超大规模集成电路芯片生产线项目投资建设环境评估报告.doc

中芯国际XXXX集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目环境影响报告书
总论
1.1项目背景
现代社会已进入以微电子技术为核心的信息时代，信息产业已经成为现代经济的重要支柱产业。微电子技术和微电子工业是信息产业的核心和基础，又是一个国家科技水平、工业水平和综合国力的体现。微电子技术和微电子工业的代表是集成电路产业，该产业属于技术、人才与資本密集型产业。.隨着信息产业的迅速发展，通讯設备、网络设备和个人計算机需求持续增长，大大促進了集成电路市场的扩大。为此，預期2000～2010年全世界集成电路的年平均增长率可达20～25%，近年來，国际上集成电路的加工生产重心己转移到亚太地区。
我国拥有发展集成电路产业最重要的人力和智力资源，在面对世界经济激烈竞争的时刻，加快发展集成电路产业是一项紧迫而长期的任务，意义十分重大。
中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目是国内建设深亚微米集成电路的重大工程。深亚微米工艺技术已是国际上的主流生产技术，本项目的实施可以推广在国内微电子技术的升级发展，提高电子产品开发、生产能力，并促进我国集成电路产业走向国际。
目前，我国的超大规模集成电路芯片设计大部分采用国内设计、境外加工的流程，一些设计在真正转化成芯片时，会出现转换受阻和模块兼容性等问题，需要花费相当长的时间进行整改。本项目的建设可以加强设计与加工的交流与合作，这是缩短投片时间、提高芯片质量的重要环节。
本项目建设单位是中芯国际XXXX集成电路制造有限公司，它是一家在开曼群岛注册的股份有限公司，从事包括芯片代理加工在内的各种经营项目，包括：各类半导体（硅片及各类化合物半导体）集成电路芯片制造及测试，与集成电路有关的开发设计服务、技术服务、光掩膜制造、测试封装，销售自产产品等。公司计划以北京XX投资为主，有计划地在北京XX建立芯片的加工生产线，并实现量产。
本项目建于北京XX经济技术开发区内。拟建设8″0.35～0.18μm，预计量产时，月投片30000片；12″先进制程线，0.13～0.09μm，月投产3000片。集成电路产业是电子信息产业的核心，随着科技的发展，电子信息产业将以更快的速度发展。微电子技术的发展目标是不断提高集成电路的性能和性价比，不断缩小半导体器件的特征尺寸。
本项目建设期确定为8年，建设期2年（2002～2003年，实际1.25年），建设投产期2年，达产期4年。总投资为12.5亿美元，所需的资金由投资方以注册资本投入6亿美元，5000万美元由投资方自筹，6亿美元通过境内外银行贷款解决。
本项目预计5.78年后即可收回全部投资，达产年平均创利税19469.88万美元，说明该项目有较好的盈利能力。
“中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目”是北京XX经济技术开发区的建设项目之一，也进一步加速推动了国外集成电路产业向我国转移，使我国尽快成为世界集成电路生产制造基地之一。
2003年6月5日国家发展和改革委员会颁发了发改高技[2003]604号文“印发国家发展改革委员会关于审批中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司建设超大规模集成电路芯片生产线项目建议书的请示的通知”，2003年6月30日北京XX市发展计划委员会颁发了京计高技文[2003]1059号文“关于转发国家发展改革委关于中芯国际XXXX集成电路芯片生产线项目建议书的请示的通知”。
根据《中华人民共和国环境保护法》、《建设项目环境保护管理条例》（国务院令253号）和国家环境总局的有关规定，该项目属国家环保总局审批项目。
受中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司的委托，北京XX市环境保护科学研究院承担本项目的环境影响报告书的编制工作。
1.2 编制依据
1.2.1环保政策、法规
1．《中华人民共和国环境保护法》，1989年12月；
2．《中华人民共和国环境影响评价法》，2003年9月1日起实施；
3．《中华人民共和国大气污染防治法》，2000年4月；
