高频恒流高压直流电源使用说明书.doc

版本号：V2.0日期：2023年8月5日HLG高频恒流高压直流电源使用说明书上海激光电源设备有限责任公司Shanghai Power Equipment for Laser Co., Ltd.中国科学院上海光学精密机械研究所Shanghai Institute of Optics And Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences目录公司简介2产品用途3高频恒流电源简介4产品型号说明9产品规格表10HLG系列高频恒流电源结构图11设备安装20系统运营控制25HLG高频恒流电源操作说明27HLG高频恒流电源操作规程32现场运营调试33常见故障及其排除方法34故障报警分析及解决34包装及运送36产品成套范围和定货须知37附表（1）39附表（2）40公司简介中国科学院上海光学精密机械研究所是我国成立最早、规模最大的激光科学技术专业研究所，重要承担和实行国家高科技研究发展计划。高功率激光系统是上海光学精密机械研究所重要研究方向。上海激光电源设备有限责任公司作为中国科学院上海光学精密机械研究所重要控股公司之，重要承担激光能源系统的研发。高频恒流高压直流电源是激光能源系统中的核心单元技术之一，由上海激光电源设备有限责任公司自主研发，2023年开始应用于国家重大项目。高频恒流高压直流电源作为公司的核心产品之一，除激光项目上应用以外，还在工业上有广泛的应用，重要应用在静电沉积领域。静电除尘电源的发展始终以提高静电除尘器除尘效率和节能为目的。高频恒流高压直流电源与传统的工频电源相比，可以大幅提高本体的注入功率和除尘效率；转换效率和功率因数高，节能效果明显；体积小，重量轻，产品一体化设计等多项显著优点。产品用途本使用说明书重要针对静电沉积用高频恒流高压直流电源的选型、采购、包装运送、安装、运营及维护等方面进行说明。本使用说明书中下文涉及到高频恒流高压直流电源简称为高频恒流电源。本产品（高频恒流电源）与静电沉积电场配套使用，即是与静电除尘器、脱硫后置湿式静电除尘器、静电捕焦油器、静电除雾器、静电除油（盐）雾器等配套的高压供电设备，是以上设备供电的首选产品。同时也是同行业中其它类型供电电源（可控硅电源-SCR、工频恒流源HL、三相电源、调幅电源）更新换代的首选产品。本产品重要应用行业有：火电、钢铁、水泥、有色冶炼、煤焦化、化工、电子、植绒及其它静电沉积场合。高频恒流电源简介1.工作原理HLG高频恒流电源由工频三相交流电输入，经整流变为工频恒压电源，再通过逆变器逆变成为高频交流电压源，通过恒流组件进行V/I转换把高频交流电压源转化为近似正弦的高频交流电流源，再经升压变压器将高频交流电流源转化为高频高压交流电流源，最后整流输出变为高频恒流高压直流电流源。V/I转换逆变整流HVDC升压整流控制ESP图（1） HLG高频恒流电源工作原理框图2.技术特点2.1一体化逼迫水冷设计，提高IGBT和变压器的可靠性；下出线结构与国际流行结构接轨；侧出线结构更适合对现有电源进行改造；2.2 逆变器采用模块化设计：主回路采用叠层母排设计，减少母线杂散电感；采用SEMIKRON第四代SEMiX封装的IGBT和三相整流桥，功率密度更大；电源高度集成化，可维护性好，故障率低；2.3 变压器油箱采用经特殊解决的不锈钢材料，减少附加损耗，提高抗腐蚀性和适应环境的能力；一体化逼迫水冷设计，提高电源运营的可靠性；变压器铁芯采用新型纳米非晶材料，经特殊工艺回火、磁化解决，损耗更低，体积更小；2.4 主控板采用8层集约化设计；主控芯片为高速数字解决芯片DSP，150MHz主频，32位浮点运算，采用PWM矢量控制；基于光纤以太网的Modbus通讯协议；2.5高频恒流电源控制系统具有抗干扰性能强，响应速度快，通讯速率高，组网容易等特点；2.6针对不同工况采用不同的火花解决方式，通过火花“能级”跟踪控制，提高除尘效率。3.HLG高频恒流电源应用优点3.1可以提高并长期保持除尘器的除尘效率HLG高频恒流电源输出的电压波动小于5%，其直流平均电压接近峰值电压，纹波系数小，与单相电源相比，高频恒流电源具有更高的电压电流输出能力，从而提高本体的注入功率和除尘效率。