GB∕T 17874-2021 电子特气 三氯化硼.pdf

书 书 书犐 犆犛 犆犆犛犌 中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准犌犅犜 代替犌犅犜 电子特气三氯化硼犈 犾 犲 犮 狋 狉 狅 狀 犻 犮狊 狆 犲 犮 犻 犪 犾 狋 狔犵 犪 狊犅狅 狉 狅 狀狋 狉 犻 犮 犺 犾 狅 狉 犻 犱 犲 发布 实施国 家 市 场 监 督 管 理 总 局国 家 标 准 化 管 理 委 员 会发 布书 书 书前言本文件按照 标准化工作导则第部分：标准化文件的结构和起草规则的规定起草。本文件代替 电子工业用气体三氯化硼 。与 相比，除结构调整和编辑性改动外，主要技术变化如下： 更改了三氯化硼应符合的技术要求（见第章， 年版的第章） ； 更改了检验规则的要求（见第章， 年版的 ） ； 更改了纯度计算方法（见 ， 年版的 ） ； 更改了氧氩、氮、一氧化碳、二氧化碳甲烷含量的测定方法（见 ， 年版的 、 ） ； 增加了四氯化硅含量的测定方法（见 ） ； 增加了氯气含量的测定方法（见 ） ； 增加了碳酰氯、氯化氢含量的测定方法（见 ） ； 更改了金属元素的测定方法（见 ， 年版的 ） ； 删除了颗粒的测定（ 年版的 ） ； 更改了标志、包装、运输及贮存（见第章， 年版的第章） ； 更改了安全信息（见 ， 年版的 ） 。请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会（ ）提出并归口。本文件起草单位：大连保税区科利德化工科技开发有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司、和立气体（上海）有限公司、太和气体（荆州）有限公司、广东华特气体股份有限公司、海宁市英德赛电子有限公司、福建久策气体股份有限公司、中船重工（邯郸）派瑞特种气体有限公司、江西华特电子化学品有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、上海兄弟微电子技术有限公司、浙江省化工研究院有限公司、昊华气体有限公司西南分公司、杭州市消费者权益保护委员会秘书处（杭州国家电子商务产品质量监测处置中心） 、上海申南特种气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、大连大特气体有限公司、上海凡伟仪器设备有限公司、联雄投资（上海）有限公司、沈阳中复科金压力容器有限公司、浙江东开半导体科技有限公司、昆明广瑞达特种气体有限责任公司、西南化工研究设计院有限公司、西南化工研究设计院有限公司武汉分公司、西南化工研究设计院有限公司双流分公司。本文件主要起草人：施旖旎、赵?、孙福楠、梁永强、梁成科、阳辉、傅铸红、陈艳珊、丁高松、何经余、曹素英、宋富财、苏子杰、廖恒易、刘健、史婉君、张建君、王新喜、孙猛、史隽涛、周礼誉、鬲春利、张琦炎、吕博文、陈洁、吴靓、方华、辛伶、何波、黄小强、黄辉、刘扬涛、宫兵、易达文、李阳、高静、李威、赵帅德、余民、周鹏云、沈翠平。本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为： 年首次发布为 ， 年第一次修订； 本次为第二次修订。犌犅犜 电子特气三氯化硼范围本文件规定了电子级三氯化硼的技术要求、检验规则、试验方法、标志、包装、运输、贮存及安全信息的要求。本文件适用于以粗制三氯化硼为原料提纯制得的电子级三氯化硼。规范性引用文件下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件 危险货物包装标志 工业用化学产品采样安全通则 （所有部分）钢质无缝气瓶 气瓶颜色标志 居住区大气中氯卫生检验标准方法甲基橙分光光度法 液化气体气瓶充装规定 化学品安全标签编写规定 气瓶警示标签 气体分析氦离子化气相色谱法 大容积钢质无缝气瓶 电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法 特种设备生产和充装单位许可规则 气瓶安全技术规程术语和定义本文件没有需要界定的术语和定义。技术要求三氯化硼的技术要求应符合表的规定。