基于锤状沟槽型石英音叉的CO光声探测技术.pdf

第4 5卷第4期压 电 与 声 光V o l.4 5N o.42 0 2 3年8月P I E Z O E L E C T R I C S&A C OU S TOO P T I C SA u g.2 0 2 3 收稿日期:2 0 2 3-0 5-1 0 基金项目:重庆市技术创新与应用发展专项重点项目(微型化光声光谱二氧化碳传感器开发与产业化)作者简介:李尚志(1 9 9 3-),男,山西省晋城市人,博士,主要从事光声光谱及痕量气体检测技术的研究。文章编号:1 0 0 4-2 4 7 4(2 0 2 3)0 4-0 5 7 4-0 5D O I:1 0.1 1 9 7 7/j.i s s n.1 0 0 4-2 4 7 4.2 0 2 3.0 4.0 1 9基于锤状沟槽型石英音叉的C O光声探测技术李尚志1,吴高米1,袁宇鹏1,杨 靖1,张祖伟1,武红鹏2,董 磊2,马晋毅1(1.中电科芯片技术(集团)有限公司,重庆4 0 1 3 3 2;2.山西大学 激光光谱研究所,量子光学与光量子器件国家重点实验室,山西 太原0 3 0 0 0 6)摘 要:针对传统商用标准石英音叉(Q T F)具有振臂间距小和共振频率高等不足,该文面向气体检测领域的需求设计并制备了一款新型锤状沟槽型Q T F,大气压下其共振频率为9.3 6k H z,品质因数高达1 50 0 0。该Q T F的振臂间距为1mm,使发散角较大的中红外光束能够无阻碍地通过振臂中心。此外,该Q T F振臂顶部设有锤状结构,振臂表面刻蚀有沟槽,能提升压电耦合效率,从而增强光声信号。结合石英增强光声光谱(Q E P A S)技术开发了基于该新型音叉的高灵敏C O气体传感系统。测试结果表明,C O气体传感系统的最小检测限低至71 0-9,归一化噪声等效吸收系数达到8.71 0-9c m-1W/H z。通过对大气C O的连续实时监测,验证了该传感系统的有效性和可靠性。关键词:石英音叉;光声光谱;气体检测;C O;实时监测中图分类号:T N 3 8 4;TM 9 3 1 文献标志码:A C OP h o t o a c o u s t i cD e t e c t i o nT e c h n o l o g yB a s e do nH a mm e r-S h a p e dG r o o v e dQ u a r t zT u n i n gF o r kL IS h a n g z h i1,WUG a o m i1,Y U A NY u p e n g1,Y A N GJ i n g1,Z H A N GZ u w e i1,WUH o n g p e n g2,D O N GL e i2,MAJ i n y i1(1.C E T CC h i p sT e c h n o l o g yG r o u pC o.,L t d.,C h o n g q i n g4 0 1 3 3 2,C h i n a;2.S t a t eK e yL a b.o fQ u a n t u mO p t i c sa n dQ u a n t u m O p t i c sD e v i c e s,I n s t i t u t eo fL a s e rS p e c t r o s c o p y,S h a n x iU n i v e r s i t y,T a i y u a n,0 3 0 0 0 6,C h i n a)A b s t r a c t:I nv i e wo f t h e l i m i t a t i o n so f s m a l l p r o n gs p a c i n ga n dh i g hr e s o n a n t f r e q u e n c yo fc o mm e r c i a l s t a n d a r dq u a r t zt u n i n gf o r k(Q T F),ah a mm e r-s h a p e dg r o o v e dQ T Fw a sd e s i g n e da n dm a n u f a c t u r e d t om e e t t h en e e d so f t h eg a sd e t e c t i o n.T h er e s o n a n t f r e q u e n c yo f t h eQ T Fi s9.3 6k H za t a t m o s p h e r i cp r e s s u r e,a n dt h eq u a l i t y f a c t o r i su pt o1 50 0 0.T h ep r o n gs p a c i n go f t h eQ T Fi s1mm,e n a b l i n gt h em i d-i n f r a r e db e a mw i t ha l a r g ed i v e r g e n c ea n g l e t op a s s t h r o u g ht h ep r o n gs p a c i n g w i t h o u th i n d r a n c e.I na d d i t i o n,t h et o po ft