3.2高效节能高频恒流电源电能转换效率大于90%，与工频电源相比节能超过15%，节电效果显著。3.3配套性能a.高频恒流电源运营电压高、波动小，专利设计的火花“能级”跟踪控制方式特别合用于湿式除尘器和高比电阻粉尘工况；b.具有恒流特性：l 能承受瞬态或稳态的短路l 对火花放电有克制特性，对机械缺陷不敏感l 具有烟气负载的正反馈跟踪特性，从而能长期保证除尘效率c.电源高度集成化，可维护性好，机柜三重隔离设计，保证电器部分清洁电源内部器件故障率低；d.IP54设计合用于露天安装；e.高频恒流电源体积小、重量轻，仅为工频电源的三分之一，变压器与控制柜一体化，直接安装在除尘器顶部，节省建设成本和安装空间。3.4远程监控采用基于光纤以太网的Modbus通讯协议，抗干扰性强，通讯速率高，响应速度快，组网容易。3.5 EMC性能高频恒流电源采用三相平衡供电。产品由专业电源滤波器设计团队现场检测，针对测试结果量身定制，EMI测试结果符合军标（滤波器测试结果见图2）。高频恒流电源设计严格参照IEC61000，并整机通过中国船舶工业电磁兼容检测中心认证，保证高频恒流电源的运营不会干扰电网中其他电气设备。图（2） HLG高频恒流电源传导骚扰测试波形图3.6整机设计符合国际安规标准高频恒流电源整机设计过程严格按照安规标准IEC61010，本产品已通过国际知名安规认证公司NEMKO认证。图（3）高频恒流电源安规认证文献4. HLG高频恒流电源与工频恒流电源的特点比较HLG高频恒流电源在保存了工频恒流源原有特点的基础上，性能有更高的提高。与传统的工频电源相比有以下特点：4.1 转换效率更高 高频恒流电源电能转换效率大于90%，节电效果显著。4.2 三相供电平衡 工频恒流高压直流电源采用单相供电，由于运营功率较大，无法保证三相供电的平衡，HLG高频恒流电源输入采用三相平衡供电，每相输入的电流相等，输入的电流更小，一般可减少初级供电电流50%以上 。4.3 输出的直流平均电压高高频恒流电源输出电压纹波系数小，其平均直流电压接近其峰值输出电压，与工频恒流高压直流电源相比，其输出的直流平均电压更高，除尘效果更好。4.4 火花控制特性好高频恒流电源输出采用火花能级控制，对电场内火花反映速度快，火花熄灭速度达成亚微秒级，保持除尘器工作的平稳。4.4 与除尘器适应性好高频恒流电源有效提高了电除尘器的收尘效率，减少粉尘排放量在30%以上，特别合用于现役电除尘器常规电源的改造，改导致本低，改造工期短，效果显著。产品型号说明HLG系列高频恒流电源型号说明：HLG-（1,2 ） - kV / mA / 型号：HLG - 高频恒流电源；HLG-1下出线水冷高频恒流电源；HLG-2侧出线风冷高频恒流电源。 版本号：设计版本序列号 暂不显示。 额定输出电压kV 额定输出电流mA产品规格表表（1）产品规格表型号规格重量kg型号规格重量kgHLG-172 kV1000 mA 770HLG-180 kV1000 mA 7001200 mA 1200 mA 1400 mA 7701400 mA 7701600 mA1500 mA1800 mA1800 mA2023 mA9002023 mA9002500 mA2500 mA3000 mA3000 mA3500 mA3500 mAHLG-272 kV200 mA400HLG-280kV200 mA400400 mA 400 mA 600 mA 450600 mA 450800 mA 800 mA 1200 mA1200 mAHLG系列高频恒流电源结构图 图(4) HLG1高频恒流电源效果图 图（5）HLG2高频恒流电源效果图图(6) HLG1高频恒流电源外形安装尺寸图图(7) HLG1高频恒流电源隔离开关柜匹配图图(8) HLG1高频恒流电源用隔离开关图图(9) HLG2高频恒流电源外形安装尺寸图图（10）左进后出 图（11）右进后出图（12）左进右出 图（13）右进左出图（14）左进上出 图（15）右进上出图（16）左进下出 图（17）右进下出注：高频电源与高压隔离开关柜连接处应使用石棉盘根或石棉绳进行密封连接。