安全阀技术协议模板.doc

四川永祥多晶硅有限企业

四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目

安全阀及爆破片

技 术 协 议

买方: 四川永祥多晶硅有限企业
签字:
卖方: 永一阀门集团有限企业
签字:

七月

四川永祥多晶硅有限企业（以下简称买方）与华陆工程式科技有限责任企业（以下简称设计方）, 永一阀门集团有限企业（以下简称卖方）, 就买方四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目191台安全阀及爆破片设计、 原材料采购、 制造、 检验验收、 包装、 运输等达成以下技术协议。本技术协议作为商务协议附件, 与商务协议含有相同法律效力。

1 总则
1.1本技术附件仅适适用于四川永祥多晶硅有限企业四氯化硅冷氢化节能降耗技改项目191台安全阀及爆破片订货。
1.2安全阀设计、 原材料采购、 制造、 检验、 试验和交货应严格根据买方提供安全阀安全阀及爆破片数据表、 相关标准规范和本技术协议进行。
1.3买方及设计方对卖方提供资料确定, 并不能免去或减轻卖方对协议全部条款应负责任。
1.4 卖方应含有对应安全阀设计、 制造资质。
1.5在协议实施过程中, 卖方对买方及设计方提供技术文件部分条款存在异议, 应事先向买方及设计方提出, 由双方协商处理。
1.6卖方技术文件计量单位除温度和压力外均采取SI制。温度采取摄氏度; 压力单位采取MPa。

2 制造依据
2.1安全阀及爆破片询价文件
2.2以本技术协议中所引用相关规范和标准为主, 当上述依据中条款发生矛盾时, 应按严者实施。

3卖方供货范围、 备品备件及分包商
3.1 供货范围
3.1.1安全阀及爆破片具体供货数量见安全阀清单。
3.1.2卖方应提供3.1.1所述设备设计、 原材料采购、 制造、 组装、 检（试）验、 包装、 运输、 铭牌等服务, 全部安全阀均应按API规范设计制造。安全阀进出口均为法兰连接, 接口法兰标准为HG/T20615-, 法兰密封面形式应符合安全阀数据表要求。安全阀与工艺接管连接配对法兰(法兰材质入口按阀体材质考虑, 出口按碳钢考虑)及隶属垫片、 螺母和螺栓由卖方提供。
3.1.3具体包含:
●卖方应提供整套符合要求安全阀设备。
●试验汇报或检验汇报
●设备涂漆或包装
●本技术协议要求卖方应该提供技术文件
●其她统计文件及现场服务应包含:
计算书、 产品合格证、 原材料（阀体、 波纹管、 阀座、 弹簧）等材质单、 全部检验和试验汇报、 喷砂和油漆统计、 安装操作和维修手册及对买方现场服务。
注:
（1）卖方设计安全阀在协议生效后2周内提供2套具体计算结果及图纸报送买方及设计方确定后, 方可进行制造。但买方及设计方确定与意见并不能减轻卖方所应该负担责任。
（2）卖方提供安全阀供货范围包含卖方对安全阀设计、 制造、 运行、 交付及性能负全责。

4 实施标准
4.1 标准规范
下列标准最新版本作为安全阀设计、 检验、 制造实施标准:
API RP 520 炼油厂泄压设备尺寸确定、 选型与安装
API 526 钢制法兰连接泄压阀
API 527 压力泄放阀金属密封度
ASTM A216 可熔焊高温用碳钢铸件
ASTM A217 高温承压零件用马氏体不锈钢和合金钢铸件
ASTM A182 高温用锻制或轧制合金钢管道法兰及铸造管配件、 阀门及零件
ASTM A351 承压元件用奥氏体、 奥氏体-铁素件（双相）铸件
ASTM A320 低温用途合金钢螺栓材料
ASTM A193 高温用途合金钢螺栓
ASTM A194 高压与高温用途碳钢以及合金钢螺母
NACE MR-0103 腐蚀性炼油环境下抗硫化物应力开裂材料
ANSI B16.11 锻制承插焊和螺纹管件
API 521 泄压和降压系统指南
ASME Sec V 无损检测
ASME PTC25 泄压装置性能试验规范
ASME Ⅷ 压力容器建造规则
TSG ZF001- 安全阀安全技术监察规程
HG/T20615- 管法兰与法兰管件
ASME / ANSI B16.34 阀门面至面与端至端尺寸
ASME / ANSI B46.1 表面特征（表面粗糙度、 波纹度与加工纹理）
ASME / ANSI PTC 25.3 性能考评规范: 泄压设备术语
ASME锅炉与压力容器规范第一卷 动力锅炉规范
4.2 文件优先级
在招标与协议实施过程中, 假如安全阀数据表、 订单与相关标准等发生矛盾, 卖方应在设计和制造之前向买方及设计方提出澄清申请。在正常情况下, 文件优先实施次序由高到低为:
●订单
●技术文件（包含本技术协议、 SEI提供安全阀安全阀数据表）
●美国国家及行业标准规范
●其它标准
注: 1. 实施标准与安全阀技术条件、 本技术协议三者互补, 如有矛盾时应按较严者实施。
2. 以上标准未注版本均应采取最新版本。