h e Q T Fp r o n gi se q u i p p e d w i t hah a mm e r-l i k e s t r u c t u r e,a n d t h e s u r f a c e o f t h ep r o n g i s e t c h e dw i t hg r o o v e s,w h i c hc a n i m p r o v e t h ep i e z o e l e c t r i c c o u-p l i n ge f f i c i e n c ya n de n h a n c et h ep h o t o a c o u s t i cs i g n a l.C o m b i n e dw i t hq u a r t z-e n h a n c e dp h o t o a c o u s t i cs p e c t r o s c o p y(Q E P A S)t e c h n o l o g y,ah i g h l ys e n s i t i v ec a r b o nm o n o x i d e(C O)s e n s i n gs y s t e mb a s e do nt h en o v e lQ T Fi sd e v e l-o p e d.A c c o r d i n gt ot h e t e s t r e s u l t s,t h em i n i m u md e t e c t i o nl i m i to fC Os e n s i n gs y s t e mi s71 0-9a n dt h en o r m a l-i z e dn o i s ee q u i v a l e n ta b s o r p t i o nc o e f f i c i e n t i s8.71 0-9c m-1W/H z.T h ee f f e c t i v e n e s sa n dr e l i a b i l i t yo ft h es e n s o rs y s t e ma r ev e r i f i e dt h r o u g hc o n t i n u o u sr e a l-t i m em o n i t o r i n go f a t m o s p h e r i cC O.K e yw o r d s:q u a r t z t u n i n gf o r k;p h o t o a c o u s t i cs p e c t r o s c o p y;g a sd e t e c t i o n;C O;r e a l-t i m em o n i t o r i n g 0 引言C O是一种无色无味的有毒气体,主要来源于含碳燃料的不完全燃烧,包括汽车尾气、供热锅炉、发电及炼焦等,是造成大气污染的主要原因之一。C O可与羟基(OH)反应形成对流层臭氧,造成对流层污染,因此,C O体积浓度水平成为衡量大气污染程度的重要指标之一。目前环境监测站主要使用非分散红外(N D I R)技术进行大气C O体积浓度的连续监测,其体积浓度检测限为51 0-8,响应时间为5m i n。因此,具备1 0-9级探测灵敏度和快速响应的C O传感器对于城市以及工业排放的实时监测具有重要意义。石英增强光声光谱(Q E P A S)技术是一种用于衡量气体传感的高灵敏度和高选择性的光谱检测技术,其核心器件是由石英音叉(QT F)和微型谐振管(AmR)通过声学耦合构成的光谱测声器1-3。其中AmR作为QT F的声学谐振腔,必须根据QT F的共振频率对其尺寸参数(长度和内径)进行优化,从而达到最佳的声学探测性能。由于QT F尺寸小,故Q E P A S技术可实现极小体积下的高性能气体传感。C O气 体 分 子 吸 收 最 强 的 基 频 振 动 带 位 于4.6m附近,这一波段的激发光可通过中红外量子级联激光器(Q C L)产生,但Q C L的光束发散角较大,与QT F耦合效果较差。为了实现Q C L光源与Q E P A S传感器的一体化集成,科研人员做了许多努力,但在系统小型化方面仍存在很多限制3-5。如在使用Q C L作为激励光源时,需要在光谱测声器前安装空间滤波器对光束进行整形,但这将增加传感系统的体积。同时为了让中红外光束更易通过光谱测声器,要求AmR长度小,内 径大,这将导 致Q E P A S系统的性能退化。在Q E P A S技术中,影响激光源和光谱测声器间光学耦合效率的主要因素是QT F两个振臂的间距,因为光束在传播过程中易被狭窄的间距阻挡,从而产生类条纹背景,导致Q E P A S探测性能变差,如传统的共振频率为3 2.7k H z的商用标准音叉,其振臂间距仅有0.3mm。因此,在不使用空间滤波器的情况下会产生上述现象。而振臂间距较大的QT F能与内径较大的AmR耦合,从而允许中红外光束“洁净地”通过光谱测声器。此外,适当设计QT F振臂几何形状可降低其共振频率,有助于增强对C O等低弛豫率气体检测的信号强度。这是由于只有分子弛豫时间远小于调制周期时才能够产生有效声波,否则会造成Q E P A S信号降低及相位延迟的情况6。因此,通过改变振臂的尺寸和几何形状进行QT F的设计和制作,对于不同场景下的Q E P A S传感应用具有重要意义。