JJG 467-86 孔径测量仪试行检定规程.pdf

中华人民共和国国 家 计 F 1.I.检 定 规 程孔径测量仪J J G 4 6 7-8 6(试行)目录一概述 ”.”“”，.，.“”“”一 1)二 检定项目和 检定条件.(2)兰 检 定 要 求 和 检 定 方 法 ”“”二“”二”“.(2)四 检定结果的处理和检定周 期 “”“，.，。”(9)，峥峥峥峥峥峥峥峥、.奋.奋工甲工，奋.奋今.奋.孔径测 量仪试行检定规程V e r i f ic a t i o n R e g u l a t i o n o fP r e c i s i o n Bo r e Di a me t e r Me a s u r i n g I ns t r u me n tJ J G 4 6 7-8 6、，翻，如，铆如一扩 本检定规程经国家计量局于1 9 8 6 年 1 1 月1 5目 批准，并 自1 9 8 7年 1 0 月1 日 起施行。归口单位，中国计量科学研究院起草单位。国家计量 局北京计最仪器 厂本规程技术条文由起草单位负贵解释。本规程主要起草人 未云龙(国家计量局北京计量仪器厂)杜贤和(中国计量科学研究院)J J G 4 6 7-8 6共9页第 1 页孔径测量仪试行检定规程木规程适用子新制的、使用中 和修理后的7 0 1 型孔径测量仪的检定 一概述 7 0 1 型孔径测量仪是 应用光波干涉原理以比 较法测旱 荆径尺寸的仪 器.7 0 1 型孔径测量仪的测量范围为0 1 -5 0 m m，标称分度 值为0,1 g m。仪器的外形见图 1.光学系统见图2.8910于 ，一底P 36+5-测头，2 一筋形工作合.图13-测微读数鼓翰6-压板，1 0 一点动开为 了 一纵向手物1 1-载物台，8 一升降手轮，1 2-横向手轮，Q 一十字瞄准线，一定位鼓物 1 8 一电器箱共 9 页第 2J J G 4 3 7-8 8 1-筋形丁作合，2 一量块;3 一动光楔，卜 分光镜.5,6,7,1 2,1 3,1 4,1 6,1 7-反 射 镜:8-v,光 片，4-聚 光 镜，1 0-光源，1 1-物镜、1 5-投影屏，1 8-参考镜(可动)，1 9-定光楔 二检定项目和检定条件 1 孔径测量仪的受检项月 和主要检定工具列子表1.2 仪器窒温度和平衡沮度的时间 仪 器室温度为2 0 1 2 G，每 小时变化不大子0.5 0C,被 检孔径测景仪在仪器室内平衡温度的时间不少于2 4 h,检定孔径测量仪用的量块和环规之间的温度差不大于0.2 C.仪器要放在隔振垫_ L，三检定要求和检定方法3外观M 4 5 7-8 6共，页第 3 页袅1侧-修理后一十十+十+十+十色-很拜牛一+-+十十+半+十松-奢湘跳-+千+序号检定项主 要 检 定 工 具外观各 部分相 万作 用筋形 工作 台的平面度筋形 工 作 台 巾间筋的 高出度十字 Wig.准线 与筋形工作 台巾间 筋的量合性载物台撒向移动方向与测r IM线的垂遭度定位 鼓较 s a y 始V:块的一致 性干涉 图象质 量点动 开关的可 靠性测微 器的示 值误差示值 变动性平行片 镑在停车时 向前 一 j:的过最测头 道径综合澳 差平晶(开槽)里块(开槽)毫米刻 线尺级块、环规最块三等量块t块干沙油光 片、量块量块、环 规最 块、环规干涉装置、二等盒块、平品三等 量块、环规注:表中“+”表示应检定，“一，表示可不检定.3.1要求:3.1.1仪器的电 镀表面 不应脱皮.漆面 不应有脱落现象以及明显的颜色不均匀.3.1.2仪器的 工作表而不 应有锈蚀、划 痕裂纹等缺陷，所有读数机构 上的 刻字、刻线应当清晰.3.1.3仪器视场亮度应均匀，十 字瞄准线与起始量块的 象应同时清晰一视场内不应有霉雾和灰尘等疵病。3.1.4仪器应 标有制造厂名(或商 标)和出 厂编号.使用中和修理后的仪器允许有不 影响使用 准确 度的 上述缺陷.3.2检定方法:目 力观察。4 各部分相互作用 4.，要求:4.1,1 仪器各可 动部分工作时应灵活、平稳，不应有卡住和 突跳现象;制动螺钉的作用应切实有效.4.1.2改 变千涉 条纹宽 度和方向的 机构应能在任一位置对视场中共9页第4页J J G 4 6 7-8 6干涉条纹的宽度和倾斜方向进行调整，并稳定可靠.4.1.3载物台 升降量应大于3 0 m m，其纵向移动量应大于6 m m,横向 移动量应大于8 m m.