图（18）后进下出 设备安装1产品使用条件l 合用电网电压380V10%，适应电网频率50Hz1Hz，当电网电压或频率超过此范围时需特殊设计；l 室内安装时，设备周边1.5米外应设立栅栏，栅栏需可靠接地，并设立警示牌；室内应设立专用通风风扇，无腐蚀性和易燃易爆气体；l 户外安装、通风良好、无腐蚀性和易燃易爆气体、建议搭建遮阳棚；l 环境温度：-10+40；非标设计可适合特殊规定；l 空气最大相对湿度90%（空气温度20）；l 海拔高度不超过1000米，若海拔高于1000米时，用户需与本公司沟通，修改设计。2设备安装接线示意图（19）接线示意图RTU接口动力电缆接口 图（20）HLG1高频恒流电源电缆、光纤接线三维示意图动力电缆接口RTU接口图（21）HLG2高频恒流电源电缆、光纤接线三维示意图3电缆、光纤匹配选型及安装规定l 高频恒流电源采用三相四线制，工程应用时均采用RVV、BVV或更高等级的电缆。详见下表；l 过氧联锁由氧表提供开关量信号，工程应用中联线采用RVV或RVVP3*2.5mm2线，布线过程中垂直断不超过3米时，可采用3*1.5mm2线； l 门开关联锁直接与隔离开关柜联接，若配有安全联锁箱，与安全联锁箱串接，工程应用中采用RVV或RVVP3*2.5mm2线，若垂直段不超过3米时，可采用3*1.5mm2线；l RTU口与操作界面通过光纤进行通讯，光纤可采用单模铠装光纤（通讯距离在3Km以内）或多模铠装光纤（仅在通讯距离1Km以内使用），本公司产品标配光纤接头为SC/SC接头，假如有特殊规定请订货时说明；l 多台高频恒流电源同时运营时，各电源之间的距离在任意方向均不能小于0.5米；l 高频恒流电源及高压隔离开关柜必须可靠接地，接地电阻应2；l 扩展接口，本产品配有一定数量的AI、DI、DO接口，配以相关的控制箱可实现相关功能。表（2）电缆匹配表规 格额定输入功率额定输入电流动力线选型型号备注72 kV200mA15.8kVA24A3*10+1RVV、BVV或更高等级的电缆。有大跨度或垂直布置时请考虑铠装。400mA31.6kVA48A3*25+1600mA 47.4kVA72A800mA 63.2kVA96A3*35+11000mA 79.0kVA120A1200mA 94.8kVA144A3*50+11400mA 110kVA168A1600mA 126kVA192A80kV200mA17.6kVA27A3*10+1RVV、BVV或更高等级的电缆有大跨度或垂直布置时请考虑铠装。400mA35.2kVA54A3*25+1600mA 52.8kVA81A800mA 70.4kVA108A3*35+11000mA 88.0kVA135A120mA 106kVA162A3*50+11400mA 123kVA189A1600mA 141kVA216A4隔离开关柜的接线本公司提供的隔离开关柜为二点式隔离开关柜，建议的接线方式见图22图（22） 隔离开并柜接线示意图高压输出导线由高频恒流电源输出端连接至隔离开关柜的动点，再由该动点连接至静点（即电场位），再由该静电接至电场；接地时，电源与负载均接地。5接地装置接地装置涉及接地体及接地线，接地体是用钢管或角钢埋入地下而成，钢管尺寸应不小于直径40mm；壁厚3.5mm，角钢不小于550；接地体的埋设应符合部颁标准，即：深度不小于2.5米；接地体最少6根,每两根相距不小于5米；接地线：铜252，铝352，扁钢352；特殊地质，需特殊考虑。接地装置，每年至少进行一次检查。系统运营控制1HLG高频恒流电源单台运营单台HLG高频恒流电源运营，通过HMI控制。HMI与HLG型电源采用基于光纤以太网的Modbus通讯协议。图（23） HLG高频恒流电源单台运营系统图2HLG高频恒流电源多台运营多台HLG型电源，由上位机实现集中监控，如下图（24）所示，在这种控制方式下，电源既可实现远程自动控制，又具有现场自动控制功能，并且整个系统具有很强的扩展性。