静电防护管制指引.doc

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首次发行

30/11/2011

静电防护管制指引
1. 目的

建立ESD控制规范,以满足产品的静电防护要求,从而保证产品质量.

2. 范围

适用于PNP车间静电防护与管理.

3. 职责

3.1 设备工程部: 负责静电接地系统、 ESD接地铜线的建立与维护.
3.2 品质部: 负责本程序的维持与督导执行以及静电席、静电地板、静电推车、静电接地铜线以及相关防静电设施的定期检查,并负责温湿度检查与控制以及新锋电子厂人员ESD培训考核.
3.3 工程部: 安装、维护静电地线、静电台(地)垫,静电带的管理,静电检测仪器的维护.协助设备工程部安装、维护防静电接地系统、ESD接地铜线.
3.3 校准实验室:负责对静电检测仪器和温湿度检查仪器进行校准工作.
3.4 生产、品质、工程和PMC各部:负责本部防静电手带、静电脚带及防静电鞋的测试.

4. 定义

ESD:是指Electrostatic Discharge的英文缩写. 当两种材料一起摩擦,一种丢失电子,而
另一种则收集电子;前者正在充电,而后者则负充电.静电是一个物体上的非移动的充电.如果有机会,该物体将放掉充电,又回到中性.这种充电释放就是ESD.

5. 程序

5.1 防静电控制范围及标示
5.1.1 防静电控制范围包括需静电防护的所有部品、半成品及成品的储存、运输、生产及包装.
5.1.2 凡生产需要防静电保护产品的部门都必须设立防静电保护区,并有明显的防静电标示;对所有需作静电防护的区域用黄黑色的斑马线标示,同时还需挂有静电防护标记图标(如下页):

防静电保护区
5.2 防静电用品
a. 静电手带;
b. 防静电鞋;
c. 防静电手套;
d. 防静电烙铁;
e. 防静电席;
f. 防静电地砖;
g. 防静电接地线;
h. 防静电箱;
i. 防静电袋;
j. 防静电龙船板;
k. 防静电推车;
l. 防静电治具;
m. 防静电架;
n. 防静电Feeder车;
o. 防静电保护屏;
p. 防静电袖套等.

5.3 部品、半成品、成品的防静电管理
5.3.1 防静电物品类别
a. IC;
b. PWBA半成品或成品;
c. 晶体组件;
d. BGA.
5.3.2 需要防静电的部品在使用过程中,必须用防静电盘(或袋或箱或架)装存.
5.3.3 暂时存放的防静电部品、半成品或成品,必须存放在防静电箱内,并以防静电盖覆盖.
5.3.4 PWBA半成品或成品应使用防静电包装材料储存和运输.
5.3.5 在制品与成品应放置在具有防静电保护措施的传送带、台垫或地垫上.
5.3.6 装部品、成品的防静电袋或箱在投入使用前应检查是否有破损并检测其阻抗是否在规定要求范围内,如有不合格要求,则需修理好或重新更换后方可使用,不能维修的由使用部门统一作报废处理.
5.3.7 已拆封的IC部品必须保存在防静电的盘或管中,而对其它静电敏感组件必须保存在防静电的袋中,再放置于有静电接地的防静电席上.

5.4 人员的防静电管理
5.4.1 凡从事有防静电操作的人员必须穿防静电鞋、佩带防静电手带,在进入生产车间时须检测防静电鞋、防静电手带性能是否良好,保证手带与防静电接地线可靠地连接,并且手带不能戴在手套或其它工具上,必须和皮肤直接接触;在进入PNP车间时,各相关人员必须通过静电消除器消除身体上的静电,从而避免人为原因对产品产生影响.
5.4.2 进入无尘车间工作的人员均需穿戴防静电衣帽,穿静电鞋,必要时还需着防静电袖套.
5.4.3 未带有防静电手套及接地良好的防静电手带,严禁拿PWBA半成品或成品.

5.5 防静电测量仪器
5.5.1 静电测量表用来评估新锋电子厂需防静电的部品、半成品及成品所处的特定区域是否需要设立防静电保护区.
5.5.2 型静电表面阻抗测试仪用来测试防静电席、静电地砖以及防静电推车的有效性.
5.5.3 指针式万用表和数字万用表来测试烙铁接地的有效性.
5.5.4 防静电手带测试仪用来检查防静电手带之有效性.
5.5.5 接地电阻测试仪或万用表用来检测静电消除器以及防静电接地线或接地系统的有 效性.
5.5.6 防静电仪器的计量由校准实验室按年度计划结合仪器的调校期进行,其调校记录由校准实验室保存.

5.6 防静电需求环境
5.6.1 场区相对湿度:30%~60%.
5.6.2 场区温度:18℃~28℃.
5.7 防静电设施的点检与检测
7.1 静电席表面电阻的检测
5.7.1.1 测试工具: 静电表面阻抗测试仪
5.7.1.2 测试频率: 1次/周
5.7.1.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.1.4 测试标准: 1MΩ/Sq-1000MΩ/Sq
5.7.1.5 品质部每周使用 “静电表面阻抗测试仪”,对所使用的防静电工作台或静电席表面电阻进行检测,并记录其结果在《静电席表面电阻测试记录表》上,若不合格应及时通知工程部进行检查修理;具体测试步骤与方法参考《表面阻抗测仪操作指引》.

5.7.2 烙铁接地电阻与漏电压的检测
5.7.2.1 测试工具: 指针式万用表和数字万用表
5.7.2.2 测试频率: 每班一次
5.7.2.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.2.4 测试标准: 接地电阻< 1Ω(烙铁在使用时接地电阻< 20Ω) 漏电压 <0.1V
5.7.2.5 品质部每班次应使用“指针式万用表”和“数字万用表”检查烙铁接地电阻和烙铁漏电压的大小,并记录检查结果在《烙铁接地电阻、电压检查表》上;具体测试步骤与方法参考《烙铁接地电阻与漏电压检测指引》.