其中最大的设计要点是获得了具有低共振频率、低电阻值及高品质因数(Q)的QT F,因为这些参数共同决定了Q E P A S系统的检测性能4,7-8。本文提出了一种大间距、低频率、高Q值、低阻值的锤状沟槽型QT F,实现了与大发散角中红外光束的联用,然后基于该QT F搭建了高灵敏的大气C O传感系统,并通过测试验证了Q E P A S系统的准确性和可靠性。1 音叉设计分析设计与中红外光束耦合效率高,并能在低弛豫率气体下正常工作的QT F应考虑以下4因素:1)振臂间距大,便于光束通过,从而降低噪声水平。2)共振频率低,适应低弛豫气体检测。3)品质因数高,提升探测性能。4)电阻值低,增强压电耦合。根据欧拉-伯努利方程9-1 0,QT F的基频共振频率f与其振臂参数有关:f=1.1 9 42w8 1 2l2Ewl2(1)式中:E=0.7 21 01 1N/m2为石英的弹性模量;=26 5 0k g/m3为石英的密度;l为振臂长度;w为振臂宽度。QT F的电阻R代表等效谐振电路中的损耗,它决定了压电电荷的产生能力。R与QT F振臂几何参数的关系为Rl2t w(2)式中t为振臂厚度。Q由Q T F振臂间的所有能量损耗(如由周围流体造成的损耗、支撑损耗、表面损耗、体积损耗和热弹性损耗等)机制决定。所有损耗同步产生,且每项损耗都是独立的。虽然这些损耗均强烈依赖于QT F振臂尺寸,但目前仍无任何理论模型可使用单一而简洁的公式兼顾所有的损耗机制。根据大量实验数据可得到与QT F振臂尺寸相关的经验方程5:Q=3.7 81 05w tl(3)由式(1)可知,若要降低QT F的共振频率f,设计时须减小QT F振臂宽度(w)、增大振臂长度(l),但这将导致R增大,Q降低。原则上可通过增大t来补偿Q的损失,然而化学刻蚀的石英晶体在t1mm时,不能保证其边缘轮廓清晰。相反,增大w、减小l虽能提供良好的Q和R,但会增加QT F的共振频率。综上分析,该文设计了一款大间距的锤状沟槽型QT F(简称为QT FT G),其结构尺寸如图1所示。图中,振臂长l、厚t、振臂间距g分别为9.4mm、0.2 5mm、1mm,其中锤状部分振臂宽为2mm,非575 第4期李尚志等:基于锤状沟槽型石英音叉的C O光声探测技术锤状部分的振臂宽为1.4mm。锤状结构的设计能增加QT F振臂顶部的质量,使振臂部分的应力场增强,进一步提升了QT F的压电转化效率。此外,在QT F振臂表面还刻蚀了4个深度为5 0m的矩形沟槽,使不同电极的间距缩短,降低了QT F的电阻值,从而增强了压电信号。在大气压下,QT FT G的共振频率、品质因数及电阻值分别为93 6 1.2H z,1 56 7 2和1 4 0.3k。图1 锤状沟槽型音叉的结构示意图2 Q E P A S传感系统搭建图2为基于QT FT G的C O传感系统的实验装置图。其中Q E P A S光谱测声器由QT FT G和一对“在轴”配置的声学谐振管组成,即QT F垂直插入两个相同的微型管之间。光谱测声器放置在体积为1 3 0c m3的气室中,在气室两侧各安装一个直径为2 5.4mm、透射率9 5%的氟化钙光学窗口,以提供光束路径。包含光谱测声器的整个气室部分被称为光声 探 测 模 块(A DM)。本 文 采 用 中 心 波 长 为4.6 1m的Q C L作为激励光源,其产生的准直激光束发散角为1m r a d,在距离1.1 m处光斑直径为2.7mm。使用温度控制器和电流驱动器来控制Q C L的温度和电流。利用焦距为7 5mm的平凸透镜将准直光束在4.3c m(瑞利长度)处聚焦为一个约0.2 0mm2的圆形光斑,从而使激光束无阻挡地通过位于A DM内部的光谱测声器。图2 Q E P A S实验装置原理图为提升探测灵敏度,采用了2f波长调制解调技术,将激光调制频率设置为QT FT G共振频率的1/2(f=f0/2=4.6 8k H z)。待测信息经QT F压电效应被转换为电信号,并传输至跨阻抗前置放大器中,然后使用锁相放大器对该信号进行2f解调。此外,向A DM内充入2.5%的水蒸气,有效地提升了气体混合物中的C O分子弛豫率。实验时A DM中气体压 力 和 气 体 流 速 分 别 保 持 为1 0 1.3k P a和8 0c m3/m i n。3 实验结果与讨论3.1 Q E P A S系统参数优化为达 到C O传 感 系 统 的 最 佳 性 能,需 要 对Q E P A S系统的各项参数进行优化。本文首先优化了光谱测声器中AmR的几何参数,优化过程如图3所示。由图可看出,谐振管的最佳长度和内径分别为9.0 0mm和1.6 5mm;当2根谐振管分别安装在距离QT F振 臂 表 面2 0m、距 离QT F顶 部1.5mm处时,信噪比(S N R)提升了2 8倍。图3 声学谐振腔尺寸参数优化将Q C L光源的温度和中心电流分别设置为3 8.5和2 1 2mA,使其输出波长能够覆盖C O位于21 6 9.2c m-1的特征吸收线(线强4.51 0-1 9c m/m o l)。使用体积比为1 0-6的C ON2混合标气来确定Q E P A S系统的最佳运行条件,并加入2.5%的水蒸气以提高光声信号。为了最大化Q E P A S信号,还需要对气体流速和电流调制深度进行优化和选择。