表技术要求项目指标三氯化硼（ ）纯度（体积分数） （氧氩） （）含量（体积分数） 犌犅犜 表技术要求（续）项目指标氮（）含量（体积分数） 一氧化碳（）含量（体积分数） 二氧化碳（）含量（体积分数） 甲烷（）含量（体积分数） 氯气（ ）含量（体积分数） 碳酰氯（ ）含量（体积分数） 氯化氢（ ）含量（体积分数） 四氯化硅（ ）含量（体积分数） 杂质总含量（体积分数） 金属元素及其他元素含量钙（）含量（ ） 铬（ ）含量（ ） 铜（）含量（ ） 铅（）含量（ ） 镁（）含量（ ） 锰（）含量（ ） 镍（ ）含量（ ） 硅（ ）含量（ ） 锌（）含量（ ） 锂（ ）含量（ ） 锑（ ）含量（ ） 钡（ ）含量（ ） 铝（ ）含量（ ） 钾（）含量（ ） 钠（）含量（ ） 砷（）含量（ ） 铁（ ）含量（ ） 检验规则 抽样和判定三氯化硼产品应逐一检验并验收。当检验结果均符合表的技术要求时，判该产品合格。当检验结果有任何一项指标不符合表的技术要求时，则判该产品不合格。犌犅犜 采样三氯化硼的采样安全应符合 的规定。 尾气处理测定时，应有三氯化硼尾气处理措施，以防止三氯化硼对环境的污染。试验方法警示 本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况，使用者应采取适当的安全和健康防护措施。 三氯化硼纯度 杂质总含量杂质总含量按公式（）计算： （）式中： （氧氩）含量（体积分数） ， ； 氮含量（体积分数） ， ； 一氧化碳含量（体积分数） ， ； 二氧化碳含量（体积分数） ， ； 甲烷含量（体积分数） ， ； 氯气含量（体积分数） ， ； 碳酰氯含量（体积分数） ， ； 氯化氢含量（体积分数） ， ； 四氯化硅含量（体积分数） ， ； 杂质总含量（体积分数） ， 。 三氯化硼纯度三氯化硼纯度按公式（）计算： （）式中： 三氯化硼纯度（体积分数） ， 。 氧氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氯化硅含量的测定 测定方法按 规定的切割进样的方法测定三氯化硼中氧氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氯化硅含量。允许采用其他等效的方法测定三氯化硼中氧氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、四氯化硅含量。当对测定结果有异议时，以本文件规定的方法为仲裁方法。 预分离柱长约 ，内径约的 不锈钢管，内装粒径为 的一种改性碳分子犌犅犜 筛（） ，或采用其他等效预分离柱。 色谱柱色谱柱：长约、内径约的 不锈钢管，内装粒径为 的分子筛，或其他等效色谱柱。该柱用于测定氧氩、氮、一氧化碳和甲烷含量。色谱柱：长约，内径约的 不锈钢管，内装粒径为 的一种高分子聚合物（ ）或其他等效色谱柱。该柱用于测定二氧化碳。色谱柱：长约 、内径 、内涂聚甲基硅氧烷的毛细柱，或其他等效色谱柱。该柱用于测定四氯化硅。 标准样品标准样品中组分含量（体积分数）为 ，平衡气为氦。 氯气含量的测定按 的规定执行。 碳酰氯、氯化氢含量的测定 仪器采用配备相应气体池的傅立叶红外光谱仪测定三氯化硼中的碳酰氯、氯化氢含量。检测限： （体积分数） 。 测定条件 参考的测定条件 窗片： ； 碳酰氯特征峰波数： ； 氯化氢特征峰波数： ； 分辨率：； 气体池温度： 。 标准样品测定三氯化硼中的碳酰氯含量时，至少应有种不同组分含量的气体标准样品，碳酰氯的含量分别约为： （体积分数） 、 （体积分数） 、 （体积分数） ，平衡气为氦。测定三氯化硼中的氯化氢含量时，至少应有种不同组分含量的气体标准样品，氯化氢的含量分别约为： （体积分数） 、 （体积分数） 、 （体积分数） ，平衡气为氦。 其他测定条件其他测定条件按照仪器说明书执行。 测定步骤 启动仪器按傅里叶红外光谱仪说明书开启仪器。调整仪器各部件达到测定条件，待仪器稳定后即可测定。犌犅犜 工作曲线的建立用标准样品进样。分别记录标准样品中碳酰氯在 、氯化氢在 处吸收峰的吸光度信号（峰面积或峰高） 。每种标准样品至少重复进样两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于，取其平均值，分别制作以吸光度信号（峰面积或峰高）为纵坐标，以含量为横坐标的工作曲线。 样品的测定以建立工作曲线同样的测定条件测定样品，记录三氯化硼样品中碳酰氯在 、氯化氢在 处吸收峰的吸光度信号（峰面积或峰高） ，重复进样至少两次，直至两次平行测定的相对偏差不大于，取平均值。 结果处理用测得的三氯化硼样品中碳酰氯在 、氯化氢在 吸收峰的吸光度信号（峰面积或峰高）在工作曲线上查出三氯化硼样品中碳酰氯、氯化氢的含量。 其他等效方法允许采用其他等效的方法测定三氯化硼中的碳酰氯、氯化氢。当对测定结果有异议时，以 规定的方法为仲裁方法。 金属元素及其他元素含量的测定按 的规定执行。