 华 人 民 共 和 国 住 房 和 城 乡 建 设 部，人。，国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 软口 一况.中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术标准T e c h n i c a l s t a n d a r d f o r s p e c ia l t y g a s s y s t e m e n g i n e e r i n gGB 5 0 6 4 6一2 0 2 0主编部 门: 中华 人 民共 和 国工业 和信息 化部批准部门 : 中华人民共 和国住房和城乡建设部施行 日期 : 2 0 2 0 年1 0 月1 日中国计划出版社2 0 2 0 北京中华人民共和国住房和城乡建设部公告2 0 2 0年第 5 9 号住房和城乡建设部关于发布国家标准 特种气体系统工程技术标准 的公告 现批准 特种气体系统工程 技术标准 为国家标 准 ， 编号 为G B 5 0 6 4 6 一 2 0 2 0 ， 自2 0 2 0 年1 0 月1日起实施。其中， 第 3 . 1 . 5 ( 1 、2 ) 、 3 . 1 . 6 、 3 . 2 . 5 、 3 . 2 . 6 、 3 . 2 . 7 、 3 . 3 . 7 、 3 . 3 . 8 、 4 . 2 . 1 ( 2 、 5 、 6 ) 、4 . 3 . 1 、 4 . 4 . 4 、 4 . 4 . 7 、 5 . 2 . 1 ( 1 、 2 、 3 、 4 、 5 ) 、 5 . 2 . 3 ( 1 、 2 、 3 ) 、 5 ， 2 . 6 、5 . 4 . 5 、 6 . 1 . 3 、 6 . 1 . 4 、 6 . 2 . 6 、 7 . 2 . 1 、 7 . 2 . 9 、 9 . 1 . 3 、 9 . 2 . 5 、 9 . 2 . 6( 1 ) 、 9 . 3 . 2 、 9 . 3 . 1 5 、 9 . 3 . 1 7 、 1 0 . 6 . 2 ( 7 ) 、 1 0 . 7 . 2 条 ( 款) 为强制性条文， 必须严格执行。原国家标准 特种气体系统工程技术规范G B 5 0 6 4 6 一 2 0 1 1 同时废止 。 本标准在住房和城乡建设部门户网站( w w w. m o h u r d . g o v.。 n )公开， 并 由住房和城乡建设部标 准定额研究所组织 中国计划 出版社 出版发行。中华人民共和国住房和城乡建设部 2 0 2 0年 2月 2 7日月 IJ吕 根据住房和城乡建设部 关于印发 的通知 ( 建标 2 0 1 6 2 4 8 号) 的要求， 由信息产业电子第十一研究院科技工程股份有限公司和中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制完成。 本标准在编制过程 中， 编制组根据我 国特种气体 系统各类站房的设计 、 建造和运行 的实际情况， 进行了广泛 的调查研究， 同时考虑我国特种气体的技术来 源情况 ， 对 国外的有关标准进行 了研读 ， 并在全国范围内广泛向有关单位或个人征求意见的基础上 ， 修改 、 完善标准 ， 最后经审查定稿 。 本标准的主要技术 内容是 : 总则 、 术语 、 特种气体站房 、 特种气体工艺系统 、 生命安全系统 、 特种气体管道输送系统 、 建筑结构、 电气与防雷、 公用工程 、 特种气体 系统工程施工 、 特种气体 系统工程验收等 。 本标准修订的主要技术内容是 : 1 . 取消规范中的第 5 章“ 硅烷站” 的设置 ， 根据其专业 内容分别并人第 3 章至第 9 章的相关章节 。 2 . 合并规范中的第 10 章“ 给水排水及消防” 和第 n 章“ 采暖通风与空气调节” ， 合并后为新标准的第 9 章“ 公用工程” 。 3 . 根据我国工程建设 的实际情况及 国外相关规范的内容 ， 修改 了第 3 章“ 特种气体站房” 的部分内容 。 4 . 将第 n 章“ 特种气体系统验收” 的部分 内容纳人该章节 的条文说明。 本标准 中以黑体字标志的条文为强制性条文 ， 必须严格执行。 