如图4(a)所示,将加湿的N2导入A DM,传675压 电 与 声 光2 0 2 3年 感系统的噪声水平会随气体流速增加而变大,当高于8 0c m3/m i n时增加显著,因此选定最佳气体流速为8 0c m3/m i n,此时噪声值为1.6 2V。此外,由图4(b)可看出,在调制深度为1 5mA时,Q E P A S信号值达到最大(为2 4 3V)。结合Q C L光功率为2 1mW,可得出传感系统的1最小检测限为71 0-9,比N D I R技术高约1个数量级,对应的归一化噪声等效吸收(NN E A)系数为8.71 0-9c m-1W/H z。该NN E A比使用空间滤波器的基于商用标准QT F的C O-Q E P A S传感系统的NN E A系数(1.6 11 0-8c m-1W/H z)提高了1.9倍3。图4 流速及电流调制深度优化3.2 Q E P A S系统性能评估为了验证Q E P A S系统的传感性能,将激光器波长固定在气体吸收线中心,以直接测量的2f信号幅值作为时间的函数,并将采集时间设置为1s,对大气C O进行连续在线监测。该传感系统被放置在某单位内,对2 0 2 2年1 1月1 5日对该单位的C O浓度进行连续2 4h的实时监测,其结果与距离该传感系统7k m处的国家环境监测站(C N EMC)公布的C O体积浓度数据对比如图5所示。C N EMC主要使用N D I R方法进行C O检测。由图5可以看出,基于QT FT G的C O传感系统测得的大气C O体积浓度变化趋势与C N EMC公布的数据非常吻合。此外,N D I R系统的数据更新率较慢(1个数据点/h),而基于QT FT G的C O传感系统的高灵敏度和快速响应能力实现了更快的采样速率,因此能够实现更高精度的C O体积浓度监测。图5 大气C O体积浓度连续监测图4 结束语本文设计了一种振臂间距为1mm的新型锤状沟槽型QT F,其共振频率为9.3 6k H z,品质因数在大气压力下高达1 50 0 0。此外,振臂顶端的锤状结构和振臂表面的4个矩形沟槽能提升QT F的压电转化效率,进一步增强了QT F的探测性能。同时在添加2.5%水蒸气的 情况下,新型 锤状沟槽型QT F可与Q C L光源联用并实现1 0-9级C O检测。基于该QT F的Q E P A S传感系统的灵敏度比商用N D I R传感器 提升了约1个数量级,比基于标准3 2.7k H z商用QT F的Q E P A S传感系统的灵敏度提升了约2倍。此外,该传感系统还具有响应时间快和体积小的优势。通过Q E P A S传感系统进行大气C O的连续监测,并将数据与环境监测站记录的数据进行比对,验证了该传感系统的准确性和可靠性。这些特征将为Q E P A S传感原理样机开发成现场应用的便携式设备提供技术基础。由于Q E P A S响应与激光功率成正比,随着高功率Q C L光源的高速发展,未来该技术的探测灵敏度能得到进一步提升。参考文献:1 KO S T E R E VA A,B AKH I R K I N Y A,C UR LRF,e ta l.Q u a r t z-e n h a n c e d p h o t o a c o u s t i c s p e c t r o s c o p yJ.O p t i c sL e t t e r s,2 0 0 2,2 7(2 1):1 9 0 2-1 9 0 4.2 D ONGL e i,KO S T E R E V A A,THOMA Z Y D,e ta l.Q E P A Ss p e c t r o p h o n e s:D e s i g n,o p t i m i z a t i o n,a n dp e r-f o r m a n c eJ.A p p l i e dP h y s i c sB,2 0 1 0,1 0 0:6 2 7-6 3 5.3 MAY u f e i,L EW I C K IR,R A Z E GH IM,e ta l.Q E P A Sb a s e dp p b-l e v e l d e t e c t i o no fC Oa n dN2Ou s i n gah i g hp o w e rCW D F B-Q C LJ.O p t i c sE x p r e s s,2 0 1 3,2 1(1):1 0 0 8-1 0 1 9.4 L IS h a n g z h i,D ONG L e i,WU H o n g p e n g,e ta l.P p b-l e v e l q u a r t z-e n h a n c e dp h o t o a c o u s t i cd e t e c t i o no f c a r b o nm o n o x i d ee x p l o i t i n gas u r f a c eg r o o v e dt u n i n gf o r kJ.775 第4期李尚志等:基于锤状沟槽型石英音叉的C O光声探测技术A n a l y t i c a lC h e m i s t r y,2 0 1 9,9 1(9):5 8 3 4-5 8 4 0.5 P A T I M I S C O P,S AMP AO L O A,G I G L I O M,e ta l.T u n i n gf o r k sw i t ho p t i m i