宏微定位平台动力学模型构建与仿真分析.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,宏微定位平台动力学模型构建与仿真分析,1、课题来源及研究的目的和意义,2、国内外在该方向的研究现状及分析,3、主要研究内容,4、研究方案及进度安排，预期达到的目标,5、为完成课题已具备和所需的条件和经费,6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,1、课题来源及研究的目的和意义,2、国内外在该方向的研究现状及分析,3、主要研究内容,4、研究方案及进度安排，预期达到的目标,5、为完成课题已具备和所需的条件和经费,6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,目的,：本课题为光刻机双工件台构造一维动力学模型（宏微两级驱动气浮工作台模型）并作仿真分析，以便为双工件台的控制技术做一些探索与改进。,意义,：本课题的完成可以为双工件台的研制提供有用的参考。,并行双伺服控制方法,主,-,从控制设计方法,并行控制设计方法,PQ,控制设计方法,ADAMS软件,实现气浮宏微平台的一维简单建模,Simulink软件,设计气浮宏微平台的控制系统，实现联合仿真,宏微系统动力学模型示意图,研究方案,气浮宏微定位平台的,SolidWorks,模型,宏微定位平台的,Simulink,模型,宏微控制框图（采用并行双伺服）,宏动台伺服控制原理框图,微动台伺服控制原理框图,宏微系统控制框图,2010.03.012010.03.17,根据毕业设计任务要求，开展资料搜集和基本知识学习，完成,开题,报告工作；,2010.03.182010.04.15,完成气浮宏微定位平台,ADAMS,模型的建立,；,2010.04.162010.05.15,实现,控制系统,的设计；,2010.05.162010.05.31,得出,仿真结果,并分析，改进控制系统模型；,2010.06.012010.07.02,整理文档，撰写论文，,准备答辩,。,进度安排,1、课题来源及研究的目的和意义,2、国内外在该方向的研究现状及分析,3、主要研究内容,4、研究方案及进度安排，预期达到的目标,5、为完成课题已具备和所需的条件和经费,6、研究过程中可能遇到的困难和问题，以及解决的措施,PC机（,ADAMS,、,Simulink,软件）一台,气浮宏微定位实验平台 一台,困难问题,：,（1）本课题涉及控制系统设计方面的专业知识，以前所学明显不够；,（2）实际经验不足，很难能建立出比较符合实际情况的模型；,（3）本课题所用的ADAMS软件用户群较小，资料很少，不便于深入学习。,解决措施,：,（1）多看书，多看前人的论文，多和指导老师、师兄交流；,（2）多思考、做任务有耐心。,谢谢各位老师！,