电池片清洗工艺知识模板.doc

清洗：1，槽内换液步骤，包含开始通知哪些部门，正确联络方法，由谁负责，排液，加液时间到正常开始生产整个过程等。 机器槽内换液必需通知水站，通知自己所在部门、线别及要换排哪多个液，由工序长负责排液，加液由工艺完成，液加完以后，试投一片，测试减薄量大小，能否正常生产。2，每个槽内换液周期，和时间点。 碱槽、酸槽二十四小时一次，3、5、7水槽12小时一次，制绒槽10天一次。3，液用完后怎样确保连续生产，职员怎样知道液用完。 液用完后立即进行更换，职员在生产当中会依据报警信息内容，告之工序长。4，物料员相关现在化学品怎样领用，区分，管理。 物料员是依据少许数次，单一品种，双人领用和专用领料车并佩戴防护用具，按酸碱和易燃易爆化学品不能储藏在同一贮藏室标准实施分开和专员管理。5，三楼处集中换液步骤，每种化学品通常更换周期（每桶）。 关键点:两人.一人换液,一人监督.换液人员穿戴好防护用具：双层乳胶手套,戴好防毒面具,穿好防酸服,穿好防护靴.a.设备报警后确定集中供液需要更换化学品桶。b.将集中供液显示器操界面中需要更换化学品桶显示情况由“ A线启用/B线启用”切换为“A线停止/B线停止”c.关闭进液管和回流管阀门。d.拆卸回流阀下端回流管,（用扳手将空桶回流口拧紧）将回流管取下，放置于指定区域。e.将进液管从空桶进液口处进行拆卸,使其和空桶脱离.将空桶拉出至指定区域放好.同时将该液满桶运输上来,使其进液口,回液口和进液管,回液管阀门位置上下相对应.f.打开满桶回液口,将回液管下端插入.同时将其上端和回液阀接口拧紧.g.打开满桶进液口,将进液管接上,拧紧.h.确定各接口是否拧紧.( 进液口;回液口;进液管;回液管;阀门).i.将进液阀完全打开,将回液阀打开和水平方向呈3045度角即可。j.将集中供液显示器操界面显示情况由“A线停止/B线停止”切换到“A线启用/B线启用” 观察集中供液系统，确保无异常，即可恢复生产。k,确定化学品，放置化学品，将满桶回流盖松开，接入回流及抽液管，检验密封圈，接抽液管，检验各接口，关闭工艺窗。l,换液完复位液位，确定集中供液机工作，放置防护服，并统计让领班确定并签字。 HF（一天） HNO3（两天） NAOH（一天） HCL（两天）6，上下道碎片怎样区分，区分作用。 清洗上道和下道碎片是分开统计，分开包。上道碎片是原装碎、隐、裂缺角，崩边等它是制绒前碎片。下道碎片是经过制绒后碎片，通常是机碎，隐裂或人为造成。它们区分作用是：便于回收。7，设备故障达成什么程度需要向上汇报。 因设备故障3分钟内不能处理，立即通知设备和领班。达成半小时后要通知当班主管，超出1个时间通知区域主管，超出2小时区域主管通知高级主管。然后由高级主管通知经理。由设备开设备维修单。8，假如不合格片退库，手续怎样办理？ 假如因原材料硅片不合格，异常缺点，首先保护好现场，然后找巡检过来拍照取证，把材料交给领班，由领班退库，由领班和巡检交涉退库事项。9，清洗间每条线每个班要求产量，在制品要求上下限，工艺许可在制品等候时间是多长。 清洗间每条线每个班产量现在是13500PCS，在制品上下限，是4张步骤卡，但如有特殊情况，依据情况来逐量增加，工艺许可在制品等候时间是越短越好。10，减薄量控制。 工艺要求:0.30.4g 经过速度V来控制减薄量,公式: M1 * V1 = M2 * V2 经过添加HNO3/HF来提升减薄量(百分比:0.5L/1L),每添加0.5L HNO3减薄量提升0.02G 经过控制药水自动调加速率来改变减薄量大小,比如 500pcs/0.5L改成 450 pcs/0.5L,则减薄量增加0.02G 11，制绒后绒面观察比较 步骤: 取较大碎硅片,过清洗线四次,并用显微镜观察绒面情况 结果: 未过清洗线硅片表面无绒面,伴随清洗次数增加绒面越大。