z e dg e o m e t r i e s f o rq u a r t z-e n-h a n c e dp h o t o a c o u s t i cs p e c t r o s c o p yJ.O p t i c sE x p r e s s,2 0 1 9,2 7(2):1 4 0 1-1 4 1 5.6 WU H o n g p e n g,Y I NX u k u n,D ON GL e i,e t a l.S i m u l t a-n e o u s d u a l-g a sQ E P A S d e t e c t i o n b a s e d o n af u n d a m e n t a l a n do v e r t o n ec o m b i n e dv i b r a t i o no f q u a r t zt u n i n gf o r kJ.A p p lP h y sL e t t,2 0 1 7,1 1 0(1 2):1 2 1 1 0 4.7 P A T I M I S C OP,S AMP AO L OA,G I G L I O M,e t a l.O c-t u p o l ee l e c t r o d ep a t t e r nf o rt u n i n gf o r k sv i b r a t i n ga tt h ef i r s to v e r t o n em o d ei nq u a r t z-e n h a n c e dp h o t o a c o u s t i cs p e c t r o s c o p yJ.O p t i c sL e t t e r s,2 0 1 8,4 3(8):1 8 5 4-1 8 5 7.8 袁宇鹏,张灵舒,李小飞,等.基于纳米修饰导电高分子的电化学气体报警器J.压电与声光,2 0 2 1,4 3(6):7 9 5-7 9 8.YUAN Y u p e n g,Z HAN G L i n g s h u,L IX i a o f e i,e ta l.E l e c t r o c h e m i c a lg a s a l a r m d e t e c t o r b a s e d o n n a n om o d i f i e d c o n d u c t i v e p o l y m e rJ.P i e z o e l e c t r i c s&A c o u s t o o p t i c s,2 0 2 1,4 3(6):7 9 5-7 9 8.9 P A T I M I S C OP,S AMP AO L O A,D ON GL e i,e ta l.A-n a l y s i s o ft h e e l e c t r o-e l a s t i c p r o p e r t i e s o f c u s t o mq u a r t zt u n i n gf o r k sf o ro p t o a c o u s t i cg a ss e n s i n gJ.S e n s o r s a n dA c t u a t o r sB:C h e m i c a l,2 0 1 6,2 2 7:5 3 9-5 4 6.1 0李康敏,张柯,刘永斌,等,压电悬臂梁振动控制系统联合仿 真 与 实 验 研 究 J.压 电 与 声 光,2 0 2 2,4 4(6):9 1 7-9 2 4.L IK a n g m i n,Z HANGK e,L I U Y o n g b i n,e ta l.C o-s i m-u l a t i o n a n d e x p e r i m e n t a l s t u d y o n p i e z o e l e c t r i cc a n t i l e v e rb e a mv i b r a t i o nc o n t r o l s y s t e mJ.P i e z o e l e c-t r i c s&A c o u s t o o p t i c s,2 0 2 2,4 4(6):9 1 7-9 2 4.(上接第5 6 9页)1 7C I S MA R U A,MA R C E L L IR.C P W m a g n e t o s t a t i cw a v eb a n d s t o p r e s o n a t o r sC/S.l.:3 5 t h E u r o p e a nM i c r o w a v eC o n f e r e n c e(E u M C),2 0 0 5,3 5(1/3):1 9 7-2 0 0.1 8MA E D AA,S U S A K IM.M a g n e t o s t a t i cw a v ep r o p a g a t i o ni ny t t r i u m-i r o n-g a r n e tw i t hm i c r o f a b r i c a t e ds u r f a c e sJ.I E E ET r a n s a c t i o n so nM a f n e t i c s,2 0 0 6,4 2:3 0 