标志、包装、运输、贮存及安全信息 标志 三氯化硼出厂时应有产品质量合格证，其内容至少应包括： 产品名称，生产厂名称，危险化学品生产许可证编号； 生产日期或批号，以及安全使用期或失效日期； 充装质量（ ） ； 本文件编号及三氯化硼的纯度。 包装容器上应涂刷“电子级三氯化硼”字样。 三氯化硼的包装标志应符合 的相关规定，颜色标志应符合 的规定，标签应符合 、 规定的要求。 包装、运输及贮存 包装三氯化硼的气瓶应符合 （所有部分） 、 的规定。 三氯化硼的充装及贮运应符合 、 、 的规定，充装及贮运的安全管理要求见危险化学品安全管理条例 特种设备安全监察条例 。 三氯化硼的最大充装量按公式（）计算：犿犉犞（）式中：犿 气瓶内三氯化硼的质量，单位为千克（ ） ；犌犅犜 犉 三氯化硼的充装系数，犉 ；犞 气瓶标明的内容积，单位为升（） 。 宜使用进行内表面处理的气瓶，处理后的气瓶应满足本文件的要求。瓶阀出气口连接方式宜使用 、 。 应防止泄漏和瓶口被污染。 三氯化硼产品应存放在阴凉、干燥、通风的库房内，应远离热源，不应暴晒。 安全信息三氯化硼的安全信息应符合附录的规定。犌犅犜 附录犃（规范性）安全信息犃 基本信息犃 化学式： ；中文名：三氯化硼；英文名： 。犃 相对分子质量： （按 年国际相对原子质量计算） 。犃 代码：号： 、号： 。犃 物理性质：沸点 ，熔点 ，临界温度 ，临界压力 ，临界密度： ；相对密度： ；液体密度： （常温常压） 。犃 毒性：半数致死浓度：大鼠吸入 （ ） 。犃 危险性说明三氯化硼是无色的低压液化气体，液态迅速蒸发可能造成冻伤，有刺鼻气味；与水或潮湿空气激烈反应，生成氯化氢和硼酸；与碱金属、碱、苯胺、磷化氢、醇类、强氧化剂和有机物（如油脂）激烈反应。三氯化硼对眼、皮肤、呼吸道有强烈腐蚀性，吸入该气体可能导致肺水肿，肺水肿症状通常过几个小时以后才变得明显，体力劳动使症状加重。高浓度接触时，可能导致死亡。犃 操作注意事项犃 生产过程密闭操作，生产装置全面通风。操作人员应经过专门培训，严格遵守操作规程。犃 为防止堵塞，使用前应清除系统中的水分。犃 操作人员应穿戴适当的个人防护装备。如耐腐蚀防化手套，防护眼镜，面罩和防溅防护服。现场配备自给式正压呼吸器和气密式化学防护服。犃 紧急情况应对措施犃 发生火灾时，切断气源。消防人员应佩戴空气呼吸器，穿全身防火防毒服，在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。犃 灭火剂宜用干粉。不应使用水、泡沫和酸碱灭火剂。犃 如果误吸入三氯化硼，迅速脱离现场至空气新鲜处，保持呼吸道通畅。如呼吸困难，给氧。如呼吸停止、心跳停止，立即进行心肺复苏术，并就医。犃 眼睛接触：立即分开眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗 ，并就医。犃 皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用大量流动清水彻底冲洗，冲洗时间一般要求 ，并就医。犃 泄漏处理处置犃 尽可能切断泄漏源。犃 根据气体的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。犃 应急处理人员应佩戴内置正压自给式呼吸器，穿气密性化学防护服。犃 有液化气体泄漏，应注意防冻伤。犃 不应接触或跨越泄漏物。尽可能切断泄漏源。犃 防止气体通过下水道、通风系统和密闭性空间扩散。犌犅犜 犃 喷雾状水抑制蒸气或改变蒸气云流向，避免水流接触泄漏物。不应用水直接冲击泄漏物或泄漏源。犃 构筑围堤堵截泄漏的液体。犃 隔离泄漏区直至气体散尽。犃 贮存注意事项犃 贮存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库房温度不宜超过 。犃 防阳光直射，应与碱金属、碱、苯胺、磷化氢、醇类、强氧化剂和有机物（如油脂）分开存放。犃 生产、使用、贮存三氯化硼的车间或场所应设置三氯化硼气体泄漏检测报警仪。犃 贮存区应备有泄漏应急处理设备。犃 废弃处置说明犃 处置前应参阅国家和地方有关法规，宜将剩余的和未回收的废弃物交给有资质的单位处理。犃 处置废弃的三氯化硼时，不应直接排放。犌犅犜 参考文献危险化学品安全管理条例（ 年月 日中华人民共和国国务院令第 号公布， 年月 日国务院第 次常务会议第一次修订， 年 月日国务院令第 号第二次修订通过）特种设备安全监察条例（ 年月 日中华人民共和国国务院令第 号公布， 年月 日国务院第 次常务会议修订通过）犌犅犜