中科纳通设备管理操作规范.docx

双行星分散机操作规范
文件编号
ZKNT/GL-产品部-10
版本／版次
A／O
生效日期

制 订

审 核

核 准

1 目的
规范生产车间设备管理维护和保养工作。
2 范围
本标准规定了双行星分散机的安全要求、维护检修规程及操作规程。
本标准适用于双行星分散机的操作。
3 设备作业环境要求
保持环境清洁、整齐、电气部分严禁受潮、保持干燥、无不安全状态。
4 设备安全要求
4.1 进入岗位前，必须按现有劳保标准穿戴齐全。
4.2 操作前认真检查各运转部份的电器设备是否安全可靠，搅拌浆和分散盘是否完好，经检查合格后方可开机。
4.3 随时保持设备的清洁卫生，严禁水、溶液、杂物等进入油泵，以免造成油泵及压滤机的故障。
4.4 严禁用湿手或导电物体直接启动电器设备。
4.5绝对不可在搅拌头升起或容器移开时启动设备
4.6绝对不可在安全装置失效时启动设备。
4.7切记在作任何维护前切断设备接入电源。
4.8有异响时必须立即停止运行设备。
4.9绝对不可在设备运行中用手触摸活动部件。
5 设备的操作程序和方法
5.1 设备安装
5.1.1小心将设备安于平整的承重地面，用地脚螺栓固定，不要让设备在地面上出现摇晃。
5.1.2按照电气原理图接线。电机适用于 380V，3 相，50Hz。
接线：必须由专业电工负责接线。从设备顶部向下看，所有搅拌头都是顺时针旋转。如果转向不对，请调整接线。所有电机要与过载保护装置连接（若设备带有控制柜的，则在该控制柜中已装有该装置）。
5.1.3润滑：该机在出厂前已加好减速机润滑油以及传动箱内的齿轮润滑脂，勿需再另行添加。通常情况下每半年换一次减速机油，通常加齿轮油或 30#机油，换油时请使用减速机生产商推荐的润滑油。
5.1.4 升降系统：该机采用的是液压升降系统，出厂前已安装到位，液压油已预先加好，通常情况下每一年更换一次。
5.2 操作前的准备工作
5.2.1若以极低速度长时间运转将会对设备寿命造成一定程度的损害，所以请不要再 20Hz 频率以下长时间工作以免电机长时间发热而烧毁，并请确保搅拌框上没有包裹特别粘稠的物料。
5.2.2容器定位：启动前，确保容器锁定在底座上。通常容器底部离开基座 3MM。所有压力容器、夹层、真空罩必须在合同规定的压力范围内使用。必要时必须装置安装减压阀等。
该容器夹套使用压力不得超过 0.2Mpa
5.2.3速度控制：可以通过变频调速控制。变频器得电后可调节旋钮控制频率来调速。变频器的使用一般无特殊要求，变频器的具体使用请参照变频器的使用说明书。
5.2.4升降系统：
该设备采用液压升降系统，上升过程通过液压系统产生的压力将设备顶起，液压系统的压力可以通过溢流阀调节，通常情况下，出厂前工厂已将压力调至 1.6Mpa。在生产过程中不需再调节。
5.2.5开机操作：
根据生产工艺，将加好物料的容器固定在设备底座上（加料也可以在真空罩生起后进行），按油缸降按钮，搅拌头将慢慢下降直至真空罩与容器闭合。开启行星搅拌，通过控制面板上的调速旋钮将搅拌速度调至所需要的转速。
待搅拌完成后，按油缸升按钮，搅拌头将慢慢被升起，为安全起见，待设备升到顶后请将安全插销插入。推出容器卸料。
安全装置：
只有搅拌容器放到位后，且将设备搅拌头放下并闭拢容器后才能启动搅拌，否则将不能正常开机，因为传动箱体内有一限位开关，只有当限位开关闭合后，设备才能正常运转。
5.3 设备维护
通常只要求设备部件的润滑和定期清理。油脂或润滑油必须按照要求分开使用。且要按照规定牌号。请用干净的容器盛放油脂，用干净的铲子或油枪加油脂。使用时不能多加润滑油/脂，它们会溢出并带来过热等问题。该设备除定期清理和更换减速机齿轮油外无需多加维护，若有异常情况请与生产商联系。
每次工作结束，必须清洗一次搅拌浆，使搅拌浆不留残渣。搅拌浆有损坏应即时修复或更换。
请注意让设备在尽可能清洁的环境中工作。若润滑油/脂被污染的话，会缩短设备的寿命。
5.3.1 行星齿轮箱
5.3.1.1齿轮箱由碳钢锻造制成。在齿轮箱中，锡青铜轴套与齿轮必须用润滑脂润滑，每只搅拌轴上装有旋转轴唇形密封以防止润滑脂泄露。
5.3.1.2齿轮箱中的润滑脂需定期的更换，根据对设备的使用频率通常情况下每一、二年更换一次。
5.3.1.3 更换润滑脂：
a．松开减速机上端的连接螺栓，向下拉出行星齿轮箱。
b．松开齿轮箱上面的所有螺栓，撬开齿轮箱上盖，清理出齿轮箱内的废旧润滑脂。
c．将适量的润滑脂涂在齿轮上，轴承为全封闭轴承，不需要对轴承进行润滑。
d．按拆开的顺序将齿轮箱再装上去。
e．在异常的环境下使用，例如过分潮湿、带有腐蚀性的物料或有研磨的物料，需要缩短维护周期或更换齿轮。请事先与供应商取得联系。