本标准 由住房和城乡建设部负责 管理和对强制性 条文的解释， 由工业和信息化部负责日常管理， 由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行本标准的过程中， 请各单位结合工程实践 ， 认真总结经验， 如发现需要修改或补充之处， 请将意见和有关资料寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有 限公司( 地址 : 四川成都市双林路 2 51号; 邮编: 6 1 0 0 2 1 ; 传真: 0 2 8 一 8 4 3 3 3 1 7 2 ; E-m a il : e d r i l l e d r i . 。 n ) ， 以供今后修订时参考 。 本 标 准 主 编 单 位 : 信息产业 电子第十一设计研究 院科技 工程股份有限公司 中国电子系统工程第二建设有限公司 本 标 准 参 编 单 位 : 上海正帆科技股份有限公司 中国电子工程设计院有限公司 工业和信息化部电子工业标准化研究院 液化空气( 中国) 投资有限公司 咸阳彩虹光电科技有限公司 成都爱德工程有限公司 中国电子科技集团公司第五十八研究所 本标准主要起草人员 : 李 骥 吴 军 闻诗源 薛长立 黄 勇 李东升 江元升 欧华星 夏双兵 陆 崎 张家红 王凌旭 宋 燕 钱春健 朱梅君 薛首文 毛冬凯 胡天碧 王鹏亮 顾爱军 本标准主要审查人员 : 郑秉孝 侯文川 崔永祥 刘小娇 薛东升 姜剑锋 周礼誉 张志辉 孙效义目次1 总则 (1)2 术语 (2)3 特种气体站房 ( 7) 3 . 1 一般规定 (7) 3 . 2 特种气体站房布置 (8) 3 . 3 特种气体设备布置 (9)4 特种气体工艺系统 ( 1 1) 4 . 1 一般规定 ( n ) 4 . 2 特种气体输送系统 ( 11 ) 4 . 3 吹扫和排气系统 ( 14 ) 4 . 4 硅烷工艺系统 ( 14 )5 生命安全系统 ( 16) 5 . 1 特种气体管理系统 ( 16 ) 5 . 2 特种气体探测系统 ( 16 ) 5.3 其他安全 设施 ( 18 ) 5 . 4 特种气体报警的联动控制 ( 19 )6 特种气体管道输送系统 ( 20) 6 . 1 一般规定 ( 20 ) 6 . 2 材料选型 ( 20 ) 6 . 3 管道设计 ( 21 ) 6 . 4 管道标识 ( 22 )7 建筑结构 ( 24 ) 7 . 1 一般规定 ( 24 ) 7 . 2 建筑防火 ( 24 ) l7 . 3 建筑构造措施8 电气与防雷8 .18 .2配电与照 明防雷与接地9 公用工程 9 . 1 给水排水 9 . 2 消 防 9 . 3 采暖通风与空气调节 :. 10特种气体系统工程施工 1 0 . 1 一般规定 10. 2 主要设备、 材料进场验收 10. 3 气瓶柜与气瓶架的安装 ， 10. 4 阀门箱与阀门盘的安装 10. 5 尾气处理装置及纯化器的安装 10. 6 特种气体管道安装 10. 7 特种气体管道改扩建工程施工n特种气体系统工程验收 1 1 . 1 一般规定 11. 2 设备验收 n. 3 管路与系统验收 n. 4 气体探测( 监控) 系统验收 附录 A特种气体管道氦检漏方法 附录 B 电子工业用特种气体的主要物化性质 ( 单一气体)本标准用词说明引用标准名录附: 条文说明(2 7)(2 8)(2 8)(2 8)(3 0)(3 0)(3 0)(3 1)(3 4)(3 4)(3 4)(3 6)(3 6)(3 7)(3 7)(4 1)(42)(4 2)(4 2)(4 2)(4 3)(4 4 )(4 5)(5 0)(5 1)(5 3 )Co n t e n t s1 G e n e r a l P r o v i s io n s2 Te r ms3 S p e c i a l t yg a s e s s t a t io nr o o m 3.1 G e n e r alr e q u ir e m e n ts ， . . . . . . . . . . . . . . . . 3 . 2 S p e c i a l t y g a s e s s t a t i o n r o o m 3 . 3 S p e c ia l t y g a s e s e q u ip m e n t la y o u t ” ” ” . “ ” ” “ ” ” ” 4 P r o c e s s s y s t e m o f s P e c i a l t yg a s e s 4 . 1 Ge n e r a l r e q u i r e me n t s . ”“”4 . 