载物台 的水平调整旋钮应能将载物台 的纵向与筋形工作台 调成平行，4.1.4测量头在测 量方向 上的运动距离 应大于4 6 m m.4.1.5电器部件应运转正常，驱 动机构的起动和停 止都应安 全可靠。4.2检定方法:观察和 试验.5 筋形工作台的 平面度 5.1要求:平面度误差不应超过0.5 u m(不允许凹)。中 间筋的 平面度用平晶检定时，不允许出现干涉色彩(在边缘1 m m范围内 允许塌边)，5.2检定方法:用直径为4 6 0 m m的开 槽2 级平晶以技术光波干涉 法进行检定，中 间筋的平面 度用直径为4 6 0 m m的1 级平晶检定.6 筋形工作台中间筋的高出度 6.1要求:中间筋应比其他筋高出0.1 0.5 p m.6.2检定方法:中间筋的高出 度可用开槽量块检定。在本仪器上按图 3 所示的1,2 两个位置上进行检定 两次示值之差即为其高出度.，十 字瞄准线与筋 形工作台中间筋的重合性7.1要求:相互间偏离不大于1 m m,7.2检定方法:用毫米刻线尺放置在筋形工作台上，使它与筋形J J G 4 6 7-8 6共 9页第5 页工作台的中间筋和十字瞄准线同 时成象在仪器视场的屏幕上进行检定。8 载物台横向移动方向与测量轴线的垂直度 8.1 要求:在5 0 m m长度上不大于0.0 3 m m.8.2检定方法:8.2.1在仪器的载物台_ L 安装上一个0 5 0 m m直径的环规，其圆度小于1 Fin,在仪器的筋 形工作台上放置一块5 m m和一块5 0 m m的量块，并安装好 5 m m测头，用载物台的横向 读数鼓轮，分别测出该环规左右 两边转折点的示值，其差值的二分之一应小于。.0 3 m m.8.2.2在仪器的载物台 上安装上一 个们m m直径的环 规，其圆度小于l u m，在仪器的筋形工作台 上放置二组 量块，形成阶 梯状，其尺寸差 为环规直径与测头直 径尺寸 之差.安装好0 0.8 m m测 头一 用载物台 的横向 读数鼓轮分别测出 该环规在左右两边转折点的示值，其差值的二分之一应小于0.0 0 4 m m.9 定位鼓轮与起始量块的一致性 9.1要求:当定位鼓轮的示值与起 始量块的 尺寸相一致时，在光路中插入专用滤光片，视场中应能见到千涉条纹。9.2检定 方法:在筋形工作台 上，放置一块4 m。的起始量块，并把专用滤光片插入光路中，然后 旋转定位鼓轮到4 m m处，视场中应能见到千涉条纹.1 0 千涉图 象的 质量 1 0.1要求;1 0.1.1干涉图象应清晰 1 0.1.2干涉条纹 应平直，其弯曲量不应大于干涉条纹间隔的1/5.1 0.1.3视场中 应出现一条明显的黑色零级干涉条纹，它在测微读数鼓的全量程(1 2 E m)范围内不变级.1 0.1.4一 卜 涉条 纹在全 量程范围内 的方向 变化不 大于条纹间隔的1/3，宽窄变化不大于条纹间隔的1/2.1 0.2检定方法:共，页第6页J-.7 4 6 7-8 6 1 0.2.1 筋形工作台上放 置一块三等4 m m量块 i1 I 整仪器，使 视场中出 现干涉条纹，即可观察十涉 条坟图 象的清晰度和干涉条 纹的形状。1 0.2.2调整仪器和测IT 7 读数鼓轮 旋侧微 读数鼓轮在全 量程 移动过程中，观察视场中零级 下 涉条纹的变化.1 0.2.3仪器安装 上必 5 0 m m环规和 5-m测头 在筋形工作台上放置一 块5 m m和 一 块”m m的三等量块，在测量的全量程范 围内观察干涉条纹宽窄和方向的变化.1 1 点动 开关的可靠 性 1 1.1 要求:侧量小孔时，使用点动开关能实现测头 慢速 往左运动时自动 停车，往右 运动时，能顺利起动.1 1.2检定方法:在载物台 上，横向放置一块4 m m量块，使它与仪器测头之间的间隙为。.2 mm左右，当仪器测量机构由右边定位处向 左慢速靠近量块时，利用 点动 开关，使仪 器测头-W#卜 量块，立即 会发出停 机信号，使测 量机构停 止移动，当I ll 量机构用慢速往右 运动时，利用点动开关能使N eil 量机构顺利地起动.1 2 测微器的示值误差 1 2.1要求:示值误差不超过 0.1 5 w m,1 2.2检定方法:筋形工作台 上放置一块4 m m量块 调整 仪器使视场中出现干涉条纹，然后在仪器的光路系统中的滤光片 位置 上 (见图2)安置检定准确度为2 n m的干涉滤光片，在 旋转 鼓轮的同时，读取扫过视场标志线的干涉条纹数K s.