标准《电子工厂洁净厂房设计规范》演示幻灯片.ppt

单击此处编辑母版标题样式,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,国家标准电子工厂洁净厂房设计规范中强制性条文GB 50472-2008,陈 霖 新,中国电子工程设计院,2009年07月,1,1、电子工厂洁净厂房特点,2、章节内容简介,3、强制性条文等介绍,4、结语,2,1、电子工厂洁净厂房特点,电子产品生产发展迅猛,IC,特征尺寸,0.05,m,12,16,，,64G,TFT,第六代产品,对化学污染物的严格要求,大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房,投资大、能量消耗大,3,1、电子工厂洁净厂房特点,集成电路对化学污染物的控制指标,4,电子工厂洁净厂房的特点：,微粒控制十分严格、要求控制,0.02,m,甚至更小粒径,I,SO1,级或更严格。,高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输,送。,对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定,对防静电、电磁兼容等,大体量、多层单向流洁净室，二层,/,三层布置数万,m,2,。,1、电子工厂洁净厂房特点,5,1、电子工厂洁净厂房特点,项目,位置,状况,规格,（）,洁净生产区,面积（）,建筑,高度,芯片厂1,大陆,生产运行,200（8）,8700,20.0,芯片厂2,台湾,生产运行,300/200（12/8）,14000,26.8,芯片厂3,台湾,生产运行,300（12）,9000,29.4,芯片厂4,台湾,生产运行,300（12）,9000,26.8,芯片厂5,韩国,生产运行,200（8）,10000,31.0,芯片厂6,韩国,生产运行,200（8）,10000,31.0,芯片厂7,韩国,生产运行,200（8）,10000,37.0,芯片厂8,韩国,生产运行,200（8）,10000,37.0,芯片厂9,爱尔兰,生产运行,200（8）,8892,25.4,芯片厂10,美国,生产运行,200（8）,15810,22.00,芯片厂11,美国,生产运行,200（8）,15810,22.00,芯片厂12,美国,生产运行,300（12）,13857,17.00,芯片厂13,爱尔兰,生产运行,300（12）,12183,17.00,芯片厂14,磁力,生产运行,300（12）,8740,20.40,芯片厂15,台湾,生产运行,200（8）,7900,50.30,芯片厂16,法国,生产运行,200（8）,6500,21.00,芯片厂17,新加坡,生产运行,200（8）,8000,25.00,表1 国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积,6,1、电子工厂洁净厂房特点,项目,位置,状况,规格,（）,洁净生产区,面积（）,建筑,高度,芯片厂18,上海,生产运行,300（12）,12000,29.00,芯片厂19,上海,生产运行,300（12）,9400,30.00,芯片厂20,成都,生产运行,200（8）,7408.8,21,芯片厂21,上海,生产运行,200（8）,10321,28.55,芯片厂22,苏州,生产运行,200（8）,12000,24.4,芯片厂23,重庆,建设中,200（8）,1500,28,芯片厂24,浙江,生产运行,150（6）,5160,19,TFT-LCD/1,北京,生产运行,5代，11001300,28000,23.00,TFT-LCD/2,上海,生产运行,5代，11001300,2200014000,20.30,TFT-LCD/3,昆山,试生产,5代，11001300,3000,26.50,TFT-LCD/4,深圳,正在建设,5代，11001300,33000,26.50,TFT-LCD/5,台湾,生产运行,6代，15001800,36000,27,TFT-LCD/6,上海,正筹建,6代，15001800,34000,27,TFT-LCD/7,北京,正筹建,6代，15001800,36000,27,TFT-LCD/8,日本,生产运行,8代，21602460,90000,30.00,表1 国内外一些微电子洁净厂房的高度和洁净生产区面积,7,1、电子工厂洁净厂房特点,表22 几类电子产品所需气体品种,8,1、电子工厂洁净厂房特点,表 25 集成电路芯片（64M）生产过程部分化学品的质量要求,微粒（PC/CC）,化学品种类,0.1m,0.2m,金属离子,H,3,PO,4,HCl,H,2,SO,4,H,2,O,2,NH,4,OH,40,30,20,20,20,20,20,10,10,10,1.0X10,-9,1.0X10,-9,1.0X10,-9,1.0X10,-9,1.0X10,-9,HNO,3,49%HF,5%HF,1%HF,30,30,30,30,20,20,20,20,1.0X10,-9,1.0X10,-9,1.0X10,-9,12,24,24,见D.3.3,见D.3.5,见D.3.6,见D.3.6,见D.3.8,见D.3.7,见D.3.10,见D.3.11,3、强制性条文等介绍,64,1、GB50472是依据电子工厂洁净厂房特点，参照国际标准，经过国内调研后制定。,2、强制性标准中的“强条”必须严格遵守。许多推荐性条文也是行之有效的要求、规定，对电子工业洁净厂房的设计、建造、运行具有指导性。,3、规范执行中，不可避免有各种各样问题，欢迎提出建议，加强沟通交流。,4、结语,65,谢 谢 大 家！,66,