4．《中华人民共和国水污染防治法》，1996年5月；
5．《中华人民共和国环境噪声污染防治条例》，1996年10月；
6．《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》，1995年10月；
7．《建设项目环境保护管理条例》，国务院令第253号，1998年11月；
8．《关于加强工业节水工作的意见》国经贸资源[2000]1015号；
9．《关于推行清洁生产的若干意见》，国家环保局环控[1997]0232号，1997年4月；
10．GB18597-2001《危险废物贮存污染控制标准》；
11．《关于危险废物转移联单管理办法》；
12．北京XX市环境保护局“关于执行《危险废物转移联单管理办法》的通知”；
13．《中华人民共和国清洁生产促进法》，2002年6月；
14．《北京XX市环境空气质量功能区划》；
15．《北京XX市水环境功能区划》；
17．《北京XX市国民经济和社会发展第十五个计划纲要》
18．《亦庄卫星城总体规划》(2001-2020年)。
1.2.2立项文件
国家发展和改革委员会文件发改高技[2003]604号文“印发国家发展改革委员会关于审批中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司建设超大规模集成电路芯片生产线项目建议书的请示的通知”。
1.2.3批复文件
1．国家发展和改革委员会文件发改高技[2003]483号文“国家发展改革委关于审批中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司建设超大规模集成电路芯片生产线项目建议书的请示”；
2．北京XX市发展计划委员会的京计高技文[2003]1059号文“关于转发国家发展改革委关于中芯国际XXXX集成电路芯片生产线项目建议书的请示的通知”；
3．北京XX经济技术开发区管委会文件京技管[2002]233号《关于外商独资北京XX中芯环球半导体有限公司微电子厂房可行性研究报告的批复》；
4．《中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司建设超大规模集成电路芯片生产线项目环境影响评价大纲》，2003年6月；
5．《关于中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司建设超大规模集成电路芯片生产线项目环境影响评价大纲的评估意见》，国环评估纲[2003]143号。
1.2.4技术导则
1．HJ/T2.1～2.3－93《环境影响评价技术导则》；
2．HJ/T2.4－1995《环境影响评价技术导则－声环境》；
1.2.5技术文件
1．信息产业电子第十一设计研究院承担编制的《北京XX中芯环球半导体有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目初步设计》；
2．《国家危险废物名录》；
3．中芯国际XXXX集成电路制造（上海）有限公司的一期工程“三同时”竣工验收环境保护设施监测报告；
4．中芯国际XXXX集成电路制造（上海）有限公司提供的各种监测和测试报告。
1.2.6任务委托书
中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司环境影响评价任务委托书。
1.3评价工作总体设计
本评价核心问题是在北京XX经济技术开发区内，中芯国际XXXX集成电路制造（北京XX）有限公司建设超大规模集成电路芯片生产线项目，从环保角度分析是否可行。围绕这一核心问题，评价工作将从以下几个方面侧重加以讨论： 评价区环境质量现状；结合北京XX市经济技术开发区总体规划（亦庄卫星城总体规划），论证厂址选择的环境可行性；从水资源的供给和利用等方面论证项目选址的可行性，进一步分析并提出节水途径和措施；拟建项目的清洁生产水平；对有毒危险品的储运及使用进行风险分析；污染治理措施；污染物达标排放分析等七个方面进行全面阐述。以实现北京XX市经济技术开发区的经济效益、社会效益和环境效益协调发展为最终目的。
1.4评价目的和工作原则
1.4.1评价目的