5.3.1.4在装、拆搅拌框的过程中，应注意搅拌框与搅拌轴的匹配。在装搅拌框时一定要根据搅拌框上的编号装在相应编号的轴上。否则有可能要发生严重的故障。
5.3.2 行星齿轮箱的拆装
5.3.2.1在拆齿轮箱之前，齿轮箱与整个机器或真空罩相对位置做上记号。搅拌头与齿轮箱的相对位置做上记号。然后取下齿轮箱。
5.3.2.2把整个部件拿走并放在干净的地方。
5.3.2.3松开螺栓，取下轴承压盖。
5.3.2.4松开螺栓，取下齿轮箱盖。
5.3.2.5按拆开的步骤反过来安装上去。
5.3.2.6在拧紧齿轮箱盖前，先用手转动并检查搅拌框的相对位置。
5.3.2.7在运转过程中若有意向，应立即停车检查。待故障消除后才能正常运转。
5.3.3 高速分散的拆装
1）拆下真空罩后，再拆下高速分散盘。
2）松开带座轴承上的螺栓。
3）取下同步带。
4）整体取下高速分散部件。
5）拆齿轮箱上的轴时，先拆出底部的轴承然后再拆下轴。
6）装配时按拆除的步骤反过来安装上去。
5.3.4 搅拌头的安装
1）在装搅拌框时，一定要保持两个框成 90°。在安装时一定要先注意两个齿轮的键槽夹 90°。
2)齿轮箱与整个机器或真空罩在相对位置上做好记号。
3）搅拌头与齿轮箱在相对位置上做好记号。
4）把齿轮箱装在减速机上。
5）安装好真空罩。
6）在正确的位置安装上搅拌头，按照原来的标记将两搅拌头安装成90 度位置。
7） 调节搅拌头在轴上的位置（即搅拌头与容器底部的间隙）。在容器定好位后降下搅拌头，若要求使用多个容器，必须在搅拌头被定位之前全部调试过，以确保每个容器的互换性。
5.3.5唇形油封的更换
1) 升起设备拆走搅拌头，在搅拌头与轴上做类似于 A、B 类的标记。做好搅拌头与齿轮箱之间相对位置的记号。搅拌头成 90 度角。
2）从减速机上拆下齿轮箱。
3）拆下齿轮箱盖与搅拌轴。
4）用螺丝刀从齿轮箱盖中取出唇形密封圈。
5）清洗孔并安装新的唇形密封圈。用木棰或橡皮棰子轻轻地密封圈，安装密封圈到正确的位置。6）重新安装搅拌头。
7）重新安装齿轮箱盖。
5.3.7 容器的调整
1) 把工作台安放在平整的地面上。
2）利用容器的定位块将容器定位在搅拌框的中心位置。插入定位销。
3）降下搅拌头启动搅拌，使搅拌框不能喷容器壁。
4）检查容器的法兰面与真空罩下法兰面的间隙，若有明显的间隙，请按以下的步骤 6 执行。
5）抽真空系统。如果真空能有效的获得，那么就不需要做任何的调整。如果达不到理想的真空要求，就需要检查有泄露的地方。用肥皂泡涂在每一个连接的地方，若肥皂泡破的很快则该处有明显的泄露。
6）若根本就抽不上真空，先检查阀门是否关闭，然后再检查容器的上平面与真空罩的下法兰面是否很好的贴合，若有间隙则需在容器的脚轮板上垫一些薄垫片。
7）重新检查真空度。
8）在获得满意的真空度后，在重新调整脚轮板下面的垫板，调整至合适的厚度后拧紧螺栓。
9）若有必要，检查水平并重复步骤 6 到 8。
5.4 液压系统的使用
5.4.1 液压系统主要技术性能参数：
1）系统油箱容积：25L
2）系统额定工作压力：6.3MPa
3）系统额定工作流量：2.1ml/r
4）马达功率参数：0.75KW，2800RPM（AC380V，50Hz）
5）电磁阀控制 DC24V
6）系统工程过滤精度：30um
7）系统工作介质：ISOVG32、ISOVG46（抗磨液压油）
5.4.2 液压系统使用注意事项：
1)系统油箱上设有空气滤清器，可保持油箱内对流空气的清洁，并可作为油箱注油口。
2)系统工作介质加入油箱须经过过滤精度不低于 30um 的滤油机过滤后方可加入油箱，液位应加至油箱高度的 80%。由液位计上的刻度查看。
3)系统所有外接液压管路，清洁度达到系统清洁度要求后方可与液压系统接口连接。集成块两个出口分别接油缸两个油口。
4)接通电源，点动油泵电动机，检查电机旋向是否与规定一致。（从风叶处看为逆时针旋转）。注：若油缸不能升降，请查看泵的转向。
5)拧下集成块侧面的螺帽，旋松螺栓，通过三位四通电磁阀，待油缸活塞杆返回到位置后，观察压力表的压力值，根据实际工作压力，调整溢流阀，当压力达到要求时，再顺时针旋转调节螺丝并拧到底，系统压力应不会升高。
6) 液压缸动作通过三位四通的电磁阀来切换，速度由单向节流阀调节，顺时针旋转调节螺丝速度减慢，反之加快。
7) 液压系统正常工作温度范围为 15-60℃，为避免温度过高，请不要长时间运转。否则须对其安装风冷式油冷却器的电机进行冷却。若低于此温度范围时，须对工作液进行预热处理。
8) 液压系统正常工作时，应定期检查所有液压阀安装螺钉、管接头紧围等情况，定期送检压力表、抽检工作液品质，清洗油箱，更换新油。经常观察油箱加油口的液位标尺，当油位低于刻度尺上最后一格，即需要补充液压油。
9) 当液压系统出现故障需拆卸时，必须先泄掉系统的压力，并由专业维护、操作人员检修。