2 P i p e l i n e s y s t e m o f s p e c i a l t y g a s e s4.4。P u r g e a n d v e n t s y s t e mS i l a n e p r o c e s s s y s t e m5 L i f e s a f e t y s y s t e m5 . 1 Ma n a g e m e n t s y s t e m o f s p e c i a l t y g a s e s5 . 2 D e t e c t i o n s y s t e m o f s p e c i a l t y g a s e s5 . 3 S a fe t y p r o v i s i o n s 5 . 4 I n t e r c o n t r o l o f s P e c i a l t y g a s e s a l a r m6 P i p e l i n e o f s p e c i a l t y g a s e s 6 . 1 G e n e r a l r e q u i r e me n t s 6 . 2 Ma t e ri al s s ele c ti o n . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 . 3 P i p e l i n e d e s i g n 6.4 P ip el in e la b el in g . . . . . . . . . 7 Ar c h it e c t u r ea n ds t r u c t u r e “ ” ” ” ” ” ” “ 7 . 1 Ge n e r a l r e q u i r e me n t s 7 . 2 Ar c h i t e c t u r e f i r e P r o t e c t i o n“ . ” ” ” . ” “” ” ( 1 ) ( 2 ) ( 7 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) (1 1) (1 1) (1 1) (1 4) (1 4) (1 6) (1 6) (1 6) (1 8) (1 9) (2 0) (2 0) (2 0) (2 1) (2 2) (2 4) (2 4) (2 4) 3 7 . 3 Ar c h i t e c t u r e c o n s t r u c t l o n me a s u r e (2 7)8 E l e c t r ic a l a n d l ig h t n i n gP r o t e c t io n ( 2 5 ) 8 . 1 P o w e r d i s t r i b u t io n a n d l i g h t i n g ” ” “” ( 2 8) 8 . 2 L i g h t n i n g P r o t e c t i o n a n d g r o u n d i n g ( 2 8)9 U ti h t ye n g i n e e ri n g ( 3 。 ) 9 . 1 Wa t e r s u P P l y a n d d r a i n a g e ( 3 0) 9 . 2 F i r e p r o t e c t i o n ( 5 0) 9 . 3 He a t i n g v e n t i l a t i o n a n d a i r c o n d i t i o n i n g ( 3 1 )1 0 E n g in e e r in g c o n s t r u c t i o n o f s P e c ia l t y g a s e s s y s t e m ( 3 4 ) 1 0 . 1 G e n e r a l r e q u i r e m e n t s ( 3 4 ) 1 0 . 2 S i t e a c c e P t a n c e o f m a i n e q u i P m e n t a n d m a t e r i a l s ( 3 4) 1 0 . 3 I n s t a l l a t i o n o f G C a n d G R ( 3 6) 1 0 . 