2026年真空镀膜设备维修（真空镀膜故障）考题及答案.doc

2026年真空镀膜设备维修（真空镀膜故障）考题及答案

（考试时间：90分钟 满分100分）
班级______ 姓名______

第I卷（选择题，共30分）
（总共6题，每题5分，每题只有一个正确答案，请将正确答案填在括号内）
w1. 真空镀膜设备中，若镀膜层出现局部脱落现象，可能的原因是（ ）
A. 镀膜材料纯度不够
B. 真空度未达到要求
C. 基板表面清洁度不够
D. 镀膜时间过长
w2. 当真空镀膜设备的真空泵出现异常振动时，首先应检查（ ）
A. 泵的电机是否正常
B. 泵的进气口是否堵塞
C. 泵的油位是否正常
D. 泵的排气口是否畅通
w3. 在真空镀膜过程中，膜厚不均匀，可能是由于（ ）造成的。
A. 蒸发源功率不稳定
B. 镀膜材料颗粒过大
C. 真空室内温度过高
D. 基板转速过快
w4. 若真空镀膜设备的真空计显示数值异常升高，这可能意味着（ ）
A. 真空系统存在泄漏
B. 真空泵抽气能力增强
C. 镀膜材料蒸发过快
D. 真空室内有杂物
w5. 真空镀膜设备的加热系统故障，可能导致（ ）
A. 镀膜层颜色异常
B. 膜厚无法控制
C. 镀膜速度变慢
D. 基板变形
w6. 对于真空镀膜设备的电子枪，若发射电流不稳定，可能是（ ）问题。
A. 灯丝老化
B. 真空度太高
C. 冷却水流量过大
D. 控制系统故障

第II卷（非选择题，共70分）
w7. （10分）简述真空镀膜设备中真空系统的主要组成部分及其作用。

w其主要组成部分包括真空泵、真空计、真空管道、真空阀门等。真空泵用于抽取真空室内的气体，使真空室达到所需的真空度；真空计用于测量真空室内的真空度数值，以便监控真空状态；真空管道连接各个部件，形成气体流通通道；真空阀门则用于控制气体的进出和真空系统的开闭。

w8. （15分）当真空镀膜设备出现镀膜层附着力差的情况时，分析可能的原因并提出相应的解决措施。

可能原因：基板表面处理不当，有油污、杂质等；镀膜工艺参数不合理，如温度、时间等；镀膜材料质量问题。解决措施：对基板进行严格的清洁处理，确保表面无杂质；优化镀膜工艺参数，通过试验找到最佳的温度、时间等条件；更换质量合格的镀膜材料。

w9. （15分）材料：在一次真空镀膜过程中，发现镀膜后的产品表面有许多麻点。请分析造成这种现象的可能原因及解决办法。

可能原因：镀膜材料中有杂质颗粒，在蒸发过程中附着在产品表面；真空室内有灰尘等杂物，在镀膜时落到产品上；蒸发源表面不平整，导致镀膜不均匀。解决办法：对镀膜材料进行严格筛选和预处理，去除杂质；清洁真空室，确保无灰尘等杂物；检查并修复蒸发源，使其表面平整。

w10. （20分）材料：某真空镀膜设备在运行一段时间后，镀膜层的颜色与正常情况有明显差异。针对这一现象，阐述可能的原因及如何进行排查和解决。

可能原因：镀膜材料纯度变化；蒸发源温度异常；真空度波动影响镀膜过程；设备的控制系统参数改变。排查方法：检查镀膜材料的纯度报告；测量蒸发源的温度；用真空计监测真空度是否稳定；查看设备控制系统的参数设置。解决办法：更换纯度合格的镀膜材料；调整蒸发源温度至合适范围；修复真空系统的泄漏等问题以稳定真空度；恢复控制系统的正确参数设置。

答案：w1.C；w2.A；w3.A；w4.A；w5.A；w6.A