5.5故障原因及排除方法见下表
常见故障
故障产生原因
故障排除方法
1．系统无压力或压力不稳定
电机转向不对
电机重新接线
溢流阀阻尼孔堵塞
清洗溢流阀阻尼孔堵塞
溢流阀损坏
修理或更换溢流阀
液压泵损坏
修理或更换液压泵
2．液压泵噪音大
油箱液位低
补充工作液
液压泵损坏
修理或更换液压泵
联轴器松动
修理或更换联轴器
3．无换向动作
换向阀内部孔堵塞
修理或更换换向阀
系统无压力
系统升压
4、真空度不能建立
阀门未关闭，抽真空阀没打开
关闭各个阀门
密封圈已损坏造成泄漏
更换密封圈
5、泵不能产生真空
无工作液；
检查工作液
系统泄漏严重
（2）系统泄漏严重；（3）旋转方向错。①检查工作液；②修复泄漏处；
③更换两根导线改变旋转方向
修复泄漏处
旋转方向错
更换两根导线改变旋转方向
6、搅拌电机不启动或电机过载
电源线断
检查接线
电机轴承故障
更换电机轴承
有异物卡住搅拌器
清除异物
绕组短路
检查电机绕组（线圈）
7、刮板运转时不刮壁或运转时有金属声响
刮板座转动不灵活，卡在不合适位置。
去除刮板座中污物，更换销轴
刮板磨损
更换刮板
8、真空泵中工作液进入料桶内

关闭真空泵时真空泵上真空阀未关闭。
闭真空泵时先关闭真空系上真空阀

井上三辊研磨机操作规范
文件编号
ZKNT/GL-产品部-11
版本／版次
A／O
生效日期

制 订

审 核

核 准

1 目的
规范生产车间设备管理维护和保养工作。
2 范围
本规范规定了井上三辊研磨机的安全要求、维护检修规程及操作规程。
本规范适用于井上三辊研磨机的操作。
3 设备作业环境要求
保持环境清洁、整齐、电气部分严禁受潮、保持干燥、无不安全状态。机体两侧2约100cm空间用于维修、零件更换。
4 设备安全要求
4.1 进入岗位前，必须按现有劳保发放标准穿戴齐全。
4.2 操作前认真检查各运转部份的电器设备是否安全可靠，棍轮和刮刀是否完好，经检查合格后方可开机。
4.3 随时保持设备的清洁卫生，严禁水、溶液、杂物等进入三辊，清洗时先停止研磨辊。
4.4 严禁用湿手或导电物体直接启动电器设备。
4.5应在操作员确认无危险之后再启动设备。
4.6机器运转时禁止触摸回转部分，不要把手和异物卷入辊之间，不要触摸运动中研磨辊的表面。
4.7必须把防护罩安装在指定的位置上，禁止在没有保护罩的情况下开动机器。
4.8机器运行时禁止进行检查和调整，若需要以上的检查时，应在切断电源、机器完全停止的状态下进行。
4.9检查之前，关闭配电柜内的主电源闸，锁上配电柜门、钥匙由操作者本人保管，在实施检查。
4.10未取得操作许可的人，禁止操作机器。
4.11束长发、穿戴工作服装、劳保用具。
4.12机器上放置着工具时，禁止开动机器。
4.13修理刮刀时要用无尘布盖住刀刃。

