1、无尘室管理作业规范1. 目标:建立无尘室管理规则,有效管理无尘室之运转,并对生产设备,工具,物料,人员进出,洁净衣等管 制,以确保无尘室之高洁净度需求和正常运作2. 适用范围:适适用于台鑫国际股份无尘室 ClassParticle(0.5u)环境规格10001000232C455%1000010000232C555%100000100000232C5520%3.权责: 3.1无尘室管制:生产作业区主管或当班责任人员 3.2稽核单位:生产作业区领班以上或实施IPQC稽核人员 3.3新进人员(无尘室)作业说明:人事或制造单位 3.4无尘服管理:行政单位4.作业内容: 4.1人员进出要求 4.1.1
2、资格: a.甄选无尘室工作人员时,应避免任用对化学溶剂过敏,有烟瘾者,手轻易出汗或因气 喘常常性咳嗽或打喷嚏者 b.凡进入无尘室人员皆需经教育训练,方可单独进出无尘室,若未经合格而需进入者, 得须由合格人员陪同率领下,方可进入 c.外宾进入无尘室,务必由各单位主管或指定人员陪同,陪同人员将外宾资料于厂 商/贵宾进入无尘室豋记表后方可进入. 4.1.2无尘服要求:各区域无尘服穿着以下所表示一楼二楼区域Class无尘服要求访客区域Class无尘服要求访客切割区100000大衣+四孔鞋大衣+鞋套洗净区1000全罩连身衣+长筒鞋+手套全罩连身衣+鞋套+手套蚀刻区10000量测区1000抛光区10000
3、包装区10004.1.3进入注意事项:a.作业人员进入Class 1000无尘室不可化妆,包含口红、粉、眼影,香水等。b.无尘室(含更衣室)严禁携带或使用香烟、打火机、食品、口香糖及化妆品等。c.临时携入之文件许可使用通常纸张。d.抽烟后,15分钟内严禁进入无尘室(Class 1000)e.严禁携入木质用具或易产生粉尘材质之用具,比如铅笔,橡皮擦、立可白等。f.通常携入通常见具、 物品皆需于更衣室中用IPA擦拭,以确保所入物品不会造 成微尘污染。g.非经事先核准,无尘室内严禁摄影,录像.等,若经核准,务必由各单位主管 陪同。g.外套,私人物品放置于个人铁柜。h.人员及携入之物品,需在经过空气洗
4、尘室以空气洗尘。4.1.4进入程序:人员进入无尘室之程序以下。a.脱鞋置于换鞋柜中,进入更衣室。b.检验,擦拭所携带之物品。c.更衣程序:连身全罩式半套式1.穿戴发。2.至自己所属之衣架处(依部门别/序号别)取无尘衣。3. 以双手抓住无尘衣之下跨开口处,由头顶套入,再将双手 及双脚套入袖口,拉好下跨拉铀炼。4.确实将发帽入头套内。5.至自己所属之鞋柜处取无尘鞋或鞋套(无尘衣裤管需扎入无 尘鞋中)。6.穿戴口罩,钢丝线朝向上方,绿色外沿朝外,以手指压口 罩钢丝部份,方便口罩和鼻梁密合。7.戴PVC手套:穿戴前先前配带电环(见4.1.5动作),再将PVC 手套上自己双手,手套需确实扎入无尘衣之袖口
5、中,不可 边走边穿戴手套。8.检视仪容,尤其注意头发有没有外露,口罩是否紧贴鼻梁。1. 同左1.2. 同左2.3. 穿上大衣式无尘衣d.经洗尘室洗尘后方可进入无尘室,洗尘时间为20秒以上,每次最多以两人为限。e.洗尘室:站立于空气洗尘室内,双手摆动,旋转身体至空气洗尘结后,始可开门离开洗尘室。f.着无尘服时不可离开无尘室区域(含更衣)以外。4.1.5离开无尘室:a.经由洗尘室离开无尘室,严禁人员从旁安全门出入。b.将无尘衣置于自己衣架上(衣架悬挂方法:将衣架子两边夹至双肩,挂上衣架), 无尘鞋置于鞋柜中。c.乳胶手套、口罩、发帽、鞋套等视使用情况可反复使用(针对常常性进出人员), 并将其无尘服