4 I n s t a l l a t i o n o f VMB a n d VMP (3 6) 1 0 . 5 I n s t a l l a t i o n o f e xha u s t g a s e s l o c a l s c r u b b e r a n d P u r i f i e r ( 3 7 ) 1 0 . 6 I n s t a l l a t i o n o f s p e c i a l t y g a s e s P I P e l i n e ( 3 7 ) 1 0 . 7 E n g i n e e r i n g c o n s t r u c t i o n o f r e v a m p a n d e x p a n s i o n p r oj e c t o f s p e c i a l t y g a s e s p i p e l i n e ( 4 1 )1 1 E n g i n e e r i n g in s p e c t io n a n d a c c e p t a n c e o f s p e c ia l t y g a s e s s y s t e m ( 4 2) 1 1 . 1 G e n e r a l r e q u i r e me n t s “ ( 4 2 ) 1 1 . 2 I n s p e c t i o n a n d a c c e p t a n c e o f e q u i p m e n t ( 4 2 ) 1 1 . 3 I n s p e c t i o n a n d a c c e p t a n c e o f p i p e l i n e s y s t e m ” ” ” ” ” ( 4 2 ) 1 1 ， 4 I n s p e c t i o na n d a c c e p t a n c e o f g a s e s d e t e c t i o n / m o n i t o r i n g s y s t e m . . 二” “ . . ” . . . ” 二 二 . . . 二 ( 4 3)APp e n d i x A He l i u m t e s t l e a k a g e o f s p e c i a l t y g a s ( 4 4 )AP p e n d i x B Th e c h ar a c t e ri s t i c s o f sP e ci a lt y g a s ( mo no- gas ) ( 4 5 )E x P l a n a t i o n o f w o r d i n g i n t h i s s t a n d a r d ( 5 0 )L is t o f q u o t e d s t a n d a r d s ( 5 1 )A d d it i o n : E x p l a n a t i o n o f p r o v i s i o n s ( 5 3 ) 41 总则1 . 0 . 1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、 施工及验收中贯彻国家现行法律、 法规， 满足产品生产要求， 确保人身和财产安全、 做到安全适用、 技术先进、 保护环境、 节约能源、 经济合理， 制定本标准。1 . 0 . 2 本标准适用于新建、 改建、 扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、 施工和验收。1 . 0 . 3 本标准不适用于特种气体的制取、 提纯、 灌装等生产及配套装置的工程设计 、 施工和验收。1 . 0 . 4 特种气体系统工程的设计、 施工及验收除应符合本标准的规定外 ， 尚应符合国家现行有关标准的规定。2 术语2 . 0 . 1 特种气体s p e c i a l t y g a s 电子产品生产外延 、 化学气相沉积、 刻蚀 、 掺杂等工艺 中使用的 自 燃性、 易燃性 、 剧 毒性 、 毒 性、 腐 蚀性 、 氧化性 、 惰 性 等特 殊气体。2 . 0 . 2 自 燃性气体p y r o p h o r i c g a s 也称作发火气体 ， 是指在空气 中等于或低于 54时可能 自燃的易燃气体。2 . 0 . 3 易燃性气体f l a m m a b l 。 