5 设备的操作程序和方法
5.1 设备安装
5.1.1小心将设备安于平整的承重地面，搬运中的剧烈撞击会给机器精度带来影响。挡料板、机体、接触研磨辊面的各面做好保护措施，塞入棉花等后小心搬运。
5.1.2本机不需用地脚螺栓固定时，机器底面各角都应接触到地面。
5.1.3要看机器的水平度时，在研磨辊表面上把水平器放置与轴平行（以及直交、HH型）方向上。此时，所用垫片位置应尽量全面的接触各防震垫胶垫的下部。
5.1.4电机配线：实施从接线箱、配电柜到电源之间的配线。接线方法应与电机配线图的各接线符号一致。电缆的选择应符合本机的要求。接线完毕后检查研磨辊传动电机的运转方向，如有逆转，交换R.T两线。确认研磨辊运转方向时，用操作手轮将研磨辊进入到全开的状态。
5.2 操作前的准备工作
5.2.1电气的点检
1、检查配电柜内部、确认保险丝、确认热敏继电器是否符合电机的定额电流
2、将操作手轮放到混合或全开的位置上，如果有压力为正常。
3、将研磨辊旋转到全开的状态，按下研磨辊驱动用按钮确认运转方向。
4、最后，按下停止按钮使研磨停止。
5.2.2按钮开关
1、后研磨辊侧对着后研磨辊，左侧机架上有研磨辊驱动按钮、停止按钮。按停止按钮时，研磨辊停止。
2、前研磨辊侧对着前研磨辊，左侧上有停止按钮。作用与后研磨辊的按钮相同。
3、打开冷却水侧的断路阀，研磨辊运转后水压压力计会显示2次压。
5.2.3试运行
1、将研磨辊用手轮旋转到指示板全开位置，清洗掉防锈清洁剂。
2、使研磨辊全开，首先调整出料漏斗、挡料板的压力。
5.3正式运转
1、用手轮进行2-3次混合、全闭、全开的操作，确认调整器的灵敏性、出料漏斗的工作状态有无异常。
2、将拉杆设置成混合位置，向中棍和后辊之间送入适当的处理浆料（只是在最初阶段）。
3、再次按下主电机的启动按钮，根据研磨辊上的浆料状态调整研磨辊的加压。根据研磨辊上浆料带的厚度可判断研磨的程度。
4、在研磨辊没有浆料的状态下对辊进行加压、运转不仅对辊部带来很大的伤害还可能造成机器机能丧失的危险，应绝对避免空滚。
5.4运转结束
1、运转结束瞬间，即前棍和后辊间没有浆料的瞬间，将手轮设置成全开的位置。
2、运转最后用加入润滑油取出残留部分的方法，但不能使用溶剂，溶剂不仅没有润滑作用反而会损害研磨辊。
3、关闭主电机、停止研磨辊的运转。
4、关闭冷却水的供给阀门。
5、清洗机器