5材料要求
5.1卖方应严格根据华陆工程科技有限责任企业提供安全阀及爆破片数据表中相关要求确定安全阀对应零部件材质, 各个零部件材质不得低于安全阀数据表要求。
5.2全部材料应整体表面清洁, 没有缺点、 焊渣、 电弧冲击、 锈蚀、 污垢、 夹砂、 油漆和其它全部杂质。
5.3全部材料应依据安全阀数据表和适用材料规范检验。阀体、 阀盖、 法兰及过流部件材料, 应依据使用条件和制造要求选择, 满足设计工况, 并应符合ASTM A182、 ASTM A216、 ASTM A217和ASTM A351等要求。
5.4多种材料安全阀压力－温度等级符合API526要求。
5.5假如安全阀安全阀数据表注明材料不能满足设计压力/温度要求, 卖方应立刻与买方及设计方协商处理。
5.6奥氏体不锈钢材质安全阀供货状态为固溶处理状态。
5.7填料和垫片
阀门内垫片选择应符合工艺条件要求(不得使用含石棉、 石墨垫片)。
5.8全部阀门材料化学成份和机械性能均符合ASME标准。

6 安全阀设计
6.1通常要求
6.1.1 卖方确保所提供安全阀满足技术安全阀数据表要求。
6.1.2卖方提供全部安全阀计算书供买方及设计方确定。
6.1.3对接焊缝（如有）应100%RT检验。
6.1.4法兰密封面, 连接件表面均应100%MT或PT检验。
6.1.5法兰、 连接件不许可有返修焊缝, 安全阀锻件, 最少应为二级。
6.1.6卖方提供最终图纸需设计方及买方确定。
6.1.7检验和试验计划应提交给设计方及买方, 以供需要时现场见证。
6.1.8法兰及法兰密封面形式应符合规格书要求。
6.2 技术要求
6.2.1安全阀应依据ASME第八卷或相当于中国规范要求进行设计以及制造, 并应该符合华陆工程科技有限责任企业提供安全阀数据表中相关要求。对于液体用途阀门,除非安全阀数据表上另有要求, 不然ASME规范第八卷也适用。
6.2.2法兰面以及尺寸应符合HG/T20615-要求。API 526许可卖方所设计进口突面高度超出HG/T20615- 所要求公称尺寸。
6.2.3法兰连接一般安全阀、 波纹管以及先导式安全阀应符合API 526 要求。任何与API 526偏差应取得买方及设计方认可。
6.2.4依据ANSI B 46.1, 突面法兰连接阀门端部垫片接触面Ra（平均粗糙度）应在125与250 AARH(3.2与6.3微米)之间, 而环连接法兰阀门垫片接触面Ra（平均粗糙度）应为63 AARH (1.6微米)。
6.2.5安全阀上螺栓及螺母材料应符合ASTM A 193、 A194标准。安全阀螺栓、 螺母材料要求应适应安全阀所工作条件, 而且应与阀体材料相配。
6.2.6阀盖、 阀帽材质应与阀体材质相同或相近。
6.2.7弹簧材料应适合安全阀数据表所要求使用条件, 并符合安全阀数据表要求。
6.2.8水压试验应符合ASME/ANSI B16.34或相当卖方标准要求。阀座密封应符合API 527要求, 卖方提供试验汇报。
6.2.9在制造前, 卖方计算书应取得买方及设计方认可。弹簧冷压差试验压力应包含在计算书中。
6.2.10泄压能力以及孔口尺寸应符合ASME第八卷要求。若ASME不适用, 可采取API RP520标准。
6.3 阀门选型