9 6-3 0 9 8.1 9C I S MA RU,A L D R I GO,M,I O R D AN E S C U S,e ta l.EMB Gm a g n e t o s t a t i cw a v eb a n ds t o pr e s o n a t o r sC/P a r i s,F r a n c e:S y m p o s i u mo nD e s i g n,t e s t,I n t e g r a t i o n&P a c k a g i n go fMEM Sa n dMO EM S(D T I P),2 0 1 9.2 0Z E RMAN E A,S AUV I A C B,D J OUA B L I A L,e ta l.T u n a b i l i t yo f m e t a m a t e r i a lc o m p a c tb a n d-s t o pf i l t e r su s i n g Y I G s u b s t r a t eJ.J o u r n a lo fE l e c t r o m a g n e t i cW a v ea n dA p p l i c a t i o n s,2 0 1 9,2 2(1 3):1-9.2 1燕志刚,王大勇,陈运茂,等.带状线谐振器结构及由谐振器结构组成的磁调谐陷波器:C N 2 0 2 0 1 0 5 7 9 5 3 4.XP.2 0 2 0-0 6-2 3.2 2D US,YAN GQ,F ANX,e t a l.Ac o m p a c t a n d l o w-l o s st u n a b l eb a n d p a s s f i l t e r u s i n gY I G/G G Gf i l ms t r u c t u r e sJ.I E E EM i c r o w a v e a n d W i r e l e s s T e c h n o l o g yL e t t e r s,2 0 2 2,3 3(3):2 5 9-2 6 2.(上接第5 7 3页)3 L AM CS.Ar e v i e wo f t h e t i m i n ga n df i l t e r i n gt e c h n o l-o g i e si ns m a r t p h o n e sC/N e w O r l e a n s,L A,U S A:2 0 1 6I E E EI n t e r n a t i o n a lF r e q u e n c yC o n t r o lS y m p o s i u m(I F C S),I E E E,2 0 1 6:1-6.4 Z HOUC,YAN G Y,C A IH,e ta l.T e m p e r a t u r e-c o m-p e n s a t e dh i g h-f r e q u e n c ys u r f a c ea c o u s t i cw a v ed e v i c eJ.I E E E E l e c t r o n D e v i c e L e t t e r s,2 0 1 3,3 4(1 2):1 5 7 2-1 5 7 4.5 A B B OT TB,CHE N A,D AN I E LT,e ta l.T e m p e r a t u r ec o m p e n s a t e ds a ww i t hh i g hq u a l i t yf a c t o rC/W a s h-i n g t o n,D C,U S A:2 0 1 7I E E EI n t e r n a t i o n a lU l t r a s o n i c sS y m p o s i u m(I U S),I E E E,2 0 1 7:1-1.6 R U B YR,G I L B E R TS,L E ESK,e t a l.N o v e l t e m p e r a-t u r e-c o m p e n s a t e d,s i l i c o nS AW d e s i g nf o rf i l t e ri n t e-g r a t i o nJ.I E E E M i c r o w a v ea n dW i r e l e s sC o m p o n e n t sL e t t e r s,2 0 2 1,3 1(6):6 7 4-6 7 7.7 张文斌,高岳,张敏杰.晶圆超精密磨削加工表面层损伤的研究J.电子工业专用设备,2 0 1 5,4 4(5):2 1-2 4.Z HANG W e n b i n,G AOY u e,Z HANG M i n j i e.S t u d yo ns u r f a c e l a y e rd a m a g ei nw a f e ru l t r a-p r e c i s i o ng r i n d i n gJ.S p e c i a lE q u i p m e n tf o rE l e c t r o n i cI n d u s t r y,2 0 1 5,4 4(5):2 1-2 4.875压 电 与 声 光2 0 2 3年