5.5清洗
1、挡料板：先停机再清洗。只有将操作手轮设置成全开状态后才能取下挡料板。用沾有溶剂的无尘布将粘在挡料板上的浆料清除掉，应避免用刀状物清除浆料。与研磨辊接触面是浆料密封面和机器加工面易被划伤，避免使用锐利器物。
2、研磨辊：先确认研磨辊是否为全开，将安全杆安装在后辊和中辊的中间停止研磨再清洗。
3、出料斗：先去下刮刀再清洗出料斗，注意不要将浆料堵在刮刀和衬套之间的槽里。
4、托盘：因托盘里残留着泄漏的浆料、清洗挡料板和研磨辊时的材料以及溶剂，在更换浆料时、或每天工作完毕时将其取下清洁干净。
5.6 设备维护
5.6.1维护方法
1、挡料板：往挡料板注油时，加入少量的对浆料没有影响的油，不注油时，应特别注意挡料板的压力。
2、研磨辊：研磨辊的加压应左右均一，同时制造机器时因由固定的加压幅度如果不在各个范围内使用的话，就不能发挥研磨辊的机能。
3、出料斗：在不破坏出料斗刮刀效果的前提下适当的加一些压力，再有刮刀不要出来过多。与研磨辊的接触角度设定为30-40°。调整安装在出料斗长孔前面的刮刀，使其达到与研磨辊的最佳状态。在使用时根据使用刮刀磨损状态，将它从托架的长孔前侧向里面移动调整刮刀。因此一天的运转结束后清洁时，边做以上的工作边观察，这样就可以决定刮刀的修理、更换时间。刮刀的刀刃磨损会给研磨效果带来影响，直接影响到生产量，应及时修理和更换。与此同时要时常检查加压轴的工作状态。这样就可以发挥机器的性能，发现故障。
4、托盘：运转完毕后检查落到托盘里浆料的状态可以判断出机器是否为最佳的使用状态。因此，每处理一批浆料后或工作结束后要清理干净，以便作出判断。
5.6.2注意事项
1、当研磨辊上留有浆料时不要让机器长时间停止。如果研磨辊上留有浆料，被覆盖的部分温度高，下侧部分因由冷却水作用会导致研磨辊变形。在以上状态下开动机器，因部分辊面相互接触的很紧造成部分面的磨损会使圆辊变为多角形，并且如果反复进行上述操作会导致齿轮的部分磨损随之产生噪音。
2、中午休息时，如必须要停止机器时应调整材料的送入量，研磨辊上和研磨辊之间不要留有浆料，万一辊上还有浆料就被迫停止时，应使其进行一段时间的混合状态运转，以使研磨辊温度均一再设置成“全闭”状态。
3、操作中应注意是否有异常，应即刻停机。
4、操作员应时刻注意辊筒上是否有杂物，如有应即刻停机，以免影响品质和发生安全事故。
5、有操作员要离开岗位时，应有人代岗。
6、三辊机连续使用六个月以后，将各处可清洗的部分加以拆洗，进行一次全面的维修，然后换上洁净的润滑油，同时要仔细检查油路的畅通情况，如在拆洗中发现问题时应及时维修。 
7、使用过程中发现辊筒变形，也必须停止使用，重新修磨。 
8、辊筒修磨次数过多，辊筒直径小于要求以后，会产生传动齿轮顶紧而辊筒相互之间留有缝隙的现象，此时齿轮必须修正。 
9、出料刀片的锋口在安装前应仔细修正，精研光滑，有尖刺和裂口的绝对不可使用，刀片用短以后，可以拧松沉头螺钉，向外移出再用
5.7故障原因及排除方法见下表

常见故障
故障产生原因
故障排除方法
传动异常
皮带松弛、损坏

调节电机座固定螺母拉紧皮带

超声波清洗机操作规范
文件编号
ZKNT/GL-产品部-06
版本／版次
A／O
生效日期

制 订

审 核

核 准

1 目的
规范生产车间设备管理维护和保养工作。
2 范围
本标准规定了超声波清洗仪的安装、操作过程及注意事项。
本标准适用于超声波清洗仪的操作。
3 设备作业环境要求
保持环境清洁、整齐、电气部分严禁受潮、保持干燥、无不安全状态。机体两侧2约100cm空间用于维修、零件更换。
4 设备安装与准备
4.1 机器放置在通风干燥的地方，确保机器处于水平位置；
4.2 正确连接电源插头，确保联接牢固（一定要使用三孔插座；有可靠接地线，以保证安全）
4.3 按清洗所需加入适量的清洗液
5 操作过程
5.1 启动超声波过程
5.1.1 将清洁液加入清洗槽内；
5.1.2 接通电源
5.1.3 将定时开关往左旋转“ON”位置，则可长时间工作；如需1-20分钟定时，则向右调整工作时间，超声波清洗槽内发出因工作产生的“滋滋”声，说明超声波运行正常。（连续工作时间不得超过1小时）
5.1.4 如需加温（有时），请将温度旋转调至所需温度，温度以40-60度为宜。（正常情况下，不建议加温）
5.2 停止超声波过程
5.2.1 关闭开关至“OFF”关闭位置，超声波运行停止，指示灯熄灭
5.2.2 断开整机电源
5.2.3 倒掉清洗液，用干净抹布对槽体及外围进行清洁保养，用完产品后，将产品放置于阴凉干燥的地方保存以备下次使用。