先导式安全阀动作形式要求选择可调整式（Mdulating）。安全阀选型应严格根据华陆工程科技有限责任企业提供安全阀数据表中要求进行选型,假如卖方对部分安全阀选型存在异议, 卖方应与买方及设计方协商处理。
7 制造与检、 试验
7.1 全部阀门法兰密封面均不许可用补焊方法修补缺点。安全阀出入口法兰应与阀体整体铸造或铸造。
7.2阀门材料及制造要求
7.2.1 阀体锻件应按ASTM A105、 A182进行, 同时增加以下要求:
A、 阀体锻件表面不许可补焊。
B、 全部锻件按ASME V 做100%UT检验。
7.2.2 阀体铸件应符合ASTM A216、 ASTM A217、 ASTM A351要求, 在材料复检时候应按ASTM A217、 ASTM A351标准对铸件化学成份、 表面质量进行全方面复检, 对全部安全阀锻件进行100%内外MT或PT, 锻件应进行机械性能复验。
7.2.3 弹簧、 导向套、 阀瓣、 阀座采取耐腐蚀材料制造, 导向表面应采取耐磨材料。
7.2.4 弹簧进行二十四小时200℃恒温强压处理, 确保弹簧有稳定刚度和韧性。
7.2.5 安全阀阀瓣与阀座密封面应堆焊钴基或镍基硬质合金,堆焊时应该焊前预热,焊后热处理,硬质合金在加工后厚度应符合以下要求:
阀门压力等级小于等于300LB(5.0MPa) 厚度:3mm
阀门压力等级大于等于600LB(11.MPa) 厚度:4-5mm.
碳钢阀体承压部位, 考虑腐蚀性介质对阀体腐蚀作用, 阀体腐蚀余量不低于4mm。
7.2.6除规范或当地主管部门所要求检验外, 设备材料、 制造与试验还应接收买方检验。买方实施检验并不能免去卖方本身所应负担责任。在含有检验条件时, 卖方应提前10个工作日通知买方, 卖方应为买方检验提供工作便利。
7.3 卖方必需按摄影关标准规范、 工程要求和下述要求进行试验和检验。
7.3.1安全阀入口侧应采取要求公称压力1.5倍试验压力进行试验, 以确定铸（锻）件完整性。
7.3.2安全阀出口侧应采取相当于卖方最大许可背压1.5倍试验压力（试验压力不低于0.345 MPag）进行试验, 以确定铸（锻）件完整性。
7.3.3阀座密封性试验: 按API 527进行阀座密封性试验,假如操作压力高于90%整定压力, 则按高者进行密封试验。
7.3.4整定压力测试: 每个安全阀都必需进行试验以验证其起跳和整定压力。
7.3.5制造厂在工厂完成安全阀定压, 应该符合ASME PTC25中相关要求, 并完成定压统计资料。
7.3.6有奥氏体不锈钢材质安全阀,强度试验时所用水氯离子含量不高于25ppm。
7.4 全部试验文件应得到买方认可。卖方（包含在全部分包商订单）应确保买方检验及试验要求。
7.5 在卖方依据标准程序进行阀门试验过程中,买方能够对每个阀门试验逐一见证。买方人员也可任意指定阀门进行试验见证,以确保试验符合卖方质控程序要求。
7.6其她要求不得低于对应标准要求最低要求。
7.7当完成上述检验后, 应对安全阀全部可调整元件进行铅封。

8 监造与验收
8.1 产品投料前及生产制造过程中, 买方有权（或委托第三方）指派检验人员对产品进行全过程监督检验。
8.2卖方应为监造人职员作提供方便, 包含提供必需检测仪器、 工具等。
8.3中间及最终验收内容

序号
检验内容
卖方
买方
1
材料原厂质量汇报
V

材料检验、 复验
H
H
2
焊接(如有)