扩散：1，换源步骤？ 生产过程中要常常观看源瓶状态，待源瓶内液位低于2CM时即需换源，先需电话通知巡检人员到场，换源人员要穿防酸服，防酸裤，戴防毒面具及汗布手套和乳胶手套，将气源柜内快使用完源瓶拆卸下来，拆卸时注意先关闭进气阀门后关闭出气阀门，然后将源瓶放至扩散间源瓶贮存室并登记。接下来便可取新源瓶，先检验外观是否正常，然后依次拧开出气阀门和进气阀门，观看瓶内液柱是否有异常，待巡检人员检验完成后再将阀门拧紧，然后用推车推至车间进行安装，先将源瓶阀门再拧开，然后先接出气管再接进气管，完成后即进行鼓泡试验，将扩散小氮流量打到500，鼓泡10秒钟，再将流量打到1000，鼓泡10秒钟，一切正常后再将流量恢复为0，然后将源瓶放置到位，再将换源登记填写好，换源完成。2，怎样确保源优异先出？ 扩散间源瓶贮存室内源瓶分两个位置放置，后入部分和先入部分，取源瓶时应从先入部分取，待先入部分全部使用完后，将后入部分标识牌调换成先入部分，这么便可确保源瓶优异先出。3，换源需要做哪些安全防护方法？ 穿防酸服，防酸裤，戴防毒面具，双手要戴汗布手套和乳胶手套，必需时还需穿防酸筒靴。4，什么“五双”制度？ 双人使用，双人保管，双人维护，双把锁，双本账。5，开管式扩散炉和闭管式扩散炉不一样？优点？缺点？ 开管式扩散炉通常是指以前老厂使用传统设备，其炉门较简陋，没有安装石棉保温隔热层，硅片放置在浆上后需在两端全部放置石英档板。闭管式扩散炉即指现在三楼使用新式设备，炉门处安装有石棉保温隔热装置，炉内只需放置一个石英档板。6，方块电阻和温度关系？而且怎样调整设备参数。 方块电阻值和温度是成反比关系，若方块电阻偏低则说明炉内温度偏高，此时需将温度调低，若方块电阻偏高则说明炉内温度偏低，此时需将温度调高。正常方块电阻值是43-48区间，调整温度时一度温度对应一度电阻，最大调整幅度不宜超出5度。7，各温区之间温度差极限值？ 炉内温区大致分为炉口，炉中，炉内三个部分，在操作界面上又被细分为5个部分，其中温区一和温区二显示是炉口部分数值，温区三显示是炉中部分数值，温区四和温区五显示是炉内部分数值，各大温区间温度差极限值不宜超出30度，各小温区不宜超出10度。8，什么是拉恒温？ 先设定恒温850度，待温控器显示和设定温度一致时，便可依据炉尾热电偶所在位置查看实际温度，热电偶和炉体对应位置分别为：炉口30CM，炉中70CM，炉内110CM，当热电偶测得实际温度低于850度时，则降PB数值，实际温度就会开上来，当热电偶测得温度高于850度时，则应加PB数值，实际温度就会降下来。9，洗管、洗舟步骤，配液比，和维护周期，由谁负责？ 洗管，洗舟步骤是，首先应通知设备人员将石英管从扩散炉内取出来放置在专用推槽内，然后推运到洗管间内，再将清洗机内残留杂质和水份排洁净，关闭阀门后接着便往清洗机内放水至20-30CM，然后便开始向机槽内配HF，HCL，再将石英管放入液体中依操作说明进行清洗步骤，有喷淋，鼓泡，转洗三个过程，待步骤完成后，将液排至另一边槽内，然后再用水枪对石英管进行水洗，最终再用气枪将石英管吹干，即可通知设备将石英管安装回扩散炉。清洗石英管和STC桨配液比是：HF（32L）；HCL（8L）= 4：1清洗石英舟配比是：HF(16L)；HCL（8L）= 2：1石英管、STC桨及石英舟维护由工艺人员负责。10，方块电阻不均匀度计算方法？ 