空气洁净度.doc

  洁净空间单位体积空气中，以大于或等于被考虑粒径的粒子最大浓度限值进行划分的等级标准。
· 简介：对洁净室空气洁净度等级标准的国际标准ISO14644—1与美国标准FS209E的主要不同点进行列举并对IS014644—1在等级依据公式及表达格式方面的特点进行对比分析。
· 关键字：空气洁净度等级，被考虑粒径，累积分布，粒子，超微粒子，大粒子 
l前言
　　洁净室空气洁净度等级国际标准IS014644—1出台后，为人家认可并应用。美国有关当局於2001年11月底宣布废除FS209E标准而代之以ISO14644—1。从而解决了FS209标准中存在着的主要矛盾，即其洁净度等级不适应对空气洁净的越来越高的控制要求及国际单位制应采用的需要。
　　此前，FS209标准的英制等级虽然存在上述矛盾，但在国际范围内大家还是一直沿用，原因是：
　　(1)虽然各主要国家都有各自的洁净室洁净度等级标准，但基本是参照FS209标准，仅在单位制及等级符号上进行变换，还不如采用FS209标准更为大家所熟悉及更易于沟通。1989年日本摆脱FS209的影响而颁布JISB9920洁净度等级标准，改用较合理的等级依据公式，IS014644—1的等级公式就是采用它的，但当时是难为大家所认同的。
　　(2)1992年，FS209E颁布替代FS209D标准，旨在对以上存在的主要矛盾进行解决，但解决得并不理想。因此大家并没按其首先推荐采用的国际单位制的等级而还是沿用原英制等级(英制等级FS209亦还允许采用)。
　　ISO14644—1标准适应发展要求，是有所发展的。现把其与FS209E的主要不同点作一介绍，并对其等级(依据)公式及表达格式等方面作一对比分析，可能有助于应用。
2空气洁净等级标准IS014644一l与FS209的不同点
　　两标准的主要不同点汇总列于表1。
3有关洁净度等级依据。表达格式等特点的对比分析
　　3．1等级依据公式不同而引起结果差异IS014644—1的洁净度等级依据公式与FS209E的不同，主要是将参照粒径由0．5m改为0．1m；累积分布指数n，由2．2改为2．08。其结果的差异是：
　　(1)ISO1级比FS209E的M1级有更严的要求。ISO1级对被考虑粒径为0．1m时，其≥0．1m粒径最大浓度限值，即被滤粒径下粒子累计分布最大浓度值，为lOpc／m，而M1级则为350pc／m，其对照可见表2。ISO的等级就更适应对洁净度控制要求更严的发展需要。
　　(2)由于FS209的英制洁净度等级已为大家所熟悉，改用其他标准的等级必然需要有种方便的对应关系。ISO3、4、5、6、7、8级各与英制的1、10、100、1000、10000、100000级相当，即在被考虑粒径D=0．51J,m时，其≥O．51a,m粒子的最大浓度限值是相同的；ISO的相关等级参数都是整数，若n仍采用FS209E的2．2，则与英制等级对应的ISO等级序数就不是整数了，因此问题不在于2．08还是2．2更符合实际，而在于方便合适，因为大气中悬浮粒子累计分布指数n，其经验值一般在22．3间。

空气洁净度的定义
1．空气洁净度和级别
    空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高，含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。
2．我国的洁净室的标准
    我们国家洁净室的标准是《洁净厂房设计规范》（GB50073-2001），标准中规定的空气洁净度等级等同采用国际标准ISO1466-1中的有关规定。洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度等级见下表：
      空气洁净度等级表2.0.1
等级
每立方米空气中≥ 0.5 微米尘粒数
每立方米空气中≥ 5 微米尘粒数
100 级
≤ 35 × 100 （ 3.5 ）

1000 级
≤ 35 × 1000 （ 35 ）
≤ 250 （ 0.25 ）
10000 级
≤ 35 × 10000 （ 350 ）
≤ 2500 （ 2.5 ）
100000 级
≤ 35 × 100000 （ 3500 ）
≤ 25000 （ 25 ）