5.7.3 防静电地砖的检测
5.7.3.1 测试工具: 静电表面阻抗测试仪
5.7.3.2 测试频率: 每半年一次
5.7.3.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.3.4 测试标准: <1MΩ
5.7.3.5 品质部每半年检查一次导电性地砖的表面对地阻抗, 并记录检查结果在《防静电地砖检查记录表》; 具体测试步骤与方法参考《防静电地砖检查操作指引》
5.7.4 静电手带的检测
5.7.4.1 测试工具: 防静电手带测试仪
5.7.4.2 测试频率: 每班一次
5.7.4.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.4.4 测试标准:
5.7.4.5 a. 将防静电手带正确佩戴于使用者的手上测试, 可接受的阻值范围是500KΩ~10MΩ.
5.7.4.6 b.将防静电手带正确佩戴于使用者的手上测试, 可接受的阻值范围是750KΩ~10MΩ
5.7.4.7 相关员工每班次应使用“防静电带测试仪”检查防静电带之阻抗,并将检查结果记录在《静电带测试记录表》、上, 若不合格时,应更换之; 具体测试步骤与方法参考《PNP静电带手带检查指引》
5.7.5 下图为防静电接地线测量点订定示意图

台面1或靜電席1
3
ESD專用接線箱中銅條

R=1M±10%欧
主
銅
板
台面2或靜電席2

2
1

R=1M±10%欧

台面X或靜電席X

R=1M±10%歐

静电接地

5.7.9 ESD接地铜线的检测
7.9.1 测试工具: 万用表
7.9.2 测试频率: 每月一次
7.9.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
7.9.4 测试标准: <1Ω
7.9.5 品质部每个月应对生产线ESD接地铜线与ESD专用接线箱中铜条,即上图
1
标示 之间的电阻进行检查,并将检查结果记录在《ESD接地铜线检查表》上,若不合格应及时检查修理;
5.7.10 防静电接地系统的检测
5.7.10.1 测试工具: 接地电阻测试仪
5.7.10.2 测试频率: 每半年一次
5.7.10.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.10.4 测试标准: <1Ω
5.7.10.5 设备工程部每半年应对接线箱中铜条与大地之间的阻值进行测量,即上图标
2
示 ,并记录在《防静电接地系统检查表》中;
5.7.11 静电地线的检测
5.7.11.1 测试工具: 万用表
5.7.11.2 测试频率: 每天一次
5.7.11.3 测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.11.4 测试标准: 1±10%MΩ
5.7.11.5 测试方法
a. 将万用表的红表笔插入“+(Ω)”端,黑表笔插入“⊥(COM) ”端.
b. 将万用表的功能转换旋钮旋到奥姆档的“2M”位.
c. 将静电地线夹子从铜在线取下.
3
d. 打开万用表的电源开关,用万用表的两表笔分别充分接触工作台静电席与静电地线的接触钮和静电地线的夹子(如图标示 ).
e. 读出万用表显示数值稳定时的读数.
f. 将各个测试点的检测值记录在《静电地线测试记录表》.
g. 将静电地线夹子重新夹在ESD接地铜在线.
5.7.11.6异常处理
在测量过程中如电阻值无穷大,表明静电地线断路或未接地,如小于0.6MΩ表明静电地线与电源地线接在一起或短路.发现静电地线损坏和电阻值不符合要求,及时知会生产工程部检修。
5.7.12. 防静电物品(周转架,周转箱,龙船架,椅子)的检测:
5.7.12.1.测试工具: 表面阻抗測試儀(STATICO S2010)和表面靜電測量表(3M718)
5.7.12.2.测试频率:每月一次
5.7.12.3.测试环境: 温度18-28℃;湿度30-60%RH
5.7.12.4.测试标准:表面电压:. <±100V/INCH 表面电阻: 104~109Ω
5.7.12.5.品质部每月应对在线物品(周转架,周转箱,龙船架,椅子)防静电进行测试, 将S2010平放在被测物表面压平實,按住测试按钮,此时指针所指值为表面电阻值. 将靜电测量表ON/OFF开关置於ON状态﹐並且将其置於SAMPLE模式﹐把靜电测量表放在有接地的金屬表面 1 INCH处调"ZERO"旋钮﹐使显示读数为"0".为保证测量准确﹐在置零和测试时﹐必須将静电测量表接地带接地﹐作业時, 尽量避免沖擊和振动.
5.7.12.6注意事项
a. 测试中不要将万用表两表笔短接,避免损坏万用表
b. 测试开始时要确认万用表在校验有效期内

6. 流程图
(无)

7. 记录
7.1 《静电席接地电阻测试记录表》 SDU-FM-Q051
7.2 《烙铁接地电阻测试记录表》 SDU-FM-Q037
7.3 《静电地线测试记录表》 SDU-FM-Q016
7.4 《机器设备接地电阻测试记录表》 SDU-FM-Q145
7.5 《静电带测试记录表》 SDU-FM-Q038

8. 附件
无

9. 参考文件

9.1 《PNP静电带检查指引》 SDU-IN-Q0214
9.2 《环境控制测试指引》 SDU-IN-Q0213
9.3 《3M718型静电测量操作指引》 SDU-IN-Q0166
9.4 《万用表测烙铁接地电阻指引》 SDU-IN-Q40165
9.5 ESD Association Standard ANSI/ESD-S20.20-1999

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文号

管制印章
静电防护管制指引
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日 期
30/11/2011
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