2026年蒸发镀膜设备维修（蒸发镀膜故障）考题及答案.doc

2026年蒸发镀膜设备维修（蒸发镀膜故障）考题及答案

（考试时间：90分钟 满分100分）
班级______ 姓名______

第I卷（选择题 共30分）
（总共6题，每题5分，每题只有一个正确答案，请将正确答案填在括号内）
w1. 蒸发镀膜过程中，膜层出现局部厚度不均匀，可能是以下哪种原因导致的（ ）
A. 蒸发源温度过高
B. 真空度不够
C. 基片温度不均匀
D. 镀膜材料纯度不够
w2. 当蒸发镀膜设备的蒸发舟出现损坏时，最可能出现的现象是（ ）
A. 镀膜速率突然加快
B. 膜层颜色异常
C. 真空度急剧下降
D. 蒸发电流不稳定
w3. 蒸发镀膜时，若发现膜层附着力差，以下因素中最不可能的是（ ）
A. 基片表面清洁度不够
B. 蒸发源功率设置过低
C. 镀膜前基片未进行预处理
D. 镀膜环境湿度太大
w4. 蒸发镀膜设备的真空系统出现泄漏，会导致（ ）
A. 镀膜厚度增加
B. 膜层质量变好
C. 蒸发速率变慢
D. 真空度无法达到设定值
w5. 在蒸发镀膜过程中，若监测到蒸发材料的蒸发速率异常波动，首先应检查（ ）
A. 镀膜工艺参数设置
B. 真空泵运行状态
C. 蒸发源加热系统
D. 基片传送装置
w6. 蒸发镀膜设备的控制系统出现故障，可能会造成（ ）
A. 膜层成分改变
B. 镀膜设备无法启动
C. 膜层厚度均匀性变好
D. 蒸发材料消耗减少

第II卷（非选择题 共70分）
w7. （10分）简述蒸发镀膜过程中影响膜层厚度均匀性的主要因素及相应解决措施。
w8. （15分）当蒸发镀膜设备出现膜层颜色偏差时，分析可能的原因并说明如何排查与解决。
w9. （15分）蒸发镀膜设备的蒸发源维护至关重要，请阐述蒸发源常见的故障类型以及维护要点。
w10. （20分）阅读以下材料：在一次蒸发镀膜生产过程中，操作人员发现镀膜速率明显低于正常水平。已知该镀膜设备之前运行正常，近期也未进行过重大维修或更换部件。
问题：请分析可能导致镀膜速率降低的原因，并提出相应的解决方法。
w11. （2次蒸发镀膜设备在运行一段时间后，出现了真空度下降的情况。经过检查，发现真空泵工作正常，管道也没有明显泄漏。
问题：请推测可能导致真空度下降的其他原因，并说明如何进一步排查与解决。

答案：
w1. C
w2. D
w3. B
w4. D
w5. C
w6. B
w7. 影响膜层厚度均匀性的主要因素及解决措施：蒸发源分布，若蒸发源分布不合理，会使膜层厚度不均匀，需合理设计蒸发源布局；基片位置，基片放置位置不当会导致膜厚不均，要确保基片放置位置合适；真空度分布，真空度不均匀会影响蒸发粒子运动，进而影响膜厚，要保证真空度均匀稳定。
w8. 膜层颜色偏差可能原因：蒸发材料不纯，含杂质会使膜层颜色改变；蒸发速率异常，过快或过慢会影响膜层光学性质导致颜色偏差；基片温度变化，温度不同膜层颜色有差异。排查：检查蒸发材料纯度，分析蒸发速率监测数据，测量基片温度。解决：更换纯净蒸发材料，调整蒸发速率至合适范围，稳定基片温度。
w9. 蒸发源常见故障类型：蒸发舟损坏，会导致蒸发电流不稳定等；蒸发源堵塞，影响蒸发材料供应。维护要点：定期检查蒸发舟损耗情况，及时更换；清理蒸发源通道，保证蒸发材料顺畅供应。
w10. 可能原因：蒸发源温度不够，导致蒸发材料蒸发不充分；真空度下降，影响蒸发粒子传输；镀膜材料纯度降低。解决方法：检查蒸发源加热系统，提高温度；检查真空系统，修复泄漏点，提高真空度；更换纯度合格的镀膜材料。
w11. 可能原因：真空腔体内有吸附气体的物质，如油脂等；真空规管故障。排查：检查真空腔体内壁是否有油污等，更换真空规管测试。解决：清洁真空腔体，更换故障的真空规管。