扩散工艺说明(尚德).docx

SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩 散
工位编号
KS
需要人数

第1张共7张
流向
ZBKS
1. 目 的
确保单晶硅磷扩散工艺处于稳定受控状态
2. 适用范围
适用于单晶硅磷扩散工序
3. 责 任
本工艺说明由技术部负责
4. 内 容
4.1 工艺流程
4.1 按照设备点检表点检设备是否完好，符合运行条件。
4.2 升温
4.2.1 按照《扩散设备操作规程》进行升温。对于不常用的炉管，需先进行一次饱和。
4.3 装片、检验（见附页一）
4.3.1 打开传递窗，将片盒从传递窗拿出放到净化工作台里；
4.3.2 用舟叉将空石英舟端至净化工作台；
4.3.3 用石英真空吸笔将片盒内的硅片移至石英舟槽内，每槽2片；
4.3.4 在装片过程中，需检验硅片表面是否干净。若硅片两面都不干净，做返工片处理；若一面干净，一面不干净，则将干净面作为扩散面；
4.3.5 检查硅片是否有裂纹，若有裂纹作碎片处理。
4.4 上桨（见附页二）
4.4.1 用舟叉将石英舟平稳端出净化台，石英舟微微向上倾斜，约15°，端至碳化硅桨上，一边靠近匀流板约13cm。
4.5 扩散
4.5.1 按照《扩散设备操作规程》，开启设备，具备生产条件；
4.5.2 点击触摸屏上的“工艺运行”按钮，输入正确的工艺号,参照《扩散工序工艺参数表》，检查各工艺参数是否符合要求，点击“确认”按钮，运行扩散工艺。

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底 图 总 号

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SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩 散
工位编号
KS
需要人数

第2张共7张
流向
ZBKS
4.6 方块电阻测量（见附页三）
4.6.1 扩散工艺运行完毕后，用舟叉将石英舟端至卸片台，按照从炉口到炉尾的方向依次均匀的取五片，放入片盒中，注意区分扩散面和非扩散面，扩散面一定要朝片盒的大面放置。
4.6.2 按照《四探针测试仪操作规程》测量方块电阻，测量硅片中心点和四个角的方块电阻值，测量四角方块电阻时注意探针距硅片边缘的距离要大于1cm，测完后关闭四探针主机电源，并且正确填写《方块电阻记录表》。
4.6.3 方块电阻值要求在40±5Ω范围内，不均匀度不超过10％，如超出该范围，应立即通知工艺人员。不均匀度的定义为：计算五片硅片的方块电阻平均值，在这五个数值中取最大值和最小值，
（R最大-R最小）/（R最大+R最小）×100%即为不均匀度。
4.7 卸片、检验（见附页四）
4.7.1 若方块电阻无异常，则将石英舟上扩散后的硅片装至黑色承载盒中，确保所有硅片扩散面向上。
4.7.2 通过传递窗流入下道工序。
4.8 工艺参数
4.8.1 扩散工艺参数
在各炉管中，均定义为01号工艺。

时间（分钟）
温度（℃）
大N2（L/min）
小N2（L/min）
O2（L/min）
源温（℃）
进炉
6
840~890
25~30

20
稳定
9
840~890
25~30

20
通源
20~30
840~890
25~30
1.6~2.0
1.8~2.2
20
吹氮
10
840~890
25~30

20
出炉
10
840~890
25~30

20
注：因各炉管之间的差异，所以各工艺参数之间也存在差异，上表给出的是正常的工艺参数的
范围。

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底 图 总 号

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SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩 散
工位编号
KS
需要人数

第3张共7张
流向
ZBKS
4.8.2 TCA清洗工艺
在各炉管中，均定义为02号工艺。

时间（分钟）
温度（℃）
大N2（L/min）
小N2（L/min）
O2（L/min）
源温（℃）
通氧
5
1050
25

10.0
20
通源
480
1050
25
1.0
10.0
20
吹氧
10
1050
25

10.0
20

4.9 注意事项
4.9.1 各个炉管工艺参数操作者不得随意改动。
4.9.2本工序必须穿戴连体洁净工作服、洁净工作鞋、洁净工作帽、乳胶手套及口罩。
4.9.3 必须正确填写《电池线生产日报&交接表》。
5.引用文件
扩散设备操作规程：SF／QD-设备-02
炉管清洗工艺操作规程：SF／QD-工艺-03
扩散检验工艺规程：SF／QD-工艺-13
四探针测试仪操作规程：SF／QD-设备-12
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SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩散
工位编号
KS
需要人数

第4张共7张
流向
ZBKS
附页一：装片、检验

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日 期

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日 期
第4页

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插 片

插片时必须穿好洁净工作服。

净化工作台

严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。

石英吸笔，从片盒中吸取硅片插到石英舟内。

片 盒

石英舟，每个槽插两片硅片

旧底图总号

底 图 总 号

日 期 签 名

SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩散
工位编号
KS
需要人数

第5张共7张
流向
ZBKS
附页二：上桨
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日 期

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日 期
第5页

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上 桨

移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！

触摸屏

碳化硅桨，易碎
安装、拆卸时切勿碰撞！

距离13cm

匀流板

旧底图总号

底 图 总 号

日 期 签 名

SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩散
工位编号
KS
需要人数

第6张共7张
流向
ZBKS
附页三：方块电阻测量

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日 期

签 名
日 期
第6页

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共7页

标准化

批 准

四探针测试台
测 量

四探针主机

扩散面朝上

如实填写《方块电阻记录表》，如有异常情况，及时通知工艺人员。

旧底图总号

底 图 总 号

日 期 签 名

SF
工艺说明
产品名称
单晶硅电池片
编号
SF5.405.010GGS
产品图号
SF5.405.010
版号
01
工位名称
扩散
工位编号
KS
需要人数

第7张共7张
流向
ZBKS
附页四：卸片、检验

5．引用文件
扩散设备操作规程：SF/QD-设备-02
炉管清洗工艺操作规程：SF/QD-工艺-03
扩散检验工艺规程：SF/QD-工艺-13
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日 期

签 名
日 期
第7页

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卸 片

卸片台，不得放置异物，以免污染硅片！

扩散面一律朝上！

承载盒

旧底图总号

底 图 总 号

日 期 签 名