g a s 一种在20和标准压力1 01. 3kP a 状态时空气混合有一定易燃范围的气体。2 . 0 . 4 剧毒性气体h i g h l y t o x i c g a s 半致死浓度( 空气中吸人4 h)小于或等于1 00mL / m “ 的气体。2 . 0 . 5 毒性气体t o x i 。 g a s 半致死 浓度 ( 空 气 中 吸 人 4 h) 大 于 1 00mL / m ， 但 不 超 过2 5 0 0 mL / m 3 的气体。2 . 0 . 6 腐蚀性气体c o r r o s i v e g a s 对材料或人体组织通过接触产生化学反应引起可见破坏或不可逆变化的气体 。2 . 0 . 7 氧化性气体o x i d i z i n g g a s 一般通过提供氧气 ， 比空气更能导致和促使其他物质燃烧的任何气体。2 . 0 . 8 惰性气体i n e r t g a s 在一般情况下不会与其他物质产生化学反应的气体。2 . 0 . 9 低蒸汽压力气体l o w v a p o r p r e s s u r e g a s 在室温下的饱和蒸气压小于。 . Z MP a 的气体。2 . 0 . 1 0 特种气体系统s p e c i a l t y g a s s y s t e m 特种气体 的储 存、 输送 与分 配过 程 的设备 、 管道 和 附件 的总称 。2 . 0 . 1 1 大宗硅烷系统b u l k s i l a n e s y s t e m 是指包括 150标准集装瓶组 、 长管拖车 、 钢瓶集装格 、 Y型卧式钢瓶， 或总的水容积超过 2 5 o L的硅烷系统。2 . 0 . 1 2 大宗特种气体系统b u l k s p e c i a l t y g a s s y s t e m 一般指单个气体设备容积大于4 00L的特种气体储存和送气系统。2 . 0 . 1 3 液态特种气体系统l i q u i d s p e c i a l t y g a s S y s t e m 是指以液态 输送 、 分 配， 在用 户终 端进 行 汽化 的特种 气体系统。2 . 0 . 1 4 气体探测系统g a s d e t e c t o r s y s t e m( G D S ) 设置在特种气瓶柜 、 气瓶架 、 阀门箱、 阀门盘及其他特种气体输送设备与管道所覆盖 区域， 通过检测本质气体或关联气体在空气中的浓度来判断本质气体的泄漏 ， 从而发出声光报警信号 、 提供探测数据的系统。2 . 0 . 1 5 气体管理系统g a s ma n a g e m e n t s y s t e m( G MS ) 包含特种气体探测系统、 应急处理系统、 工作管理系统、 监视系统 、 数据传输与处理系统的气体管理与控制系统的统称 。2 . 0 . 1 6 生产区f a b r i c a t io n a r e a 电子生产厂房内布置生产设备及相关的研发 、 测试的区域 ， 有些生产过程将 使用危 险性生产 材料 ， 该 区域为生 产厂房 的核 心区域 。2 . 0 . 1 7 特种气体间s p e c ia l t y g a s r o o m 电子生产厂房放置特种气瓶柜 、 气瓶架 、 卧式气瓶、 气瓶集装格 、 尾气处理装置等气体设备 ， 并通过管道向生产设备输送特种气体的房间。 32 . 0 . 1 8 特种气体站s p e c i a l t y g a s s t a t i o n 电子工厂放置卧式气瓶 、 气瓶集装格 、 150标准集装瓶组 、 长管拖车、 尾气处理装置等气体设备 ， 并通过管道向用生产厂房气设备输送特种气体的独立建( 构) 筑物 。2 . 0 . 1 9 特种气体站房s p e c i a l t y g a s S t a t i o n a n d r o o m 是指在电子工厂特种气体间与特种气体站的统称 。2 . 0 . 2 0 硅烷站S i l a n e s t a t i o n 是指放置硅烷或硅烷混合气体钢瓶 、 钢 瓶集装格 、 卧式钢瓶 、长管拖车或 150标准集装瓶组 、 硅烷气化装置 、 尾气处理装置 、 电气装置等 ， 并通过管道向生产厂房供应硅烷气体 的独立建 ( 构) 筑物或区域 。2 . 0 . 2 1 气瓶集装格t h e b u n d l e o f g a s c y l in d e r s 用专用金属框架 固定 ， 采用集气管将多只气体钢瓶接 口并联组合的气体钢瓶组单元 。