本规范修订过程中，涉及洁净技术的各有关单位、科技人员和专家们都强烈希望“规范应与国际接轨”，为此，本规范修订稿的第 3 章“空气洁净度等级”拟等效采用国际标准 ISO 14644-1——“洁净室及相关被控环境——第一部分，空气洁净度的分级”，现将该标准中的有关部分摘录如下:
3.2  等级级别
    空气中悬浮粒子洁净度以等级序数 N 命名。每一被考虑的粒径 D 的最大允许粒子浓度按下式确定:
`C_N = 10^N×(0.1/D)^(2.08)`
(1)

式中 CN—被考虑粒径的空气悬浮粒子最大允许浓度(PC/M3·空气)。CN 是以四舍五厂房设计规范入至相近的整数，通常有效位数不超过三位数。
     N—ISO 等级级别，数字不超过 9，ISO 等级级别 N 之间的中间数可以按 0.1为最小允许增量进行规定。
     D—被考虑的粒径(ΜM)。
     0.1—常数，其量纲为ΜM。
表 1 列出的空气中悬浮粒子洁净度等级及其相应的大于或等于被考虑的粒径的粒子浓度。在有争议的情形下，从公式(1)得出的浓度 CN 可作为标准值。

注：由于涉及测量过程的不确定性，故要求用三个有效的数据来确定浓度等级水平。
3.3  命名
    对洁净室或洁净区空气悬浮粒子洁净度的命名应包括:
    等级级别，以“ISO CLASSN”表示；
    分级时占用状态；
    由分级公式(1)确定的，被考虑的粒径(含多种尺寸)及相应浓度，被考虑的各粒径在 0.1～5ΜM 范围内。
    如进行一个以上被考虑粒径的测量时，其较大的粒径(如 D2)至少 1.5 倍于下一较小粒径(如 D1)。
即:      D2≥1.5D1”

净厂房设计规范 Code for design of clean room GB 50073-2001(上)

洁净厂房设计规范 Code for design of clean room GB 50073-2001(下)
PrOfEsSionAl KnOwlEd...   2009-06-02 21:59   阅读119   评论0  
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6.2.4 送风、回风和排风系统的启闭应联锁。正压洁净室联锁程序为先启动送风机，再启动回风机和排风机；关闭时联锁程序应相反。
    负压洁净室联锁程序与上述正压洁净室相反。
6.2.5 非连续运行的洁净室，可根据生产工艺要求设置值班送风，并应进行净化空调处理。
6.3 气流流型和送风量
6.3.1 气流流型的设计，应符合下列要求:
    1 气流流型应满足空气洁净度等级的要求。空气洁净度等级要求为1～4级时，应采用垂直单向流；空气洁净度要求为5级时，应采用垂直单向流或水平单向流。
    2 空气洁净度要求为6～9级时，宜采用非单向流。
    3 洁净室工作区的气流分布应均匀。
    4 洁净室工作区的气流流速应满足生产工艺要求。
6.3.2 洁净室的送风量，应取下列三项中的最大值:
    1 为保证空气洁净度等级的送风量。
    2 根据热、湿负荷计算确定的送风量。
    3 向洁净室内供给的新鲜空气量。
6.3.3 为保证空气洁净度等级的送风量，按表6.3.3中有关数据进行计算或按室内发尘量进行计算。

6.3.4 洁净室内各种设施的布置，应考虑对气流流型和空气洁净度的影响，并应符合下列要求:
    1 单向流洁净室内不宜布置洁净工作台；非单向流洁净室的回风口宜远离洁净工作台。
    2 需排风的工艺设备宜布置在洁净室下风侧。
    3 有发热设备时，应采取措施减少热气流对气流分布的影响。
    4 余压阀宜布置在洁净气流的下风侧。

