生产单晶硅制备及其应用工艺技术模板.doc

01805741.1    单晶硅晶片及单晶硅制造方法
2   01806781.6    绝缘体上单晶硅(SOI)材料制造方法
3   02111781.0    分离单晶硅埚底料中石英工艺
4   03112137.3    单晶硅衬底上可动微机械结构单片集成制作方法
5   02802101.0    直径300mm及300mm以上单晶硅晶片及其制造方法
6   96120692.6    抑制长大直径单晶硅生长条纹直拉生长装置
7   87103486    掺金、掺铂单晶硅交换热敏电阻及其制作方法
8   88108387.9    单晶硅制造方法和设备
9   89103289.4    一个单晶硅压力传感器制造方法及其结构
10   90100791.9    单晶硅生产装置
11   90102475.9    制造单晶硅设备
12   91102921.4    单晶硅直径测定法及其设备
13   91102922.2    单晶硅直径控制法及其设备
14   91102924.9    单晶硅生产设备
15   91102923.0    单晶硅生产设备
16   91102532.4    单晶硅生产设备
17   91102343.7    制造单晶硅装置
18   95119376.7    单晶硅上大面积(100)取向金刚石膜生长方法
19   96102527.1    单晶硅锭及其制造方法
20   97113523.1    提拉单晶硅装置
21   97120661.9    直拉生长单晶硅期间实时监测和控制氧一氧化硅探针
22   97121626.6    双电极单晶硅电容加速度传感器及其制造方法
23   98100416.4    经过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片方法及其产品
24   98116827.2    单晶硅－纳米晶立方氮化硼薄膜类P－N结及其制作方法
25   97113737.4    低浓度钙杂质石墨支撑容器及其在制造单晶硅中应用
26   98121350.2    单晶硅片抗机械力提升
27   98807859.7    生长富空位单晶硅热屏蔽组件和方法
28   98807993.3    用于单晶硅生长非Dash缩颈法
29   99801049.9    形成单晶硅层方法和制造半导体器件方法
30   99812088.X    热退火后低缺点密度单晶硅
31   99811709.9    从低缺点密度单晶硅上制备硅－绝缘体结构
32   01131737.X    标定单晶硅晶圆晶向方法
33   00812335.7    制备含有均匀热过程单晶硅方法
34   02111221.5    单晶硅片衬底磁控溅射铁膜合成二硫化铁制备方法
35   10133581.6    单晶硅高效复合切割方法及其切割系统
36   10047776.9    新型铝背发射结N型单晶硅太阳电池
37   10180002.3    过渡金属多重掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻
38   10185125.6    单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池
39   10185126.0    单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池
40   10185123.7    单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池
41    10185124.1     单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池 
42    10157175.3     超声波清洗单晶硅片方法及其装置 
43    10151631.3     使用金属污染及热处理识别单晶硅中晶体缺点区方法 
44    10162854.5     可反射出色域电极结构和单晶硅面板和显示装置 
45    80050178.6     单晶硅生长方法 
46    10018889.6     单晶硅薄膜及其组件制备方法 
47    10192803.1     单晶硅棒制造方法和单晶硅棒结构 
48    10063644.5     提升单晶硅太阳能电池减反射膜质量方法 
49    10060274.4     改善半导体单晶硅研磨硅片平行度方法及其装置 
50    85100591     非线性磁场中单晶硅拉制方法及其装置 
51    85100856     制备单晶硅片表面完整层新路径 
52    02281654.2     一个直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器 
53    89213391.0     区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构 
54    9311.6     单晶硅太阳电池微电机风扇凉帽 
55    96236137.2     单晶硅片各向异性腐蚀夹具 
56    95224595.7     用于制备薄膜单晶硅辐射式加热器 
57    97239008.1     单晶硅炉传动轴用磁性液体密封装置 
58    00224737.2     单晶硅衬底双面抛光片 
59    00225900.1     单晶硅炉传动轴用磁性流体密封装置 
60    01265431.0     低氧碳单晶硅复投料自卸机构 