通过对项目拟建地周围地区环境现状调查，以及对拟建项目生产工艺、工程污染源的调查与分析，预测项目投产后对环境可能造成的影响程度、范围以及当地环境可能发生的变化状况，并在此基础上，对拟建项目建设的可行性从环境角度做出结论。同时提出相应的环保治理措施与建议，为领导的决策、设计部门的设计和建设单位的管理提供依据。
本次评价最终目的就是结合芯片生产项目的特点和环境敏感问题，及早发现该项目可能发生的环境问题，提出解决这些环境问题的途径，给出环境监管和治理措施方案。做到既对环境保护管理的法律、法规、制度和技术保障负责，也要对建设单位负责。
1.4.2评价原则
在工程项目的评价中，要认真贯彻执行国家、北京XX市和北京XX经济技术开发区的有关法律和法规，在贯彻执行“一控双达标”和清洁生产的前提下，以确保拟建项目实施后的环境污染问题得到有效解决，做到既要发展生产，又要保护环境的宗旨，实现可持续发展的战略。具体评价方法如下：
1．根据（86）国环字第117号文件精神，在保证报告书质量的前提下，尽量收集利用已有的资料和数据，并结合必要的调查和监测，适应建设项目的需要。
2．结合北京XX市经济技术开发区发展总体规划、环境功能区划，论证厂址选择的环境可行性。
3．本工程所需用水全部来自城市自来水，对水量的需求相当大。北京XX是水资源紧缺地区，为了地区的持续发展，必须节约用水。本评价重点是节水问题，扩大废水回用率，确保节水、减污方针得以落实。
4．本工程属于新建项目，环境影响评价工作需要算清楚项目按计划实施后公司各种污染物的实际排放量。根据上海同类产品实测资料，结合本项目的产量和工艺特点进行污染源强的核算。
5．按照清洁生产、总量控制、达标排放的原则，项目建成后，公司污染物排放浓度和总量报请主管环保管理部门，作为本公司核定总量控制指标的依据。
1.5评价等级
1.5.1环境空气质量等级
根据《环境影响评价技术导则－大气环境》（HJ/T2.2－93）的有关要求，评价工作的分级参照主要大气污染物的等标排放量和地形条件来确定，见下式：
式中：Pi——等标排放量（m3/h）；
Qi——单位时间排放量（t/h）；
Coi——大气环境质量标准（mg/m3）。
本项目处于平原地区，大气污染源中主要污染物为HF、HCl、NH3和NOX等，其等标排放量（Pi）见表1-1。
表1-1 拟建工程主要污染物等标排放量（Pi）
序号
污染物
Pi
1
HF
0.44ｘ107
2
HCl
0.30ｘ107
3
NH3
0.03ｘ107
4
NOX
0.001ｘ107
由表1-1可知，HF等标排放量最大，Pi为0.44×107，远小于2.5×108，据此，将大气环境影响评价工作等级定为三级。
1.5.2水环境影响评价等级
本项目建成后生产废水和生活污水将纳入市政污水管网，建设项目污水水质复杂程度为中等，污水排放量约3666m3/d。因此，本项目将分析该工程废污水经处理后是否符合市政污水管网排放标准。
据此，按照《环境影响评价技术导则－地面水环境》（HJ/T2.3－93）的有关规定，可以将本项目的水环境影响评价工作等级定为三级。
1.5.3噪声评价工作等级
本项目建设地点位于工业区，离居民生活区较远，预计本工程项目建成投产后，噪声对居民不会有很大影响。根据声环评导则，本项目噪声评价工作定为三级。
1. 6评价工作重点
根据拟建项目的工程性质和当地的自然和社会环境特点，确定本评价的重点为：
1．工程分析、工程所排大气污染物、水污染物、固体废弃物及噪声的污染防治措施及其对周围环境的影响。
2．清洁生产中节水措施分析，从水资源角度论述本项目的可行性。
1.7评价范围
1.7.1大气评价范围
以工程拟建地为中心，东-西方向边长4km，北-南方向边长4km，评价面积约为16km2。
1.7.2水环境影响评价范围
拟建工程排水口至受纳市政下水道有关管段。
1.7.3噪声评价范围
厂界外1m（厂界围墙）处。
1. 8环境保护目标
从本项目所处的地理位置及周边环境分析，项目开发区内没有重要文物古迹和珍稀动植物，因此把在评价范围内的居民区、学校和医院等受影响人群作为本次评价的环境保护敏感点。主要有：旭东房地产、卡尔生活馆、大雄房地产等本项目以西和西北侧的一片居民区和学校，还有北京XX职教园和北工大实验学院等 。主要环境保护目标见表1-2。
表1-2 主要环境保护目标
序号
主要环境保护目标
距离（m）
方位（相对与本项目）
开发区内的地块号
1
多伦多国际医院
1750
北侧

