传感器与检测技术-1第八章.ppt

第第8章章 霍尔传感器霍尔传感器2024/5/13 周一1.引言引言n霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。霍尔传感器是基于霍尔效应的一种传感器。n1879年美国物理学家霍尔首先在金属材料中年美国物理学家霍尔首先在金属材料中发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应发现了霍尔效应，但由于金属材料的霍尔效应太弱而没有得到应用。太弱而没有得到应用。n随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制随着半导体技术的发展，开始用半导体材料制成霍尔元件，由于它的霍尔效应显著而得到应成霍尔元件，由于它的霍尔效应显著而得到应用和发展。用和发展。n霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、霍尔传感器广泛用于电磁测量、压力、加速度、振动等方面的测量。振动等方面的测量。2024/5/13 周一2.8.1 霍尔传感器的工作原理霍尔传感器的工作原理n金属或半导体薄片置于磁感应强度金属或半导体薄片置于磁感应强度B的磁的磁场（磁场方向垂直与薄片）中，当有电场（磁场方向垂直与薄片）中，当有电流流I通过时，在垂直于电流和磁场的方向通过时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势上将产生电动势UH，这种物理现象称为，这种物理现象称为霍尔效应。该电势霍尔效应。该电势UH 称霍尔电势。称霍尔电势。8.1.1 霍霍 尔尔 效效 应应 2024/5/13 周一3.霍尔效应霍尔效应n一块长为一块长为L、宽为、宽为W、厚为、厚为d的的N型半导型半导体薄片，位于磁感应强度为体薄片，位于磁感应强度为B的磁场中，的磁场中，B垂直于垂直于L-W平面，沿平面，沿L通电流通电流I，N型半型半导体的载流体导体的载流体-电子将受到电子将受到B产生的洛仑产生的洛仑兹力兹力FB的作用的作用 2024/5/13 周一4.n洛仑兹力洛仑兹力FL使电子向垂直于使电子向垂直于B和自由电子运动和自由电子运动方向偏移，其方向符合右手螺旋定律，即电方向偏移，其方向符合右手螺旋定律，即电子有向某一端积聚的现象，使半导体子有向某一端积聚的现象，使半导体端面端面产生负电荷积聚，另一端面则为正电荷积聚。产生负电荷积聚，另一端面则为正电荷积聚。由于电荷积聚，产生静电场，称为霍尔电场。由于电荷积聚，产生静电场，称为霍尔电场。该静电场对电子的作用力该静电场对电子的作用力FE与洛仑兹力与洛仑兹力FL的的方向相反，将阻止电子继续偏转，其大小为方向相反，将阻止电子继续偏转，其大小为 8.1.2 基本原理基本原理2024/5/13 周一5.n电场力阻止电子继续向原侧面积累，当电场力阻止电子继续向原侧面积累，当电子所受电场力和洛仑兹力相等时，电电子所受电场力和洛仑兹力相等时，电荷的积累达到动态平衡，由于存在荷的积累达到动态平衡，由于存在EH，半导体片两侧面间出现电位差半导体片两侧面间出现电位差UH，称为，称为霍尔电势霍尔电势 2024/5/13 周一6.n磁场与薄片法线夹角为磁场与薄片法线夹角为 2024/5/13 周一7.常用的霍尔元件材料常用的霍尔元件材料 n锗、硅、砷化铟、锑化铟等半导体材料。其锗、硅、砷化铟、锑化铟等半导体材料。其中中N型锗容易加工制造，其霍尔系数、温度性型锗容易加工制造，其霍尔系数、温度性能和线性度都较好。能和线性度都较好。N型硅的线性度最好，其型硅的线性度最好，其霍尔系数、温度性能同霍尔系数、温度性能同N型锗相近。锑化铟对型锗相近。锑化铟对温度最敏感，尤其在低温范围内温度系数大，温度最敏感，尤其在低温范围内温度系数大，但在室温时其霍尔系数较大。砷化铟的霍尔但在室温时其霍尔系数较大。砷化铟的霍尔系数较小，温度系数也较小，输出特性线性系数较小，温度系数也较小，输出特性线性度好。度好。