6、一同摆放整齐,标准上每双乳胶手套使用8小时,口罩为8小时, 发帽和鞋套为一周后丢弃、更新之。d.不用之乳胶手套、口罩、发帽、鞋套等一律丢入垃圾桶内,不可四处摆放。4.1.6洁净事项a.无尘室每日例行清洁(5S)和垃圾处理工作,标准上由生产制造单位实施之b.无尘室每七天地板清扫(吸尘器)工作,标准上由行政部委外实施之。c.无尘衣、鞋汰旧换新:(1)无尘衣使用大于三年时,必需给予丢弃。(2)无尘衣破损修补超出三次时,必需给予丢弃(3)因工程施工,而严重污染时,给予丢弃。4.1.7无尘衣、鞋送洗分配:a.频率:标准上每七天统一送洗一次(各单位可视个人使用情况调整延长),行政单位提供整理箱(依部门别)
7、由使用者自行提出清洗需求,若遇有紧急逃生紧急施工等情况时,得视需要加强清洗频率。b.无尘衣、鞋送洗 送洗作业:无尘衣、鞋依编号管理之,送洗时使用者自行投入整理箱,并登记于 无尘服送洗作业登录表中行政单位人员依据登录之. 统计清点量;清洗回厂时仍需包装在同一整理箱或塑料袋中,无尘衣名牌需朝外, 字体清楚可见,由行政单位人员清点确定。4.2无尘室管理注意事项:4.2.1秩序要求事项:a.任何门户应需随时保持关闭b.非因工作上需要,不得坐于地板之上。 c.严禁以身体依靠机台、墙壁、工作桌,Cassette,推车站立。 d.面对工作桌及Cassette时尽可能少讲话,面向机台时请注意肢体动作。 e.严
8、禁快速走动或追逐(紧急警报响除外) f.遵守无尘衣之穿着要求。 g.于工作区内尽少通私人电话,公事电话亦以简短为宜。h.无尘室用之货架,推车,垃圾桶等应放置于固定位置。 i.生产步骤单书写应于工作台上,严禁于Cassette上盖板之直接撰写。 j.无尘室内可许可之人员数目超出要求数目时(生产作业区主管判定之),将暂不许可人员再进入无尘室。k.非经许可,请勿私自使用化学药剂。l. 非经许可,请勿私自携出机台操作手册。 4.2.2安全卫生注意事项:a.无尘室内发觉异状(不明之声音、烟蒂,溶液及味道)应快速反应至值班之主管。b.火警报响时,应快速呼叫同伴从安全门撤退,并立即设法和厂务部及消防单位联络
9、。c.身体不适时应立即通知主管。d.同一区域不能单独一人作业,设备维修必需最少两人(含)以上以维护个人安全。4.2.3运转设备:a.设备应选发尘量少,表面不易积尘之设备。b.真空帮浦(Pump),马达皮带等轻易产生污染物质之设备应尽可能装于无尘室外,但若需装设在无尘室内时,应有合适覆盖或局部排气。c.设备安装位置及连接管路,应考虑轻易清扫为标准。d.磨耗之机件,皮带等,轻易产生尘粒,故要定时更换。e.无尘室内使用之工具,标准上要作为无尘室专用,除尤其理由不得携出无尘室。4.2.4维修或施工注意事项:a.严禁切削工程,如有必需,需先作防护措放(以真空吸尘器,塑料布铺于地板上)方可进行。b.工程施
10、工后,需清洁施工处周遭环境,使用过之工具,垃圾不任意丢弃。c.严禁使用砂纸、木材、铅笔和橡皮擦等易造成污染之工具。d.大范围施工或破坏性施工时,应以隔板隔离施工区,并明确标示施工中字样之通告牌。4.2.5生产机台周遭:a.为预防产生影响制程之气流扰乱,不可在机台作业区气流之上放置物品或其它作业。b.避免无须要之动作,以预防乱流及微尘污染。c.掉落地上之物品若为消耗品则严禁使用,如需继续使用则需先经酒精或IPA清洁洁净方可使用,机台每日操作前应有清洁之动作。4.2.6设备、机台、用具和原料进入:a.大型机台或用具由可拆封板或安全门进入外,其它通常见具和人员由更衣室进入。b.由可拆封板或安全门进入
