烧结炉结构.ppt

单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,*,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,*,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,烧结炉培训材料,功能及用途,对第三道丝印后硅片表面浆料进行烘干,去除浆料中的有质粘结剂,铝背场及栅线烧结,烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有质成分、完成铝背场及栅线烧结。硅片在炉中，上、下两面能同时烧结，烧结过程如下：,烧结炉结构,烧结炉总体结构,炉体分为三个部分：,烘干区,烧结区,冷却区,烘干区包括四个加热区：,ZONE 1,、,ZONE 2,、,ZONE 3,、,ZONE4,，其中,ZONE 4,为对流加热区，位于其它三个温区上部，每个加热区温度单独可调、加热元件为电热丝，加热温度可设置到,500,摄氏度，但过程温度不应超过,300,摄氏度。,烘干区,烧结区包括六个加热区：,ZONE 1,、,ZONE 2,、,ZONE 3,、,ZONE4,、,ZONE 5,、,ZONE 6,，,ZONE 14,为预烧结区，,ZONE 5,和,ZONE 6,为主烧结区，加热元件为近红外线加热管，其中,14,区加热管功率为,1600W,，,5,、,6,区加热管功率为,2700W,，每个温区温度单独可调，,14,温区温度可设置到,700,摄氏度，,5,、,6,温区可设置到摄氏,1050,度。,烧结区,冷却区采用水冷，给水温度大约在,2025,摄氏度范围内。,冷却区,烘干区与烧结区之间、烧结区与冷却区之间各有一个隔离炉膛，通过风帘隔离，隔离炉膛防止相邻区域中的过程气体相互混合。,烘干区与烧结区连接处的隔离炉膛,烧结区与冷却区连接处的隔离炉膛,除了上述三个主要部分外，在炉体头部有上料区，在尾部有下料区，外加一个单独的冷凝器，冷凝媒介为冷却水。,烧结炉的开关机,烧结炉的开关机,开机步骤,慢速开启冷却水主给水阀，给烧结炉供水。通常各管道给水阀和流量已设定好，勿需调节。,慢速开启压缩空气主阀，炉子提供过程气体，同时给各气缸提供压缩空。通常各管道流量已设定好，勿需调节。,将主电源开关拨到,“,1,”,，开启主电源。,启动,PC,，等待机器完成自检和监控程序装入。,将,“,Drive On,”,拨到,“,1,”,，,“,Drive PC/Manual,”,拨到,“,0,”,，将,“,Heating FF,”,拨到,“,ON,”,，将,“,H,eating,HTO,”,拨到,“,ON,”,。,点击启屏幕上,“,Drive on/off,”,收音开关，并按确认收音键，启动传送带。,如果有设置好的升温程序，顺序装入，使炉子逐步升温到过程温度。如果没有，则手动设置，每,200,度为一阶，逐步升温到过程温度。第一次装入后，需点击加热收音开关，开始加热。,根据工艺要求调整工艺参数，只需调整各温区温度和带速设定值。当过程值达到设定值后，机便处于就绪状态。,烧结炉的开关机,烧结炉的开关机,关机步骤,关机步骤则与开机步骤相反，需注意：当炉温降到,100,度左右时，方可将传送带停下。,监控程序几乎可以定位所有故障，当故障发生时，报警系统会发出声光报警，并可能停炉。可打开,“,Alarm,”,标签，察看报警信息，判断故障位置，分析故障原因，并排除故障。,常见的故障报警及处理：,空气流量过小或过大，空气压力不稳。提请设施部作解决。,压缩空气中有大量水份和油份，加大流量，排除积累在流量计中的水份，同时提请设施部设法滤去压缩空气中的水份和油份。,冷凝器排风量过小，开大风门，同时提请设施部加大抽风量。,冷却水温度过高，提请设施降低水温。,HTO,过滤器堵塞，用风枪吹洗过滤器。,传送带过长，调整链带长度。,温度超出设定充许范围，检查设定值是否合适，并件适当调整。,加热管烧断，更换加热管。,固态继电器,烧坏,，更换继电器。,故障诊断与修复,