6.4 空气净化处理
6.4.1 空气过滤器的选用、布置和安装方式应符合下列要求:
    1 空气净化处理应根据空气洁净度等级合理选用空气过滤器。
    2 空气过滤器的处理风量应小于或等于额定风量。
    3 中效(高中效)空气过滤器宜集中设置在空调系统的正压段。
    4 亚高效和高效过滤器作为末端过滤器时宜设置在净化空调系统的末端；超高效过滤器必须设置在净化空调系统的末端。
    5 设置在同一洁净区内的高效(亚高效、超高效)空气过滤器的阻力、效率宜相近。
    6 高效(亚高效、超高效)空气过滤器安装前应进行检漏，安装应严密，安装方式应简便、可*，易于检漏和更换。
6.4.2 对较大型的洁净厂房的净化空调系统的新风宜集中进行空气净化处理。
6.4.3 净化空调系统设计应合理利用回风。
6.4.4 净化空调系统的风机宜采取变频措施。
6.4.5 净化空调系统的电加热器、电加湿器应采取安全保护措施。寒冷地区的新风系统应设置防冻保护措施。
6.5 采暖通风、防排烟
6.5.1 对8级以上的洁净室不应采用散热器采暖。
6.5.2 洁净室内产生粉尘和有害气体的工艺设备，应设局部排风装置。
6.5.3 在下列情况下，局部排风系统应单独设置:
    1 排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性和发生交*污染。
    2 排风介质中有毒与无毒，毒性相差很大。
    3 易燃、易爆与一般排风。
6.5.4 洁净室的排风系统设计，应采取下列措施:
    1 防止室外气流倒灌。
    2 含有易燃、易爆局部排风系统的防火防爆。
    3 排风介质中有害物浓度及排放量超过国家或地区有害物排放浓度及排放量规定时，应进行无害化处理。
    4 对含有水蒸气和凝结性物质的排风系统，应设坡度及排放口。
6.5.5 换鞋、存外衣、盥洗、厕所和淋浴等生产辅助房间，应采取通风措施，其室内的静压值，应低于洁净区。
6.5.6 根据生产工艺要求设置事故排风系统。事故排风系统应设自动和手动控制开关，手动控制开关应分别设在洁净室及洁净室外便于操作的地点。
6.5.7 洁净厂房疏散走廊，应设置机械防排烟设施。洁净室机械防排烟系统宜与通风、净化空调系统合用，但必须采取可*的防火安全措施，并应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ16)的要求。
6.6 风管和附件
6.6.1 净化空调系统的新风管段应设置电动密闭阀、调节阀；送、回风管段应设置调节阀；洁净室内的排风系统应设置调节阀、止回阀或电动密闭阀等。
6.6.2 下列情况之一的通风、净化空调系统的风管应设防火阀:
    1 风管穿越防火分区的隔墙处，穿越变形缝的防火隔墙的两侧。
    2 风管穿越通风、空气调节机房的隔墙和楼板处。
    3 垂直风管与每层水平风管交接的水平管段上。
6.6.3 净化空调系统的风管和调节风阀、高效空气过滤器的保护网、孔板、扩散孔板等附件的制作材料和涂料，应根据输送空气的洁净度要求及其所处的空气环境条件确定。
    洁净室内排风系统的风管和调节阀、止回阀、电动密闭阀等附件的制作材料和涂料，应根据排除气体的性质及其所处的空气环境条件确定。
6.6.4 净化空调系统的送、回风总管及排风系统的吸风总管段上，应采取消声措施，满足洁净室内噪声要求。
    净化空调系统的排风管或局部排风系统的排风管段上，应采取消声措施，满足室外环境区域噪声标准的要求。
6.6.5 在空气过滤器的前后，应设置测压孔或压差计。在新风管、送风、回风总管段上，宜设置风量测定孔。
6.6.6 风管、附件及辅助材料的选择应符合下列要求:
    1 净化空调系统、排风系统的风管应采用不燃材料。
    2 排除腐蚀性气体的风管，应采用耐腐蚀的难燃材料。
    3 排烟系统的风管应采用不燃材料，其耐火极限应大于0.5h。
    4 附件、保温材料、消声材料和粘结剂等均采用不燃材料或难燃材料。
7 给水排水
7.1 一般规定
7.1.1 洁净厂房内的给水排水干管应敷设在技术夹层或技术夹道内，也可埋地敷设。洁净室内管道宜暗装，与本房间无关的管道不宜穿过。
7.1.2 管道外表面可能结露时，应采取防护措施。防结露层外表面应光滑易于清洗，并不得对洁净室造成污染。
7.1.3 管道穿过洁净室墙壁、楼板和顶棚时应设套管，管道和套管之间应采取可*的密封措施。无法设置套管的部位也应采取有效的密封措施。
7.2 给水
7.2.1 洁净厂房内的给水系统应根据生产、生活和消防等各项用水对水质、水温、水压和水量的要求分别设置。管道的设计应留有余量，以适应工艺变动。
7.2.2 水质要求较高的纯水供水管道应采用循环供水方式，并应符合下列规定:
    1 循环附加水量为使用水量的30%～100%。
    2 干管流速为1.5～3m/s。
    3 不循环的支管长度应尽量短，其长度不大于6倍管径。
    4 供水干管上应设有清洗口。
    5 管道系统各组成部分必须密封，不得有渗气现象。
7.2.3 管材选择应符合下列要求:
    1 纯水管道的管材必须满足生产工艺对水质的要求，根据需要可选择不锈钢管和聚氯乙烯(UPVC、CL-PVC)、聚丙烯(PP)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS)、聚偏氟乙烯(PVDF)等管材。
    2 工艺设备用循环冷却给水和回水管可采用镀锌钢管、不锈钢管或工程塑料管。
    3 管道配件应采用与管道相应的材料。
7.2.4 纯水和冷却水管道应预留清洗口。
7.2.5 洁净厂房周围应设置洒水设施。
7.3 排水
7.3.1 排水系统应根据工艺设备排出的废水性质、浓度和水量等特点确定。有害废水经废水处理，达到国家排放标准后排出。
7.3.2 洁净室内的排水设备以及与重力回水管道相连接的设备，必须在其排出口以下部位设水封装置，排水系统应设有完善的透气装置。
7.3.3 洁净室内的地漏等排水设施的设置应符合下列要求:
    1 空气洁净度等级高于6级的洁净室内不应设地漏。
    2 6级洁净室内不宜设地漏，如必须设置时应采用专用地漏。
    3 等于或高于7级的洁净室内不宜设排水沟。
    4 等于或高于7级的洁净室内不应穿过排水立管；其它洁净室内穿过排水立管时不应设检查口。
7.3.4 洁净厂房内应采用不易积存污物、易于清洗的卫生设备、管道、管架及其附件。
7.3.5 洁净厂房宜设置消防排水设施。
7.4 消防给水和灭火设备
7.4.1 洁净厂房必须设置消防给水系统，其设计应根据生产的火灾危险性、建筑物耐火等级以及建筑物的体积等因素确定。
7.4.2 洁净厂房的消防给水和固定灭火设备的设置应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)的要求。
7.4.3 洁净室的生产层及上下技术夹层(不含不通行的技术夹层)，应设置室内消火栓。消火栓的用水量不小于10L/s，同时使用水枪数不少于2支，水枪充实水柱长度不小于10m，每只水枪的出水量应按不小于5L/s计算。
7.4.4 洁净厂房内各场所必须配置灭火器，其设计应满足现行国家标准《建筑灭火器配置规范》(GBJ 140)的要求
7.4.5 洁净厂房内设有贵重设备、仪器的房间设置固定灭火设施时，除应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)的规定外，还应符合下列要求:
    1 当设置自动喷水灭火系统时，宜采用预作用式自动喷水灭火系统。
    2 当设置气体灭火系统时，不应采用卤代烷1211以及能导致人员窒息和对保护对象产生二次损害的灭火剂。

