激光器使用简明说明书.doc

Rofin激光器使用简明说明书
控制电路板:
控制电路板关键包含:
● 电源, 主开关, 保险, 继电器, 安全装置, 电机保护开关
● HV开启中高频发生器以及高压产生单元
● 计算机部分包含: CPU卡, 数字输入, 继电器输出, 脉冲坡调发生单元, 一个通用外部控制系统接口
● 键盘和显示（控制终端）, 控制终端能够装在任何其她本类型激光器电路板上
面板符号说明
NO.:
名称
功效
符号
Q1
Main Switch
机械开关连接主电源

-H1
Main is On
信号灯, 灯亮表示主电源闭合

-H2
HV is On
信号灯, 灯亮表示高压闭合

-H3
Shutter is closed
信号灯, 灯亮表示光闸关闭

-H4
Shutter is open
信号灯, 灯亮表示光闸打开

-S01
Emergency off
机械按钮, 按下后, 全部主接触器后电路全部断开。除了Q1里闭合那一部分仍然保持连通。

-S1
Mains off
打开主接触器按钮, 取消S2操作, 全部主接触器后电路全部断开。除了Q1里闭合那一部分仍然保持连通。
○
-S2
Mains on
按下后给以下单元供电:
·控制电柜风扇
·高频发生器风扇
·高频放电管电压模块

︱
-S3
HV Off
高压断开按钮
○
-S4
HV ON
高压闭合按钮（前提: 光闸必需关上）
︱
-S5
Shutter Close
光闸关闭按钮

-S6
Shutter Open
光闸打开按钮

-S7
Key Switch Shutter Locked
在此情况下, 光闸不能被打开
○
-S7
Key Switch
ShutterEnable
光闸在此情况下能够被打开
︱
-S8
Key Switch Mode Select
在此状态下, 高压和光闸都锁住不能开
○

手动模式

自动模式

每日开启程序
1、 打开冷却水（假如采取水冷机组, 则打开水冷机组）
2、 打开面板上Q1开关
3、 按下“MAINS ON”按钮
信号灯“MAINS IS ON”闪烁
激光器里风机开启
“MAINS ON”出现在显示器上
4、 在显示器上出现以下信息
“WATER TEST”
大约10秒后“FLAMENT ON”
大约30秒后“HV READY”
假如有错误信息出现, 则排除确定后按下“RETURN”
5、 按下高压开关
按下“HIGH VOLTAGE ON”按钮
“HIGH VOLTAGE IS ON”灯闪烁
激光器警告灯发光
此时激光器能够开始操作了, 能够经过键盘来选择程序
6、 LASER BEAM ON在按下这个按钮之前确定需要出光, 需要进行全部必需安全防护工作。

关激光器
1、 按下“LASER BEAM OFF”键, 关闭激光器光闸
2、 按下“HIGH VOLTAGE(HV) OFF”关闭高压
3、 按下“MAINS OFF”断开主电源
4、 关闭冷水机组
5、 关闭Q1开关

关键报警信号
输入
说明
后果
文字显示

主电源浮动>±10％
或逆相序
主电源关闭
控制系统关闭
高压关闭
无文字显示

真空管抽真空
（真空检验或激光气体更换时）
高压锁定
EVACUATION

正在更换激光气体
在服务菜单中选择对应键能够实现此功效
高压锁定
GAS EXCHANGE

真空管将冲入激光气体
高压锁定
GASFILLING

主电源关闭
主电源关闭或等候打开
高压锁定
MAINS OFF

真空检验激活
此功效能够在服务菜单中打开
高压锁定
VACUUM TEST
X100.2
X100.4
在打开主电源后, 计算机将等候3分钟以调整冷却水流量, 为打开射频管做准备。
高压锁定
WATER TEST

警告信号:
腔内激光气压超出限制, 这个信号表示激光气体交换十分必需。
无
CAVITY
PRESSURE
X100.7
警告信号:
激光气瓶内气压低或是

GAS BOTTLE PRESSUER

警告信号:
最近72小时内激光器气体没有更换, 提议在二十四小时内换气, 不然高压会锁住。

GASCHANGE IN MAX 24h
X130.6
警告信号:
真空泵电机回路空开断开

1>VACUUM PUMP
X140.4

X100.5

ALL X
24V电源断开

24V SUPPLY

CAN BUS ERROR

冷却水温度报警

COOLING WATER TEMP

EVACUATION TIME

射频风扇压力过小, 或相序接反
高压锁定
FAN RF GENERATOR

换气错误
高压锁定
GAS CHANGE FAULT

需要换气
高压锁定
GAS CHANGE REQUIRED

充气时间超出
高压锁定
GAS FILL TIMEOUT

射频电源过流
高压锁定
GRID CURRENT

高压监控
高压锁定
HV MONITORING

高压过载
高压锁定
HV OVERCURRENT

HV软开启错误
高压锁定
HV SOFTSTART FAULT

电机回路或激光器控制电路风扇断开
高压锁定
1>FANS

高压过流
高压锁定
LA OVER CURRENT

激光器门锁信号
高压锁定
INTERLOCK DOORS

在HV锁定下K1没有断开
主电源和
高压锁定
K1 FAULT

在主电源锁定下K3没有断开
主电源和
高压锁定
K3 FAULT

电流监控继电器没有反馈
高压锁定
LASER WARNING LAMP

最大最小激光功率超出限制
高压锁定
LASER POWER LIMITS

激光功率测量电流小于3.5
高压锁定
POWER MEASURE

腔压测量电流小于3.5
主电源和
高压锁定
PRESSURE MEASURE

光闸没有反馈
主电源和
高压锁定
SHUTTER FAULT

高压电路板温度高
高压锁定
TEMP HV CABINET

高压变压器温度高
高压锁定
TEMP HV TRANSF

光闸温度高
高压锁定
TEMP SHUTTER

高压放射管温度高
高压锁定
TEMP RF TUBE

冷却水温度高
高压锁定
TEMP WATER

模拟量给定超范围
高压锁定
VA LIMIT

水流量低
高压锁定
WATER FLOW

射频管水流量低
高压锁定
WATERFLOW RF TUBE