61   9053.X    一个单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
62   2576.8    超声波清洗单晶硅片装置
63   10092027.4    一个锌掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻
64   10116749.4    一个锰掺杂负温度系数单晶硅热敏电阻
65   10096670.4    含有均匀空位缺点单晶硅锭和晶片及其制备方法和设备
66   03808958.0    单晶硅制造方法及单晶硅和硅晶片
67   03810538.1    单晶硅晶片及外延片和单晶硅制造方法
68   10023460.7    单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土纳米复合薄膜方法
69   10023461.1    单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜方法
70   03818379.X    提拉单晶硅用石英玻璃坩埚和制造该坩埚方法
71   10062693.8    涂覆有金属电镀层单晶硅基片和垂直磁统计介质
72   10059736.7    直拉单晶硅用砷掺杂剂及其制造方法和使用该掺杂剂单晶硅制造方法
73   03159798.X    单晶硅及SOI基板、半导体装置及其制造方法、显示装置
74   03132132.1    平板单晶硅表面改性方法
75   01821381.2    用于制备低铁污染单晶硅装置和方法
76   01819895.3    用于控制空位为主单晶硅热过程方法
77   02131185.4    一个直拉法生长单晶硅用硅籽晶夹持器
78   02804207.7    用于制备含有改善栅氧化层完整性单晶硅方法
79   02155236.3    单晶硅太阳能电池表面结构及其制作方法
80   10123043.0    硅片和生产单晶硅方法
81    10001382.6     单晶硅膜制造方法 
82    10108926.4     单晶硅基片表面自组装稀土纳米膜制备方法 
83    10124860.8     经过控制拉速分布制造单晶硅锭和晶片方法及其产品 
84    10112207.9     单晶硅片表面自组装聚电解质-稀土纳米薄膜制备方法 
85    10004057.4     一个生产硅铁、硅钙和单晶硅原料加工方法 
86    10068987.1     单晶硅液晶显示面板驱动系统和方法 
87    10011753.3     单一轴向排布单晶硅纳米线阵列制备方法 
88    10042603.4     单晶硅微机械加工电容式麦克风及其制造方法 
89    10050335.5     用于纳米光子技术单晶硅纳米膜制备方法 
90    10027350.8     单晶硅片表面制备巯基硅烷-稀土自润滑复合薄膜方法 
91    10027349.5     单晶硅片表面制备磺酸基硅烷-稀土纳米复合薄膜方法 
92    10098526.9     纳米晶硅/单晶硅异质结太阳能电池及其制备方法 
93    80108637.2     利用坩埚旋转以控制温度梯度制备单晶硅方法 
94    10088609.5     一个单晶硅抛光片热处理工艺 
95    10024981.9     单晶硅片表面氨基硅烷-稀土纳米薄膜制备方法 
96    10024980.4     单晶硅片表面磷酸基硅烷-稀土纳米薄膜制备方法 
97    10026855.7     单晶硅片表面自洁性二氧化钛纳米薄膜制备方法 
98    10010099.9     对称结构双级解耦单晶硅微机械陀螺仪 
99    10054245.8     p型单晶硅片表面处理方法 
100    10054246.2     n型单晶硅片表面处理方法 
101   10043184.5    单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭隔热屏制备方法
102   10043185.X    单晶硅拉制炉及多晶硅冶炼炉用炭/炭加热器制备方法
103   10106431.1    掺杂单晶硅硅化电熔丝及其形成方法
104   10043186.4    单晶硅拉制炉用热场炭/炭坩埚制备方法
105   10043187.9    单晶硅拉制炉用热场炭/炭导流筒制备方法
106   10099146.1    单晶硅锭和硅片、及其生长装置和方法
107   10092880.0    单片单晶硅微机械加工电容式压力传感器
108   10092319.2    反射式单晶硅液晶面板和使用此液晶面板投影装置
109   10048750.1    一个在单晶硅基底表面直接制备Cr-Si硅化物电阻薄膜方法
110   10094904.6    单晶硅切方机构
111   10111453.2    制作单晶硅太阳电池绒面方法
112   10111455.1    单晶硅太阳电池绒面制备方法
113   10136041.4    单晶硅制备中稀土镧系基合金吸气剂提纯氩气和氩气回收工艺
114   10149906.5    生产单晶硅方法
115   10105331.7    基于霍夫变换直拉单晶硅棒直径测量方法
116   10105332.1    直拉法单晶硅生长过程中熔体液面位置检测方法
117   10037043.7    在单晶硅片表面制备碳纳米管复合薄膜方法
118   10037045.6    单晶硅片表面磷酸基硅烷-碳纳米管复合薄膜制备方法
119   10017915.3    单晶硅拉制炉用炭/炭保温罩制备方法
