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1、SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩 散 工位编号 KS 需要人数 第1张共7张 流向 ZBKS 1. 目 的 确保单晶硅磷扩散工艺处于稳定受控状态 2. 适用范围 适用于单晶硅磷扩散工序 3. 责 任 本工艺说明由技术部负责 4. 内 容 4.1 工艺流程 4.1 按照设备点检表点检设备是否完好，符合运行条件。 4.2 升温 4.2.1 按照《扩散设备操作规程》进行升温。对于不常用的炉管，需先进行一次饱和。 4.3 装片、检验（见附
2、页一） 4.3.1 打开传递窗，将片盒从传递窗拿出放到净化工作台里； 4.3.2 用舟叉将空石英舟端至净化工作台； 4.3.3 用石英真空吸笔将片盒内的硅片移至石英舟槽内，每槽2片； 4.3.4 在装片过程中，需检验硅片表面是否干净。若硅片两面都不干净，做返工片处理；若一面干净，一面不干净，则将干净面作为扩散面； 4.3.5 检查硅片是否有裂纹，若有裂纹作碎片处理。 4.4 上桨（见附页二） 4.4.1 用舟叉将石英舟平稳端出净化台，石英舟微微向上倾斜，约15°，端至碳化硅桨上，一边靠近匀流板约13cm。 4.5 扩散 4.5.1 按照《扩散设备操作规程》，开启设备，具备生产
3、条件； 4.5.2 点击触摸屏上的“工艺运行”按钮，输入正确的工艺号,参照《扩散工序工艺参数表》，检查各工艺参数是否符合要求，点击“确认”按钮，运行扩散工艺。 更改标记 数量 更改单号 签 名 日 期 签 名 日 期 第1页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准
4、 旧底图总号 底 图 总 号 日 期 签 名 SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩 散 工位编号 KS 需要人数 第2张共7张 流向 ZBKS 4.6 方块电阻测量（见附页三） 4.6.1 扩散工艺运行完毕后，用舟叉将石英舟端至卸片台，按照从炉口到炉尾的方向依次均匀的取五片，放入片盒中，注意区分扩散面和非扩散面，扩散面一定要朝片盒的大面放置。 4.6.
5、2 按照《四探针测试仪操作规程》测量方块电阻，测量硅片中心点和四个角的方块电阻值，测量四角方块电阻时注意探针距硅片边缘的距离要大于1cm，测完后关闭四探针主机电源，并且正确填写《方块电阻记录表》。 4.6.3 方块电阻值要求在40±5Ω范围内，不均匀度不超过10％，如超出该范围，应立即通知工艺人员。不均匀度的定义为：计算五片硅片的方块电阻平均值，在这五个数值中取最大值和最小值， （R最大-R最小）/（R最大+R最小）×100%即为不均匀度。 4.7 卸片、检验（见附页四） 4.7.1 若方块电阻无异常，则将石英舟上扩散后的硅片装至黑色承载盒中，确保所有硅片扩散面向上。 4.7.2
6、通过传递窗流入下道工序。 4.8 工艺参数 4.8.1 扩散工艺参数 在各炉管中，均定义为01号工艺。 时间（分钟） 温度（℃） 大N2（L/min） 小N2（L/min） O2（L/min） 源温（℃） 进炉 6 840~890 25~30 20 稳定 9 840~890 25~30 20 通源 20~30 840~890 25~30 1.6~2.0 1.8~2.2 20 吹氮 10 840~890 25~30 20 出炉 10 840~890 25~30 20 注：因
7、各炉管之间的差异，所以各工艺参数之间也存在差异，上表给出的是正常的工艺参数的 范围。 更改标记 数量 更改单号 签 名 日 期 签 名 日 期 第2页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准 旧底图总号 底 图 总
8、 号 日 期 签 名 SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩 散 工位编号 KS 需要人数 第3张共7张 流向 ZBKS 4.8.2 TCA清洗工艺 在各炉管中，均定义为02号工艺。 时间（分钟） 温度（℃） 大N2（L/min） 小N2（L/min） O2（L/min） 源温（℃） 通氧 5 1050 25 10.0 20 通源 480 105
9、0 25 1.0 10.0 20 吹氧 10 1050 25 10.0 20 4.9 注意事项 4.9.1 各个炉管工艺参数操作者不得随意改动。 4.9.2本工序必须穿戴连体洁净工作服、洁净工作鞋、洁净工作帽、乳胶手套及口罩。 4.9.3 必须正确填写《电池线生产日报&交接表》。 5.引用文件 扩散设备操作规程：SF／QD-设备-02 炉管清洗工艺操作规程：SF／QD-工艺-03 扩散检验工艺规程：SF／QD-工艺-13 四探针测试仪操作规程：SF／QD-设备-12 更改标记 数量 更改单号 签 名
10、 日 期 签 名 日 期 第3页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准 旧底图总号 底 图 总 号 日 期 签 名 SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图
11、号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩散 工位编号 KS 需要人数 第4张共7张 流向 ZBKS 附页一：装片、检验 更改标记 数量 更改单号 签 名 日 期 签 名 日 期 第4页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准 插 片 插片时必须穿好洁净工作服。 净化工作台
12、 严禁裸手操作，一定要戴好乳胶手套，且不得用手直接接触硅片和石英舟。 石英吸笔，从片盒中吸取硅片插到石英舟内。 片 盒 石英舟，每个槽插两片硅片 旧底图总号 底 图 总 号 日 期 签 名 SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩散 工位编号 KS 需要人数 第5张共7张 流向 ZBKS 附页二：上桨 更改标记 数量
13、 更改单号 签 名 日 期 签 名 日 期 第5页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准 上 桨 移动、放置石英舟时，一定要小心轻放！ 触摸屏 碳化硅桨，易碎 安装、拆卸时切勿碰撞！ 距离13cm 匀流板 旧底图总号
14、底 图 总 号 日 期 签 名 SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩散 工位编号 KS 需要人数 第6张共7张 流向 ZBKS 附页三：方块电阻测量 更改标记 数量 更改单号 签 名 日 期 签 名
15、日 期 第6页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准 四探针测试台 测 量 四探针主机 扩散面朝上 如实填写《方块电阻记录表》，如有异常情况，及时通知工艺人员。 旧底图总号 底 图 总 号 日 期 签 名
16、 SF 工艺说明 产品名称 单晶硅电池片 编号 SF5.405.010GGS 产品图号 SF5.405.010 版号 01 工位名称 扩散 工位编号 KS 需要人数 第7张共7张 流向 ZBKS 附页四：卸片、检验 5．引用文件 扩散设备操作规程：SF/QD-设备-02 炉管清洗工艺操作规程：SF/QD-工艺-03 扩散检验工艺规程：SF/QD-工艺-13 更改标记 数量 更改单
17、号 签 名 日 期 签 名 日 期 第7页 拟 制 审 核 共7页 标准化 批 准 卸 片 卸片台，不得放置异物，以免污染硅片！ 扩散面一律朝上！ 承载盒 旧底图总号 底 图 总 号 日 期 签 名
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