6 注意事项
6.1 超声波正常运行时，应听得到超声波与槽体谐振的均匀声音，且清洗液表面无激荡，只有空穴爆破引起的水花，如有间断性振荡，请加入些许清洗液或减少些许清洗液，消除振荡有利于清洗物件；
6.2 在保证清洗物件洁净的前提下，尽可能间断性工作（连续工作时间不宜超过30分钟），因为长时间超声使箱内积聚的温度升高，易加速箱内电子器件的老化；
6.3 绝不能使用易燃的清洁剂
6.4 当清洗槽无清洗液时，绝不能开启加热器或超声波
6.5 防止清洗液和水溅入机箱内和震子上；清洗液溅到震子上将会造成机器漏电和短路，同时会造成震子中的晶片烧坏
6.6 如有异物落入槽底应立即取出
6.7 换液或排液时，应在槽中清洗液为常温的情况下进行，且将超声开关置于“关”的位置，拔掉电源插头
6.8 使用后清洗和清除清洗槽中的污垢
6.9 保持机器外表清洁
当机器损坏或超声减弱时，可能就是基于以上原因，请立即停止操作并联络维修人员。
7 设备维修
7.1 机器发生故障时，立即停止使用，联系设备维修人员进行维修
7.2 设备维修方法：到设备商指定维修点进行维修或寄厂维修

低温恒温槽操作规范
文件编号
ZKNT/GL-产品部-08
版本／版次
A／O
生效日期

制 订

审 核

核 准

1 目的
规范生产车间设备低温恒温槽管理维护和保养工作。
2 范围
本标准规定了低温恒温槽的安全要求、维护检修规程及操作规程。
本标准适用于低温恒温槽的操作。
3 设备作业环境要求
保持环境清洁、整齐、电气部分严禁受潮、保持干燥。
4 设备安全要求
4.1 本设备必须可靠接地。如姐弟不正确会导致触电或火灾。
4.2 不要在机器运转过程中拔出电源插头，否则会因为过热而触电或发生火灾。
4.3切勿将手指、棒类或其他异物插入水泵下面，因内部的风扇在高速运转中，若触动转动的风扇，将导致设备损坏或人体伤害。
4.4 若有异常状态（烧焦味等）应立即拔除电源插头使设备停止运转。异常状态持续将会导致过热而引起火灾或触电 。
4.5设备应使用独立的电源插座。
4.6设备在平行移动时，任一方向的倾斜角度应小于45°。否则可导致设备内的制冷压缩机损坏或制冷性异常。
4.7设备在安装后应垂直静止3小时。否则可导致设备内的制冷压缩机损坏或制冷性异常。
4.8严禁带电更换保险丝。
5 设备的操作程序和方法
5.1 操作前的准备工作
5.1.1设备应放置在地面平整、干燥、无阳光直射处，水平放置，离墙离物保持约20cm的距离。
5.1.2配备容量不小于1Kw，交流电压为220V的专用电源插座。
5.1.3将设备电源插头插入220V的专用电源插座，加入冷媒。
5.2 液体介质的选用
5.2.1工作温度低于5℃，液体介质建议选用酒精。
5.2.2工作温度5℃-80℃时，液体介质建议选用纯净水。
5.2.3工作温度80℃-90℃时，液体介质建议选用15%甘油水溶液。
5.2.4工作温度90℃-100℃时，液体介质建议选用油。
5.3 开机前准备
5.3.1加入液体介质，液体介质页面不能低于工作台板10mm。
5.3.2内循环泵连接，将出液管与进液管使用软管连接即可；外循环泵进行外循环连接，将出液管用软管连接在槽外容器进口，将进液管接在槽外容器的出口。
5.3.3将机器电源插头插入电源插座内，打开背面电源开关。
5.3.4按动面板的“电源”按键，仪表测量显示窗显示工作室内当前的温度，在仪表设定窗显示设定温度。
5.3.5如果需要液体循环，按下“水泵”键，开启水泵循环。
5.3.6如果工作温度低于环境温度时，开启“制冷”开关制冷至所需温度。
5.4设定温度参数的操作步骤
按设定键进入温度设定值设定状态。设定值最右边的一位闪烁，此时按动加、减键改变其设定值，如需修改其他位置的设定数值按动移位键，再按动加、减键改变其设定值。设定完成后按动设定键，保存设定参数，次后机器进入自动控制状态。设定的工作温度应高于室温+8℃。
如工作温度低于环境温度+8℃时，按动制冷按键，制冷至所需温度。
如：工作温度所需0℃
打开背部电源总开关，按动电源键，仪表测量显示窗显示工作室内当前的温度，设定窗显示设定温度，按动设定键，设定显示窗，最右边一位闪烁，再按动加、减键，使其改变为0，再按动移位键，使其他几位也改变为0，再按动设定键，仪表进入自动控制状态。按动制冷键，压缩机开始工作。再按动水泵键，循环水泵开始工作。

