GB∕T 38940-2020 硅组件用精密封接合金.pdf

书 书 书犐 犆犛 犎 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?犌犅犜 ?犘 狉 犲 犮 犻 狊 犻 狅 狀犲 狓 狆 犪 狀 狊 犻 狅 狀犪 犾 犾 狅 狔 狊犳 狅 狉狊 犲 犪 犾 犻 狀 犵狋 狅狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀犪 狀 犱狊 犻 犾 犻 犮 狅 狀犮 狅犿狆 狅 狀 犲 狀 狋 狊 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?书 书 书前言本标准按照 给出的规则起草。本标准由中国钢铁工业协会提出。本标准由全国钢标准化技术委员会（ ）归口。本标准起草单位：钢铁研究总院、北京空间机电研究所、中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所、冶金工业信息标准研究院。本标准主要起草人：张敬霖、于一鹏、马逵、梁璞、戴强、张建福、张习文、颜丞铭、霍登平。犌犅犜 硅组件用精密封接合金范围本标准规定了硅组件用精密封接合金的订货内容、分类和代号、尺寸、外形、重量、技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志和质量证明书。本标准适用于电真空、半导体工业及其他应用环境中，与硅组件等进行键合、匹配封接的铁镍基、铁镍钴基定膨胀封接合金棒材、扁材、箔材、带材、丝材、管材（以下简称合金材） 。规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。 钢的成品化学成分允许偏差 钢铁酸溶硅和全硅含量的测定还原型硅钼酸盐分光光度法 钢铁及合金化学分析方法新亚铜灵三氯甲烷萃取光度法测定铜量 钢铁及合金化学分析方法电位滴定法测定钴量 钢铁及合金化学分析方法丁二酮肟重量法测定镍量 钢铁及合金铌含量的测定氯磺酚分光光度法 钢铁及合金化学分析方法高氯酸脱水重量法测定硅含量 钢铁及合金化学分析方法乙酸丁酯萃取光度法测定磷量 钢铁及合金锰含量的测定火焰原子吸收光谱法 钢铁多元素含量的测定 射线荧光光谱法（常规法） 钢铁及合金硫含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法 钢铁及合金总碳含量的测定感应炉燃烧后红外吸收法 厚钢板超声检测方法 锻轧钢棒超声检测方法 金属材料热膨胀特征参数的测定 无缝和焊接（埋弧焊除外）钢管纵向和或横向缺欠的全圆周自动超声检测 金属平均晶粒度测定方法 不锈钢多元素含量的测定火花放电原子发射光谱法（常规法） 膨胀合金尺寸、外形、表面质量、试验方法和检验规则的一般规定 钢和铁化学成分测定用试样的取样和制样方法 钢铁总碳硫含量的测定高频感应炉燃烧后红外吸收法（常规方法） 低合金钢多元素的测定电感耦合等离子体发射光谱法 低合金钢多元素含量的测定辉光放电原子发射光谱法（常规法） 高强度低膨胀合金 镍基合金多元素含量的测定火花放电原子发射光谱分析法（常规法） 精密合金包装、标志和质量证明书的一般规定 膨胀合金气密性试验方法犌犅犜 订货内容按本标准订购的合同或订单至少应包括下列内容：）本标准编号；）产品名称；）牌号；）交货状态；）尺寸及允许偏差；）重量或数量；）其他特殊要求。分类和代号 合金材按软硬程度可分为：）软态（） ；）硬态（） 。 合金材按加工方法可分为：）冷拉（） ；）冷拉磨光（） ；）热轧（锻）态（） 。尺寸、外形和重量合金材的尺寸、外形、重量及允许偏差应符合 的有关规定。技术要求 牌号和化学成分合金的牌号和化学成分（熔炼分析和成品分析）应符合表的规定。