Hennecke 电源环境洁净度温度要求.pptx

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,2010-5-21,#,谐波的产生；由于非线性负荷而产生谐波，例如单晶炉可控硅、开关电源等。,谐波的危害：,1,，精密电子设备会被严重干扰，导致不能正常工作，甚至烧毁。,2,，所有接于电网中的设备的损耗都会增加，温升增加。含有电容器的设备受影响最为严重，甚至可能导致设备损坏以及电容器爆炸等事故,.3,，电机类负荷由于谐波的逆序作用而导致输出扭矩下降。,4,，继电保护机构可能会由于谐波而产生误动或拒动故障。,浪涌的产生：多是大功率多晶炉电源切换。,浪涌的危害：使瞬间电压变大，烧坏用电设备，危害极大。,所以硅片企业的电网污染是很严重的，,Hennecke,设备是精密设备，需要为其配备如下规格的,UPS:,1,工频,2,，带隔离变压器,3,，配有一定供电时间的电池,4,，需要独立接地,Hennecke,电源纯净度要求,Hennecke,设备要求至少满足,IEC,标准中的相关,EMC(,电磁兼容性）标准，主要是针对谐波和浪涌的管理规定。,洁净度如果达不到以上标准，则会影响多个测量模块的测量,的重复性和再现性，还会导致,LED,光源表面积灰，影响测量,精度，还会导致误判。,具体影响：,1,，,NVCD,模块,灰尘被,NVCD,模块误判为硬质点,Hennecke,设备的洁净度要求,Hennecke,设备要求至少满足,ISO14644-1,的,8,级（等同于美国,F-209E,的,10,万级），此级别下，,5um,以上颗粒的数良小于,29300,个。,2,，,Saw Mark,模块,灰尘粘附在硅片表面，激光照射到后发生弯曲，导致线痕误判断。,3,，,EDGE,和,NVCD,模块下方,LED,光源,光源表面灰尘擦拭后,Hennecke E+H,模块温度要求,Hennecke E+H,模块的标准工作温度是在,23,度（根据,ASTM,标准），请控制,工作温度在,20-25,度为宜。,温度主要影响的是电阻率测量的精度，影响效应可以参考以下方程：,所以每升高一度，电阻率测量值就会产生,-0.7%,的偏差,