6保养
1、冷凝器每月清洗一次
2、保持箱内外洁净，经常清理杂物、污迹。

实验室分散机操作规范
文件编号
ZKNT/GL-产品部-12
版本／版次
A／O
生效日期

制 订

审 核

核 准

一、概述
SWFS-400型实验室分散砂磨机是采用外国新技术设计的新产品，该产品集中了搅拌、砂磨、分散多种设备的功能与一体。是目前实验室人员最理想的实验设备。
本设备采用电子恒力调速线路，数字直接显示转轴速度，并配有多种砂磨叶盘、分散搅拌叶片。能适应实验室不同的实验需要，并可根据显示的转轴速度，直接计算搅拌、分散、砂磨叶片的线速度与物料粘度及化学反应速率之间的关系，为大规模投产提供正确的数据。
二、主要技术参数
电动机型号：U400-80/220 400W 220V 0～8000r/min
调速范围：无级恒力调速 0～8000r/min
搅拌分散叶片直径：Φ50mm Φ60mm
砂磨盘直径：Φ45mm Φ60mm
升降行程：250mm
外形尺寸： L×W×H=450*420*760(mm)
三、主要构造
1、本设备采用串激整流子电动机，通过电子恒力无级调速，数字直接显示转轴速度。砂磨叶盘及分散叶片与转轴用螺纹直接连接。
2、简体采用夹套式结构，可通冷却水，用不锈钢材料加工而成。
四、安装
1、将平衡锤安装在链条的螺栓上。
2、两夹持器分别装在固定加上，夹持杆平面向上。
3、将主机上的五芯航空插头于调速器联接（注意缺口方向）。
五、使用与维护
1、使用时将选用的砂磨叶盘或分散搅拌叶片与转轴固定。
2、旋松电机锁紧螺栓，调速转轴与容器的高低位置，夹紧电机及容器，放入物料并盖上容器盖。
3、将调速旋钮调至零位置，打开电源开关，然后调节速度至需要的转速。
4、本电机为串激整流子电机，转动时电刷有火花产生，防爆车间不宜使用。
5、转速大于4000转/分时不宜开空车。
6、当电机电刷长度小于10mm时，应进行更换。

RTS-8型四探针测试仪用户手册
文件编号
ZKNT/GL-检测室-01
版本／版次
A／O
生效日期

制 订

审 核

核 准

1.　概述
RTS-8型数字式四探针测试仪是运用四探针测量原理的多用途综合测量设备。该仪器按照单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国 A.S.T.M 标准而设计的，专用于测试半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)的专用仪器。
仪器由主机、探针测试台、四探针探头、计算机等部分组成，测量数据既可由四探针测试仪主机直接显示，亦可与计算机相连接通过四探针软件测试系统控制四探针测试仪进行测量并采集测试数据，把采集到的数据在计算机中加以分析，然后把测试数据以表格，图形直观地记录、显示出来。用户可对采集到的数据在电脑中保存或者打印以备日后参考和查看，还可以把采集到的数据输出到Excel中，让用户对数据进行各种数据分析。
仪器采用了最新电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。
本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试。
2.　技　术　指　标
2.1 测量范围
　 电阻率：10-4～105Ω.cm；
　 方块电阻：10-3～106Ω/□；
电阻：10-4～105Ω；
电导率：10-5～104s/cm；
可测晶片直径：140mmX150mm (配S-2A型测试台)；
200mmX200mm (配S-2B型测试台)；
400mmX500mm (配S-2C型测试台)；
2.2 恒流源
电流量程分为 1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调；
2.3 数字电压表
　 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　　
分辨力：10μV；
输入阻抗：＞1000MΩ；
精度：±0.1%；
显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；　　
2.4 四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；
针间绝缘电阻: ≥1000MΩ；
机械游移率: ≤0.3％；
探针：碳化钨或高速钢材质，探针直径Ф0.5mm；
探针压力：5～16 牛顿(总力)；
2.5 四探针探头应用参数
见探头附带的合格证，合格证含三参数项：
C：探针系数； F：探针间距修正因子； S：探针平均间距；
2.6 模拟电阻测量相对误差（按 JJG508-87 进行）
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±１字；
2.7 整机测量最大相对误差
(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试)≤±5％；
2.8 整机测量标准不确定度≤5％；

2.9 外型尺寸（大约）
电气主机: 460mm×320mm×100mm；
S-2A型测试台: 190mm×140mm×260mm；
S-2B型测试台: 300mm×210mm×400mm；
S-2C型测试台: 500mm×400mm×350mm；
2.10 仪器重量（大约）
电气主机: 3.5kg；
S-2A型测试台: 2kg；
S-2B型测试台: 2.5kg；
S-2C型测试台: 4kg；
2.11 标准使用环境
温度:：23±2℃；
相对湿度：≤65％；
无高频干扰；
无强光直射；
*.注意:使用1μA量程时，允许有小于1.0nA的空载电流.最好在相对湿度小于50%时使用。
3．测 量　原　理
将四根排成一条直线的探针以一定的压力垂直地压在被测样品表面上，在 1、4 探针间通以电流 I(mA)，2、3 探针间就产生一定的电压 V(mV)(如图1)。测量此电压并根据测量方式和样品的尺寸不同，可分别按以下公式计算样品的电阻率、方块电阻、电阻：
图１.直线四探针法测试原理图
↓
V
1
2
3
4
↑

