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单晶硅棒技术检验要求.doc

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资源描述

1、发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业 页码: 1/3供给商名称版本发行日期五神光电0312-03-20单晶硅圆棒质量技术规格书签署栏发行方供给商发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业 1范围 本规格书要求了单晶硅圆棒技术要求、 检验规范以及包装。 本规格书适适用于直接外购单晶硅6吋, 6.5吋, 8吋圆棒。 本规格书作为供方与昱辉阳光能源有限企业之间釆购协议技术标准, 经双方签署后生效。 本规格书可由昱辉阳光能源有限企业依据产品需求进行变更, 双方进行签暑后生效; 同时旧版规格书立刻作废。2、 规范性引用文件: 浙江晃辉阳光能源有限企业单晶事业部单晶硅圆棒检验内控标准。3、 术语及定义 长度:

2、单晶硅圆棒两个端面之间最短距离。 直径: 整根圆棒最细处直径。缺口: 晶棒表面局部缺损, 其尺吋由纵向长度和径向深度给出。裂纹: 由晶棒上任意一点向其它位置延伸贯穿或未贯穿晶棒裂痕。发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业 页码: 2/3 4、 技术要求: 特征 反应计划项目产品/过程规范/公差评价测量技术样本控制方法容量频率外观无孪晶、 无空洞、 无断棱、 无硬伤、 无裂纹、 缺口弧长3mm深度1.5mm目测100%全检每根单晶硅棒检验标准不合格处切除直径155mm6吋直径153mm172mm6.5吋直径168mm206mm8吋直径203mm游标卡尺精度0.02mm100%全检每根单晶硅棒检验标

3、准不合格处切除无位错长度去掉位错和直径偏小后圆棒长度大于300mm卷尺精度1mm100%全检每根单晶硅棒检验标准不合格处切除, 小于100mm报废电阻率表皮电阻率: 1.2-2.8.cm四探针电阻率测试仪(BD-86)100%每根单晶硅棒检验标准电阻率C、 O含量C含量小于5ppma、 O含量小于20ppma(ASTM88)Nicolet6700傅叶变换红外光谱仪100%每根单晶硅棒检验标准不合格反切少子寿命少子寿命大于10usWT-少子寿命测试仪100%每根单晶硅棒检验标准不合格反切掺杂类型掺硼供方质量确保书/极性P型半导体极性仪100%每根单晶硅棒检验标准不合格拒绝接收发文单位: 浙江昱辉

4、阳光能源有限企业 页码: 3/3 5、 检验规范: 检验与验收: 产品由需方过程检验部门负责检验并填写品质检验单, 并交质量管理部进行审核。检验项目每根圆棒根据上表中检验项目和要求进行检验。检验结果判定当全部检验项目均合格时, 则判定圆棒合格。若有一项不合格,则该晶棒不合格做退回供方处理。 6、 标志、 包装、 运输、 储存: 供方在来料时需用聚苯烯(泡沫)进行逐一包装,并附供方品质检验单,经包装晶棒装入包装箱,并装满填充物,晶棒不能有松动现象。包装箱外注明“移动轻放”、 “易碎”等标识, 附装箱清单并标明需方企业名称、 地点、 产品名称、 产品件数、 规格及重量等信息。每批产品要随货附产品装箱明细, 明细中显示晶体编号、 长度、 重量、 尺寸等信息, 并附供方检验结果和结论。产品在运输过程中要轻装轻卸, 不得挤压、 碰撞, 每托圆棒堆放高度不能超出三层。储存在安全,干燥环境。

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