受检点的选择见表2.衰 2各 点相对于零点的 误差 按(1)a 二0 一K,(1)s a c 4 6 7-8 8共n页第，页式中:a,-测微器示值(鼓轮格数火 分度值)(v-);K,干涉条纹的间隔数，入 干涉滤光波长 印m)。测微器的示值误差是以各点误 Y中的最大值与最小值之差确定.1 3 示值变动性 1 3.1要求:示值变动 性不大于。.1 5 u m,1 3,2检定方法:1 3.2,1在载物台上装上 们4 m m环规，装好 0 2 mm测 头，筋形工作台上放置好与环规和测头的尺寸相匹配的阶梯量块，然后调整仪器，使视场中出现干涉条纹，用快、慢速驱动测量机构，使测头与环规重复 接触，由测微器的读数鼓进行六次读数，其最大值与最小值之差即是示值变动性，此枪定应在环规的左右两边分别进行.1 3.2.2在载物台上装上 0 3 m m环 规，装 好 0 0.8 m m测头，筋形工作台 上放置好与环 规和测头的尺寸相匹配的阶梯量块，用慢速驱动机构重复上述检定.其示值变动性亦应符合要求，1 4 平行片簧在 停车时向前冲的过量 1 4,1要求:测头和环规接触或脱开时，视场中干涉条纹的出现和跳离应在同一 位置，其变化应小于 1/5千涉条纹间隔.1 4.2检定方法:用慢速驱动测头.使测头和环规 相接触;把零次干涉条纹调整在视场中十字瞄准线的相交点上，然后再用慢速驭动测头，使测头和环规脱开，仔细观察零级干涉条纹在视场中出 现和跳离时的位置变化.1 5 测头直径 1 5.1要求:1 5.1.1在测量方向上。测头直径d 的检 定极限误差A d 土0.1 5 Ji m.1 5,1.2测头 在测量 方 向 上 t 1 0 0 范 围 内 的直 径差 不 大 于0.1 1 1m,巧,2检定方法:1 5.2.1测头在测量方向上的直径尺寸用图4专用的非接 触 式比3 h 八页竿 R贡J J G 4 B 7-8 6一一 堪-1 一工作台:2-1级平晶，启 一聚光镜，7 一分光镜多图 43-测头，名 一二等量块，5 一光No 3 一物镜组。9 一参考反射镜对千涉装置进行检定.二等量块 4 研合在 1 级平晶 2 的工作面上，量块的标称尺寸与测头的标称尺寸应一致，测头3自由搁在平品的工作面 匕 并靠 近量块，调整物镜 9和参考镜 9，使视场中能同时观察到量块和测头所呈现的干涉图象，并使量块和测头表面都产生零级干涉条纹，读出量块上的零级条纹与测头上零级条纹间相差的条纹间 隔数，判 断正、负后，便测得测头直径 d的实际尺寸.此处用白 光干涉，波长x 以0,6 la m进行计算.测头直径尺寸也可以用 检定极限误差不超过 1 0.1 5 u m的其他方法进行，如使用标准环规进行校验.1 5,2,2测头在测量方向上 士 1 0 范围内的直径差用圆度仪进行检定。1 6 综合误差 1 6.1要求:不超过 1 0.4 v m,1 6,2检定方法:J J G 4 6 7-8 6共 9 页第9页 1 6.2.1 用三等量块，0 5 0 m m标 准环规(测量极限误差为t 0.2 u m)和仪器上所附的0 5 m m测头进行检定.1 6.2.2用 三 等量块，w 1 4 m m标准环规(测量极限误差为t 0.2 k m)和仪器上所附 的0 2 m m测头进行检定。1 6.2.3用三等量块冲3 mm标准环规(测量极限误差为10.2 p m)和仪器上所附的(P 0.8 mm测头进行检定.检定时，把仪器水平调整好，装好测头和 标准环 规，在筋 形工作台放置好与环规、&I 头 尺寸相匹配的阶梯量块.综合误差按(2)式计算:d=D一 L:一乙，+d+(a:一 a,)(士 0.4(w m)(2)式中:D-标准环规，L,-且块尺寸，乙:-童块尺寸，d-侧头直径，。.对准L。时测微器示值，一 一 对准L:时测微器示值，件 一 一 一 综合误差。在计算中，对D,L,L,d须用实际尺寸。上述 三次检定，按(2)式分别计算后。取其最大值作 为检定结果.四检定结果的处理和检定周期 1 7 经检定符合本规程要求的7 0 1 型孔径测量仪应填 发检 定 证书，并注明 测头的 实际 尺寸;不符合本规程要求的应发给检定结果通知书。1 8 检定周期应根 据实际 使用情况确定，一 般为一年。附加说明:此检定规程经国家计量检定规程审 定委员会长度专业 委员 会审定。