①. 薄圆片(厚度≤4mm)电阻率：
F（D/S）╳ F（W/S）╳ W ╳ Fsp Ω·cm …(1)
其中：D—样品直径，单位：cm或mm，注意与探针间距S单位一致；
S—平均探针间距，单位：cm或mm，注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；
W—样品厚度，单位：cm，在F(W/S)中注意与S单位一致；
Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；
F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时，F(D/S)=4.532，有限直径下的F(D/S)由附表B查出：
F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S<0.4时，F(W/S)=1；W/S>0.4时，F(W/S)值由附表C查出；
I—1、4探针流过的电流值，选值可参考表5.2(第6页表5.2)；
V—2、3探针间取出的电压值，单位mV；
②. 薄层方块电阻Ｒ□：
Ｒ□＝ F（D/S）╳F（W/S）╳ Fsp Ω/□ …(2)
其中：D—样品直径，单位：cm或mm，注意与探针间距S单位一致；
S—平均探针间距，单位：cm或mm，注意与样品直径D单位一致(四探针头合格证上的S值)；
W—样品厚度，单位：cm，在F(W/S)中注意与S单位一致；
Fsp—探针间距修正系数(四探针头合格证上的F值)；
F(D/S)—样品直径修正因子。当D→∞时，F(D/S)=4.532，有限直径下的F(D/S)由附表B查出：
F(W/S)—样品厚度修正因子。W/S<0.4时，F(W/S)=1；W/S>0.4时，F(W/S)值由附表C查出；
I—1、4探针流过的电流值，选值可参考表5.1(第6页表5.1)；
V—2、3探针间取出的电压值，单位mV；
①双面扩散层方块电阻Ｒ□
可按无穷大直径处理，此时F(D/S)=4.532，由于扩散层厚度W远远小于探针间距，故F(W/S)=1，此时
Ｒ□=4.532Fsp
②单面扩散层、离子注入层、反型外延层方块电阻
此时F(D/S)值应根据D/S值从附表C中查出。另外由于扩散层、注入层厚度W远远小于探针间距，故F(W/S)=1，此时有
Ｒ□＝ F（D/S）Fsp
③. 棒材或厚度大于 4mm 的厚片电阻率ρ：
当探头的任一探针到样品边缘的最近距离不小于 4S 时，测量区的电阻率为：
Ω·cm …(3)
其中：C＝2πS为探针系数，单位：cm (四探针头合格证上的C值)；
S 的取值来源于:1/S=（1/S1 +1/S3 –1/(S1+S3) –1/(S2+S3)），S1为(1-2)针、S2为(2-3)针、
S3 为(3-4)针的间距，单位：cm；
I—1、4探针流过的电流值，单位mA,选值可参考表5.2(第6页表5.2)；
V—2、3探针间取出的电压值，单位mV；
④. 电阻的测量：
应用恒流测试法，电流由样品两端流入同时测量样品两端压降。样品的电阻为：
Ω …(3)
其中：I—样品两端流过的电流值，单位mA,选值可参考表5.2(第6页表5.2)；
V—样品两端取出的电压值，单位mV；
仪器电气原理如下图所示
220V
电源
滤波
(一)
滤波
稳压(二)
恒流
电流选档换向控制
样品测试
A/D
转换
显示
并行通讯接口
计算机
显示器
打印机

4．仪　器　面 板　说　明
RTS-8型四探针测试仪主要由主机(电气测量装置)、测试台、计算机组成，三部分独立放置，通过连接线联接。该四探针测试仪亦可脱离计算机单独使用。

仪表前面板说明W2
W1

U
K1
K2
K3
K4
K5
L
P
K10
K9
K8
K7
K6

项目
说明
K1,K2,K3,K4,K5,K6
测量电流量程选择按键，共6个量程,当按相应的量程时，此量程按钮上方的指示灯会亮。
K7
“R□ /ρ”测量选择按键，即是测量样品的方块电阻还是电阻率的选择按键，开机时自动设置在“Ｒ□ ”位。按下此按键会在这两种测量状态下切换，按键上方的相应的指示灯会亮表示现处的测量类别。
K8
“电流/测量“方式选择按键，开机时自动设置在“I”位；按下此按键会在这两种模式下切换，按键上方的相应的指示灯会亮表示现处的状态