8 气体管道

8.1 一般规定

8.1.1 气体管道的干管，应敷设在上、下技术夹层或技术夹道内，当与水、电管线共架时，应设在其上部。与本房间无关的管道不应穿过。
8.1.2 洁净室的气体管道及管架宜设装饰面板。当有可燃气体管道时，应敷设在装饰面板外侧，水平敷设时应在其顶部。
8.1.3 高纯气体管道设计应符合下列要求:
    1 按气体流量、压力或生产工艺需要确定管径，气体管道最小管径不小于Φ6×1mm。
    2 管道系统应尽量短。
    3 不应出现不易吹除的“盲管”等死角。
    4 管道系统应设必要的吹除口和取样口。
8.1.4 气体管道穿过洁净室墙壁或楼板处的管段不应有焊缝。管道与墙壁或楼板之间应采取可*的密封措施。
8.1.5 可燃气体和氧气管道的末端或最高点应设放散管。放散管引至室外应高出屋脊1m，并应有防雨、防杂物侵入的措施。可燃气体还应符合本规范第8.4.2条的要求。
8.1.6 气体净化装置应根据气源和生产工艺对气体纯度要求进行选择和配置。气体终端净化装置宜设在邻近用气点处。
8.1.7 气体过滤器应根据生产工艺对气体洁净度要求进行选择和配置。高纯气体终端过滤器应设在*近用气点处。
8.1.8 进入洁净厂房的气体管道控制阀门、过滤器、减压装置、压力表、流量计、在线分析仪等，宜集中设在气体入口室。
8.1.9 甲类火灾危险生产用气体入口室的设置，应符合下列规定:
    1 毗连布置时，宜设在单层厂房*外墙或多层厂房的最上一层*外墙处。
    2 应有良好的通风。
    3 泄压面积和电气防爆应按现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)、《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》(GB 50058)的规定执行。
8.2 管道材料和阀门

