化学品供应系统简介名师优质课获奖市赛课一等奖课件.ppt

按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片本文樣式,第二層,第三層,第四層,第五層,*,本幻灯片资料仅供参考，不能作为科学依据，如有不当之处，请参考专业资料。,Chemical Supply System,化学,品,供给系统介绍,第1页,课 程 大 纲,系统之目标,化学品之种类与用途,系统之基本要求,化学品供给质量要求,系统之流程图,CDU,之流程图,TEE-BOX,之结构,VMB,之结构,SAMPLING BOX,之结构,系统设备之材料要求,运转操作注意事项,第2页,系统之目标,供给高纯度化学品以,清洗,芯片上之,杂质、微粒子,供给高纯度化学品以,蚀刻芯片图案,供给高纯度化学品以,显影芯片图案,供给高纯度化学品认为,化学气相沉积前置反应物,供给高纯度化学品以,研磨芯片,供给高纯度化学品以,清洗制程设备零配件,第3页,化学品之种类与用途,(,一,),酸性:,腐蚀性,:H2SO4,HCl,HNO3,HF,H3OP4.,毒性:,HF,HNO3,Poly-Mix,BOE.,碱性,:,NH4OH,KOH,Developer.,有机溶剂,易燃液体,:IPA,Acetone,NBA,光阻液,.,腐蚀性有机溶剂,:EKC,EBR,HMDS.,氧化性:,HNO3,H2O2.,第4页,化学品之种类与用途,(,二,),第5页,系统之基本要求,操作安全：腐蚀性、毒性、耐压、防爆之考虑,化学品零污染：与化学品接触部份完全与化学品 兼容,微粒子控制：过滤器循环过滤,满足最大需求流量：高浓度化学品如,H2SO4,、,H3PO4,自动控制操作运转：系统单元与机台界面自动化,取样分析：系统、管路之粒子数、金属离子含量 取样分析,泄漏警报：侦测泄漏及紧急关闭系统,(EMO),系统诊疗：,Pump,、,Filter,、,Valve,运转时数,维修保养管路,Auto Purge/Flush,功效,化学品用量统计,第6页,化学品供给质量要求,第7页,系统之流程图,(,一,),CCB,Storge Tank12m,3,CDU,VMB,T,T,T,VMB,VMB,VMB,Tool-1,Tool-2,Tool-3,Tool-4,6,m,3,Tote1m,3,200,L,Drum,化学槽车充填衔接站将化学品由槽车以N2加压直接输送至Tank,适合使用量较大之化学品,如,H2O2,H2SO4,等,适合使用量中等之化学品,如,HF,H3PO4,等,适合使用量较小之化学品,如,BOE,HNO3,等,将化学品经循环过滤,再经,N2,或,Pump,加压输送至有需求之生产机台内,将化学品经管路分配至不一样生产机台,S,可依实际用量需求选择使用,Tee Box,Sampling Box,第8页,系统之流程图,(,二,),Provided By Systems Chemistry,INC,FMCS,OCP,HUB,CDU,VMB,Tool,Tee Box,第9页,系统之流程图,(,三,),TOOL,机台,OCP,SCADA Computer,HUB,CDU,T-BOX,主管路,GN2,加强讯号,循环过滤,25”,后,供酸,开启,CDU,循环过滤后，同时由,OCP,供给,GN2,，打开,VMB,内气动阀，将化学品供给至,TOOL,CHEMICAL LINE,GN2 LINE,SIGNAL LINE,供酸,VMB,泄漏警报,第10页,系统之流程图,(,四,),Tool Side,OCP Side,Trouble,Ready,Stop,Request,Electric Signal Interface Between BCDS&Tool,EMO,1.当机台需求化学品时,传送Request讯号给OCP2.OCP收到讯号后,会先检验CDU是否Ready供给 若是，则回传Ready讯号若否，则回传Trouble讯号3.