2 . 0 . 2 2 1 5 0标准集装瓶组1 5 0 m o d u l e 采用集气管将气体钢瓶、 长管钢瓶或气瓶集装格相互连接并安装在专用金属框架上的组合集装模块 。2 . 0 . 2 3 气瓶柜g a s c a b i n e t ( G C ) 特种气体使用 的封闭式气瓶放置与气体输送设备 。2 . 0 . 2 4 气瓶架g a s r a c k ( G R ) 特种气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备 。2 . 0 . 2 5 阀门箱v a l v e ma n i f o l d b o x ( V MB ) 特种气体在输送过程 中使用的封闭式管道分配箱体 ， 用 于向一个或多个工艺设备提供特种气体。2 . 0 . 2 6 阀门盘v a l v e m a n if o l d p a n e l ( VMP ) 特种气体在输送过程中使用 的开放式管道分配装置 ， 用 于向一个或多个工艺设备提供特种气体 。2 . 0 . 2 7 尾气处理装置l o c a l s c r u b b e r 自 燃性、 易燃性 、 剧毒性 、 腐蚀性等气体的排气与吹扫气体的现 4场处理装置 ， 处理后 的尾气达到规定排放浓度 ， 并排人用气车间的排气管道。2 。 0 . 2 8 卧式气瓶h o r i z o n t a l c y l i n d e r 用于储存较多特种气体的气瓶。一般水容积为4 5 O L 、 9 5 O L 。2 . 0 . 2 9 限流孔板r e s t r i c t f l o w o r if i c e ( R F O) 限定流体系统最大流量的一种装置。2 . 0 . 3 0 过流开关e x c e s s f l o w s w i t c h ( E F S ) 流体系统的流量超出设定值时， 给出开关信号。2 . 0 . 3 1 负压气源s u b 一 a t mo s p h e r i 。 g a s s o u r c e ( S A G S ) 1 型 : 在标准温度 和压 力下 ， 钢瓶 内和阀 门出 口均为负压 的气源 。 2型: 在标准温度 和压力下 ， 钢瓶 内为正压 ， 阀门出 口为负压的气源 。2 . 0 . 3 2 不相容性i n c o mp a t i b l e 不同气体混合后即发生化学反应， 释放出能量并对环境产生危害作用的特性 。2 . 0 . 3 3 吹扫p u r g e 用氮气或惰性气体对特种气体系统内的本质气体或工作气体进行置换 的过程 。2 . 0 . 3 4 排气v e n t 特种气体设备与系统中排出的本质气体或工作气体。2 . 0 . 3 5 气体面板g a s p a n e l 集成切断阀门、 调压阀、 过滤器 、 压力计等零部件 的专用设施 。2 . 0 . 3 6 半致死浓度l e t h a l 。 o n c e n t r a t i o n 5 0 ( L C S O ) 在空气中使健康的成年大 白鼠连续吸人 l h ， 能引起受试 白鼠在 14d内死亡一半 的气体的浓度。2 . 0.2 . 0.3 7 爆炸浓度下限值l o w e x p l o s i o n l imi t ( L E L )易燃性气体在空气或氧化气体中发生爆炸的浓度下限值 。3 8 最高允许浓度值t h r e s h o l d l imi t v a l u e ( T L V) 5 毒性气体在空气中的浓度小于该值时， 充分且持续暴露于该环境中的作用人员的健康不会受到损害。2 . 0 . 3 9 最高允许浓度值 一时间加权平均允许浓度t h r es holdli m it val u e- t im e w e ig h t e d a v e ra g e ( T L 、 几 T 认 叭) 作业人员按每天 s h ， 每周 sd 工作制工作， 健康不会受到损害的毒性气体时间加权平均浓度 。3 特种气体站房3 . 1 一 般 规 定3 . 1 . 1 特种气体站房应布置在独立的建( 构) 筑物或生产厂房的特种气体间内。3 . 1 . 2 布置在生产厂房内的特种气体间， 可采用气瓶柜、 气瓶架、卧式气瓶、 气瓶集装格等向生产设备供应特种气体。3 . 1 . 