可以实现：每台电源的单独控制、参数设定、画面显示、实时运营数据显示、并可存储及打印运营参数的趋势曲线及报表、显示故障 、报警等。HLG型电源通过光纤以太网与DCS进行通讯，通讯协议采用Modbus_TCP/IP。上位机控制系统涉及百兆光纤互换机，工业控制计算机，工业以太网卡，显示器。HLG电源的光纤以太网口通过光纤与光纤互换机连接，光纤互换机通过双绞线连接工业控制计算机内的工业以太网卡；上位机组态软件使用Wincc,上位机与PLC柜进行通讯，PLC柜控制除尘器的低压系统。HLG型电源的多台运营图见图（24） 图（24） HLG型电源的多台运营图HLG高频恒流电源操作说明高频恒流电源可以通过显示屏主界面进入以下操作窗口：操作画面、故障显示、系统参数设定、系统运营数据、工作方式选择、伏安特性曲线、历史曲线、实时曲线等。通过以上操作窗口可以对高频恒流电源进行人性化的控制，监控实时运营数据，存储及打印运营参数的趋势曲线及报表，还可显示故障、报警等。 窗口的操作功能说明：图（25）主界面主界面：通过主界面可对各个用户窗口进行选择，从而进入各个窗口进行相应的参数设定、修改、操作及运营监控等工作。图（26）操作窗口操作窗口作用：1观测电源的运营状态：停机态、软启动态、自检态、备妥态、高压态、故障态；2对电源进行启停等操作； 3显示高频恒流电源的二次电压电流值和一次电压电流值；4. 可以通过界面切换按钮方便切换到主界面、工作方式选择窗口和故障显示窗口及输出波形窗口。图（27）故障显示窗口故障显示窗口：显示故障发生日期时间及类型与因素。 图（30）工作方式选择界面工作方式选择界面：可根据不同本体工况选择适合的工作方式，并对不同工作方式下相应的参数进行设立。工作方式选择界面的设立的方法：直接点击需要设立的参数的显示框，自动弹出输入面板，如图（31）所示，输入需要设立的参数值后，按确认即可。 图（32） 实时曲线窗口图实时曲线窗口：实时曲线窗口是现场工作人员比较关注的一个窗口。窗口中上半部分为高频恒流电源输出电压的实时曲线，窗口显示时长默认为15min（用户可根据需要选择时长），输出电压值单位为kV。下半部分为输出电流的实时曲线，窗口显示时长与电压实时曲线窗口相同，输出电流值的单位为mA。 图（33） 历史曲线窗口图历史曲线窗口：历史曲线窗口与实时曲线画面窗口基本相同。窗口中上半部分为高频恒流电源输出电压的历史曲线，窗口显示时长默认为30min（用户可根据需要选择时长），输出电压值单位为kV。下半部分为输出电流的历史曲线，窗口显示时长与电压历史曲线窗口相同，输出电流值的单位为mA。工作人员通过历史曲线窗口，可以选择查看几天内高频恒流电源运营的电压电流情况。HLG高频恒流电源操作规程为了保证人身及设备安全，建议按此规定拟定操作规程：l HLG高频恒流电源设备在投运前，应保证除尘器本体内机械状况良好，并保证无人员在本体内部工作，无遗留杂物，除尘器的人孔门密封完好，设备连接对的，隔离开关所处位置对的，且连接可靠，所有安全联锁进入工作状态，进入本体顶部的通道应有警示标志；l 保证配电正常，设备接地良好；l 启动HLG高频恒流电源设备供电电源；l 打开操作柜供电电源，待人机界面初始化灯亮后即可进行操作；l 电源起动操作环节为：1选取工作方式（电压法、电流法、手动法、自动法）2点击软起动按钮（软起动时，软起动按钮高亮显示，软起动完毕后自动进入自检，自检过程中，自检按钮高亮显示，自检完毕后，备妥按钮高亮显示；）3在备妥状态下，点击高压/停按钮，按钮高亮显示，表达设备进入高压输出状态l 电源停机操作环节为：1在设备运营状态下，点击高压/停按钮，按钮灯灭，表达设备已停运，设备处在备妥状态2再点击停机，设备处在初始化状态。设备断电需要此状态下进行l 设备检修过程中，请保证设备处在断电状态，并挂检修牌。现场运营调试1.检查连接：根据供货方提供的外部连接接线图，连接好供电电源线、接地线、光纤及其它通讯线，结合系统设计，连接所需的输出信号线。保证连接对的、可靠、稳定，保证所选用的连接线型号对的。2.设备调试应在设备安装连接完毕后，联系专业人员进行设备调试。3运营前检查，检查电源及外部连接线是否连接对的，连接无误进行设备自检。