在满足本标准规定的情况下，允许镍、钴、铌、铜的化学成分偏离表规定，但应满足 中表的规定。表牌号和化学成分合金牌号化学成分（质量分数） 余量 余量为改善合金性能，允许加入适量、元素。犌犅犜 冶炼方法除非合同中另有规定，合金应采用真空感应炉、真空感应电渣重熔的方式冶炼。 交货状态 棒材以冷拉、冷拉磨光或热轧（锻）状态交货。对热轧（锻）材表面状态有要求的，应在合同中注明。 扁材以热轧（锻）状态交货。 丝材、带材、箔材和管材的交货状态应符合表的规定。表丝材、带材、箔材和管材的交货状态交货状态及符号丝材带材箔材管材软态（）硬态（）深冲态（） 经供需双方协商，可供其他交货状态的合金材。 平均线膨胀系数试样按表推荐的热处理制度处理后，合金材的平均线膨胀系数应符合表的规定。合金材的典型性能参见附录。表平均线膨胀系数合金牌号试样推荐热处理制度平均线膨胀系数（ ） 在真空或露点低于 保护气氛中加热至 ，保温 ，以不大于 的速度冷至 以下出炉 实测 金相组织 相变 合金材按表规定的热处理制度处理后，的相变温度应在 以下。对于直径、边长或厚度大于 的棒材，允许局部有相变存在，但相变比例不应超过检验截面的。 晶粒度 深冲带材的平均晶粒度应为级或更细，允许粗于级的晶粒存在，但不应超过总面积的 。 交货状态合金棒材、扁材的平均晶粒度应为级或更细，相变检验合格时可不进行此项检验。犌犅犜 气密性根据需方要求，直径或边长不小于 的棒材可进行气密性检验，应无漏气现象。 表面质量合金材的表面质量应符合 的有关规定。 超声检测 直径、边长不小于 的棒材应进行超声检测，合格级别应符合 的级要求。 扁材、板材可采用 进行超声检测，合格级别由供需双方协商，并在合同中注明。 管材可采用 进行超声检测，也可采用其他通用无损检验方法检测。合格级别由供需双方协商，并在合同中注明。如果出现采用不同方法引起的争议，以 作为仲裁依据。 特殊要求经供需双方协商，并在合同中注明，可供应满足其他特殊要求的合金材。试验方法 合金材的检验项目和试验方法应符合表的规定。表检验项目表序号检验项目取样数量取样部位试验方法化学成分个炉 见 平均线膨胀系数个炉半成品或成品 相变个炉 中附录 中附录晶粒度个批成品任意部位 气密性个批成品棒材 超声检测逐件成品或坯 、 、 或其他通用无损检验方法尺寸逐件成品通用量具表面质量逐件成品目视。有异议时允许用不大于倍放大镜检查气密性检验由需方进行，被检试样的厚度应在合同中注明，否则按 规定的试样进行检验。 合金的化学成分分析按 、 、 、 、 、 或通用的试验方法进行分析，但仲裁时应按 、 、 、 、 、 、 、 、 、 的有关规定进行。犌犅犜 检验规则 检查与验收合金材的检查和验收由供方技术质量监督部门进行。需方有权按标准规定进行检查和验收。气密性的检验由需方进行。 组批规则合金材应按批提交检查和验收。每批应由同一合金牌号、同一炉号、同一加工方法、同一尺寸、同一交货状态、同一热处理制度的合金材组成。 取样数量和取样部位合金材的取样数量和取样部位应符合表的规定。 复验和判定规则合金材的复验与判定规则应符合 的有关规定。包装、标志和质量证明书合金材的包装、标志和质量证明书应符合 的有关规定。犌犅犜 附录犃（资料性附录） 犑 和 犑 合金的典型性能犃 合金材经表推荐热处理制度处理后的典型平均线膨胀系数参见表 。表犃 合金的典型平均线膨胀系数牌号平均线膨胀系数 犃 合金材经表推荐热处理制度处理后的典型物理性能参见表 。表犃 合金的典型物理性能牌号密度犱热导率（）电阻率居里温度犜比热容犮（ ） 犃 合金材经表推荐热处理制度处理后的典型力学性能参见表 。表犃 合金的典型力学性能牌号抗拉强度犚 规定塑性延伸强度犚 断后伸长率犃断面收缩率犣弹性模量犈 犃 合金材经表推荐热处理制度处理后的典型磁性能参见表 。表犃 犑 合金的典型磁性能牌号测量磁场犎初始磁导率 最大磁导率饱和磁感应强度犅矫顽力犎 犌犅犜