8.2.1 气体管道材料和阀门的选用，应满足生产工艺对气体纯度、露点的要求和使用特点，并按气体性质，经技术经济比较后确定。
8.2.2 高纯气体管道和阀门应根据生产工艺要求，按下列规定选用:
    1 气体纯度大于或等于99.999%，露点低于-76℃，应采用内壁电抛光的00Cr17Ni12Mo2Ti低碳不锈钢管(316L)或内壁电抛光的0Cr18Ni9不锈钢管(304)。阀门宜采用隔膜阀或波纹管阀。
    2 气体纯度大于或等于99.99%，露点低于-60℃，应采用内壁电抛光的0Cr18Ni9不锈钢管(304)。除可燃气体管道宜采用波纹管阀外，其它气体管道宜采用球阀。
8.2.3 干燥压缩空气露点低于-70℃，应采用内壁抛光的0Cr18Ni9不锈钢管(304)；露点低于-40℃，宜采用0Cr18Ni9不锈钢管(304)或热镀锌无缝钢管。阀门宜采用波纹管阀或球阀。
8.2.4 阀门材质宜与相连接管道材质相适应。

8.3 管道连接

8.3.1 气体管道连接，应符合下列规定:
    1 管道连接应采用焊接，但热镀锌钢管应采用螺纹连接。螺纹连接的密封材料应符合本规范第8.3.3 条的要求。
    2 不锈钢管应采用氩弧焊，以对接焊或承插焊连接，但高纯气体管道宜采用内壁无斑痕的对接焊。
8.3.2 管道与设备的连接应符合设备的连接要求。当采用软管连接时宜采用金属软管。
8.3.3 管道与阀门的连接，应符合下列规定:
    1 高纯气体管道与阀门连接的密封材料，按生产工艺和气体特性的要求宜采用金属垫或双卡套。
    2 螺纹或法兰连接处的密封材料应采用聚四氟乙烯。

8.4 安全技术

8.4.1 下列部位应设可燃气体报警装置和事故排风装置，报警装置应与相应的事故排风机联锁:
    1 甲类火灾危险生产的气体入口室。
    2 管廊，上、下技术夹层或技术夹道内有可燃气体管道的易积聚处。
    3 洁净室内使用可燃气体处。
8.4.2 可燃气体管道应设下列安全技术措施:
    1 接至用气设备的支管和放散管，应设置阻火器。
    2 引至室外的放散管，应设防雷保护设施。
    3 应设导除静电的接地设施。
8.4.3 氧气管道应设下列安全技术措施:
    1 管道及其阀门、附件应经严格脱脂处理。
    2 应设导除静电的接地设施。
8.4.4 气体管道应按不同介质设明显的标识。
8.4.5 各种气瓶库应集中设置在洁净厂房外。当日用气量不超过1瓶时，气瓶可设置在洁净室内，但必须采取不积尘和易于清洁的措施。
 9 电气
 9.1 配电