· 检验零件硬度
V

· 焊后消除应力处理
V

· 焊缝探伤
V

· 液压强度、 气密试验
V

3
总体尺寸检验
V

4
安全阀试验

· 出、 入口液压强度试验
H
H

· 气密试验
H
H

· 安全阀起跳试验
H
H

· 出厂试验, 合格后铅封
H
H

· 阀门关键尺寸检验
H
H

· 阀门密封面平行度或垂直度偏差检验
H
H
5
喷漆
V

6
钉标牌
V

7
标识、 标牌外观检验
V

8
喷漆外观检验
V

9
出厂验收
H
H
10
文件检验
V

11
产品包装、 装箱
V

12
货运准备外观检验
V

13
放行
H
H
注: V---文件检验
H---现场检验
注: 卖方应在中标后两周内向买方交设备制造检验计划, 材料复验、 性能试验及出厂验收, 通知买方参与验收。全部买方参与检验项目必需提前最少10天以书面通知买方检验具体时间。检验、 试验结果必需经买方同意后才许可进行下一步工作, 买方全部检验验收并不减轻卖方所负担责任。

9 铭牌、 标示
9.1在阀门法兰上标注: 法兰压力等级、 规格标识（钢印）。
9.2阀体铸件应有炉批号和阀门压力等级。
9.3阀体上应注明阀体材料
9.4卖方应提供不锈钢材质铭牌。
9.5铭牌座应铆接在阀门上。
9.6不锈钢铭牌应符合MSS-SP-25标准, 并标明以下内容:
●制造厂名称或标志
●阀门位号、 出厂编号
●阀门型号
●设计温度
●安全阀整定压力、 背压、 冷态试验压力
●额定排量系数

10 清理、 油漆
10.1安全阀制造完成后, 应根本清理洁净, 任何铁屑、 焊渣、 外部物质、 锈皮和油污等均应清除。
10.2 法兰密封面等机加工面应采取合适防腐方法, 并注明防腐剂类型。
10.3 安全阀内螺栓和螺母应采取防锈方法。

11 包装、 运输
11.1安全阀应在试验合格后装运。
11.2每个包装箱上都应标有永久性标志, 其内容应包含协议号、 设备位号及设备名称。
11.3在运输过程中, 全部裸露法兰面要用带橡胶或塑料垫片盖板保护, 盖板应由12mm 厚木夹板或4mm 厚钢板制成, 并用50%数量（最少4 个）螺栓固定。
11.4安全阀应有可靠装卸、 运输保护方法。安全阀应确保竖直安装、 运输, 严禁歪斜; 安全阀管口应给予封闭。
11.5装箱单一式两份, 一份装入包装箱, 一份提供给买方
11.6卖方交货地点由买方指定, 运输方法汽运。

12 安装和服务
12.1卖方对买方质量反馈在4小时内给予回复, 如有需要48小时内到现场。
12.2在质保期内, 卖方负责无偿维修更换零件。
12.3卖方向买方无偿提供技术支持服务。
12.4 卖方应按协议要求派遣专业技术人员到买方现场, 指导安装以及调试和运行等技术咨询服务, 并应具体介绍产品性能和操作方法。
12.5卖方对所提供阀门技术服务、 工程服务、 技术培训、 调试、 开箱检验、 现场验收、 安装指导及运行等各个步骤负有完全责任。
12.6技术服务包含项目服务和现场服务。项目服务包含工厂检验和出厂验收等, 现场服务包含到货开箱检验、 使用和维护培训、 现场安装指导、 联调试运、 保运等工作。
12.7卖方应对装置开工后售后技术服务、 使用和维修技术咨询等提供良好确保。卖方应确保其指定技术服务与维修支持部门在接到买方电话（传真）后4小时内对买方提出问题给予回复（电话或传真）, 直到问题处理。必需时应派专业技术人员在48小时内赶到买方所在地处理。
12.8在阀门安装前、 试运行或质保期内, 卖方在接到用户相关阀门需要现场处理问题正式通知后3天内, 派维修服务人员到现场进行指导安装或维修服务。若3天内未能抵达, 在取得卖方同意后, 买方以依据情况先行对阀门进行处理, 若7天内仍未明确回复, 买方有权对阀门自行处理, 由此产生后果由卖方负担。