测方块电阻是在炉口、炉中、炉内、三个位置各取两片，测其中间部位电阻值，取六片中电阻最大值减去最小电阻值，再除以最大电阻值加最小电阻值，即可得出其不均匀度。11，新式舟和旧式舟区分？ 新式舟每舟可装150PCS硅片，硅片是朝负斜方向放置，旧式舟每舟可装300PCS硅片，是垂直放置。12，偏磷酸产生？处理？ 偏磷酸是因为PCL3和硅片上残留水份及进出管时空气中水汽反应生成，现在每个炉管全部装有不锈钢槽盛偏磷酸，每班在下班前全部会用酒精和碎布将其清理洁净。13，一旦发生POCL3泄露怎样处理？ A，先紧急疏散人员并隔离封锁受到危害区域，同时快速通知安全部门； B，限制闲杂人员及未穿防护装束人员靠近； C，进入危险区域观察前，空气呼吸器和个人防护装束必需穿戴完整； D，污染区未完全清理前，限制人员靠近，直至完全清理洁净为止。14，TCA2+1、4+1、8+1区分？什么是TCA，是什么饱和？作用是什么？为何不再继续做TCA而只做饱和？ TCA（C2H3CL3）三氯乙烷，是指用TCA进行清洗操作，清洗掉石英管内金属杂质，饱和是指模拟一次扩散过程，使石英管内充满磷元素，这么会使生产时硅片扩散更充足更均匀。2+1是指先做两个小时TCA清洗，然后再做一个小时饱和，依次类推：4+1和8+1。15，扩散舟速 扩散进管和出管舟速是250M/H或300M/H。16，什么叫硅晶脱落？什么叫崩边？中间裂纹？对角裂纹？十字裂纹？怎样确定扩散前产生裂纹还是扩散后产生裂纹 硅晶脱落是指在硅片表面四边有硅晶体脱落，但没有达成缺角程度，崩边是指在硅片四边有缺角且较严重，中间裂纹即指在硅片中间部位有裂纹，对角裂纹是指在硅片四个角有裂纹产生，十字裂是指有裂纹交叉成十字形状，多发生在单晶硅片上。扩前裂纹在裂纹处有扩散痕迹，而扩后裂纹则没有。17，扩散间每条线每个班要求产量，在制品要求上下限，工艺许可在制品等候时间是多长，另外，要求前清洗间确保在制品数量是多少。 每个班要求达成产量在13000PCS，扩前在制品要求在8批2400PCS，扩后在制品要求在3000PCS，许可在制品等候时间不能超出2小时，清洗间应确保在制品数量是3000PCS。18，方块电阻及其大小方法。 方块电阻工艺范围：45-50 方块电阻越小，表明搀杂浓度越高，所以只需要控制好反应速率便可很好控制Si片方块电阻，方法以下： 1. 小N2流量越大，方块电阻越小 2. 大N2流量小，可使炉口扩散不到，大N2流量过大，能够使单片方块电阻不均匀度变大； 3. 干O2流量变大，增大方块电阻； 4. 扩散温度越高，方块电阻越小（现场能够经过小范围改变温度来控制方块电阻）。刻蚀：1，槽内换液步骤，包含开始通知哪些部门，正确联络方法，由谁负责，排液，加液时间到正常开始生产整个过程等。 通知水站7520，设施8791，工艺排液，产线人员帮助作业，加液时间约为2小时，其中包含排液、酸洗、碱洗、清理碎片、降温、试生产。每个槽内换液周期，和时间点。2、5、7号槽每七天换液一次，3号槽每生产35万PCS换液一次，工艺提前一天通知，线责任人排液并帮助换液。夜班生产结束7：30分排、碱洗、酸洗，8：00后由白班工艺配槽。2，上下道碎片怎样区分，区分作用。 流入本岗位全部记作岗位碎片，在上料处有流入不合格片跟踪表做好具体统计，在月底时从本岗位报废中扣去，算到上道工序报废中，流入PECVD，假如缺角现场确定箱内有碎屑则判为去PSG报废，假如在盒内未取出有发觉裂纹或其它不合格，判为去PSG报废。作用：清楚报废原因，便于处理问题，责任划分，有效改善。3，什么是制程异常单、什么是工艺异常单，分别是用于哪里，开具标准是什么，也就是在什么情况下开这两种异常单，相关处理步骤和相关人员。 