9.1.1 洁净厂房低压配电电压应采用220/380V。带电导体系统的型式宜采用单相二线制、三相三线制、三相四线制。系统接地的型式宜采用TN-S或TN-C-S系统。
9.1.2 洁净厂房的用电负荷等级和供电要求应根据现行国家标准《供配电系统设计规范》(GB 50052)和生产工艺要求确定。主要生产工艺设备由专用变压器或专用低压馈电线路供电，有特殊要求的工作电源宜设置不间断电源(UPS)。净化空调系统用电负荷、照明负荷应由变电所专线供电。
9.1.3 洁净厂房的消防用电设备的供配电设计应按现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)规定执行。
9.1.4 电源进线(不包括消防用电)应设置切断装置，并宜设在洁净区外便于管理的地点。
9.1.5 洁净室内的配电设备，应选择不易积尘、便于擦拭的小型暗装设备，不宜设置大型落地安装的配电设备。
9.1.6 洁净室内的电气管线宜暗敷，穿线导管应采用不燃材料。洁净区的电气管线管口及安装于墙上的各种电器设备与墙体接缝处应有可*的密封措施。

9.2 照明
9.2.1 洁净室内照明光源，宜采用高效荧光灯。若工艺有特殊要求或照度值达不到设计要求时，也可采用其它形式光源。
9.2.2 洁净室内一般照明灯具为吸顶明装。如灯具嵌入顶棚暗装时，其安装缝隙应有可*的密封措施。
    洁净室内不应采用格栅型灯具。
9.2.3 无采光窗洁净区工作面上的照度值，不应低于表9.2.3规定的数值。

9.2.4 无采光窗洁净区混合照明中的一般照明，其照度值应按各视觉等级相应混合照度值的10%～15%确定，并不低于200lx。
9.2.5 洁净室内一般照明的照度均匀度不应小于0.7。
9.2.6 洁净厂房备用照明的设置应符合下列要求:
    1 洁净厂房内应设置备用照明。
    2 备用照明宜作为正常照明的一部分。
    3 备用照明应满足所需场所或部位进行必要活动和操作的最低照度。
9.2.7 洁净厂房内应设置供人员疏散用的应急照明。在安全出口、疏散口和疏散通道转角处应按现行国家标准设置疏散标志。在专用消防口处应设置红色应急照明灯。

9.3 通信
9.3.1 洁净厂房内应设置与厂房内外联系的通信装置。洁净厂房内生产区与其它工段的联系，宜设生产对讲电话。
9.3.2 洁净厂房根据生产管理和生产工艺特殊需要，宜设置闭路电视监视系统。
9.3.3 洁净厂房的生产区(包括技术夹层)、机房、站房等均应设置火灾探测器。洁净厂房生产区及走廊应设置手动火灾报警按钮。
9.3.4 洁净厂房应设置消防值班室或控制室，其位置不应设在洁净区内。消防控制室应设置消防专用电话总机。
9.3.5 洁净厂房的消防控制设备及线路连接应可*。控制设备的控制及显示功能，应符合现行国家标准《建筑设计防火规范》(GBJ 16)及《火灾自动报警系统设计规范》(GB 50116)的规定。洁净区内火灾报警应进行核实，并应进行如下消防联动控制:
    1 启动室内消防水泵，接收其反馈信号。除自动控制外，还应在消防控制室设置手动直接控制装置。
    2 关闭有关部位的电动防火阀，停止相应的空调循环风机、排风机及新风机，并接收其反馈信号。
    3 关闭有关部位的电动防火门、防火卷帘门。
    4 控制备用应急照明灯和疏散标志灯燃亮。
    5 在消防控制室或低压配电室，应手动切断有关部位的非消防电源。
    6 启动火灾应急扩音机，进行人工或自动播音。
    7 控制电梯降至首层，并接收其反馈信号。
9.3.6 洁净厂房中易燃、易爆气体的贮存、使用场所，管道入口室及管道阀门等易泄漏的地方，应设可燃气体探测器。有毒气体的贮存、使用场所应设气体检测器。报警信号应联动启动或手动启动相应的事故排风机。并应将报警信号送至消防控制室。

9.4 自动控制
9.4.1 洁净厂房应设置净化空调系统等的自动监控装置。
9.4.2 洁净室净化空调系统风机宜选用变频调速控制。
9.4.3 净化空调系统电加热器，应设置无风、超温断电保护。若采用电加湿器时应设置无水保护。寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。