2
亦庄卫生院
1875
西北侧

3
贵园北里五区
2000
西北侧

4
贵北一区
1900
西北侧

5
贵园南里五区
1850
西北侧

6
贵园南里一区
1750
西北侧

7
贵南四区
1725
西北侧

8
贵南二区
1650
西北侧

9
富园南里三区
1500
西北侧

10
亦鸣春晓
1600
西北侧

11
新康家园
1700
北侧
1
12
昕涛雅园
1500
北侧

13
东晶国际公寓
1525
北侧

14
大雄城市花园
1650
北侧
2
15
一栋洋房
1225
北侧
11
16
鹿鸣苑
1375
北侧
12
17
长新别墅
1350
北侧
12
18
金地四季翠园
950
北侧
18
19
狮城百骊
1000
北侧
17
20
卡尔生活馆
750
北侧
24
21
旭东房地产
650
北侧
25
22
大雄房地产
800
北侧
26
23
星岛三四期
2275
西北侧

24
青年公寓
1500
南侧
X12
25
北工大实验学院
800
西南侧
X4
26
北京XX职教园
1075
东南侧
X5
27
亦庄中学
1725
西北侧
─
28
亦庄小学
1930
西北侧
─
29
开发区实验学校
1325
西北侧
8
30
社区体育中心
1325
西北侧
8
31
双语幼儿园
1250
西北侧
9
32
同仁医院
1175
东南侧
62
33
三海子公园
1825
西侧
─

1. 9评价因子的确定
根据项目所在地区的环境特征和保护目标敏感程度，并参照筛选结果，选定下列因子作为评价因子：
1.9.1大气评价因子
1．环境质量现状评价因子
TSP、 PM10、SO2、 NO2、氟化物、HCl、Cl2、NH3、硫酸雾、非甲烷总烃和
恶臭共11项。
2．环境影响预测因子
HF、HCl、硫酸雾、Cl2、NH3、非甲烷总烃和NOX共7项。
1.9.2水评价因子
1．排水评价因子
PH、CODcr、BOD5、SS、F－、NH3-N、TOC和AOX 共8项。
2．地下水水质现状评价因子
除常规外，主要为钨、硼2项。
1.9.3声环境评价因子
1．环境质量现状评价因子
环境背景值（厂界噪声（Leq））
2．环境影响预测因子
厂界噪声（Leq）
1.9.4固体废物评价因子
水处理污泥、生产过程中产生的废溶剂、废酸、废异丙醇等物质以及生活垃圾等。
1.9.5土壤评价因子
砷（As）、硼（B）、氟（F）和钨（W） 共4项。
1.9.6施工期环境影响分析因子
施工扬尘和噪声
1.9.7总量控制因子
1．大气污染物总量控制因子
HF。
2．水污染物总量控制因子
CODcr 、NH-N。
3．固体废物总量控制因子
各类工业固体废物和生活垃圾。
1.10评价标准
1.10.1大气评价标准
1.10.1.1大气污染物排放标准
新建生产线大气排放标准（部分污染物）执行GB16297-1996《大气污染物综合排放标准》中（表2）新污染源二级标准，氨执行GB14554-93《恶臭污染物排放标准》中氨的限值，PH3、H3PO4和SiH4等采用《荷兰排放导则》中的标准，具体指标见表1-3。
表1-3 大气污染物综合排放标准

污染物
最高允许排放浓度
(mg/m3)
最高允许排放速率 (kg/h)
20m
30m
40m
50m
60m
H2SO4雾
45
2.6
8.8
15
23
33
NOx
240
1.3
4.4
7.5
12
16
氟化物
9
0.17
0.59
1.0
1.5
2.2
HCl
100
0.43
1.4
2.6
3.8
5.4
Cl2
65
--
0.87
2.9
5.0
7.7
非甲烷总烃
120
17
53
100
--
--
氨*1
--
8.7
20
35
--
75
H3PO4
5.0*2
0.05*2
SiH4
5.0*2
0.05*2
PH3
1.0*2
0.01*2
*1取自GB14554-93中氨的限值
*2菏荷兰排放导则
本项目建有天然气锅炉房和VOC使用天然气，其污染物排放标准，执行北京XX市地方标准《锅炉污染物综合排放标准》（DB11/139-2002）中燃气锅炉的规定，见表1-4。
表1-4 锅炉大气污染物排放限值
污染物名称
最高允许排放浓度(mg/Nm3)
标准来源(DB11/139-2002)
烟尘
10
全部区域、全部段
SO2
20
NOx
200

1.10.1.2环境空气质量标准
环境空气质量执行GB3095-1996《环境空气质量标准》（2000年修改本）中的二级标准和TJ36-79《工业企业设计卫生标准》居住区大气中有害物质的最高允许浓度，大气环境质量标准限值见表1-5。
表1-5 各项污染物的浓度限值 单位：mg/m3
污染物
取值时间
浓度限值（二级）
标准来源

SO2
年平均
0.06

《环境空气质量标准》
（GB3095-1996）

日平均
0.15
1小时平均
0.50
TSP
年平均
0.20
日平均
0.30
NO2
年平均
0.08
日平均
0.12
1小时平均
0.24
PM10
年平均
0.10
日平均
0.15
氟化物（F-）
日平均
7(μg/Nm3)
1小时平均
20(μg/Nm3)
NH3

