近代物理实验椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率.docx

椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率

引言

实验目的

实验原理

实验仪器

实验内容

注意事项

实验数据
1. 氦氖激光器：波长632,8nm；
2. 硅衬底：折射率3.85，消光系数-0.02；
3. 样品测量
入射角60°
薄膜折射率
薄膜厚度/nm
厚度周期/nm
快速法
1.472
162.00
265.82
作图法
1.470
162

查表法
1.472
162.00

入射角65°
薄膜折射率
薄膜厚度/nm
厚度周期/nm
快速法
1.467
162.90
274.28
作图法
1.465
163

查表法
1.467
162.90

入射角70°
薄膜折射率
薄膜厚度/nm
厚度周期/nm
快速法
1.466
163.10
281.19
作图法
1.464
163

查表法
1.466
163.10

思考题
1. 椭偏参数Ψ和Δ的物理含义是什么？消光时，它们与起、检偏器方位角P，A之间有什么样的表达式？
答：tanΨ 表征了p波和s波经薄膜系统反射后的相对振幅变化，Δ表征其相位差θp-θs的变化。
消光时，
Ψ=A
∆=180-θp-θsi 当A>0-θp-θsi 当A<0
2. 试分析本实验测量中系统误差的来源。
答：薄膜表面不干净会给实验带来系统误差，另外光路调节得不好也会给实验带来一定的系统误差。

参考文献
黄润生，近代物理实验（第二版），南京大学出版社