制程异常单：是在生产过程中，发觉影响质量各方面问题，比如原材料问题，需要经QC确定现场并开具。 工艺异常单：因为工艺问题影响产量，报废或造成其它方面影响，由工艺部门确定并开单。 处理包含人员有：当班巡检，生产运转主管，领班，工序长，QC等。4，什么标准下能够停线？必需通知谁？谁有这个权限？ 满足下道工序，且产量完成后能够停线，通知领班和工序长确定。如发生重大事故（例碎片过多，换错液）则必需停线，立即通知领班或主管。5，清洗间每条线每个班要求产量，在制品要求上下限，工艺许可在制品等候时间是多长。 要求产量13000PCS，工艺要求流入PECVD区在制品存放时间不要超出30分钟，确保后续在制品数量为3000PCS，即10张单子。PECVD：1，批次和批次之间不满舟怎样？不满舟会有什么结果？ 上一批不满一舟用下一批次填满，并分别统计区分开来。 不满舟进行工艺，没有硅片舟片上会沉积SIN膜，石墨舟物理性质下降，会产生红片，色差片等。2，一区二区步骤卡怎样对接，数量怎样确定？ 刻蚀经过传送箱流入合格品，当场清点数量即可。3，石墨舟工艺要求清洗周期、刻蚀周期？预处理方法有多个不一样？预处理不合格返工片多怎样处理？ 石墨舟运行120-150次需刻蚀，刻蚀满6次需清洗 预处理方法预处理方法： NEW BOAT PRZ 新舟插上硅片预处理 AFTETCH PRZ 舟刻蚀后没插硅片预处理 AFTETCH PRZ 舟刻蚀后插硅片预处理 预处理后返工片多，加工艺时间，若还不行，需进行拆洗。4，刻蚀、清洗、预处理整个步骤？ 当石墨舟运行120-150次： 满6次刻蚀-拆洗-烘干-预处理 不满6次刻蚀-刻蚀-预处理5，色差片产生多个原因？ 清洗、刻蚀工序减薄量不稳定 石墨舟物理性质下降（SIN沉积过多） 镀膜时间不一样 微波峰值不稳定（设备原因）6，色斑批片产生原因？ 硅片表面清洗不洁净 扩散间偏磷酸滴漏 清洗、刻蚀、风刀没吹干或堵塞7，检验标准？（色差、色斑片判定标准） 以QC为准 8，每台机石墨舟配置标准？小车配置是怎样？ 每台机石墨舟标准配置7个，为正常轮转生产，小车配置4个。9，为何会出现舟浆分离？ 石墨舟电极放反，SLS浆在炉管中较长时间未出，造成变形，检验要到位，立即观察。10，镀膜整个过程。 工艺开始-充氮-进舟-浆降至低位-浆在低位退出-管内抽真空并进行管内压力测试-经过高频电源用NH3预清理和检验-清洗管路-测漏-恒温-高频电源用NH3预清理-镀膜-结束镀膜-抽真空及测试压力-清洗管路-将管内剩下NH3、SH4抽走、预防和空气接触爆炸-充氮-浆在低位进入炉内-SLS移至高位-退舟-结束工艺12，备用舟管理。 一条线总共20个舟，14个生产，6个备用，备用舟不使用时应保留在对应石墨舟柜内。13，PECVD每条线每个班要求产量，在制品要求上下限，工艺许可在制品等候时间是多长。另外要求刻蚀确保在制品数量是多少。 产量13500，留丝网在制品4000PCS左右，刻蚀流入在制品1800PCS左右。14，工艺关键参数 膜厚： 100nm 折射率： 2.0镀膜好坏，通常情况下是依据膜颜色来判定。正常膜面为淡蓝色，当膜偏厚时颜色会发白，偏薄时颜色会发红因PECVD制程只能经过调整时间来控制膜厚，所以膜面质量改善很大一部分需要以前站来改善。 绒面偏大时，膜沉积速率变大，反之变小。 镀膜时间偏长，膜面发白，镀膜时间偏短，膜面发红。丝网印刷：1，浆料管理？ 产线天天只领用一天用量，由岗位专员依据产线库存提供领用量给物料员并开单，物料员负责领料交给岗位专员，岗位专员补齐现场本班用量，然后将下一班用量放在生产线存放区域，由陈普做账2，现在使用有哪多个浆料，分别搅拌时间？ 