最高允许浓度
一次
0.20
《工业企业设计卫生标准》
（TJ36-79）
居住区大气中有害物质的最高允许浓度
HCl
一次
0.05
日平均
0.015
硫酸雾
一次
0.30
日平均
0.10
Cl2
一次
0.10
日平均
0.03
总烃*
日平均
2.0
以色列国家标准
1小时平均
5.0
*作为非甲烷总烃标准的参考值
恶臭厂界标准值执行国家GB1454-93中氨的标准，见表1-6。
表1-6 恶臭污染物厂界标准值
控制项目
单位
厂界二级
恶臭浓度
无量纲
20

1.10.2废水排放评价标准
1.10.2.1废水排放标准
本项目污水按规划排入开发区污水处理厂，最终汇入凉水河。目前，开发区污水处理厂已建成，排水水质按照《北京XX市水污染物排放标准(试行)》中“排入城市下水道的水污染物排放标准”中的B标准和《污水综合排放标准》（GB8978-1996）中的三级标准中的严格标准限值执行。本项目污染物最高允许排放浓度见表1-7。
表1-7 本项目水污染物最高允许排放浓度 （单位：mg/L，除PH外）
项目
CODcr
PH
F-
SS
BOD5
AOX
TOC
氨氮
最高允许排放浓度
500
6-9
10
400
300
8.0
--
--

采用标准名称
《北京XX市水污染物排放标准》排入市政下水道标准中的B标准

污水综合排放标准中的三级标准

1.10.2.2 地表水环境质量标准
凉水河水质评价采用GB3838-2002《地表水环境质量标准》中的Ⅴ类标准，见表1-8。
表 1-8 地表水Ⅴ类标准
项目
NH3-N
COD
BOD
高锰酸盐指数
石油类
溶解氧
阴离子
表面活性剂
标准值
2.0
40
10
15
1.0
2
0.3

1.10.3固体废物标准
执行《中华人民共和国固体废物污染环境防治法》、《关于危险废物转移联单管理办法》、《危险废物贮存污染控制标准》以及北京XX市环境保护局“关于执行《危险废物转移联单管理办法》的通知”中的有关规定。
1.10.4噪声标准
根据北京XX市噪声功能区的划分，该地区属于噪声环境功能区的3类区。因此，拟建地周围的环境噪声执行国家《城市区域噪声标准》(GB3096-93)中3类标准，标准限值见表1-89，厂界噪声执行《工业企业厂界噪声标准》(GB12348～90)中“III类”地区的规定，见表1-910。
表1-8 9 城市区域环境噪声标准 单位：dB(A)
适用标准
昼间
夜间
适用范围
《城市区域环境噪声标准》3类
65
55
工业区

表1-9 10 工业企业厂界噪声标准 等效声级：dB(A)
类别
昼
夜
III
65
55

1.10.5施工期噪声
施工期噪声应执行《建筑施工场界噪声限值标准》(GB12523-90)的有关规定，具体数值详见表表1-1011。
表1-10 11 施工期噪声执行标准
施工阶段

主要噪声源

噪声限值[dB(A)]
昼间
夜间
土石方
推土机、挖掘机、装载机等
75
55
打桩
各种打桩机等
85
禁止施工
结构
混凝土搅拌机、振捣棒、电锯等
70
55
装修
吊车、升降机等
65
55

1.10.6土壤环境
本项目所在区域的砷（As）采用《土壤环境质量标准》（GB15618-1995）中的二级标准进行评价，其标准值见表1-1112。
表1-1112 土壤环境质量标准值 mg/Kg
指标
PH<6.5
PH 6.5～7.5
PH>7.5
砷(旱地)≤
40
30
25

1.10.7绿化标准
执行《北京XX市城市绿化管理条例》中的有关规定，即“新建住宅区和其它成片建设地区的绿化，要与建设工程同时规划，同时设计，……在郊区其绿化面积不得少于百分之三十”的规定。”

11

中芯国际XXXX集成电路制造（北京）有限公司超大规模集成电路芯片生产线项目环境影响报告书
2工程概况
2.1项目投资方情况
2.1.1项目投资方及法定代表人
投资方名称：中芯国际XXXX集成电路制造有限公司（以下简称中芯国际XXXX）
Semiconductor Manufacturing International Corporation
（以下简称SMIC）
  公司注册地址：PO  Box  309，Grand Cyman
  法定代表人：Richard R.Chang（(张汝京) 
2.1.2经营范围
包括各类半导体（硅片及各类化合物半导体）集成电路芯片制造、针测及测试，与集成电路有关的开发服务、技术服务、光掩摸制造、测试封装，销售自产产品。