机台端EMO被压下时，则停顿供给化学品,+24,V,+24,V,+24,V,第11页,CCB,之流程图,Provided By NOVA,GN2inlet,StorageTank,充填槽车,CDU,第12页,CDU,之流程图,(,型一,),Provided By NOVA,Outlet,Pump,TransferFilter,SupplyFilter,GN2inlet,CDAinlet,Drum,Day Tank,Tank,第13页,CDU,之流程图,(,型二,),Provided By Systems Chemistry,INC,Outlet,Drum,Tank,Pump,Trans/RecFilter,SupplyFilter,第14页,TEE-BOX,之结构,主管路,主管路,VMB,Drain Port,手动阀,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,Provided By NOVA,1.,箱体以,PP,制成,2.CPVC,外盖,3.,箱体与外盖间以,O-Ring,密合,4.,管件以,PFA,制成,普通酸碱类适用,第15页,VMB,之结构,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,Drain Port,inlet,To Tools,CDA inlet From OCP to,气动阀,For The Future Use,Purge inlet,Drain Port,Exhaust,气动阀,手动阀,保养管路时需先以,PN2,将化学品,Purge,至机台端,Drain,4,1,3,2,Provided By NOVA,1.,箱体以,PP,制成,2.CPVC,外盖,3.,箱体与外盖间以,O-Ring,密合,4.,管件以,PFA,制成,普通酸碱类适用,第16页,SAMPLING-BOX,之结构,1.,将取样瓶置入,并关闭 箱门,2.,按压按钮,再打开取样 手动阀,3.,化学品流出达需求之 量后,关闭手动阀,放开 按钮,4.,打开箱门,盖上瓶盖,取 出取样瓶,5.,清洁取样箱,按钮,手动阀,箱体内侧下方装设泄漏侦测器,Drain Port,inlet,Provided By NOVA,1.,箱体以,SUS,制成,2.,钢丝玻璃外盖,3.,箱体与外盖间以,O-Ring,密合,有机溶剂类适用,第17页,系统设备之材料要求,普通无机酸碱类,外管：,CPVC,内管：,PFA Piping&Tubing,管件：铁弗龙材质制品,有机溶剂类,外管：,SUS 304,内管：,SUS 316L EP,管件：SUS 316L以上制品,有机碱类,外管：,SUS 304,内管：,PFA Piping&Tubing,管件：铁弗龙材质制品,第18页,运转操作注意事项,(,一,),充份阅读,MSDS,，认识化学品之物质特征，危害性，危害标示，危害路径及防护办法,工作前，先行思索及演练各细节后，再行动,工作时应双人以上搭配作业，事前事后确认,正确选取及使用适当防护器具,正确处理化学品废弃物，防止造成后续伤害,良好个人安全卫生环境保护习惯,认知工作安全,”意外”意识,第19页,运转操作注意事项,(,二,),熟知化学品泄漏处理七项步骤,远离泄漏源辨示泄漏情况,寻求帮助支持,管制隔离污染区,拯救伤员,围堵外泄物,去除污染物及环境检测,事故调查统计留存,第20页,运转操作注意事项,(,三,),熟知化学品淋溅烧伤之抢救处理,稀释,、,去除污染在皮肤或粘膜上之有害化学物质,自救,-,救人前应先保护自己,冲,-,清水不停冲洗最少,15,分钟,脱-边冲边脱并防止二次伤害,支持-请求支持成立紧急处理ERT 对HF时-须不停地涂抹葡萄酸钙(涂抹-按摩-擦净-涂抹),送,-,尽速送医,第21页,运转操作注意事项,(,四,),熟知化学品,吸入,/,食入,/,眼睛接触,之处理,标准,1.维持呼吸，血液循环，维持患者生命2.减轻患者病痛，促使其能早日康复,呼吸道吸入,1.,离开污染区,(,防止自己或其它人再受污染,)2.,喊叫，打电话求救，请求支持,3.,确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医,消化道食入,1.,喊叫，打电话求救，请求支持,2.,催吐,(,若昏迷，意识不清或误食腐蚀性物质，则不得催吐,),3.,确认吸入物质，维持呼吸心跳，尽速送医,眼睛接触,1.,快速翻开眼睑，清水轻洗,15,分钟以上，立刻送医,第22页,