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单晶硅棒技术检验要求.doc

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单晶硅棒技术检验要求.doc

1、发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业页码: 1/3 供给商名称版本发行日期五神光电 0312 -03-20 单晶硅圆棒质量技术规格书签署栏发行方供给商发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业 1范围本规格书要求了单晶硅圆棒技术要求、检验规范以及包装。本规格书适适用于直接外购单晶硅6吋, 6.5吋, 8吋圆棒。本规格书作为供方与昱辉阳光能源有限企业之间釆购协议技术标准, 经双方签署后生效。本规格书可由昱辉阳光能源有限企业依据产品需求进行变更, 双方

2、进行签暑后生效; 同时旧版规格书立刻作废。 2、规范性引用文件: 浙江晃辉阳光能源有限企业单晶事业部《单晶硅圆棒检验内控标准》。 3、术语及定义长度: 单晶硅圆棒两个端面之间最短距离。直径: 整根圆棒最细处直径。缺口: 晶棒表面局部缺损, 其尺吋由纵向长度和径向深度给出。裂纹: 由晶棒上任意一点向其它位置延伸贯穿或未贯穿晶棒裂痕。发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业页码: 2/3 4、技术要求:

3、特征反应计划项目产品/过程规范/公差评价测量技术样本控制方法容量频率外观无孪晶、无空洞、无断棱、无硬伤、无裂纹、缺口弧长≤3mm深度≤1.5mm 目测 100%全检每根单晶硅棒检验标准不合格处切除直径 155mm≥6吋直径≥153mm 172mm≥6.5吋直径≥168mm 206mm≥8吋直径≥203mm 游标卡尺精度0.02mm 100%全检每根单晶硅棒检验标准不合格处切除无位错长度去掉位错和直径偏小后圆棒长度大于300mm 卷

4、尺精度1mm 100%全检每根单晶硅棒检验标准不合格处切除, 小于100mm报废电阻率表皮电阻率: 1.2-2.8Ω.cm 四探针电阻率测试仪（BD-86） 100% 每根单晶硅棒检验标准电阻率 C、 O含量 C含量小于5ppma、 O含量小于20ppma（ASTM88） Nicolet6700傅叶变换红外光谱仪 100% 每根单晶硅棒检验标准不合格反切少子寿命少子寿命大于10us WT-少子寿命测试仪 100% 每根单晶硅棒检验标准不合格反切掺杂类型掺硼供方质量确保书 / / / / 极性 P

5、型半导体极性仪 100% 每根单晶硅棒检验标准不合格拒绝接收发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业页码: 3/3 5、检验规范: ⑴检验与验收: 产品由需方过程检验部门负责检验并填写品质检验单, 并交质量管理部进行审核。 ⑵检验项目每根圆棒根据上表中检验项目和要求进行检验。 ⑶检验结果判定当全部检验项目均合格时, 则判定圆棒合格。若有一项不合格,则该晶棒不合格做退回供方处理。 6、标志、包装、运输、储存: ⑴供方在来料时需用聚苯烯(泡沫)进行逐一包装,并附供方品质检验单,经包装晶棒装入包装箱,并装满填充物,晶棒不能有松动现象。 ⑵包装箱外注明“移动轻放”、 “易碎”等标识, 附装箱清单并标明需方企业名称、地点、产品名称、产品件数、规格及重量等信息。 ⑶每批产品要随货附产品装箱明细, 明细中显示晶体编号、长度、重量、尺寸等信息, 并附供方检验结果和结论。 ⑷产品在运输过程中要轻装轻卸, 不得挤压、碰撞, 每托圆棒堆放高度不能超出三层。储存在安全,干燥环境。