13责任及资料交付
13.1卖方应在中标后2周内将安全阀计算说明书、 外型尺寸、 排放反作用力及安全阀重量提交给买方及设计方。安装详图最少包含安全阀规格、 安装尺寸、 法兰规格尺寸。并应在商务协议生效后2周内提供该项目制造进度表给买方。
13.2卖方提交全部技术资料包含: 全部安全阀合格证（原材料合格证、 配套件等外购件合格证, 检验汇报）纸版, 1份电子版, 1套电子版（按工艺位号分, 每套: 安全阀外型图、 安装使用、 操作、 维护说明书）, 每套按装置单独装订成册。完工图应按PDF格式电子版提供给买方1套。
13.3卖方对产品因制造、 材料质量引发问题负担责任, 并负责无偿服务直至问题处理。
13.4卖方应交付文件清单

代码
文件名称
中间供设计用文件
最终交付文件
备注
份数
纸/电子
时间
份数
纸/电子
时间
A01
设备制造进度计划
4/1
中标后2周内

提交买方
A02
产品质量控制计划（含见证点和停止点表）
4/1
中标后3周内

提交买方
A03
产品检验计划
4/1
中标后3周内

提交买方
A04
提议关键控制点、 停止点表
4/1
中标 2周内

提交买方
A05
安全阀参数及计算书
2/1
中标后2周内

提交设计方
B01
推荐运输和保留方案
4/1
运输前一个月

提交买方
D01
原材料、 零配件原始质量证实书

4/1
随设备交付
提交买方
D02
受压元件材料复验汇报

4/1
随设备交付
提交买方
D03
热处理汇报

4/1
随设备交付
提交买方
D04
硬度检验结果

4/1
随设备交付
提交买方
D05
无损检测汇报

4/1
随设备交付
提交买方
E01
产品质量证实书

4/1
随设备交付
提交买方
X01
设备装配图

4/1
随设备交付
提交买方
X02
供货清单及设备, 安装操作和维修手册

4/1
随设备交付
提交买方
X03
气密试验汇报

4/1
随设备交付
提交买方
注: 质量证实书最少应包含以下内容:
关键零部件材料化学成份分析汇报, 碳钢材质零部件不作要求;
无损探伤结果;
产品试验结果;
产品相对于设计文件和图样变更或不符合项汇报。

14 性能确保及性能考评
14.1性能确保
14.1.1卖方提供安全阀必需满足安全阀数据表排量、 口径、 温度、 压力、 喉径面积等要求。
14.1.2安全阀应有良好机械特征,在排放时确保不出现频跳、 颤振和卡涩现象。
14.1.3卖方确保设计制造安全阀尺寸符合买方现场安装要求。
14.1.4卖方确保安全阀大于四年连续稳定运行周期。
14.1.5安全阀壳体使用寿命不少于二十年。
14.1.6安全阀开启压力、 排放压力满足API标准要求。
14.1.7卖方所提供全部设备均为未使用原厂产品,且含有ASME Ⅷ认证或中国国家质量技术监督局认证, 卖方应提供给买方相关资质证实文件。
14.1.8安全阀买方确保能实现以下动作性能:
●整定压力偏差: 3%
●超压: ≤10%、 16%（对多阀）或21%（对火灾工况）
●启闭压差: ≤7%（对气体）或20%（对液体）
●密封性能: 符合API Std527标准中要求
14.1.9 波纹管使用寿命应不低于5000次。
14.2卖方向买方提供安全阀质保期为投用后12个月或到货后18个月, 在正常操作条件下设备出现质量问题, 卖方应无偿维修、 更换, 并对制造质量负责。
14.3卖方确保所提供安全阀选型、 性能和质量完好, 全部技术指标达成产品说明书、 供货协议所制订要求, 全部产品必需是全新、 未经使用和专门为本装置设计制造。
14.4 在确保期内, 卖方确保无偿更换由产品质量引发发生故障或有缺点部件和设备。用来更换部件和设备应该是新, 更换时间确保在一周内完成。