120   10080114.7    反射式单晶硅液晶面板
121   80006256.2    用于单晶硅连续生长系统
122   10040549.3    单晶硅太阳能电池化学蚀刻、清洗、干燥方法和它一体化处理机
123   10023967.1    一个单晶硅太阳能电池绒面腐蚀槽
124   10028783.X    形成纳米单晶硅方法和非挥发性半导体存放器制造方法
125   10029378.X    单晶硅切割废液处理回收方法
126   10106433.5    单晶硅培育工艺中溶液液面位置监视装置
127   10101680.0    单晶硅横向微型MEMS皮拉尼计及其制备方法
128   10060641.0    一个低弯曲薄片单晶硅太阳电池烧结工艺
129   10083479.4    单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池
130   10023591.9    单晶硅或炭基单晶硅电极电解氧化处理有机化工污水方法
131   10011318.4    单晶硅片水基清洗剂
132   10064876.2    一个双稳态单晶硅梁射频微机电系统开关
133   10064879.6    一个静电推拉式单晶硅梁射频微机电系统开关
134   10090977.1    单晶硅太阳能电池制造方法及单晶硅太阳能电池
135   10111608.6    单晶硅炉传动装置
136   1006.5    单晶硅太阳能电池表面处理用制绒剂及其制造方法
137   10040645.2    混合图形化单晶硅绝缘层上锗结构、方法及应用
138   10079251.8    单晶硅制备炉石英埚增容加料装置
139   10042332.0    磁场下制备单晶硅太阳能电池绒面方法
140   80051077.5    单晶硅晶片制造方法
141   80051311.4    单晶硅晶片制造方法
142   10145905.2    单晶硅提拉方法
143   10213369.5    超净工作台及单晶硅用原料制造方法
144   10072970.7    单晶硅正温度系数片式热敏电阻器及其制备方法
145   10072972.6    金和镍掺杂单晶硅片式负温度系数热敏电阻及其制备方法
146   10171923.8    一个掺镓单晶硅太阳电池及其制造方法
147   10122228.2    一个基于单晶硅片检测红外光谱仪稳定性方法
148   10170672.1    一个单晶硅片制绒方法
149   10234626.3    一个单晶硅加料装置
150   1011.0    一个在单晶硅片表面制备ZrO2复合薄膜方法
151   10122243.7    一个制备单晶硅绒面碱腐蚀溶液及方法
152   10163097.2    单晶硅太阳电池制绒方法
153   10163098.7    单晶硅太阳电池绒面制备方法
154   10162544.2    一个单晶硅棒生产工艺及设备
155   10240275.7    基于单晶硅PN结非制冷红外探测器阵列及其制备方法
156   10220602.2    透光单晶硅太阳电池制造方法
157   80017871.2    含有单晶硅电极电容性微机电传感器
158   80020983.3    单晶硅片COP产生原因判定方法
159   80021544.4    单晶硅片COP评价方法
160   10183113.4    太阳能级6寸单晶硅片切割工艺方法
161   10001026.7    单晶硅薄膜太阳电池
162   80024275.7    单晶硅制造系统及使用该系统单晶硅制造方法
163   10009001.1    单晶硅衬底多结太阳电池
164   10095528.0    一个太阳能级单晶硅棒抛光处理方法
165   10024890.9    一个制造掺镓单晶硅太阳能电池磷扩散方法
166   10048384.3    一个机床刀具用单晶硅片表面涂层Si3N4复合薄膜方法
167   10097597.5    一个在单晶硅太阳能电池表面上蚀刻绒面方法
168   10026142.4    利用含杂质硅材料制备高纯度单晶硅棒方法及其装置
169   10048383.9    一个在单晶硅片表面制备Si3N4复合薄膜方法
170   80044557.3    含有逆碳分布低缺点碳替换单晶硅层
171   80037848.X    非易失性电荷俘获存放器件单晶硅制造工艺
172   10059272.8    一个基于摩擦诱导结构单晶硅表面纳米凸起结构加工方法
173   10049740.3    单晶硅基片表面自组装磺酸基硅烷-二氧化钛复合膜制备方法
174   10097219.7    单晶硅掺杂剂生产工艺
175   10008161.4    单晶硅半导体晶片及其制造方法
176   10085898.6    一个用于单晶硅绒面制备腐蚀液及单晶硅绒面制备方法
177   10145260.7    单晶硅薄膜组件制备方法
178   1021.6    一个激光精密加工单晶硅方法
179   10099495.7    一个单晶硅片清洗方法
180   10123639.3    太阳能级φ6英吋无位错单晶硅制备方法
181   10099989.5    掺氮定向凝固铸造单晶硅及其制备方法
182   10099991.2    掺锗定向凝固铸造单晶硅及其制备方法
183   10099990.8    在氮气下铸造氮浓度可控掺氮单晶硅方法
184   10099992.7    在氮气下融化多晶硅制备掺氮铸造单晶硅方法
185   10088732.X    一个绒面单晶硅太阳能电池及其制备方法和制备系统