现在使用浆料有PV147银浆（第三道），CN-334 462银浆（第一道），也有PV141银浆，但不用。铝浆R*8（第二道）（6080-15Q；6080-15L现不用）假如忽然丝网做到来料加工片子，浆料怎样使用？银浆搅拌二十四小时以上，铝浆搅拌半小时以上，搅拌速度要求。3，各道印刷重量标准？ 第一道：0.120.02g（共18个背电极） 第二道：1.50.12g 第三道：0.20.02g每瓶2KG，全部是搅拌一瓶用一瓶，其中第一道两天使用三瓶半；第二道每个班使用20瓶左右，第三道天天使用3瓶左右。陈普第二天发两次，早晨9点一次，下午16：00一次。 4，断栅连栅区分？ 断栅不超出六根或其中任何一根不超出两毫米全部属于A级片和连栅区分不大。 5，每个烘箱温度？速度，时间。 共有58只托盘，转一圈时间全部在10分钟左右，必需大于8分钟。 第一个烘箱温度分别为：100 120 140 160 第二个烘箱温度分别为：140 160 180 200 6，丝网印刷参数调整许可范围？ 丝网间距： -1200 um -1500um 刮刀深度： -1300 um -1800um 压力： 66-72N 印刷速度：200-240Sec7，外加工不需要印刷STP时是怎样实现？封网浆作用？怎样去除封网浆。 将网版上STP用封网浆堵实，封网浆作用是封有漏洞网板，即补网版，在网版干燥后使用，去除封网浆用清水擦拭即可。8，松油醇作用？为何只在第三倒使用？ 松油醇用来擦拭网版，第三道正电极常常断线（断线分两种，一个是网版上有异物，另一个是网版被浆料堵住，有网版常常堵网，所以要使用松油醇，对浆料有很好溶解作用），所以用来擦拭，第三道停下来超出3分钟必需进行擦拭。松油醇关键是用来擦拭网版，片子或断栅，和网版清洗全部是用乙醇。9，断线、粗点、虚印产生原因、控制方法、检验标准？ 第二道台面不洁净，或网版上有干浆料掉在台面上印刷烘干后引发铝粉会造成断线，或第三道网板上有脏东西也会有断线，网板张力不够或参数调整会造成粗点，虚印。另外，第二道易干，假如不均易产生颗粒。控制方法：勤擦以面，多注意印刷质量，合理调整参数控制，另外，5-10分钟之间看一次印刷效果，一次连续看5-10片。10，压版怎样判定？怎样避免？ 出现一样碎片，或每四片有一片有一样隐裂能够判定为压版。（对印刷后片子中央及四面轻轻敲击，看有没有异常，因为细小压版可能要到烧结后才能表现，这么压版量是很大）避免：勤擦台面，多注意上料片子是否有碎片，台面纸常常更换，保持台面平整。（碎片千万不能掉进正在印刷浆料中，那是最头疼事，也是最不轻易被发觉）11，网版使用寿命，领用注意事项？ 第三道A版使用寿命为3万，第一道B版10万，第二道C版5万，领用时注意型号不要领错。（只针对156多晶），刮条和网版寿命一样。12，报废后怎样处理？ 网板报废后要有网板使用寿命单，对网版寿命不到就更换需经过工艺签字。更换下来网版（未到报废要求）怎样处理？机器长时间不印刷怎样进行预防漏浆操作，印刷模式需要怎样更改？13，烧结炉温度？速度，时间。 6个温区：500 520 550 570 800 802，依据片子厚度，工艺会做调整，速度为4600MM/MIN。14，为何浆料不能混用，会产生什么严重后果？（注意铲刀、刮刀头未清洗洁净不能混？） 浆料混用后会严重影响片子电性能，转换效率，所以浆料不能混用，铲刀，刮刀头每次全部必需擦拭洁净。15，要求PECVD到丝网在制品数量是多少？ 通常在4000-5000PCS左右，最少3000PCS，通常依据实际情况来看。