15 备品备件
无

16分包商清单
序号
设备/部组件
产地
厂家名称
交货地点
备注
1
铸钢件
温州
浙江卡达阀门有限企业
温州

温州
浙江时代铸造有限企业
温州

温州
永嘉县金鼎泰铸造有限企业
温州

温州
温州鸿华精密铸造有限企业
温州

温州
温州宝业阀门铸造有限企业
温州

2
锻件
温州
瑞安市万鑫铸造有限企业
温州

温州
瑞安市汀田利王冲件机械厂
温州

3
弹簧
苏州
昆山市在市阀门弹簧有限企业
温州

绍兴
浙江英科弹簧有限企业
温州

4
波纹管
丹东
丹东克隆集团有限企业
温州

上海
上海金波弹性元件有限企业
温州

沈阳
沈阳晨光弗泰波纹管有限企业
温州

5
螺栓、 螺母
温州
温州龙强紧固件厂
温州

绍兴
浙江高强度紧固件有限企业
温州

17偏离
详见附件技术偏离表
18其它
未尽事宜由买方协商处理, 所补充协议或者往来书面文字材料在双方签字确定后与本技术协议含有相同法律效力。
19附件
附件1 安全阀供货清单
附件2 安全阀选型计算书
附件3 安全阀技术偏离表
附件4 安全阀数据表
20 联络方法
买 方: 四川永祥多晶硅有限企业
地 址:
联络人:
电 话:
邮 箱:
卖 方: 永一阀门集团有限企业
地 址: 浙江省永嘉县瓯北东瓯工业区永一工业圆
邮 编: 325105
联络人: 刘健
电 话:
传 真:
邮 箱:

附件1:
序号
位号
公称通径mm
法兰标准
工作介质
工作温度℃
爆破压力Mpa (g)
爆破允差%
爆破片
夹持器
套数
型号
材料
数量
型号
材料
数量
1
PSE-0201a,b
Φ50
HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF
氢气带有少许硅粉
40
0.4
+/-5
YF50-0.4-60A
316L/316L
3
YOJA50-96
304
2
2
2
PSE-0202a,b
Φ50
HG/T20615-97 DN50 CLASS 300 RF
氢气带有少许硅粉
40
3.9
+/-5
YC50-3.9-60A
316L
3
YOJA50-100
304
2
2
3
PSE-0203a,b
Φ150
HG/T20615-97 DN150 CLASS 900 RF
氢气和氯硅烷带有少许硅粉
500~530
3.6
+/-5
YC150-3.6-400A
316L
3
YOJA150-212
316
2
2
4
PSE-0204a,b
Φ50
HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF
氮气带有少许硅粉
120
0.4
+/-5
YF50-0.4-200A
316L/316L
3
YOJA50-96
304
2
2
5
PSE-0205a,b
Φ50
HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF
氯硅烷带有少许硅粉
120
0.8
+/-5
YF50-0.8-140A
316L/316L
3
YOJA50-96
304
2
2
6
PSE0802abcd,
PSE0803abcd, PSE0806abcd,
PSE0807abcd
Φ25
HG/T20615-97 DN25 150# RF
氯硅烷
72
1.2
+/-5
YC25-1.2-100A/HC
哈氏合金
20
YOJA25-68
316L
16
16
7
压力表组件（一般压力表）
304

26
增加
8
PSE902 01a~h
Φ50
HG/T20615-97 DN50 CLASS 150 RF
氯硅烷
55
0.5
+/-5
YF50-0.5-104A/HC
316L/哈氏合金
10
YOJA50-96
316L
8
8

压力表组件（一般压力表）

304
8

序
号
位 号
型 号
连接
形式
口径
in*mm*in
压力级
Lb
压力
Mpa(g)
启闭
压差
%
工作
介质
进口
温度
℃
材 料
结构长度
数
量
DN×dO×DN′
进口
出口
操作
设定
冷整定
背压

