多晶硅片质量检验规范.doc

多晶硅片
质量检验规范

编 制： 赵荣伟
审 核：
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年 月 日 发布 年 月 日正式实施
目 录

一. 适用范围
二. 引用标准
三. 检验项目
四. 检验工具
五. 实施细则
六. 相关记录

附表1：硅片检验项目及判定标准
附件1：二级硅片分类及标识方法
附件2：125×125mm划片技术要求及标识方法
附件3：硅片“亮线”的判定标准

1.适用范围
本细则规定了多晶硅片的电性能、外观尺寸的检验项目、测量器具、检测方法、操作步骤、判定依据，适用于正常生产的多晶硅片的质量检验。
2.引用标准
《Q/BYL02太阳能级多晶硅片》
《太阳能级多晶硅片内控标准》
3.检验项目
电性能、外形尺寸、外观
4.检测工具
硅片自动分选机、游标卡尺（0.02mm）、测厚仪、万能角度尺。
5.实施细则
5.1表面质量
目测外观符合附表1相关要求。对整包硅片重点查看B4，B7、TTV、缺口、碎片、油污等情况；整包里的B4片在迎光侧表现为“亮点”背光侧较暗；B7、TTV片手感表现较重的，利用分选机重新分选；油污一般为斑点形式，擦拭不掉，无论面积大小均需重新清洗。
5.2 外型尺寸
通过硅片自动分选机分选判定，符合附表1相关要求。
5.3 电性能
依据硅锭／硅块测试数据判定，必要时用相关测试仪器核实。
5.3抽检方法
（1）对硅片车间自检合格的包装硅片或直传片，采取一次抽检（抽检比例８％），不合格比例不高于０.5％。每次抽检不合格率大于0.5%时，通知清洗班长重新分选，对重新分选片抽检合格后可入库。
（2）抽取８％硅片进行检测，其结果作为该批硅片合格的判定依据。
注：针对分选机现状，分选机分选A等硅片由清洗工序包装时进行简易分选；B3、B5、B9硅片人工分选，B7、B8硅片分选时加大抽检力度，避免不合格硅片混入。
6. 相关记录

附表1：硅片检验项目及判定标准
检验标准
检验项目
一级品
二级品
电性能指标
电阻率
0.7～2 Ω·cm
2～4 Ω·cm
少子寿命
≥2μs
1～2μs
外形尺寸及外观
几何形状
正方形
厚度及公差
210μm±30μm
200μm±25μm
（160-180μm）±20μm
TTV
210μm≤50μm
200μm≤40μm
（160-180μm）≤35μm
210μm≤50μm
200μm≤40μm
35μm ＜(160-180μm)≤45μm
尺寸及公差
156mm±0.5mm或
125mm±0.5mm
156mm±0.8mm或
125mm±0.8mm
角度及公差
90º±0.3º
倒角
45º±10º
倒角长度
1.5mm±0.5mm
1.5mm±1mm
崩边（长度*延伸深度）
崩边尺寸≤1mm*1mm，
个数不限
崩边尺寸>1mm*1mm，
个数不限
缺口
≤0.1mm*0.1mm，个数不限
锯痕
≤20μm
≤40μm
小晶粒
无
面积小于30*30mm2
翘曲度
≤100μm
亮线
详见《亮线判定标准》
弯曲度
≤100μm
表面质量
表面平整，无裂纹、孔洞、缺口等；清洗干燥后，表面洁净、无斑点、沾污、手印等；
表面平整，无裂纹、孔洞、缺口等；清洗干燥后，表面允许有轻微的水印、斑点、沾污等，且≤总面积的5%
注：在线抽取8%多晶硅片进行检测，其结果作为批量多晶硅片合格的判定依据。

附件1：二级硅片分类及标识方法
按优先级B1至B9无重复排序标示如下：
B1几何尺寸偏差，其它检验参数符合一级品标准。
注：具体情况在标签上注明（尺寸、倒角）。
B2晶粒小，其它检验参数符合一级品标准。
B3少子寿命1～2μｓ，其它检验参数符合一级品标准。
B4小崩边，其它检验参数符合一级品标准。
B5电阻率2～4Ω·ｃｍ，其它检验参数符合一级品标准。
B6 156mm*156mm硅片划片后的125mm*125mm硅片
B7锯痕20～40μｍ或亮线二级（参考《亮线判定标准》。），其它检验参数符合一级品标准。
B8 35um<ttv≤45um,其它检验参数符合一级品标准。
B9 表面沾污
如果存在两种以上的二级缺陷，以级别较高的等级作为归类依据，优先级别排列如下：
第一级
第二级
第三级
第四级
第五级
第六级
第七级
第八级
第九级
B1
B2
B5
B3
B8
B7
B4
B9
B6

附件2：125×125mm划片技术要求及标识方法
1、156*156硅片划为125*125硅片，少子寿命≥2μｓ，电阻率为0.7-2Ω.ｃｍ，锯痕小于20μｍ，其它检验参数也符合一级品标准。
2、标识：Ingot（锭号）标 H ， 等级标B6。
3、表面沾污的脏面硅片，一定要重新清洗，否则按不合格片处置。
4、划片后,外形尺寸超过125±0.5mm,倒角尺寸超过1.5±0.5mm,角度超过45º±10°判不合格。

附件3：硅片“亮线”的判定标准
一、亮线处，测试深度小于10µm的硅片
1、单面亮线：
亮线面积大于硅片面积的1/2，为 B7
亮线面积小于硅片面积的1/2，为A 等
2、双面亮线：
亮线面积大于硅片面积的1/4，为 B7
亮线面积小于硅片面积的1/4，为A 等
二、亮线处，测试深度10～20µm的硅片
1、单面亮线：
亮线面积大于硅片面积的1/4，为 B7
亮线面积小于硅片面积的1/4，为A 等
2、双面亮线：
亮线面积大于硅片面积的1/2，为 不合格
亮线面积小于硅片面积的1/2，为B7
注：检测亮线深度使用自动分选设备。