4过氧检查：将“过氧”的接线端子短路，若电源跳闸或示警则过氧检查正常。5.门开关保护检查：室外隔离开关箱的联锁常闭触点（或安全联锁箱的常闭触点），应保证接至高频恒流电源“门开关”联锁接口，否则高频恒流电源不可通电运营。当高压隔离开关箱门打开时高频恒流电源无法启动或停止运营。6运营注意事项： 6.1电源严禁开路运营；6.2及时清扫所有绝缘器件上的积灰，检查接触器开关、继电器线圈、触头的动作是否可靠。保持设备的清洁干燥；6.3对电除尘器壳体、高频恒流电源外壳接地部分，经常进行检查，保证无松动，无严重锈蚀；6.4定期测量高频恒流电源的接地电阻，保证接地电阻 2，测量周期每年一次；6.5定期更换高压发生器呼吸器的干燥剂，更换周期每年一次；6.6定期进行变压器油耐压实验，其击穿电压不应低于交流有效值40kV/2.5mm，检查周期每年一次；6.7在北方冬天低温条件下运营时，应检查油面位置。有油标或油枕的变压器查看油标即可；6.8大功率高频恒流电源的冷却系统需定期进行检查和维护，涉及检查液位及补液，水冷液为汽车用防冻液（学名乙二醇水溶液），维护周期每年一次。常见故障及其排除方法故障排除时请将设备与本体断开，保证隔离开关箱手轮打在接地端。某些故障需要断开高频恒流电源供电电源。常见故障及排除方法见下表：故障现象因素分析排除方法合上电源,指示灯不亮1.通讯故障。2.高频恒流电源电源线未连接或连接不对的。1，检查光纤以及双绞线是否连接对的，保证光纤互换机工作正常。2.检查高频恒流电源供电电源线是否连接对的（三相四线制）。合上电源,指示灯亮,按自检无效门开关联锁未接线,或某DI/DO端口短路（如过氧，振打等）检查门联锁货外部端口接线端子是否连接对的输入电压过压电网输入电压太高检查电网电压输出电压过压1.本体粉尘呈高阻状态2.输出开路1.适当减小输出电流2.检查高压隔离开关箱内高压输出线是否断开输出电压为零输出电流正常或偏高输出短路故障、绝缘部件击穿或电场短路1.检查高压隔离开关箱手轮是否打在对的位置2.检查高压输出线是否短路3.检查绝缘部件是否击穿4.检查电场是否短路输出电压电流均为零1.光纤通讯故障2.电源未运营3.电源发生故障1.检查光纤互换机通讯灯是否正常闪烁2.检查电源是否正常工作3.若电源不正常工作，将高压隔离开关箱手轮打到接地，运营高频恒流电源，若无电流显示，可判断出电源发生故障（此类情况下需及时与本公司技术人员取得联系，不可擅自检查维修）。表3高频恒流电源常见故障及排除方法表故障报警分析及解决序号名称说明解决方法1二次电压过压(硬件)电源输出电压大于等于硬件保护电压值检查电源是否开路2二次电流过流(硬件)电源输出电流大于等于硬件保护电流值若频繁出现，请检查本体或隔离开关柜是否发生绝缘缺陷3母线电压过压(软件)母线电压值大于等于650V检测三相供电的电压，应不大于380x110%4母线电压欠压(软件)母线电压值小于等于400V检测三相供电的电压，应不小于380x90%5母线电流过流(软件)母线电流大于等于母线电流限值故障不能复位，请联系厂家6母线电流过流(硬件)母线电流大于等于261A故障不能复位，请联系厂家7IGBT1-1停止工作(硬件)IGBT1-1锁定故障不能复位，请联系厂家8IGBT1-2停止工作(硬件)IGBT1-2锁定故障不能复位，请联系厂家9IGBT2-1停止工作(硬件)IGBT2-1锁定故障不能复位，请联系厂家10IGBT2-2停止工作(硬件)IGBT2-2锁定故障不能复位，请联系厂家11安全联锁打开(硬件)安全联锁打开查安全联锁点，点击“故障复位”按钮复位电源12水冷欠压水冷泵欠压检查水冷空开是否跳开，闭合可消除故障13水冷过温水冷液温度大于等于过温故障限值检查通风情况，清理散热器积灰14水冷液位过低水冷液位低于缺液故障限值补液。打开铭牌侧的盖板，在左上方水箱补液口(斜45度)加入相应规格的水冷液，液位达190以上即可，水冷液型号参照使用说明书15本体故障电源检测到流注次数大于等于故障流注次数检查本体或隔离开关柜是否发生绝缘缺陷包装及运送本产品采用国内标准包装，如有特殊规定须在协议中注明；产品在运送过程中，不应有剧烈振动、撞击和倒置；包装箱外部有下列标志：产品名称、型号及出厂编号；产品净重及包装箱的毛重； 收货单位名称和地址；位置标志和起吊位置标志；包装箱的外型尺寸等等。