真空镀膜机安全管理规定.doc

真空镀膜机安全管理规定

　真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须具体阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。
　　一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否优良，各密封处特别是动密封处是否优良。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。
　　经过上述检查，各项性能优良，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行"炼气'，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定状况，假设真空度坚持稳定，才能进行下一步操作。一般"炼气'时间要达10小时以上。调试时主要检查：

　　二、满足以上各项检查后，进入操作和使用：
　　1.在非特别状况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。
　　2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。
　　3. 确认安全无误时才能操作设备。
　　4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。
　　5. 设备及电源控制柜必须优良接地。
　　6. 非专业人员请不要修理本设备。
　　三、工作中还必须注意以下几点：
　　1.平常，整个系统要坚持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中;
　　2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架;
　　3.常常检查胶封是否优良，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂;
　　4.定期检查电气元件，清除灰尘，改换烧坏的电器元件;
　　5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门;
　　6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(坚持油面在油镜中心为佳);
　　7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修;
　　8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外;
　　9.镀膜机在工作过程中，不得断水，假设在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化;
　　10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵，否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。