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单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,第6章 半导体存储器,6.3 只读存储器(ROM),6.3.1,掩膜式只读存储器,(MROM),MROM的内容是由生产厂家按用户要求在芯片的生产过程中写入的,写入后不能修改。MROM采用二次光刻掩膜工艺制成,首先要制作一个掩膜板,然后通过掩膜板曝光,在硅片上刻出图形。制作掩膜板工艺较复杂,生产周期长,因此生产第一片MROM的费用很大,而复制同样的ROM就很便宜了,所以适合于大批量生产,不适用于科学研究。MROM有双极型、MOS型等几种电路形式。,图6.12是一个简单的4,4位MOS管ROM,采用单译码结构,两位地址线A,1,、A,0,译码后可有四种状态,输出4条选择线,分别选中4个单元,每个单元有4位输出。在此矩阵中,行和列的交点处有的连有管子,表示存储“0”信息;有的没有管子,表示存储“1”信息。若地址线A,1,A,0,00,则选中0号单元,即字线0为高电平,若有管子与其相连(如位线2和0),其相应的MOS管导通,位线输出为0,而位线1和3没有管子与字线相连,则输出为1。因此,单元0输出为1010。对于图中矩阵,各单元内容如表6.1所示。,图6.12 掩膜式ROM示意图,表6.1 掩膜式ROM的内容,单元,D,3,D,2,D,1,D,0,0,1,0,1,0,1,1,1,0,1,2,0,1,0,1,3,0,1,1,0,位,6.3.2,可编程只读存储器,(PROM),可编程只读存储器出厂时各单元内容全为0,用户可用专门的PROM写入器将信息写入,这种写入是破坏性的,即某个存储位一旦写入1,就不能再变为0,因此对这种存储器只能进行一次编程。根据写入原理PROM可分为两类:,结破坏型和熔丝型,。图6.13是熔丝型PROM的一个存储元示意图。,图6.13 PROM存储电路示意图,基本存储电路由1个三极管和1根熔丝组成,可存储一位信息。出厂时,每一根熔丝都与位线相连,存储的都是“0”信息。如果用户在使用前根据程序的需要,利用编程写入器对选中的基本存储电路通以20,50 mA的电流,将熔丝烧断,则该存储元将存储信息“1”。由于熔丝烧断后无法再接通,因而PROM只能一次编程。编程后不能再修改。,6.3.3,可擦除、可再编程的只读存储器,PROM虽然可供用户进行一次编程,但仍有局限性。为了便于研究工作,实验各种ROM程序方案,可擦除、可再编程ROM在实际中得到了广泛应用。这种存储器利用编程器写入信息,此后便可作为只读存储器来使用。,目前,根据擦除芯片内已有信息的方法不同,可擦除、可再编程ROM可分为两种类型:紫外线擦除PROM(简称EPROM)和电擦除PROM(简称EEPROM或E,2,PROM)。,1,EPROM,和,E,2,PROM,简介,初期的EPROM元件用的是浮栅雪崩注入MOS,记为FAMOS。它的集成度低,用户使用不方便,速度慢,因此很快被性能和结构更好的叠栅注入MOS即SIMOS取代。,SIMOS管结构如图6.14(a)所示。它属于NMOS,与普通NMOS不同的是有两个栅极,一个是控制栅CG,另一个是浮栅FG。FG在CG的下面,被SiO,2,所包围,与四周绝缘。单个SIMOS管构成一个EPROM存储元件,如图6.14(b)所示。,与CG连接的线W称为字线,读出和编程时作选址用。漏极与位线D相连接,读出或编程时输出、输入信息。源极接V,SS,(接地)。当FG上没有电子驻留时,CG开启电压为正常值Vcc,若W线上加高电平,源、漏间也加高电平,SIMOS形成沟道并导通,称此状态为“1”。当FG上有电子驻留,CG开启电压升高超过Vcc,这时若W线加高电平,源、漏间仍加高电平,SIMOS不导通,称此状态为“0”。人们就是利用SIMOS管FG上有无电子驻留来存储信息的。因FG上电子被绝缘材料包围,不获得足够能量很难跑掉,所以可以长期保存信息,即使断电也不丢失。,图6.14 SIMOS型EPROM,(a)SIMOS管结构;(b)SIMOS EPROM元件电路,SIMOS EPROM芯片出厂时FG上是没有电子的,即都是“1”信息。对它编程,就是在CG和漏极都加高电压,向某些元件的FG注入一定数量的电子,把它们写为“0”。EPROM封装方法与一般集成电路不同,需要有一个能通过紫外线的石英窗口。擦除时,将芯片放入擦除器的小盒中,用紫外灯照射约20分钟,若读出各单元内容均为FFH,说明原信息已被全部擦除,恢复到出厂状态。写好信息的EPROM为了防止因光线长期照射而引起的信息破坏,常用遮光胶纸贴于石英窗口上。,EPROM的擦除是对整个芯片进行的,不能只擦除个别单元或个别位,,擦除时间较长,且擦写均需离线操作,使用起来不方便,因此,能够在线擦写的E,2,PROM芯片近年来得到广泛应用。,E,2,PROM是一种采用金属氮氧化硅(MNOS)工艺生产的可擦除可再编程的只读存储器。擦除时只需加高压对指定单元产生电流,形成“电子隧道”,将该单元信息擦除,其他未通电流的单元内容保持不变。,E,2,PROM具有对单个存储单元在线擦除与编程的能力,,而且芯片封装简单,对硬件线路没有特殊要求,操作简便,信息存储时间长,因此,E,2,PROM给需要经常修改程序和参数的应用领域带来了极大的方便。但与EPROM相比,E,2,PROM具有集成度低、存取速度较慢、完成程序在线改写需要较复杂的设备等缺点。