3 布置在单独建( 构) 筑物的特种气体站， 可采用气瓶集装格 、 卧式气瓶、 150标准集装瓶组 、 长管拖车等向生产设备供应特种气体。3 . 1 . 4 布置在生产区的特种气体设备应符合下列规定: 1 特种气体的最大允许使用储存量应符合表3 . 1 . 4 的规定;特种气体应设置气瓶柜、 排风装置;生产区应设置 自动消防喷淋系统 ， 并应用防火隔墙与其他，山今区域相互隔离;4 当特种气体的使用储存量超过表 3 . 1 . 4 规定的数量时 ， 应设置特种气体间。 表 3 . 1 . 4 生产厂房生产区最大允许使用储存且序号气体种类气体总量( m 3 )1易燃性气体5 6 。 02毒性气体9 2 。 03剧毒性气体1 . 14自燃性气体2 。85氧化性气体1 7 0. 06腐蚀性气体9 2 . 0注: 气体总量为标准状态下的气体体积量。3 . 1 . 5 特种气体间的设计应符合下列规定: 1 特种气体间应设置排风系统， 并应按负压设计; 2 特种气体间应采用防火隔墙相互隔离 ; 3 特种气体间的设计应符合现行国家标准 建筑设计防火规范 G B 5 0 0 1 6的有关规定。3 . 1 . 6 当生产厂房内的自燃性特种气体的储存量超过57m3 时，应设置独立的特种气体站。3 . 1 . 7 生产厂房内生产区的低蒸汽压力特种气体设备宜靠近生产设备布置 。3 . 1 . 8 特种气体间应集中布置在生产厂房一楼或其他辅助楼层，位置宜靠外墙。3 . 1 . 9 特种气体间的附近区域宜布置货运通道、 货运电梯等运输设施 。3 . 2 特种气体站房布置3 . 2 . 1 特种气体应根据其物理化学性能及安全特性进行分类和工程设计 。3 . 2 . 2 特种气体站房的生产的火灾危险性类别应符合现行国家标准 建筑设计防火规范 G B 5 0 0 1 6 的有关规定。3 . 2 . 3 生产厂房 内的特种气体 间根据气体性质宜分为易燃性气体 间、 毒性 ( 腐 蚀性 ) 气体 间、 惰性 ( 氧化性 ) 气体 间、 剧 毒性气 体间等 。3 . 2 . 4 独立的特种气体站根据气体种类、 兼容性等因素应分为不同种类 的特种气体间。3 . 2 . 5 大宗硅烷系统气体设备应布置在独立的开敞式建筑 ， 不得布置在地下室。开敞式建筑应带屋顶遮盖 ， 外墙面的遮挡部 分不得大于三面， 且墙体与墙体之间、 墙体与屋顶结构之间应设置 自然通风的空间。硅烷容器与四周障碍物的最小距离小于障碍物高度的 2 倍时 ， 大宗硅烷 系统应设置机械通风。 83 . 2 . 6 硅烷站内大宗容器之间以及容器与工艺气体盘之间的距离小于g m时， 应设置Z h以上的防火隔断。3 . 2 . 7 硅烷气瓶柜 内的硅烷钢瓶应固定在钢架上 ， 两个钢瓶之间应采用钢板隔离 ， 钢板厚度应大于或等于 6 m m。3 . 2 . 8 非大宗硅烷系统气体设备可放置在室内， 不得建在地下 室 。3 . 2 . 9 布置在开敞式建筑中的大宗硅烷站应在设备区域设置防雨防晒措施。3 . 3 特种气体设备布置3 . 3 . 1 不相容特种气体的气瓶架应布置在不同房间里; 当布置在同一房间时 ， 气瓶架之间的距离应大于 6 m。3 . 3 . 2 同时具有易燃性和毒性气体的设备应放在易燃性气体间。3 . 3 . 3 特种气体房间内的气瓶柜 、 气瓶架 、 尾气处理装置 、 气瓶集装格等设备宜靠墙布置， 具有相 同或相近性质的气体设备应布置在一 起 。3 . 3 . 4 特种气体间的中间通道宽度不得小于Z m， 特种气体设备的布置应预留满足设备运输、 维修与操作 、 安全逃生的空间。3 . 3 . 5 液化特种 气体设 备和系统 应根据其 气体特性 设 置加热装置 。3 . 3 . 6 液化特种气体设备应设置不同种类的磅秤装置。3 . 3 . 7 剧毒性特种气体供应间应配置专用容器或堵漏工具、 排风装置和剧毒性特种气体在事故状态下的排风处理装置。3 . 3 . 8 剧毒性特种气体供应间应设置双锁安全门、 防盗窗和防止人员入侵的技术防范设施。3 . 3 . 9 特种气体站房内特种气体生产储量达到重大危险源的数量时 ， 设计应符合现行国家标准 危险化学品重大危 险源辨识 G B1 8 2 1 8 的有关规定。3 . 3 . 1 0 特种气体系统的电气控制室的设计应符合下列规定: 9电气控制室应布置在与特种气体间相邻的控制室 内;电气控制室应以耐火极限不小于3 . 00h的隔墙和不低于，121 . 