9.5 静电防护及接地
9.5.1 洁净厂房应根据工艺生产要求设静电防护措施。
9.5.2 洁净室内的防静电地面，其性能应符合下列要求:
    1 地面的面层应具有导电性能，并应保持长时间性能稳定。
    2 地面的表层应采用静电耗散性的材料，其表面电阻率应为1.0×105～1.0×1012Ω/□或体积电阻率为1.0×104～1.0×1011Ω·cm。
    3 地面应设有导电泄放措施和接地构造，其对地泄放电阻值应为1.0×105～1.0×109Ω。
9.5.3 洁净室的净化空调系统，应采取防静电接地措施。
9.5.4 洁净室内可能产生静电危害的设备、流动液体、气体或粉体管道应采取防静电接地措施，其中有爆炸和火灾危险场所的设备、管道应符合现行国家标准《爆炸和火灾危险环境电力装置设计规范》(GB 50058)的有关规定。
9.5.5 防静电接地系统，应分别不同要求设置接地连接端子。在一个房间内应设置等电位的接地网格，或闭合的接地铜排环。铜排截面不应小于100mm2，防静电接地引线应从等电位的接地网格或闭合铜排环上就近接地连接。接地引线应使用多股铜线，导线截面不应小于1.5mm2。
    防静电接地系统在接入大地前应设置等电位的防静电接地基准板，从基准板上引出接地主干线，其铜导体截面不应小于95mm2，并应采用绝缘屏蔽电缆。接地主干线应与设置在防静电区域内的接地网格或闭合铜排环连接。在防静电接地系统各个连接部位之间电阻值应小于0.1Ω。
9.5.6 洁净厂房内不同功能的接地系统的设计均应遵循等电位联结的原则，其中直流接地系统不能与交流接地系统混接。直流工作接地的接地干线应单独绝缘敷设，并应使用绝缘屏蔽电缆。直流工作接地的基准电位应取自总等位铜排，接地导线与铜排做单点连接。主干线截面不应小于95mm2，支干线截面不应小于35mm2。
9.5.7 接地系统采用综合接地方式时接地电阻值应小于或等于1Ω选择分散接地方式时，各种功能接地系统的接地体必须远离防雷接地系统的接地体，两者应保持20m以上的间距。洁净厂房的防雷接地系统设计应符合现行国家标准《建筑物防雷设计规范》(GB 50057)的规定。

附录A 洁净厂房生产工作间的火灾

危险性分类举例

附录B 净化空调系统设计对维护管理的要求

B.0.1 洁净室的净化空气，宜按表B.0.1规定进行监测。

B.0.2 在下列任何一种情况下，应更换高效空气过滤器:
    1 气流速度降到最低限度。即使更换初效、中效空气过滤器后，气流速度仍不能增大。
    2 高效空气过滤器的阻力达到初阻力的1.5～2倍。
    3 高效空气过滤器出现无法修补的渗漏。
B.0.3 当洁净厂房内采用高效真空吸尘器进行清扫时，必须定期检查吸尘器排气口的含尘浓度。

附录C 洁净室或洁净区性能测试和认证

C1 通则

C1.1 洁净室或洁净区应监测并定期进行性能测试，以认证该洁净室或洁净区始终符合本规范的要求。
C1.2 洁净室或洁净区性能测试认证工作，应由专门检测认证单位承担，并提交检测报告。

C1.3 测试和认证工作之前，系统应达到稳定运行。测试和监测仪表应在标定证书有效使用期内。

C2 洁净室或洁净区性能测试要求

C2.1 确认洁净室或洁净区符合本规范要求，应进行三项测试:
    1 空气洁净度测试(生物洁净室应进行浮游菌、沉降菌测试)。
    2 静压差测试。
    3 风速或风量测试。
    三项测试的最长时间间隔分别列于表C2.1-1、C2.1-2。

C2.2 本规范规定了八项洽商选择的测试项目，列于表C2.2。

C3 洁净室测试方法
C3.1 风量或风速测试:
    1 对于单向流洁净室，采用室截面平均风速和截面乘积的方法确定送风量，取离高效过滤器0.3m 垂直于气流处的截面作为采样截面，截面上测点间距不宜大于0.6m，测点数不应少于5点，所有读数的算术平均值作为平均风速。
    2 对于非单向流洁净室，采用风口或风管法确定送风量，可按现行国家标准《通风与空调工程施工及验收规范》(GB 50243)规定的方法执行。
C3.2 静压差测试:
    1 静压差的测定应在所有的门关闭时进行。
    2 仪器宜采用各种微压计，仪表灵敏度应小于1.0Pa。
C3.3 已安装过滤器泄漏测试:
    1 仪器应使用采样量大于1L/min的光学粒子计数器。
    2 在过滤器上风侧引入大于等于0.1μm(0.5μm)的粒子，粒子浓度大于3.5×107pc/m3的大气尘或其它气溶胶，在过滤器下风侧用粒子计数器的等动力采样头放在距离被检过滤器表面2～3cm处，以5～20mm/s速度移动，并应注意安装交接处的扫描。

