JEOL扫描电镜+EDAX能谱培训教程 SEM_Lab_Training_2.pdf

SEM Lab Training02操作规程简介 操作流程简介 不同方向的不同关注开机顺序装(换)样顺序配电箱电源循环（冷却）水SEM主机（钥匙）(10秒)SEM电脑EDAX分析器能谱电脑SEM主程序能谱主程序能谱分析Vent装样（换样）EavcReady2min后开“HT”形貌分析关“HT”一切复位等够2min关机顺序关高压复位并等够2min关能谱主程序关能谱电脑关EDAX分析器Vent并取出样品台Evac到Ready关SEM主程序关SEM电脑关SEM主机等1530min关配电箱电源关循环水开关工作条件 室温：1525 湿度：70%RTZ束斑加速电压样品高度信号种类原始值0050603020KV30SEISEM各参数初始值（复位）形貌分析步骤 选择信号SEI或者BEC 扫描1聚焦，更高倍聚焦。扫描2移动，寻找目标。移动有三种方式 扫描3检查，看有没有问题。定格，保存，取消，下一个。能谱分析 一般能谱步骤 元素面分布扫描（面扫描）步骤 元素线分布扫描（线扫描）步骤一般能谱步骤 CPS=12003000,DT%=1040,Amp time=51.2或102.4 Collect image Clear spectrum 或者“雷达”Star/stop EDS collection 或者“秒表”Lsec=2050s后，“秒表”HPD或者直接Q，看“绿色线”和“峰位”啮合是否完美 W 保存“EXT/XY”下一个样面扫描步骤 CPS5000,Amp time=25.6 Map/line 选择感兴趣的元素和区域,collect image 点掉“quant”，点上“live”(还有全谱面扫，需2h以上)Collect maps 保存 File?print！注意 不是我们教的方法，而在我们的设备上使用的。若有万一，后果自负。有好的方法可以跟我们交流，好的方法我们会推荐给大家。例如线扫描步骤CPS5000,Amp time=25.6Map/line选择感兴趣的元素和区域,collect image点掉“live”，点上“quant”,可以选择数据类型划线Collect line保存Display line scan dataimage?show image?save不同方向的不同关注 形貌 相 能谱形貌例1纯铝阳极氧化S2006C6选择条件：喷金光栅2无其他要求海水腐蚀的铝青铜外委阳极氧化Al合金缺陷工作条件：5KV光栅3SS=201005断口相例22026例5 汽车板两种信号结合来确定“是相还是缝？”能谱 前面的工作做好（样品放对，图像找好，目标找准）45%理解原理，选好工作条件45%大胆怀疑和尝试10%简言之 了解SEM两种信号和能谱的能力 了解关注的重点，以选择合适的工作条件 了解关注对象 多尝试可以上机了吗？最重要的安全注意事项谢谢！扫描电镜室：*