丝网产量平均每小时为1200-1380PCS左右，总产量要求每个班13000PCS，生产一个产品时间为2.7S。16，丝网印刷工序违规动作： 徒手不可接触任何机器设备 上料盒托住底部 停机后才能够取片 不可徒手随意打开设备，设备在维修时才能够打开 丝网下料，注意一次只可取一片17，丝网印刷参数调整标准印刷方法： 1. 不刮桨料交替印刷 2. 不刮桨料每片印刷两次 3. 先印刷后刮桨料 4. 先刮桨料后印刷网版： 网版间距：网版和印刷平台之间距离。（以印刷平台为0参考点，平台上方为负方向，网版正常停止时间距Spec: -3000um，印刷时间距Spec: -900-1300） 网版间距调整标准：在确保质量前提下，网版间距越小越好，太小易沾版或模糊不清。太大易印刷不良和损坏网版。刮条： 刮条深度： 刮条印刷时使网版面下降距离。（以网版面为0参考点，网版下方为负方向。网版正常停止时位置Spec: 5000um,印刷时位置为：Spec: -900-1300um）。 刮条深度和压力（Spec:5070N）调整标准： 在确保印刷质量标准下，刮条下降深度和压力越小越好，刮条下降过深或压力太大，易碎片和损坏网版，刮条下降深度不够或压力太小易印刷不良或沾版。 印刷速度：150300mm/s 刮桨料速度： 450mm/s丝网印刷时遵照以下标准： 刮条压力&刮条深度和桨料下漏量成反比， 丝网间距&刮条速度和桨料下漏量成正比。18，多种步骤作用及常见异常 丝网印刷是经过刮条挤压丝网弹性形变后将浆料漏印在需要印刷材料上一个印刷方法。 1. 背电极印刷 背电极作用：用于组件时焊接用。 125硅片有2根背电极， 156硅片有3根背电极，其中多晶为分段类型，而单晶为整条类型，更换网版时必需校正网版位置，使两侧背电极距离Si片边缘基础相同. 2. 背电场印刷 作用： 钝化硅本体，提升电池开路电压（在工艺范围之内，背电场越厚越好）常见异常： A. 铝珠： 假如是因为烧结所致，就调整3、4区温度；但若是铝珠分布在履带顶针四面，可考虑是否为履带过脏，或是顶针磨损所致，此时需要清洗履带，严重时能够考虑更换履带；另外，铝珠产生也可能是因为二道印刷过厚造成，那么能够在不影响电性能情况下，减轻二道印刷重量。 B. 铝苞： a. 前道清洗减薄量大，使绒面过大，易产生铝苞。 b. 背电场印刷太薄，刚换过网版未立即控制好背场印刷重量，易产生铝苞，此时只需控制好印刷参数和印刷重量就能够处理。 c. 网版小洞破损造成铝苞。看洞破损情况，假如能够用胶带修补，且试做OK后可正常生产，若修补无效须更换网版. d. 粘板：三个参数同时增大，降低速度3. 正电极印刷 作用： 搜集电流 156硅片副栅线有78根，主栅线有3根 125硅片副栅线有62根，主栅线有2根 注意事项： 正电极需返工硅片，在擦拭后应该正面对正面叠放。正反面一起叠放时背电场铝桨会粘到正电极上，从而影响转换效率. 常见问题： A：断线：当网版被堵时，桨料无法下漏所至，只需擦拭网版即可 B：虚印：增大压力，刮刀深度，降低丝网间距 C：粗点：加大丝网间距，减小刮刀深度和压力，加大印刷速度。刮刀刚下去粗点，减小刮刀深度。刮刀刚上去粗点，加大丝网间距。4. 烘干炉 作用：去除桨料中有机物质。5. 烧结炉 作用： 让上下电极行成良好接触，提升转换效率。 炉内气氛是在N2保护情况下进行烧结，烧结温度关键是经过影响RS&RSH来提升转换效率. 常见问题： a. 烧结不透：将主烧结区5、6区温度合适加大3度左右，测试后看电性能，假如没有达成理想烧结效果可对其进行再优化。 b. 烧穿：依据烧结后测试数据，降低烧结5、6区温度，然后再进行测试，直到烧结正常。分类检测：