3 评定标准，由受检过滤器下风侧测得的泄漏浓度换算成穿透率，对于高效过滤器，不应大于过滤器出厂合格穿透率的2倍，对于D级高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的3倍。
C3.4 污染泄漏测试。有孔洞相通的不同空气洁净度等级相邻的洁净室，其洞口处应有合理的气流流向。用热球风速计检测等级高的洁净室至等级低的洁净室之间的风速，风速应大于0.2m/s。

C3.5 洁净度的检测:

C4 监测

C4.1 按照协议书规定进行空气中悬浮粒子浓度和其它参数的常规监测，监测的目的是证实运行状态下设施的性能。
C4.2 协议书中应明确:测量空气悬浮粒子浓度最少预定的采样点、每次最少的空气采样量、采样时间、每个采样点的测量次数、测量时间间隔、被计数粒子的粒径，以及粒子数的限值。
C4.3 监测结果超过规定的限值，则认定设施不符合要求，应进行修正，修正后再进行认证检测。若监测结果在规定限值内，可继续监测。
C4.4 监测仪表应按现行标准进行定期标定。

C5 认证
C5.1 按协议书规定及C2的要求，按C3的方法进行测试，若测试结果在规定的限值之内，说明该洁净室符合规定要求。若测试结果超过规定的限值，说明该洁净室不符合要求，应进行改进，在完成改进工作之后，应进行再认证。
C5.2 对记录数据评价。空气洁净度测试中，当测点在1～10点时，必须计算平均中值、标准偏差、标准误差和由全部采样点的平均粒子浓度导出95%置信上限值；采样点超过10点时，可用算术平均值，达到空气洁净度等级限值。
C5.3 每次性能测试或再认证测试应做记录，并提交性能合格或不合格的综合报告。测试报告应包括下列内容:
    1 测试机构的名称、地址。
    2 测试日期和测试者签名。
    3 执行标准的编号及标准出版日期。
    4 被测试的洁净室或洁净区的地址、采样点的特定编号及坐标图。
    5 被测洁净室或洁净区的空气洁净度等级、被测粒径(或沉降菌、浮游菌)、被测洁净室所处的状态、气流流型和静压差。
    6 测量用的仪器的编号和标定证书；测试方法细则及测试中的特殊情况。
    7 测试结果包括在全部采样点坐标图上注明所测的粒子浓度(或沉降菌、浮游菌的菌落数)。
    8 对异常测试值进行说明及数据处理。
    9 注明上次的测试日期。
    10 设施的测试文件可作为下次监测计划的依据。
C5.4 测试机构应提交洁净室检验证书、再检验证书。
C6 记录
C6.1 记录保存应遵照质量控制程序的要求。
C6.2 应按常规或定期的测试方法和仪表检测，将初始观察记录、计算、数据处理和最终报告，并应有测试评价和报告人员签名和日期，存档。
本规范用词说明
    1 执行本规范条文时，对于要求严格程度的用词说明如下，以便执行中区别对待。
    (1)表示很严格，非这样做不可的用词:
       正面词采用“必须”；反面词采用“严禁”。
    (2)表示严格，在正常情况下均应这样做的用词:
       正面词采用“应”；反面词采用“不应”或“不得”。
    (3)表示允许稍有选择，在条件许可时首先应这样做的用词:
       正面词采用“宜”；反面词采用“不宜”。
    表示有选择，在一定条件下可以这样做的用词，采用“可”。
    2 规范中指定必须按其它有关标准、规范执行时，写法为“应按……执行”或“应符合……要求或规定”。
    非必须按所指定的标准和规范执行的写法为“可参照……”。
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