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洁净厂房设计规范
(部分章节）
GBJ73-84

第一章 总则
第二章 空气洁净度等级
第三章 总体设计
第五章 空气净化
第七章 工业气体管道

第一章总则
第1．0．1 条洁净厂房设计必需落实实施国家相关方针政策，做到技术优异、经济合理、安全适用、确保质量，符合节省能源和环境保护要求。
第1．0．2 条本规范适适用于新建和改建、扩建洁净厂房设计，但不适适用于以细菌为控制对象生物洁净室。本规范相关防火和疏散、消防设施章节要求，不适适用于建筑高度超出24米高层洁净厂房和地下洁净厂房设计。
第1．0．3 条在利用原有建筑进行洁净技术改造时，洁净厂房设计必需依据生产工艺要求，因地制宜、区分对待，充足利用已经有技术设施。
第1．0．4条洁净厂房设计应为施工安装、维护管理、测试和安全运行发明必需条件。
第1．0．5条洁净厂房设计除应按本规范实施外，尚应符合现行国家标准、规范相关要求。

第二章空气洁净度等级
第2．0．1条 空气洁净度应按表2.0.1要求划分为四个等级。
空气洁净度等级 表2.0.1
等 级
每立方米(每升)空气中
≥0.5微米尘粒数
每立方米(每升)空气中
≥5微米尘粒数
100 级
≤35×100(3.5)

1000 级
≤35×1000(35)
≤250(0.25)
10000 级
≤35×10000(350)
≤2500(2.5)
100000 级
≤35×100000(3500)
≤25000(25)
注：对于空气洁净度为100级洁净室内大于等于5微米尘粒计算应进行数次采样。当其数次出现时，方可认为该测试数值是可靠。
第2．0．2条洁净室空气洁净度等级检验，应以动态条件下测试尘粒数为依据。洁净室空气洁净度测试，应符合附录二要求。

第三章   总体设计

第一节洁净厂房位置选择和总平面部署
第3.1.1条洁净厂房位置选择，应依据下列要求并经技术经济方案比较后确定：
一、应在大气含尘浓度较低，自然环境很好区域；
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道和散发大量粉尘和有害气体工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰区域。如不能远离严重空气污染源时，则应在其最大频率风向上风侧，或整年最小频率风向下风侧；
三、应部署在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越地段。
第3．1．2条对于兼有微振控制要求洁净厂房位置选择，应实际测定周围现有振源振动影响，并应和精密设备、精密仪器仪表许可环境振动值进行分析比较。
第3．1．3条洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房和烟囱之间水平距离不宜小于烟囱高度12倍。
第3.1.4条   洁洁厂房和交通干道之间距离不宜小于50米。
第3．1．5条 洁净厂房周围宜设置环形消防车道(可利用交通道路)，如有困难时，可沿厂房两个长边设置消防车道。
第3．1．6条洁净厂房周围道路面层，应选择整体性好、发尘少材料。
第3．1．7条洁净厂房周围应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响树木，并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。
第二节工艺部署和设计综合协调
第3．2．1条 工艺部署应符合下列要求：
一、工艺部署合理、紧凑。洁净室或洁净区内只部署必需工艺设备和有空气洁净度等级要求工序和工作室。
二、在满足生产工艺要求前提下，空气洁净度高洁净室或洁净区宜靠近空气调整机房，空气洁净度等级相同工序和工作室宜集中部署，靠近洁净区人口处宜部署空气洁净度等级较低工作室。
三、洁净室内要求空气洁净度高工序应部署在上风侧，易产生污染工艺设备应部署在靠近回风口位置。
四、应考虑大型设备安装和维修运输路线，并预留设备安装口和检修口。
五、应设置单独物料人口，物料传输路线应最短，物料进入洁净区之前必需进行清洁处理。
第3．2．2条洁净厂房内宜少设隔间，但在下列情况下可给予分隔。
一、按生产火灾危险性分类，甲、乙类和非甲、乙类相邻生产区段之间，或有防火分隔要求者。
二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采取局部方法加以控制者。
三、生产联络少，并常常不一样时使用两个生产车间之间。
第3．2．3条洁净厂房平面和空间设计，宜将洁净区、人员净化、物料净化和其它辅助用房进行分区部署。同时应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、气流组织型式、管线部署和净化空气调整系统等多种技术设施综合协调效果。
第3．2．4条洁净厂房设计必需合理确定多种管线平面位置和竖向标高。
第3．2．5条 洁净厂房内多种固定技术设施(如送风口、照明器、回风口、多种管线等)部署，宜首先考虑净化空气调整系统要求。
第三节 噪声控制
第3．3．1条洁净室内噪声级，应符合下列要求：
一、动态测试时，洁净室内噪声级不应超出70分贝A。
二、空态测试时，乱流洁净室噪声级不宜大于60分贝A；层流洁净室噪声级不应大于65分贝A。
注：（1）因为技术经济条件限制，或噪声大于70分贝A对生产无影响时，噪声级可合适放宽，但不宜大于75分贝A；
     （2）上述噪声级是指在室内每一个工作点人耳位置（人离开）测量值。对于变动噪声，则取相同位置处于一个正常工作日内等效连续声压级。
第3．3．2条洁净室噪声频谱限制，应采取倍频程声太级；各频带声压级值不宜大于表3.3.2要求。
第3．3．3条洁净厂房平、剖面部署，应考虑噪声控制要求，其围护结构应有良好隔声性能，并宜使各部分隔声量相靠近。
第3．3．4条洁净室内多种设备均应选择低噪声产品。对于辐射噪声超出洁净室许可值设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。
第3.3.5条净化空气调整系统噪声超出许可值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制方法。
除事故排风外，应对洁净室内排风系统进行减噪设计。
第3．3．6条净化空气调整系统，依据室内噪声级要求，风管内风速宜按下列要求选择：
一、总风管为6～10米/秒。
二、无送、回风口支风管为6～8米/秒。
三、有送、回风口大风管为3～6米/秒。
第3．3．7条洁净厂房噪声控制设计必需考虑生产环境空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净室净化条件。
第四节 振动控制
第3.4.1条洁净厂房和周围辅助性站房内有强烈振动设备(包含水泵等)及其通往洁净室管道，应采取主动隔振方法。
第3．4．2条对洁净厂房内外各类振源，应测定其对洁净厂房综合振动影响。如受条件限制，也可依据经验对综合振动影响进行评价。并应和精密设备、精仪器仪表许可环境振动值进行比较，以确定对其采取必需隔振方法。
第3．4．3条精密设备、精密仪器仪表隔振方法，应考虑降低发生量、保持洁净室内合理气流组织等要求。当采取空气弹簧隔振台座时，应地气源进行处理，使其达成洁净室空气洁净度等级。