186   10181549.4    一个降低绒面单晶硅片表面反射率方法
187   10124161.6    太阳能单晶硅切片工艺
188   10126810.6    单晶硅液晶元件及其和线路板组装结构
189   10181550.7    一个用于单晶硅绒面制备碳酸盐和苛性碱混合溶液
190   10139507.4    二氧化硅玻璃坩埚和用二氧化硅玻璃坩埚提拉单晶硅方法
191   80006135.1    单晶硅芯片制造方法
192   10091826.2    一个制备单晶硅绒面腐蚀液及方法
193   10091827.7    一个制备单晶硅绒面方法
194   10183007.0    制备单晶硅绒面方法
195   10152753.3    一个低表面反射率单晶硅太阳电池绒面制作工艺
196   10182714.8    一个改善型单晶硅棒切断机
197   10182715.2    一个改善用于单晶硅棒夹持机构
198   10182701.0    一个单晶硅棒切方工艺
199   10196144.8    在单晶硅基片表面制备Co3O4复合薄膜方法及用途
200   10187632.2    用于单晶硅片化学机械抛光抛光液
201   10172897.5    单晶硅半导体晶片及其制造方法
202   10197094.5    单晶硅片表面磷酸基硅烷-CdSe复合薄膜制备方法
203   10035633.5    一个用于单晶硅绒面制备正磷酸盐和苛性碱混合溶液
204   80022738.0    重掺杂单晶硅衬底中氧沉淀抑制
205   10186977.9    非晶硅/单晶硅异质结太阳能电池铝背电场制备方法
206   10205614.5    嵌入式单晶硅腔体六边形硅膜压阻式压力传感器及方法
207   10057250.8    形成交替P型和N型单晶硅结构方法
208   10057253.1    提升SONOS数据保持能力单晶硅无损伤隧穿窗口集成方法
209   10027873.0    一个大直径低氧碳太阳能单晶硅片制备方法
210   10259895.2    光伏用单晶硅掺杂方法
211   10099022.7    一个单晶硅太阳能电池绒面制作方法
212   10232677.X    单晶硅棒线开方夹具
213   10035634.X    一个用于单晶硅绒面制备添加剂
214   10100178.2    CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法
215   10182605.6    单晶硅太阳电池绒面上pn结杂质浓度分布测量方法
216   10311756.7    一个多工位单晶硅方形棒平面磨削装置
217   10309453.1    低纯度单晶硅太阳能电池制造方法
218   10309461.6    一个低纯度单晶硅太阳能电池制造方法
219   10157192.6    一个用于制备单晶硅绒面酸腐蚀溶液及其使用方法
220   10107257.1    高纯多晶硅棒作为供料棒在单晶硅区域熔炼法中应用和制备方法
221   10175320.X    有效控制单晶硅中碳含量方法
222   10046405.3    指状交叉背电极单晶硅太阳电池在聚光应用中封装结构
223   10204590.4    一个单晶硅磨面滚圆磨削方法
224   10239837.6    用于单晶硅生长过程控制智能PID控制方法及其系统
225   10197123.8    一个在单晶硅片表面制备Co3O4复合薄膜方法
226   10240302.0    一个太阳能电池单晶硅片界面钝化方法
227   10263714.0    含有单晶硅在硅化物上集成电路组件及其制造方法
228   10096021.7    单晶硅埚底料中石英分离工艺
229   10104303.X    掺锗重掺磷直拉单晶硅片内吸杂结构制备工艺
230   10114326.9    太阳能电池用掺镓铟单晶硅材料及其制备方法
231   10138362.9    一步法制备单晶硅太阳能电池绒面方法
232   10161287.8    单晶硅添加剂制绒液
233   10080359.3    由硅矿产出单晶硅或多晶硅连续纯化反应处理装置及方法
234   10127197.4    用于制造单晶硅片绒面加热装置和方法
235   10187541.1    一个多晶硅或单晶硅用坩埚涂层及其制备方法
236   10177182.1    表面含有超疏水性纳米硅线阵列单晶硅片及其制备方法
237   10195095.9    单晶硅片碱性制绒液添加剂及使用方法
238   10195103.X    单晶硅片制绒液添加剂及使用方法
239   10194517.0    一个太阳能电池单晶硅片制造方法
240   10176628.9    一个次单晶硅铸锭炉双腔体隔热笼
241   10198142.5    一个准单晶硅铸锭方法
242   10044001.5    改善单晶硅太阳能电池减反射膜特征方法
243   10259098.4    一个单晶硅生长炉加热器节能支撑脚结构
244   10280712.5    由单晶硅和多晶硅切割废料中回收硅和碳化硅方法
245   10500429.9    单晶硅炉电源用滤波赔偿装置
246   10284947.1    一个用于生长铸造单晶硅坩埚及衬底片
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305   7956.9    一个单晶硅炉温场稳定装置
306   8298.8    一个单晶硅棒切断机
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