阀体
阀芯
弹簧
波纹管
L
L1
1
PSV0801
YFWA42C-150C
2J3
RF/RF
2×32.5×3
150
150
0.4
1
1
0.1
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3、 H2气体
80
WCB
304L
50CrVA
316L
124
136
1
2
PSV0802abcd
YFWA42C-150P3 1-1/2F2
RF/RF
1-1/2×15.9×2
150
150
0.9
1.2
1.212
0.1
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3气体
140
CF3
316L
50CrVA+
PTFE
316L
121
124
4
3
PSV0803abcd
YFWA42C-150P3 1-1/2F2
RF/RF
1-1/2×15.9×2
150
150
0.9
1.2
1.212
0.1
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3气体
140
CF3
316L
50CrVA+
PTFE
316L
121
124
4
4
PSV0804
YFA41C-150C
3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.5
0.5
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
5
PSV0805
YFWA42C-150C
2J3
RF/RF
2×32.5×3
150
150
0.4
1
1
0.1
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3、 H2气体
80
WCB
304L
50CrVA
316L
124
136
1
6
PSV0806abcd
YFWA42C-150C 1-1/2F2
RF/RF
1-1/2×15.9×2
150
150
0.8
1.2
1.212
0.1
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3气体
140
WCB
304L
50CrVA+
PTFE
316L
121
124
4
7
PSV0807abcd
YFWA42C-150C 1-1/2F2
RF/RF
1-1/2×15.9×2
150
150
0.8
1.2
1.212
0.1
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3气体
140
WCB
304L
50CrVA+
PTFE
316L
121
124
4
8
PSV0808
YFA41C-150C
3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.5
0.5
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
9
PSV910101ab
YFWA42C-150C
3K4
RF/RF
3×38.9×4
150
150
0.15
0.5
0.505
0.1
7%
氯硅烷
气体
121
WCB
304L
50CrVA
316L
162
156
2
10
PSV910102ab
YFWA42C-150P3
3K4
RF/RF
3×38.9×4
150
150
0.15
0.5
0.5
0.1
7%
氯硅烷
气体
95
CF3
316L
50CrVA
316L
162
156
2
11
PSV910103ab
YFWA42C-150C
3L4
RF/RF
3×48.4×4
150
150
0.15
0.5
0.505
0.1
7%
氯硅烷
气体
121
WCB
304L
50CrVA
316L
165
156
2
12
PSV910104ab
YFWA42C-150C 1-1/2H3
RF/RF
1-1/2×25.4×3
150
150
0.35
0.7
0.7
0.1
7%
氯硅烷
气体
85
WCB
304L
50CrVA
316L
124
130
2
13
PSV910105
YFWA42C-150C 3L4
RF/RF
3×48.4×4
150
150
0.15
0.5
0.505
0.1
7%
氯硅烷
气体
127
WCB
304L
50CrVA
316L
165
156
1
14
PSV030101a/b/c
YFWA42C-150C
6R8
RF/RF
6×122×8
150
150
0.15
0.5
0.5
0.15
7%
SiH2Cl2、 SiCl4、
SiHCl3气体
95
WCB
304L
50CrVA
316L
241
240
3
15
PSV030102
YFA41C-150C
3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304L
50CrVA
/
96
92
1
16
PSV030201ab
YFWA42C-150C
6Q8
RF/RF
6×95.3×8
150
150
0.28
0.8
0.8
0.15
7%
SiH2Cl2、
SiHCl3气体
80
WCB
304L
50CrVA
316L
241
240
2
17
PSV030202
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
18
PSV030301ab
YFWA42C-150C 6R8
RF/RF
6×114.7×8
150
150
0.63
0.8
0.8
0.15
7%
SiH2Cl2、
SiHCl3气体
115
WCB
304L
50CrVA
316L
241
240
2
19
PSV030302
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
20
PSV030303
YFWA42C-150C 1-1/2H3
RF/RF
1-1/2×25.4×3
150
150
0.63
0.8
0.8
0.15
7%
SiH2Cl2、
SiHCl3气体
115
WCB
304L
50CrVA
316L
124
130
1
21
PSV030401ab
YFWA42C-150R3 6R8
RF/RF
6×114.7×8
150
150
0.15
0.8
0.8
0.15
7%
SiH2Cl2、
SiHCl3气体
106
CF3M
316L
50CrVA+
PTFE
316L
241
240
2
22
PSV030402
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
23
PSV030501ab
YFWA42C-150R3 6R8
RF/RF
6×122×8
150
150
0.5
0.8
0.8
0.15
7%
SIHCL3
气体
120
CF3M
316L
50CrVA+
PTFE
316L
241
240
2
24
PSV030502
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
25
PSV030503
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
26
PSV030504
YFWA42C-150C 1-1/2H3
RF/RF
1-1/2×25.4×3
150
150
0.63
0.8
0.8
0.15
7%
SIHCL3
气体
115
WCB
304L
50CrVA
316L
124
130
1
27
PSV030601ab
YFWA42C-150C 8T10
RF/RF
8×146.2×10
150
150
0.5
0.8
0.808
0.15
7%
SICL4
气体
150
WCB
304L
50CrVA
316L
279
276
2
28
PSV030602
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0.55
0.55
0
15%
循环水
39
WCB
304
50CrVA
/
96
92
1
29
PSV030603
YFA41C-150C 3/4D1
RF/RF
3/4×9.5×1
150
150
0.2
0