2024/5/13 周一8.霍尔元件的材料特性霍尔元件的材料特性2024/5/13 周一9.8.1.3 霍尔元件的主要参数霍尔元件的主要参数n1.额定功耗额定功耗 n2.输入电阻输入电阻 和输出电阻和输出电阻 n3.不平衡电势不平衡电势 n4.霍尔电势温度系数霍尔电势温度系数 n5.内阻温度系数内阻温度系数 n6.灵敏度灵敏度 1主要特性参数主要特性参数2024/5/13 周一10.8.1.4 霍尔元件的基本测量电路霍尔元件的基本测量电路2024/5/13 周一11.8.2 集成霍尔传感器集成霍尔传感器集成霍尔传感器是利用硅集成电路工艺将霍尔元件和测量线路集成在一起的一种传感器。集成霍尔传感器与分立元件相比，它具有可靠性高、体积小、重量轻、功耗低等优点，正越来越受到重视。集成霍尔传感器的输出是经过处理的霍尔输出信号。按照输出信号的形式，可以分为开关型集成霍尔传感器和线性集成霍尔传感器两种类型。2024/5/13 周一12.8.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器n霍尔片、引线和壳体组成霍尔片、引线和壳体组成 1.开关型集成霍尔传感器的结构开关型集成霍尔传感器的结构2024/5/13 周一13.8.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器2开关型霍尔集成传感器的工作原理2024/5/13 周一14.8.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器3.开关型集成霍尔传感器的工作特性2024/5/13 周一15.8.2.1 开关型集成霍尔传感器开关型集成霍尔传感器4.开关型集成霍尔传感器的接口电路2024/5/13 周一16.8.2.2 线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器1.线性集成霍尔传感器的结构及工作原理2024/5/13 周一17.8.2.2 线性集成霍尔传感器线性集成霍尔传感器2.线性集成霍尔传感器的主要技术特性2024/5/13 周一18.8.3 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用8.3.1 霍尔式位移传感器霍尔式位移传感器2024/5/13 周一19.8.3 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用8.3.2 霍尔式压力传感器霍尔式压力传感器2024/5/13 周一20.8.3 霍尔传感器的应用霍尔传感器的应用8.3.3 霍尔电子点火器霍尔电子点火器2024/5/13 周一21.常用传感器：常用传感器：国产国产YSH-1型霍尔压力变送器型霍尔压力变送器 2024/5/13 周一22.霍尔转速传感器在汽车防抱死装置（ABS）中的应用 若汽车在刹车时车轮被抱死，将产生危险。用霍尔转速传感器来检测车轮的转动状态有助于控制刹车力的大小。带有微带有微型磁铁型磁铁的霍尔的霍尔传感器传感器钢质钢质霍尔霍尔2024/5/13 周一23.ABS的工作原理的工作原理 1车速齿轮传感器 2压力调节器 3控制器 2024/5/13 周一24.霍尔转速表 在被测转速的转轴上安装一个齿盘，也可选取机械系统中的一个齿轮，将线性型霍尔器件及磁路系统靠近齿盘。齿盘的转动使磁路的磁阻随气隙的改变而周期性地变化，霍尔器件输出的微小脉冲信号经隔直、放大、整形后可以确定被测物的转速。S SN N线性霍尔线性霍尔磁铁磁铁2024/5/13 周一25.霍尔式接近开关 当磁铁的有效磁极接近、并达到动作距离时，霍尔式接近开关动作。霍尔接近开关一般还配一块钕铁硼磁铁。2024/5/13 周一26.霍尔电流传感器演示铁心 线性霍尔线性霍尔IC所实现的多媒体界面：所实现的多媒体界面：2024/5/13 周一27.霍尔钳形电流表（交直流两用）压舌压舌豁口豁口2024/5/13 周一28.课间休息！课间休息！2024/5/13 周一29.