第五章空气净化

第一节 通常要求
第5．1．1条洁净厂房内各洁净室空气洁净度等级确实定，应符合下列要求：
一、洁净室内有多个工序时，应依据各工序不一样要求，采取不一样空气洁净度等级。
二、在满足人生产工艺要求前提下，洁净室气流组等级，宜采取局部工作区空气净化和全室空气净化相结合形式。
第5.1.2条  层流洁净室和乱流洁净室和运行班次和使用时间不一样洁净室，其净化空气调整系统均宜分开设置。
第5．1．3条洁净室内计算温、温度、应符合下列要求：
一、满足生产工艺要求
二、生产工艺无温、湿度要求时，洁净室温度为20～26度，温度70度。
第5．1．4条洁净室内应确保一定新鲜空气量，其数值频取下列风量中最大值；
一、乱流洁净室总送风量10%～30%，层流洁净室总送风量2～4%。
二、赔偿室内排风和保持室内正压值所需新鲜空气量。
三、确保室内每人每小时新鲜空气量大于40立方米。
第5．1．5条洁净区清扫，宜采取移动式高效真空吸尘器或设置集中式真空吸尘系统。洁净室内集中式真空吸尘系统管道，应暗敷。
第5．1．6条在净化空气调整系统设计中，对施工和维护管理要求，可按附录四和附录五要求。
第二节洁净室正压控制
第5．2．1条洁净室必需维持一定正压。不相同级洁净室和洁净区和非洁净区之间静压差，应大于4.9Pa，洁净区和室外静压差，应大于9.8Pa。
第5．2．2条洁净室维持不一样正压值所需正压风量，宜按下式计算：
Q＝q1·Σ（q·L）       （5.2.2）
      式中  Q––维持洁净室正压值所需正压风量(米3/时)；
      a––依据围扩结构气密性确定安全系数，可取1.1～1.2；
       q––当洁净室为某一正压值时，其围护结构单位长度缝隙渗漏风量(米3/时·米)；
       L––围扩结构缝隙长度(米)。
第5．2．3条围护结构单位长度缝隙渗漏风量，可按表5.2.3采取。`
压差（Pa）
     门        窗        形         式
非密闭门
密闭门
单层固定密闭木窗
单层固定密闭钢窗
单层开启式密闭钢窗
传输窗
壁板
  漏风量（米3/时·米）
`4.9
17
4
1.0
0.7
3.5
2.0
0.3
9.8
24
6
1.5
1.0
4.5
3.0
0.6
14.7
30
8
2.0
1.3
6.0
4.0
0.8
19.6
36
9
2.5
1.5
7.0
5.0
1.0
24.5
40
10
2.8
1.7
8.0
5.5
1.2
29.4
44
11
3.0
1.9
8.5
6.0
1.4
34.3
48
12
3.5
2.1
9.0
7.0
1.5
39.2
52
13
3.8
2.3
10.0
7.5
1.7
44.1
55
15
4.0
2.5
10.5
8.0
1.9
49.0
60
16
4.4
2.6
11.5
9.0
2.0
第5．2．4条送风、回风和排风系统启闭联锁。系统开启时，联轴和序应为先开启送风机，再开启回风机和排风机，系统关闭时，则闻锁程序应相反。
第5．2．5条非连续运行洁净室，可依据生产工艺要求设置值班风机，并应对新风进行处理。
第三节 气流组组织和送风量
第5．3．1 气流组织选择，应符合下列要求：
一、洁净工作区气流速度，应满足空气洁净度和人体健康要求，并应使洁净工作区气流流向单一。
二、回风口宜均匀部署在洁净室下部。
三、余压阀宜设在洁净室气流下风侧，不宜设在洁净工作区高度范围内。
第5．3．2条洁净室气流组织和送风量，宜按表5.3.2选择。
第5．3．3条乱流洁净室送风量，应取下列要求最大值；
一、为控制室内空气洁净度所需要送风量。
二、按表5.3.2要求送风量。
三、依据热、湿负荷计算和稀释有害气体所需送风量。
四、按空气平衡所需要送风量。
第5.3.4条当生产工艺仅要求在洁净室内局部工作区达成更高空气洁净度时，其气流组织设计应使洁净气流首先流经该工作区，或在洁净室不一样区域形成不一样气流流型和空气洁净度等级洁净工作区，其型式可分别按图5.3.4-1、5.3.4-2。
第5．3．5条层流洁净室内不宜设置洁净工作台；乱流洁净室内可设置洁净工作台，但其位置应远离回风口。
第5．3．6条洁净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流下风侧。
第四节空气净化处理
第5．4．1条各等级空气洁净度空气净化处理，均应采取初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。
注1：100，000级空气净化处理，可采取亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。
第5．4．2条确定集中式或分散式净化空气调整系统时，应综合考虑生产工艺特点和洁净室空气洁净度等级、面积、位置等原因。凡生产工艺连续、洁净室面积较大时，位置集中和噪声控制和振动控制要求严格洁净室，宜采取集中式净化空气调整系统。
第5．4．3条净化空气调整系统设计应合理利用回风，凡工艺过程产生大量有害物质且局部处理不能满足卫生要求，或对其它工序有危害时，则不应用回风。
第5．4．4条净化空气调整系统除直流式系统和设置值班风机系统外，应采取预防室外污染空气经过新风口参入洁净室内防倒灌方法。
第5．4．5条空气过滤器选择部署和安装方法，应符合下列要求：
一、初效空气过滤器不应选择浸油式过滤器。
二、中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调整系统正压段。
三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤器宜设置在净化空气调整系统末端。
四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选择。
五、阻力、效率相近高效空气过滤器宜设置在同一洁净室内。
六、高效空气过滤器安装方法应简便可靠，易于检漏和更换。
第5．4．6条送风机可按净化空气调整系统总送风量和总阻力值进行选择，中效、高效空气过滤器阻力宜接其初阻力两倍计算。
第5．4．7条净化空气调整系统如需电加热时，应选择管状电加热器，位置应部署在高效空气过滤器上风侧，并应有防火安全方法。
第五节 采暖通风
第5．5．1条洁净室采暖型式，应按下列不一样情况确定：
一、100级、1000级、10，000级洁净室，不应采取散热器采暖，100，000级洁净室，不宜采取散热器采暖。
二、值班采暖可利用技术夹道散热器进行间接采暖。或采取间歇运行净化空气调整系统，值班风机系统进行热风采暖。
第5.5.2条散热器应采取表面光滑不易积尘、便于清扫形式。
第5．5．3条洁净室内产生粉尘和有害气体工艺设备，应设局部排风装置、排风罩操作口面积应尽可能缩小。
第5．5．4条局部排风系统在下列情况下，应单独设置：
一、非同一净化空气调整系统。
二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性。
三、所排出有害物毒性相差很大。
第5.5.5条洁净室排风系统设计，应采取下列方法：
一、防倒灌方法。
二、含有易燃、易爆物质局部排风系统防火、防爆方法。
第5．5．6条换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采取通风方法，其室内静压值，应低于洁净区。
第5．5．7条洁净室事故排风系统换气次数，应采取每小时15～20次。
事故排风装置控制开关，应分别设在洁净室和室外便于操作地点，并应和净化空气调整系统联锁，其室内宜设报警装置。
第六节 风管和附件
第5．6．1条风管断面尺寸确实定，应考虑能对风管内壁进行清洁处理，并在合适位置设置密闭清扫口。风管壁厚按附录六选择。
第5．6．2条净化空气调整系统新风管、回风总管，应设置密闭调整阀。送风机吸入口处和需要调整风量处，应设置密闭调整阀。送风机吸入口处和需要调整风量处，应设置调整阀。洁净室内排风系统，应设置调整阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必需设置防火阀。
第5．6．3条净化空气调整系统风管和调整阀和高效空气过滤器保护网、孔板和扩散孔板等附件制作材料和涂料，应依据输送空气洁净要求及其所处空气环境条件确定。
洁净室内排风系统风管、调整阀和止回阀等附件制作材料和涂料，应依据排除气体性质及其所处空气环境条件确定。
第5．6．4条在中效和高效空气过滤器前后，应设置测压孔。在新风管和送回风总管和需要调整风量支管上，应设置风量测定孔。
第5．6．5条排除腐蚀性气体风管，可采取塑料风管，其它风管和风管保温和游泳场材料及其粘结剂，应采取非燃烧材料或难燃烧材料。

第七章工业气体管道

第一节 通常要求
第7．1．1条工业气体管道干管，应敷设在技术夹层、技术夹道内。氢气和氧气管道且明敷，如敷设在技术夹层、技术夹道内时，应采取良好通风方法。
引入洁净支管宜明敷。
第7．1．2条高纯气体管道设计，应符合下列要求：
一、依据计算确定管径。
二、管道系统应尽可能短。
三、不宜设预留口。
四、不应出现“盲管”等不易吹除部位。
五、干管不支管上应设置吹除口。
六、在管系统上应设置吹除口。
第7.1．3条穿过洁净室墙壁或楼板气体管道，应敷设在预埋套管内，套管内管段不应有焊缝。管道和套管之间应采取可靠密封方法。
第7．1．4条氢气和氧气管道末端或最高点宜设放散管。放散管应高出屋脊1米，并应设在防雷保护区内。
第7．1．5条气体净化装置应依据气源和生产工艺对气体统一计划要求进行选择。气体终端净化装置应设在靠近用气点处。
第7．1．6条气体过滤器应依据生产工艺对气体含尘量要求进行选择。高纯气体管道应装设高效气体过滤器。
第二节管道材料、阀门和附件
7．2．1条依据不一样气体及其纯度和用途，管道材料应按下列要求选择：
一、气体纯度大小或等于99.999%时，应采取不锈钢管。
二、气体纯度大于或等于99.99%时，宜采取不锈钢管、铜管、无缝钢管。
三、气体纯度小于99.99%时，可采取无缝钢管。
四、管道和设备连接段，宜采取金属管道；如为非金属软管时，宜采取聚四氟乙烯管、聚乙烯管、不得采取乳胶管。
第7．2．2条高纯气体管道应采取密封性能好低门和附件，其材料和管道相适应。阀门密合圈应为有色金属、不锈钢或聚四氟乙烯材料。阀门填塞料应采取聚四氟乙烯材料。
第7．2．3  高纯气体管道和附件连接密封垫，应采取不锈钢、有色金属、聚四氟乙烯或氟橡胶材料。
第三节管道连接和清洗
第7．3．1条管道连接应采取焊接。高纯气体管道应采取承插焊。
第7．3．2条管道和设备、阀门连接处，宜采使用方法兰、螺纹或其它密封性能优良连接件。螺纹处宜采取聚四氟乙烯带密封。
第7．3．3条  高纯性气体管道内内壁、阀门和附件在安装前，应进行清洗、脱脂等预处理。
第四节 安全技术
第7．4．1条 工业气体管道设计安全技术，应符合下列要求；
一、氢气管道支管和放散管上，应设置回火预防器。
二、氢气和氧气管道应设置导除静电装置。
三、多种气体管道应设显著标志。
第7．4．2条洁净室内使用氢气时，宜在室内设置报警装置。
第7．4．3条多种气瓶应集中设置在洁净厂房外，当日用气量不超出一瓶时，气瓶可设置在洁净室内。