50h的楼板 与特种气体 间隔开 ， 穿越 隔墙 的管道孔 隙应 以防火材料填堵。4 特种气体工艺系统4 . 1 一 般 规 定4 。 1 。1 1拖车 ; 2 3 44。 1 。 2特种气体工艺系统应设置下列主要装置 :储存 、 供气 的气瓶 柜、 气瓶 架、 集 装格 、 卧式 气 瓶、 长管气体分配用阀门箱 、 阀门盘 ;辅助氮气吹扫系统 ;尾气处理装置 。特种气体工艺系统 的设计应满足电子产 品生产工艺对特种气体工艺参数 、 污染控制 、 使用安全的要求 。4 . 1 . 3 不相容的特种气体的排气管道不得接人同一排气系统。4 . 1 . 4 不相容的特种气体的排风管道不得接入同一排风系统 。4 . 2 特种气体输送系统4 . 2 . 1 特种气体系统的气瓶柜、 气瓶架的设置应符合下列规定 : 1 气瓶柜与气瓶架可采用单工艺气瓶外置吹扫气源 、 双工艺气瓶外置吹扫气源、 双工艺气瓶内置吹扫气源等多种结构配置 ; 2 不相容气体瓶不应放置于同一气瓶柜或气瓶架中; 3 气瓶柜、 气瓶架应设置作业用气体面板 ; 4 系统的供应能力应经过热力学和流体力学计算核实; 5 气瓶柜闭门时应保持不低于 100 P a负压， 柜 内的排风换气次数不得低于3 00次/h; 6 自燃性、 易燃性、 毒性、 腐蚀性气瓶柜应在排风出口设置固定式气体泄漏探测器 ; 7 气瓶柜柜体外壳钢板厚度不应小于 2 . s m m， 并应有 防腐 l 1蚀涂层 ; 8 气瓶柜门应具备自动关闭功能， 并应配备防爆玻璃观察窗; 气瓶柜的固定螺栓设计应满足当地地震设防烈度的要求 ; 9 气瓶柜、 气瓶架应设置清晰明确的安全标识牌 ; 10当气瓶柜放置在有爆炸和火灾危险环境 时， 其设计应符合现行国家标准 爆炸危险环境电力装置设计规范 G B 5 0 0 5 8的有关规定。4 . 2 . 2 特种气体的气瓶柜、 气瓶架的气体面板设置应符合下列规定: 1 自 燃性、 易燃性、 毒性、 腐蚀性气体面板应设有紧急关断阀门， 并应为常闭气动阀门， 位置应靠近气瓶 ; 2 气瓶压力大于0 . I MP a 的自燃性、 易燃性、 毒性、 腐蚀性气体面板应设有过流开关 ; 3自 燃性、 易燃性 、 毒性 、 腐蚀性气体面板应设有惰性气体吹扫 、 辅助抽真空装置， 真空管路应设止 回阀; 4 气体面板应设置工艺气体排气 口。4 . 2 . 3 可燃和自燃性特种气体的气瓶柜应符合下列规定: 1 当硅烷气瓶使用直径 0 . 25m m 限流孔时 ， 气瓶 柜的排风换气次数不得低于 1 2 0 0 次/ h ， 当使用直径 0 . 巧m m 限流孔时 ， 气瓶柜的排风换气次数不得低于400 次/ h ， 且气瓶柜的负压应连续监控; 2自 燃性特种气体 的气瓶柜应设置紫外、 红外火焰探测器 ; 3 易燃性特种气体 的气瓶柜应设置水喷淋系统 ; 4 自燃性特种气体 的气瓶柜应在气瓶之间设置隔离钢板 。4 . 2 . 4 大宗特种气体系统应符合下列规定: 1 应设置独立气瓶 、 储罐或长管拖车等的压力指示或钢瓶称重装置 、 连接回型管、 气流控制的气体面板、 吹扫氮气单元 、 电气控制柜等装置 ; 2 大宗特种气体系统 的功能配备应符合本标准第 4 . 2 . 1 条 l 2的有关规定 ; 3 液态气体瓶应设计钢瓶加热与保温装置; 4 减压降温效应显著的气体， 应在减压前对气体进行预热。4 . 2 . 5 液态特种气体系统的设置应符合下列规定: 1 应设置独立的液体槽罐、 液体输送柜、 连接回型管、 驱动气体单元、 吹扫氮气单元、 电气控制柜、 重量计量等装置; 2 液态特种气体系统宜利用驱动气体压力将液态特种气体从槽罐输送至液态特种气体柜， 或从液态特种气体柜直接驱动输送至用气工艺设备， 液态特种气体亦可采用泵送; 3 用气点应设置鼓泡器或蒸发器， 将液态特种气体鼓泡或直接蒸发， 以汽化形式输送至工艺反应设备; 4 液态特种气瓶柜功能设置应符合本标准第 4 . 2 . 1 条的有关规定 ; 5 具有自 燃性和遇水反应性的金属有机物前驱体液体， 供应柜应设置相应灭火系统 ; 底部应设置收集槽 ， 并应放置吸附材料 。4 . 2 . 6 自 燃性、 易燃性、 毒性、 腐蚀性特种气体系统的阀门箱设置应符合下列规定 : 1 应设置进气管路隔离 阀及压力指示装置 ; 2 3 44 . 2 。 7规定 : 1 2 34 。 2。 8气体支路应设有独立的压力控制调节 阀、 过滤器 ;