产品成套范围和定货须知成套范围 1高频恒流电源 1台 2阻尼电阻 1只3产品电路图 1份4产品合格证 1份 5产品使用说明书 1份 选配范围1配套隔离开关柜；2高频恒流电源控制柜:高频恒流电源操作界面触摸屏；3集中控制上位机：WINCC组态软件；4光口、电口互换机；5铠装光纤；6手持式现场操作单元。订货需知1请注明型号规格，表（1）中所列的规格为本公司目前标准产品规格，如对容量有特殊需求，请与本公司技术部门沟通，以协助选型和匹配。2本产品为负高压直流输出，如有特殊规定，须在协议中注明。3订货时请说明应用工艺点。4高压发生器中的变压器油为沪石I-10号，高寒地区或有其它特殊状况须在协议中注明。5本公司免费为用户培训操作人员。6本产品保修一年，终身维修。提醒：高频恒流电源隔离开关柜，分为左出、右出、后出和下出四种出线方式，左、右、后出的出线高度和法兰不变、下出没有底盖，此处不一一给图。由于电源是下出线方式，因此安装上不受空间限制，安装空间受限时，选型时需注意。注意：本产品使用说明书中内容若有更改，恕不另行告知。本产品使用说明书的版权和解释权为上海激光电源设备有限责任公司所有。未得到本公司明确的书面许可，不得为任何目的、以任何形式或手段（电子的或机械的）复制或传播本产品使用说明书中的任何部分。附表（1）系统故障低16位说明LOWbit位变量名变量说明故障属性bit0HVOverS二次电压过压软件bit1HVOverH二次电压过压硬件bit2HIOverS二次电流过流软件bit3HIOverH二次电流过流硬件bit4BusVOverS母线电压过压软件bit5BusVLessS母线电压欠压软件bit6BusVLessPS母线电压缺相软件bit7BusVLess2PS母线电压缺2相软件bit8BusIOverS母线电流过流软件bit9BusIOverH母线电流过流硬件bit10InputIOverS电网电流过流软件bit11InverterTempOverS逆变器过温软件bit12IGBTStop11H场效应管停止工作硬件bit13IGBTStop12H场效应管停止工作硬件bit14IGBTStop21H场效应管停止工作硬件bit15IGBTStop22H场效应管停止工作硬件系统故障高16位说明HIGHbit位变量名变量说明故障属性bit0TankTempOverS水冷温度过温软件bit1INV1_LostH逆变器1未连接硬件bit2INV2_LostH逆变器2未连接硬件bit3HLB_LostHHLB取样未连接硬件bit4FFC_LostH排线未连接硬件bit5DoorUnlockH门联锁打开硬件bit6EmergencyStopH急停硬件bit7SofStartTimeOverS软启动超时软件bit8SofStartIOverS软启动过流软件bit9Coil_POverH水冷过压硬件bit10Coil_TOverS水冷过温软件bit11Coil_L_H水冷液位过低硬件bit12Coil_RL_H热继保护硬件bit13EPIS_FaultS本体故障软件bit14保存bit15保存附表（2）系统报警位说明bit位变量名变量说明报警属性bit0VIBRATION1振打故障点1硬件bit1VIBRATION2振打故障点2硬件bit2VIBRATION3振打故障点3硬件bit3VIBRATION4振打故障点4硬件bit4SELFCHEK_OPEN自检开路软件bit5SELFCHEK_SHORT自检短路软件bit6Coil_TOverS水冷过温报警软件bit7Coil_H_H水冷补液报警硬件bit8Coil_T_LostHPT100未连接硬件bit9保存bit10保存bit11保存bit12保存bit13保存bit14保存bit15保存上海激光电源设备有限责任公司地址：上海市嘉定区招贤路200号技术支持：销售总机：传真号码：邮政编码：202321E-mail: