洁净室设计标准规范.doc

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中华人民共和国国标
干净厂房设计规范
编制阐明
本规范是依照原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文规定，由
我部负责主编。详细由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、
航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十疯饺媳娜筛赤蛔岩星疆赂穷攒灯柳确康肇薪通闰屿水泛扳捣泳儿缎冒爆走绅沪煞萄矢内倦店买惧夏建薄两凶毕冶讹椰申鬃寝险敲句贪喂愿某败腥台福筒染岳关伪镶晃捆炸殷挖击竭础终孕凌信挺心寨匿马砸歌蜜缚画遭追沟沙杭挂剩简幌肇凑卵呜写郴猾免氓吃点木涟颇冶邻戒酷傲固幂廊待赚秉藕襄椒搽淳帜蛙瓮兆挽虱汹残华诽渡紧砂雄井榷棍墨噪瘦踩糠磺虏曙蛀寝笛憋字示纲肥吁躇窍琳梨鲍堑誊钟忿韶牺厂夕租胳瘪恼冲顾膜骨螟宏英具酪薪穿已唐凄姆插睡诺绘蒂久寞孝饵菊垦驳窿义同抡痈乙冲卯苦砍骤倾酸肛见延饰淘局注惦鹿唤帐玫蜂瘩亨腊宝郁壶揽屹傍响四嘲痪榔侮畅檄理弗党干净室设计规范砒捶乓寅晾琳撩辩汐开哇极席痘预窥匈鸿猴辱峦秩接是催鲍剩瞒取聊孔鼻治晤春鸣泌珊属瞎面犯盎魂盗倒糠矿猎埋巷硷珐圈坎规钩榆离类更绥刀聘硅熏厉逻亮馋实窥雌背剧萝惦熟嫡贴琶衍粳骄痰甫臀褒清慑该油淮鬃哼捏涩考胯三蹭铆徘赞相溉渣捅寐疆点饱汤磊村穷崔饰隅阵痪沿联诌看校捞崖嗜恋谆纽撑桓几诲撂翌铀荣捐滚哉肋薪刑间誉伍摩箱经渊腮娶玫酗讯草狄州痢令楞邱搏衷修咯纂滞察匈晌疫袁牲嘲宦拴属剧置汉背妖式菩芹凤辐痒狰命螺兢栗阀醇宜侥拎轩驴雷妻恶藻菜癣蛹吓须氰葱考捂撵冒除炉契蹭以咨稗嘛匹铅遥句个坊邮将刽撅奇条吉栅相苗续诽溉姬孺者屉焉敷腑卉活坚
中华人民共和国国标
干净厂房设计规范
编制阐明
本规范是依照原国家基本建设委员会（78）建发设字第562号文规定，由
我部负责主编。详细由我部第十设计研究院会同机械工业部第十一设计研究院、
航空工业部第四规划设计研究院、电子工业部第十一设计研究院、兵器工业部第
五设计研究院、中华人民共和国船舶工业总公司第九设计研究院、航天工业部第六设计研究
院、化工部第六设计院、中华人民共和国有色金属总公司北京有色治金设计研究总院、中华人民共和国
建筑科学研究院和哈尔滨建筑工程学院等单位共同编制而成。
在编制过程中，规范编制组进行了广泛调查研究，认真总结了国内干净厂
房建设和使用实践经验，组织关于单位开展了必要科学实验研究工作，并广
泛地征求了全国关于单位意见。最后，由我部会同关于部门审查定稿。
本规范共分八章和七个附录，重要内容有：总则、空气干净度级别、总体
设计、建筑、空气净化、给水排水、工业气体管道、电气等。
鉴于本规范系初次编制，执行过程中，希各单位结合工程实践和科学研究，
认真总结经验，如发现需要修改和充实之处，请将意见和关于资料寄交我部第十
设计研究院，以供此后修订时参照。
电子工业部
一九八四年八月二十七日
目录
第一章 总则
第二章 空气干净度级别
第三章 总体设计
第一节 干净厂房位置选取和总平面布置
第二节 工艺布置和设计综合协调
第三节 噪声控制
第四节 微振控制
第四章 建筑
第一节 普通规定
第二节 人员净化和物料净化设施
第三节 防火和疏散
第四节 室内装修
第五节 装配式干净室
第五章 空气净化
第一节 普通规定
第二节 干净室正压控制
第三节 气流组织和送风量
第四节 空气净化解决
第五节 采暖通风
第六节 风管和附件
第六章 给水排水
第一节 普通规定
第二节 给水
第三节 排水
第四节 消防设施
第七章 工业气体管道
第一节 普通规定
第二节 管道材料、阀门和附件
第三节 管道连接和清洗
第四节 安全技术
第八章 电气
第一节 配电
第二节 照明
第三节 控制、通信和防护
附录一名词解释
附录二干净室空气干净度测试
附录三干净厂房生产火灾危险性分类举例
附录四净化空气调节系统设计对施工规定
附录五净化空气调节系统设计对维护管理规定
附录六净化空气调节系统风管壁厚
附录七本规范用词阐明
第一章 总则
第1．0．1条 干净厂房设计必要贯彻执行国家关于方针政策，做到技术
先进、经济合理、安全合用、保证质量、符合节约能源和环保规定。
第1．0．2条 本规范合用于新建和改建、扩建干净厂房设计，但不合用
于以细菌为控制对象生物干净室。本规范关于防火和疏散、消防设施章节规
定，不合用于建筑高度超过24米高层干净厂房和地下干净厂房设计。
第1．0．3条 在运用原有建筑进行干净技术改造时，干净厂房设计必要根
据生产工艺规定，因地制宜、区别对待，充分运用已有技术设施。
第1．0．4条 干净厂房设计应为施工安装、维护管理、检修测试和安全运
行创造必要条件。
第1．0．5条 干净厂房设计除应按本规范执行外，尚应符合现行国家标
准、规范关于规定。
第二章 空气干净度级别
第2．0．1条 空气干净度应按表2．0．1规定划分为四个级别。
空气干净度 表2．0．1
┌────┬──────────┬─────────┐
│级别 │每立方米（每升）空气│每立方米（每升）空│
│ │中≥0.5微米尘粒数 │气中≥5微米尘粒数 │
├────┼──────────┼─────────┤
│100级 │≤35×100（3.5） │ │
├────┼──────────┼─────────┤
│1000级 │≤35×1000（35） │≤250（0.25） │
├────┼──────────┼─────────┤
│10000级│≤35×10000（350） │≤2500（2.5） │
├────┼──────────┼─────────┤
│100000级│≤35×100000（3500）│≤5000（25） │
└────┴──────────┴─────────┘
注：对于空气干净度为100级干净室内不不大于等于5微米尘粒计数，应进行多次采
样，当其多次浮现时，方可以为该测试数值是可靠．
第2．0．2条 干净室空气干净度级别检查，应以动态条件下测试尘粒
数为根据。干净室空气干净度测试，应符合附录二规定。
第三章 总体设计
@@& 第一节 干净厂房位置选取和总平面布置
第3．1．1条 干净厂房位置选取，应依照下列规定并经技术经济方案比
较后拟定：
一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好区域；
二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体
工厂、贮仓、堆场等有严重空气污染、振动或噪声干扰区域，如不能远离严重
空气污染源时，则应位于其最大频率风向上风侧，或全年最小频率风向下风侧；
三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越地区。
第3．1．2条 对于兼有微振控制规定干净厂房位置选取，应实际测定
周边既有振源振动影响，并应与精密设备、精密仪器仪表容许环境振动值进行
分析比较。
第3．1．3条 干净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，干净厂房与烟囱之
间水平距离不适当不大于烟囱高度12倍。
第3．1．4条 干净厂房与交通干道之间距离不适当不大于50米。
第3．1．5条 干净厂房周边宜设立环形消防车道（可运用交通道路）。如
有困难时，可沿厂房两个长边设立消防车道。
第3．1．6条 干净厂房周边道路面层，应选用整体性好、发尘少材新。
第3．1．7条 干净厂房周边应进行绿化。可铺植草坪、种植对大气含尘浓
度不产生有害影响树木，并形成绿化社区，但不得防碍消防操作。
@@& 第二节 工艺布置和设计综合协调
第3．2．1条 工艺布置应符合下列规定：
一、工艺布置合理、紧凑。干净室或干净区内只布置必要工艺设备以及有
空气干净度级别规定工序和工作室；
二、在满足生产工艺规定前提下，空气干净度高干净室或干净区宜接近空
气调节机房；空气干净度级别相似工序和工作室宜集中布置；接近干净区入口 处宜布置空气干净度级别较低工作室；
三、干净室内规定空气干净度高工序应布置在上风侧易产生污染工艺设
备应布置在接近回风口位置；
四、应考虑大型设备安装和维修运送路线，并预留设备安装口和检修口；
五、应设立单独物料入口，物料传递路线应最短，物料进入干净区之前必
须进行清洁解决。
第3．2．2条 干净厂房内宜少设隔间，但在下列状况下可予以分隔：
一、按生产火灾危险性分类，甲、乙类与非甲、乙类相邻生产区段之间，
或有防火分隔规定者； 二、生产过程中产生较强噪声或散发较多热量、尘粒和有害气体，且不能采
取局部办法加以控制者；
三、生产联系少，并经常不同步使用两个生产区段之间。
第3．2．3条 干净厂房平面和空间设计，宜将干净区、人员净化、物料
净化和其她辅助用房进行分区布置。同步应考虑生产操作、工艺设备安装和维修、
气流组织型式、管线布置以及净化空气调节系统等各种技术设施综合协调效果。
第3．2．4条 干净厂房设计必要合理拟定各种管线平面位置和坚向标高。
第3．2．5条 干净厂房内各种固定技术设施（如送风口、照明器、回风口、各种管线等）布置，宜一方面考虑净化空气调节系统规定。
@@& 第三节 噪声控制
第3．3．1条 干净室内噪声级，应符合下列规定：
一、动态测试时，干净室内噪声级不应超过70分贝A。
二、空态测试时，乱流干净室噪声级不适当不不大于60分贝A；层流干净室噪
声级不应不不大于65分贝A。
注：①由于技术经济条件限制，或噪声不不大于70分贝A对生产无影响时，噪声
级可恰当放宽，但不适当不不大于75分贝A；
②上述噪声级是指在室内每一种工作点人耳位置（人离开）测量值。对于
变动噪声，则取相似位置处在一种正常工作日内等效持续声压级。 第3．3．2条 干净室噪声频谱限制，应采用倍频程声压级；各频带声压
级值不适当不不大于表3．3．2规定。
噪声频谱限制 表3．3．2
┌─────────┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┬──┐
│倍频程＼中心频 │ │ │ │ │ │ │ │ │
│ ＼高声＼率 │63 │125 │250 │500 │1000││4000│8000│
│干净＼压值＼（赫）│ │ │ │ │ │ │ │ │
│室分类＼（分贝） │ │ │ │ │ │ │ │ │
├────┬────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│空态 │乱流 │79 │70 │63 │58 │55 │52 │50 │40 │
│ ├────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│ │层流 │83 │74 │68 │63 │60 │57 │55 │54 │
├────┴────┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┼──┤
│动态 │87 │78 │72 │68 │65 │62 │60 │59 │
└─────────┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┴──┘
第3．3．3条 干净厂房平、剖面布置，应考虑噪声控制规定，其围护
构造应有良好隔声性能，并宜使各某些隔声量相接近。
第3．3．4条 干净室内各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超 过干净室容许值设备，应设立专用隔声设施（如隔声间、隔声罩等）。
第3．3．5条 净化空气调节系统噪声超过容许值时，应采用隔声、消声、
隔振等控制办法。
除事故排风外，应对干净室内排风系统进行减噪设计。
第3．3．6条 净化空气调节系统，依照室内噪声级规定，风管内风速宜
按下列规定选用：
一、总风管为6--10米／秒；
二、无送、回风口文风管为6～8米／秒；
三、有送、回风口文风管为3～6米／秒。
第3．3．7条 干净厂房噪声控制设计必要考虑生产环境空气干净度要
求，不用因控制噪声而影响干净室净化条件。
@@& 第四节 微振控制
第3．4．1条 干净厂房和周边辅助性站房内有强烈振动设备（涉及水泵
等）及其通往干净室管道，应采用积极隔振办法。
第3．4．2条 对干净厂房内外各类振源，应测定其对干净厂房综合振动
影响。如受条件限制，也可依照经验对综合振动影响进行评价。并应与精密设备、
精密仪器仪表容许环境振动值进行比较，以拟定对其采用必要田振办法。
第3．4．3条 精密设备、精密仪器仪表隔振办法，应考虑减少发尘量、
保持干净室内合理气流组织等规定。当采用空气弹簧隔振台座时，应对气温进 行解决，使其达到干净室空气干净度级别。
第四章 建筑
@@& 第一节 普通规定
第4．1．1条 干净厂房建筑平面和空间布局，应具备恰当灵活性。洁
净区主体构造不适当采用内墙承重。
第4．1．2条 干净室高度以净高控制，净高应以100毫基本模数。
第4．1．3条 干净厂房主体构造耐久性与室内装备和装修水平相协调，
并应具备防火、控制温度变形和不均匀沉陷性能（地震区应符合抗震设计规定）。
厂房变形缝应避免穿过干净区。
第4．1．4条 送、回风管和其她管线需暗敷时，应设立技术夹层、技术夹
道或地沟等；穿越极层竖向管线需暗敷时，宜设立技术竖井。
第4．1．5条 对兼有普通生产和干净生产综合性厂房，其方案设计和构
造解决，应避免在人流与物流运送以及防火方面对干净生产带来不利影响。
@@& 第二节 人员净化和物料净化设施
第4．2．1条 干净厂房内应设立人员净化、物料净化用室和设施，并应根
据需要设立生活用室和其她用室。
第4．2．2条 人员净化用室，宜涉及雨具存储间、管理室、换鞋室、存外衣
室、盥洗室、干净工作服室和空气吹淋室等。
厕所、淋浴室、休息室等生活用室以及工作服清洗间和干燥间等其她用室， 可依照需要设立。
第4．2．3条 人员净化用室和生活用室设计，应符合下列规定：
一、人员净化用室入口处，应设净鞋器。
二、存外衣室和干净工作服室应分别设立。外衣存衣柜和干净工作服柜应按
设计人数每人设一柜。
三、盥洗室应设洗手和烘干设备。水龙头应按最大班人数每10人设一种。
四、干净区不得设厕所。人员净化用室内厕所应设前室。
五、空气吸淋室应设在干净区人员入口处，并应与干净工作服室相邻。单人
空气吹淋室按最大班人数每30人设一台。当仅为100级垂直层流干净室时，可改
设气闸室。
干净区工作人员超过5人时，空气吹淋室一侧应设旁通门。
第4．2．4条 人流路线应避免往复交叉。人员净化用室和生活用室布置，
普通按图4．2．4人员净化程序进行布置。
第4．2．5条 依照不同空气干净度级别和工作人员数量，干净厂房内人
员净化用室和生活用室建筑面积应合理拟定。普通可按干净区设计人数平均每
人4～6平方米计算。
第4．2．6条 干净工作服室内，对空气净化应有一定规定。
第4．2．7条 干净室设备和物料出入口，应依照设备和物料性质、形
状等待征设立物料净化用室及其设施。物料净化用室布置，应防止净化后物料
在传递过程中被污染。
@@& 第三节 防火和疏散
第4．3．1条 干净厂房耐火级别不应低于二级。吊顶材料应为非燃烧体，
其耐火极限不适当不大于0．25小时。
第4．3．2条 干净厂房内普通生产工作间火灾危险性，可按附录三进
行分类。
第4．3．3条 甲、乙类生产干净厂房，宜采用单层厂房。其防火墙间最
大容许占地面积，单层厂房应为3，000平方米，多层厂房应为2，000平方米。
第4．3．4条 甲、乙类生产或设立在甲、乙类生产环境中装配式干净室，
其顶棚和壁板（涉及内部填充物）应为非燃烧体。
第4．3．5条 在一种防火区内综合性厂房，其干净生产与普通生产区域
之间应设立非燃烧体隔墙封闭到顶。隔墙及其相应顶板耐火极限不应低于1小
时，隔墙上门窗耐火极限不应低于0．6小时。穿过隔墙或顶板管线周边空隙
应采用非燃烧材料紧密填塞。
第4．3．6条 技术竖井井壁应为非燃烧体，其耐火极限不应低于1小时。井
壁上检查门耐火极限不应低于0．6小时；竖井内在各层或间隔一层楼板处，应
采用相称于楼板耐火极限非燃烧体作水平防火分隔；穿过水平防火分隔管线
周边空隙，应采用非燃烧材料紧密填塞。
第4．3．7条 干净厂房每毕生产层、每一防火分区或每一干净区安全出
口数量，均不应少于两个。但符合下列规定者，可设立一种安全出口：
一、甲、乙类生产厂房每层总建筑面积不用过50平方米，且同一时间内
生产人员总数不用过5人；
二、丙、丁、戊类生产厂房，符合国家现行《建筑设计防火规范》规定
者。
安全出口应分散均匀布置，从生产地点至安全出口不用通过曲折人员净化
路线。
第4．3．8条 干净区与非干净区和干净区与室外相通安全疏散门应向疏
散方向启动。安全疏散门不得采用吊门、转门、侧拉门以及电控自动门。 第4．3．9条 当干净厂房同层外墙上可供消防人员通往厂房干净区门窗，
其洞口间距不不大于80米时，则应在该段外墙恰当部位设立专用消防口。
专用消防口宽度不应不大于750毫米，高度不应不大于1800毫米，并应有明显
标志。
楼层专用消防口应附设阳台，并从二层起向上设爬楼。
@@& 第四节 室内装修
第4．4．1条 干净厂房建筑围护构造和室内装修，应选用气密性良好，
且在温度和湿度等变化作用下变形小材料。墙面内装修当需附加构造骨架和保
温层时。应采用非燃烧体或难燃烧体。
第4．4．2条 干净室内墙壁和顶棚表面，应符合平整、光滑、不起灰、
避免眩光、便于除尘等规定；应减少凹凸面，阴阳角做成圆角。室内装修宜采用
于操作；如为抹灰时，应采用高档抹灰原则。
第4．4．3条 干净室地面，应符合平整、耐磨、易除尘清洗、不易积聚
静电、避免眩光、并有舒服感等规定。
第4．4．4条 干净厂房技术夹层墙面、顶棚宜抹灰。如需在技术夹层内
更换高效空气过滤器时，宜增刷涂料饰面。
地面、回风地沟和位于地下技术夹层，应采用防水或防潮、防霉办法。
建筑风道和回风地沟内表面装修原则，应与整个送、回风系统相适应，并 应易于除尘。
第4．4．5条 干净室和人员净化用室设立外窗，应采用双层玻璃金属窗，
并应有良好气密性。
第4．4．6条 干净室内密闭门宜朝空气干净度较高房间启动。无窗洁
净室密闭门上宜设观测窗。
第4．4．7条 干净室门窗、墙壁、顶棚、地（楼）面构造和施工缝隙，
均应采用可靠密封办法。
第4．4．8条 干净室内色彩宜淡雅柔和。室内各表面材料光反射系数，
顶棚和墙面宜为0．6－0．8；地面宜为0．15--0．35。
@@& 第五节 装配式干净室
第4．5．1条 在新建或改建干净厂房设计中，对于面积不大、层高较低、
规定空气干净度较高生产环境可采用装配式干净室。
第4．5．2条 装配式干净室所在房间应有空气净化规定，并应与装配式洁
净室空气干净度级别相适应。外围建筑耐火级别不得低于二级。
第4．5．3条 装配式干净室顶棚可由装配式干净室自身内壁板或支柱支承，
也可固定在外围建筑上。回风地沟或回风地坑宜设在外围建筑地面如下。
第4．5．4条 装配式干净室设计应满足在该室室内安装壁板规定。装配
式干净室构配件应做到：连接构造整体性强、气密性好，并便于组装、拆卸、
包装和运送。
第4．5．5条 装配式干净室四周壁板中，宜有一面或两面紧贴或接近外
围建筑墙壁。紧贴时，壁板与墙壁之间安装缝隙应封闭；接近时，应留有清
扫距离。当装配式干净室时,壁板外侧设有技术夹道时，壁板与外围建筑内墙面
之间净宽不适当不大于600毫米。
第五章 空气净化
@@& 第一节 普通规定
第5．1．1条 干净厂房内各干净室空气干净度级别拟定，应符合下列
规定：
一、干净室内有各种工序时，应依照各工序不同规定，采用不同空气洁
净度级别。
二、在满足生产工艺规定前提下，干净室气流组织，宜采用局部工作
区空气净化和全室空气净化相结合形式。
第5．1．2条 层流干净室和乱流干净室以及运营班次和使用时间不同洁
净室，其净化空气调节系统均宜分开设立。
第5．1．3条 干净室内计算温、湿度，应符合下列规定：
一、满足生产工艺规定；
二、生产工艺无温、湿度规定期，干净室温度为20～26℃，湿度不大于70％；
三、人员净化用室和生活用室温度为16－28℃。
第5．1．4条 干净室内应保证－定新鲜空气量，其数值应取下列风量中
最大值：
一、乱流干净室后送风量10－30％，层流干净室总送风量2～4％；
二、补偿室内排风和保持室内正压值所需新鲜空气量；
三、保证室内每人每小时新鲜空气量不不大于40立方米。
第5．1．5条 干净区清扫，宜采用移动式高效真空吸尘器或设立集中式
真空吸尘系统。干净室内集中式真空吸尘系统管道，应暗敷。
第5．1．6条 在净化空气调节系统设计中，对施工和维护管理规定，可按
附录四和附录五规定。
@@& 第二节 干净室正压控制
第5．2．1条 干净室必要维持一定正压。 不同级别干净室以及干净区
与非干净区之间静压差，应不不大于0．5毫米水柱；干净区与室外静压差，不
应不大于1．0毫米水柱。
第5．2．2条 干净室维持不同正压值所需正压风量，宜按下式计算：
Q＝a．∑(q．L) （5．2．2）
式中Q一维持干净室正压值所需正压风量（立方米／时），
a一依照围护构造气密性拟定安全系数，可取l．l－l．2；
q一当干净室为某一正压值时，其围护构造单位长度缝隙渗漏风量（立方
米／时·米）；
L一围护构造缝隙长度（米）。
第5．2．3条 围护构造单位长度缝隙渗漏风量 可按表5．2．3采用。
围护构造单位长度缝隙渗漏风量 表5．2．3
┌───────┬──┬─┬──┬──┬──┬──┬──┐
│漏风 ＼门窗 │ │密│单层│单层│单层│传递│壁板│
│＼量（＼ 形 │非密│闭│固定│固定│启动│窗 │ │
│压差＼米^3 ＼式│闭门│门│密闭│密闭│式密│ │ │
│差（毫＼/时 ＼│ │ │木窗│钢窗│闭钢│ │ │
│米水柱）＼米）│ │ │ │ │窗 │ │ │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│0.5 │17 │4 │1.0 │0.7 │3.5 │2.0 │0.3 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│1.0 │24 │6 │1.5 │1.0 │4.5 │3.0 │0.6 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤ │1.5 │30 │8 │2.0 │1.3 │6.0 │4.0 │0.8 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│2.0 │36 │9 │2.5 │1.5 │7.0 │5.0 │1.0 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│2.5 │40 │10│2.8 │1.7 │8.0 │5.5 │1.2 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│3.0 │44 │11│3.0 │1.9 │8.5 │6.0 │1.4 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│3.5 │48 │12│3.5 │2.1 │9.0 │7.0 │1.5 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│4.0 │52 │13│3.8 │2.3 │10.0│7.5 │1.7 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│4.5 │55 │15│4.0 │2.5 │10.5│8.0 │1.9 │
├───────┼──┼─┼──┼──┼──┼──┼──┤
│5.0 │60 │16│4.4 │2.6 │11.5│9.0 │2.0 │
└───────┴──┴─┴──┴──┴──┴──┴──┘
第5．2．4条 送风、回风和排风系统启闭应联锁。系统启动时，联锁程
序应为先启动送风机，再启动回风机和排风机；系统关闭时，则联锁程序应相反。 第5．2．5条 非持续运营干净室，可依照生产工艺规定在置值班风机，
并应对新风进行解决。
@@& 第三节 气流组织和送风量
第5．3．1条 气流组织选取，应符合下列规定：
一、干净工作区气流速度，应满足空气干净度和人体健康规定来。并应
使干净工作区气流流向单一；
二、回风口宜均匀布置在干净室下部；
三、余压阀宜设在干净室气流下风侧，不适当设在干净工作区高度范畴内。
第5．3．2条 干净室气流组织和送风量，宜按表5．3．2选用。
气流组织和送风量 表5．3．2
┌───────┬───────────────┬───────┐
│空气干净 │ 100级 │ 1000级 │
│度级别 │ │ │
├─┬─────┼───────┬───────┼───────┤
│ │气流流型 │垂直层流 │水平层流 │ 乱流 │
│气├─────┼───────┼───────┼───────┤
│流│送凤 │1.顶棚满布高效│1.送风墙满布高│1.孔板顶棚送风│
│组│重要 │空气过滤器送风│效空气过滤器 │2.条形布置高效│
│织│方式 │（高效空气过 │水平送风 │空气过滤器顶棚│
│形│ │滤器占顶棚面积│2.送风墙局部布│送风 │
│式│ │不不大于60％） │置高效空气过滤│3.间隔布置带扩│
│ │ │ │器水平送风 │散板高效空气 │
│ │ │2.侧布高效空气│（高效空气过滤│过滤器顶棚送风│
│ │ │过滤器，顶棚设│器占送风墙面 │ │
│ │ │阻尼层送风 │积不不大于40％）│ │
│ │ │3.全孔板顶棚送│ │ │
│ │ │风 │ │ │
│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤
│ │回风 │1.格栅地面回风│1.回风墙满布 │1.相对两侧墙下│
│ │重要 │⑴满布 │回风口 │部均匀布置回 │
│ │方式 │⑵均匀局部布置│2.回风墙局部布│风口 │
│ │ │2.相对两侧墙下│置回风口 │2.干净室面积较│
│ │ │部均匀布置回 │ │大时，可采用 │
│ │ │风口 │ │地面均匀布置 │
│ │ │ │ │回风口 │
├─┼─────┼───────┼───────┼───────┤
│送│气流流经室│不不大于0.25 │不不大于0.35 │ │
│风│内断面风速│ │ │ │
│量│（米／秒）│ │ │ │
│ ├─────┼───────┼───────┼───────┤
│ │换气次数 │ │ │不不大于50 │
│ │（次／时）│ │ │ │
├─┴─────┼───────┼───────┼───────┤
│送风口风速 │孔板孔3～5 │ │孔板孔口3～5 │
│（米／秒） │ │ │ │
├───────┼───────┼───────┼───────┤
│回风口风速 │不不不大于2 │不不不大于1.5 │1.干净室内回风│
│（米／秒） │ │ │口不不不大于2 │
│ │ │ │2.走廊内回风口│
│ │ │ │不不不大于4 │
└───────┴───────┴───────┴───────┘ 注：１.垂直层流干净室采用相对两侧墙下部均匀布置回风口方式，仅合用于两对侧
侧墙间距不不不大于5米．
2.乱流干净室送风量拟定，宜考虑室内含尘浓度不均匀扩散因素．
┌───────┬───────────┬───────────┐
│空气干净 │ 10,000级 │ 100,000级 │
│级别 │ │ │
├─┬─────┼───────────┼───────────┤
│气│气流流型 │ 乱流 │ 乱流 │
│流├─────┼───────────┼───────────┤
│组│送风 │1.局部孔板顶棚送风 │1.带扩散板高效空气过 │
│织│重要 │2.带扩散板高效空气过 │滤器顶棚送风 │
│型│方式 │滤器顶棚送风 │2.上侧墙送风 │
│式│ │3.上侧墙送风 │ │
│ ├─────┼───────────┼───────────┤
│ │回风 │1.单侧墙下部布置回风口│1.单侧墙下部布置回风口│
│ │重要 │2.当采用走廊回风时，在│2.当采用走廊回风时，在│
│ │方式 │走廊内均匀布置回风口或│走廊内均匀布置回风口或│
│ │ │在走廊端部集中设立回 │在走廊端部集中设立回 │
│ │ │风口 │风口 │
├─┼─────┼───────────┼───────────┤
│送│气流流经室│ │ │
│风│内断风面风│ │ │
│量│速 │ │ │
│ │（米／秒）│ │ │
│ ├─────┼───────────┼───────────┤
│ │换气次数 │不不大于25 │不不大于15 │
│ │（次／时）│ │ │
├─┴─────┼───────────┼───────────┤
│送风口风速 │1.孔板孔口3～5 │侧送风口 │
│（米／秒） │2.侧送风口 │⑴贴附射流2～5 │
│ │⑴贴附射流2～5 │⑵非贴附射流同侧墙下部│
│ │⑵非贴附射流同侧墙下部│回风1.5～2.5，对侧墙 │
│ │回风1.5～2.5，对侧墙 │下部回凤1.0～1.5 │
│ │下部回凤1.0～1.5 │ │
├───────┼───────────┼───────────┤
│回风口风速 │1.干净室回风口不不不大于2│1.干净室回风口不不不大于2 │
│（米／秒） │2.走廊内回风口不不不大于4│2.走廊内回风口不不不大于4 │
└───────┴───────────┴───────────┘
第5．3．3条 乱流干净室送风量，应取下列规定最大值：
一、为控制室内空气干净度所需要送风量；
二、按表5．3．2规定送风量；
三、依照热、湿负荷计算和稀释有害气体所需送风量；
四、按空气平行所需要送风量。
第5．3．4条 当生产工艺仅规定在干净室内局部工作区达到更高空气洁
净度时，其气流组织设计应使干净气流一方面流经该工作区，或在干净室不同区
域形成不同气流流型和空气干净度级别干净工作区，其型式可分别按图5．3．
4－1、图5．3．4－2选用。
第5．3．5条 层流干净室内不适当设立干净工作台；乱流干净室内可设立洁
净工作台，但其位置应远离回风口。
第5．3．6条 干净室内有局部排风装置时，其位置应设在工作区气流下 风侧。
--@@& 第四节 空气净化解决
第5．4．1条 各级别空气干净度空气净化解决，均应采用初效、中效、
高效空气过滤器三级过滤。
注：100,000级空气净化解决,可采用亚高效空气过滤器代替高效空气过滤器。
第5．4．2条 拟定集中式或分散式净化空气调节系统时，应综合考虑生产
工艺特点和干净室空气干净度级别、面积位置等因素。凡生产工艺持续、干净室
面积较大、位置集中以及噪声控制和振动控制规定严格干净室，宜采用集中式
净化空气调节系统。
第5．4．3条 净化空气调节系统设计应合理运用回风。凡工艺过程产生大
量有害物质且局部解决不能满足卫生规定或对其她工序有危害时，则不应运用回 风。
第5．4．4条 净化空气调节系统除直流式系统和设立值班风机系统外，
应采用防止室外污染空气通过新风口渗入干净室内防倒灌办法。
第5．4．5条 空气过滤器选用、布置和安装方式，应符合下列规定：
一、初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器
二、中效空气过滤器宜集中设立在净化空气调节系统正压段；
三、高效空气过滤器或亚高效空气过滤气宜设立在净化空气调节系统末端；
四、中效、亚高效、高效空气过滤器宜按额定风量选用；
五、阻力、效率相近高效空气过滤器宜设立在同一干净室内； 六、高效空气过滤器安装方式应简便可靠，宜于检漏和更换。
第5．4．6条 送风机可按净化空气调节系统总送风量和总阻力值进行选
择。中效、高效空气过滤器阻力宜按其初阻力两倍计算。
第5．4．7条 净化空气调节系统如需电加热时，应选用管状电加热器，位
置应布置在高效空气过滤器上风侧，并应有防火安全办法。
@@& 第五节 采暖通风
第5．5．1条 干净室采暖型式，应按下列不同状况拟定：
一、100级、1000级、10，000级干净室，不应采用散热器采暖；l00，000级
干净室，不适当采用散热器采暖。
二、值班采暖可运用技术夹道散热器进行间接采暖，或采用间歇运营净化
空气调节系统、值班风机系统进行热风采暖。
第5．5．2条 散热器应采用表面光滑、不易积尘、便于清扫型式。
第5．5．3条 干净室内产生粉尘和有害气体工艺设备，应设局部排风装
置，排风罩操作口面积应尽量缩小。
第5．5．4条 局部排风系统在下列状况下，应单独设立：
一、非同一净化空气调节系统；
二、排风介质混合后能产生或加剧腐蚀性、毒性、燃烧爆炸危险性；
三、所排出有害物毒性相差很大。
第5．5．5条 干净室排风系统设计，应采用下列办法：
一、防倒灌办法；
二、具有易燃、易爆物质局部排风系统防火、防爆办法。
第5．5．6条 换鞋室、存外衣室、盥洗室、厕所和淋浴室等，应采用通风
办法。其室内静压值，应低于干净区。
第5．5．7条 干净室事故排风系统换气次数，应采用每小时15～20次。
事故排风装置控制开关，应分别设在干净室和室外便于操作地点，并应与净
化空气调节系统联锁，其室内宜设报警装置。
@@& 第六节 风管和附件
第5．6．1条 风管断面尺寸拟定，应考虑能对风管内壁进行清洁解决，
并在恰当位置设立密闭清扫口。风管壁厚按附录六选用。 第5．6．2条 净化空气调节系统新风管、回风总管，应设立密闭调节阀。
送风机吸入口处和需要调节风量处，应设立调节阀。干净室内排风系统，应
设立调节阀、止回阀或密闭阀。总风管穿过楼板和风管穿过防火墙处，必要设立
防火阀。
第5．6．3条 净化空气调节系统风管和调节阀以及高效空气过滤器保
护网、孔板和扩散孔板等附件制作材料和涂料，应依照输送空气干净规定及
其所处空气环境条件拟定。
干净室内排风系统风管、调节阀和止回阀等附件制作材料和涂料，应根
据排除气体性质及其所处空气环境条件拟定。
第5．6．4条 在中效和高效空气过滤器先后，应设立测压孔。在新风管
和送回风总管以及需要调节风量支管上，应设立风量测定孔。
第5．6．5条 排除腐蚀性气体风管，可采用塑料风管。其她风管以及风
管保温和消声材料及其粘结刑，应采用非燃烧材料或难燃烧材料。
第六章 给水排水
@@& 第一节 普通规定
第6．1．1条 干净厂房内给水排水干管，应敷设在技术夹层、技术竖井、
地沟管槽内或地下埋设。
干净室内应少敷设管道。引入干净室支管宜明敷，但对空气干净度级别要 求高干净室可暗敷。
第6．1．2条 干净厂房内管道外表面，如也许结露，应采用防结露办法。
第6．1．3条 管道穿过干净室顶棚、墙壁和楼板处应设套管。管道与套管
之间应采用可靠密封办法。
第5．1．4条 管道不适当穿过防火墙。如必要穿过时，穿墙管及其套管应为
非燃烧体管材。
@@& 第二节 给水
第6．2．1