11、之大型机台或用具,需在走道上将包装部份拆除并以酒精或IPA擦拭洁净再行搬入。c.经由更衣室进入之物品,需在经无尘布沾酒精或IPA擦拭后才可进入空气洗尘室。4.2.7化学药品a.化学药品置放于固定地点,使用后应立即加盖,避免外泄,发生危险或影响工作。 b.化学药品容器,应有明确之中/英标示,标示不可私自涂改,更不可私自更换容器包装,以免误用.c.化学药品不可摆放在机台上,货架上.d.不清楚化学药品不可自作主张,私自处理,以免发生危险.e.有机化学药品和酸性化学药品不可混合以免危险.f.相关化学药品处理问题,请依工业安全卫生要求办理.4. 3无尘室5S管理作业4.3. 1无尘室中未经主管指定(认可
12、)之位置,不可任意于机台,工作桌/椅,等任何一处张贴字条,通告,口号,若同意张贴时应注意工整美观.4.3.2推车:a.推车轮轴损坏应立即停用并送修.b.无尘室外推车要进入无尘室前必需以IPA擦拭油污及污染物。c.推车非货架,不可长时间堆放玻璃或其物品而未处理。4.3.3氮气柜及置物柜a.设置位置应避开狭窄信道陈设应整齐、清洁,且注意是否在门开关回旋范围内。b.不可堆栈二层以上,亦严禁突出于边缘之外。c.损坏之氮气柜及置物柜应立即停止使用并送修,以预防意外发生。4.3.4工作机台、桌、椅、梯:a.工作桌应放置于定位,不可随意挪移。b.损坏之桌、椅,应立即停用并送修,以预防意外发生。c.非工作上必
13、需不得坐在工作桌上,或站在工作椅上。d.工作椅不用时应紧靠工作桌或置于旁边角落,尽可能不阻碍通道。e.纸张、无尘布不可堆置于工作桌或机台上。f.废弃之纸张,无尘布一律丢弃于垃圾筒内。4.3.5垃圾桶a.垃圾不可在无垃圾桶位置堆放,不然应申购放置垃圾桶,设置垃圾桶后不可任意移动或挪作它用,若有损坏应立即停用并送修,垃圾桶外观应保持简练外观。b.流体物质不可倾倒于垃圾桶内。c.垃圾桶设置位置,应于人员进出方便,且垃圾产生量较多区域,并以边缘、角落为宜。4.3.6门:a.无尘室所使用门除进出之外,应维持关闭状态,外观脏污时应立即派员擦拭洁净。b.严禁用接触地面工具,脚,接触,踩或踢门,若有损坏时应立
14、即通知主管处理。4.3.7电线,插座,蛇管:a.机台之管线应用束线带束紧,固定于墙角或不防碍通行之角落。b施工时有电线部份,应不使之散落或交错放至道上。c.使用插座时应确定所使用工具之电压和插座电压是否相同。d.注意电线部份不可用脚踩踏。4.3.8文件数据:a.需置于指定位置,不可任意放置,使用后需立归回原位。b.内容不可径自书写,涂改或作它记号。c.需注意管制文件随时保持最新版本。d.过期之旧版本需实时取出,转交回文件管制中心集中处理。e.工作统计表填写应确实,清楚,不可潦草或不易识别。f.工作统计表更改,应将错误数据上方以一单棋线划去,更新数据填记于旁边并加注日期,并由当事人署名以示负责。g.破损之档案夹应即报废更新。h.全部文件数据,档案夹均不可置于机台上,需统一置于指定位置。4.3.9文具用具:a.工作桌面上、下及地皮应保持整齐,文具用具尽可能以不散乱为标准,随时将文具用具归位(如笔、空白表格、便条纸等)b.回形针、钉书针.等细小物品不可放在机台上。c.生产步骤单不可随意拿出无尘室。d.灭火器:设置周围不可堆放物品、周围走道应保持通畅,并有清楚之标示牌。