,2,Intel 2716 EPROM,芯片,EPROM芯片有多种型号,常用的有2716(2K,8)、2732(4K,8)、2764(8K,8)、27128(16K,8)、27256(32K,8)等。,1)2716的内部结构和外部引脚,2716 EPROM芯片采用NMOS工艺制造,双列直插式24引脚封装。其引脚、逻辑符号及内部结构如图6.15所示。,A,0,A,10,:11条地址输入线。其中7条用于行译码,4条用于列译码。,O,0,O,7,:8位数据线。编程写入时是输入线,正常读出时是输出线。,CS:片选信号。当CS0时,允许2716读出。,PD/PGM,:待机,/,编程控制信号,输入。,V,PP,:编程电源。在编程写入时,,V,PP,+25 V,;正常读出时,,V,PP,+5 V,。,V,CC,:工作电源,为,+5 V,。,图6.15 Intel 2716的引脚、逻辑符号及内部结构,(a)引脚;(b)逻辑符号;(c)内部结构,2)2716的工作方式,表6.2 2716的工作方式,引脚,方式,PD/PGM,数据总线状态,读出,0,0,+5,输出,未选中,1,+5,高阻,待机,1,+5,高阻,编程输入,宽52 ms的正脉冲,1,+25,输入,校验编程内容,0,0,+25,输出,禁止编程,0,1,+25,高阻,V,PP,/V,(1)读出方式:当CS0时,此方式可以将选中存储单元的内容读出。,(2)未选中:当CSl时,不论PD/PGM的状态如何,2716均未被选中,数据线呈高阻态。,(3)待机(备用)方式:当PD/PGM1时,2716处于待机方式。这种方式和未选中方式类似,但其功耗由525 mW下降到132 mW,下降了75%,所以又称为功率下降方式。这时数据线呈高阻态。,(4)编程方式:当V,PP,+25 V,CSl,并在PD/PGM端加上52 ms宽的正脉冲时,可以将数据线上的信息写入指定的地址单元。数据线为输入状态。,(5)校验编程内容方式:此方式与读出方式基本相同,只是V,PP,+25V。在编程后,可将2716中的信息读出,与写入的内容进行比较,以验证写入内容是否正确。数据线为输出状态。,(6)禁止编程方式:此方式禁止将数据总线上的信息写入2716。,表6.3 常用的EPROM芯片,型号,容量结构,最大读出时间/ns,制造工艺,需用电源/V,管脚数,2708,1K8bit,350450,NMOS,5,,+12,24,2716,2K8bit,300450,NMOS,+5,24,2732A,4K8bit,200450,NMOS,+5,24,2764,8 K8bit,200450,HMOS,+5,28,27128,16K8bit,250450,HMOS,+5,28,27256,32K8bit,200450,HMOS,+5,28,27512,64K8bit,250450,HMOS,+5,28,27513,464K8 bit,250450,HMOS,+5,28,3.Intel 2816 E,2,PROM,芯片,Intel 2816是2K,8位的E,2,PROM芯片,有24条引脚,单一+5 V电源。其引脚配置见图6.16。,图6.16 Intel 2816的引脚,表6.4 2816的工作方式,引脚,方式,CE,OE,V,PP,/V,数据线状态,读出,0,0,+4,+6,输出,待机(备用),1,+4,+6,高阻,字节擦除,0,1,+21,输入为全1,字节写入,0,1,+21,输入,整片擦除,0,+9,+15 V,+21,输入为全1,擦写禁止,1,+4,+22,高阻,(1),读出方式。当,CE=0,,,OE=0,,并且,V,PP,端加,+4,+6 V,电压时,,2816,处于正常的读工作方式,此时数据线为输出状态。,(2),待机,(,备用,),方式。当,CE=1,,,OE,为任意状态,且,V,PP,端加,+4,+6 V,电压时,,2816,处于待机状态。与,2716,芯片一样,待机状态下芯片的功耗将下降。,(3),字节擦除方式。当,CE=0,,,OE=1,,数据线,(I/O,0,I/O,7,),都加高电平且,V,PP,加幅度为+2l V、宽度为915 ms的脉冲时,2816处于以字节为单位的擦除方式。,(4),整片擦除方式。当,CE=0,,数据线,(I/O,0,I/O,7,),都为高电平,,OE,端加,+9,+15 V,电压及,V,PP,加,21 V,、,9,15 ms,的脉冲时,约经,10 ms,可擦除整片的内容。,(5),字节写入方式。当,CE=0,,,OE=1,,,V,PP,加幅度为,+2l V,、宽度为,9,15 ms,的脉冲时,来自数据线,(I/O,0,I/O,7,),的数据字节可写入,2816,的存储单元中。可见,字节写入和字节擦除方式实际是同一种操作,只是在字节擦除方式中,写入的信息为全“,1,”而已。,(6)禁止方式。当CE=1,V,PP,为+4+22 V时,不管OE是高电平还是低电平,2816都将进入禁止状态,其数据线(I/O,0,I/O,7,)呈高阻态,内部存储单元与外界隔离。,表6.5 常用的E,2,PROM芯片,型号,参数,2816,2816A,2817,2817A,2864A,取数时间/ns,250,200,250,250,200,250,250,读电压V,PP,/V,5,5,5,5,5,写/擦电压V,PP,/V,21,5,21,5,5,字节擦写时间/ms,10,915,10,10,10,写入时间/ms,10,915,10,10,10,封装,DIP24,DIP24,DIP28,DIP28,DIP28,
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