EVO18技术说明.doc

Carl Zeiss SMT

钨灯丝扫描电镜技术文件

仪器型号：EVO 18

2009年6月3日

目 录

附件一、品牌介绍

附件二、设备用途

附件三、技术指标

附件四、供货范围及报价

附件五、计划进度及培训

附件六、环境要求

附件七、质保及其它服务

附件一： 聚焦·CARL ZEISS

世界可见光及电子光学的领导企业----德国蔡司公司始创于1846年。其电子光学前身为LEO（里奥）,更早叫Cambridge（剑桥）和Zeiss。积扫描电镜领域40多年及透射电镜领域60年的经验，ZEISS电子束技术在世界上创造了数个第一：
Ÿ  第一台静电式透射电镜 (1949)
Ÿ  第一台商业化扫描电镜 (1965)
Ÿ 第一台数字化扫描电镜(1985)
Ÿ  第一台场发射扫描电镜(1990)
Ÿ  第一台带有成像滤波器的透射电镜 (1992)
Ÿ  第一台具有Koehler照明的 200kV 场发射透射电镜(2003)
Ÿ  第一台具有镜筒内校正Omega能量滤波器的场发射透射电镜(2003)
CARL ZEISS其前瞻性至臻完美的设计融合欧洲至上制造工艺造就了该品牌在光电子领域无可撼动的王者地位。自成立至今，一直延续不断创新的传统，公司拥有广泛的专有技术，，随着离子束技术和基于电子束的分析技术的加入、可为您提供钨灯丝扫描电镜、场发射扫描电镜、双束显微镜(FIB and SEM)、透射电子显微镜等全系列解决方案。。其产品的高性能、高质量、高可靠性和稳定性已得到全世界广大用户的信赖与认可。作为全球电镜标准缔造者的CARL ZEISS将一路领跑高端电镜市场为您开创探求纳米科技的崭新纪元。

Carl Zeiss SMT下属的纳米技术系统部在北京，上海，广州，鞍山设有营销公司和维修服务站，致力于蔡司电镜的技术咨询，销售和售后服务工作。

附件二：
设备主要用途
扫描电镜是以电子束作为光源，电子束在加速电压的作用下经过三级 电磁透镜，在末级透镜上部扫描线圈的作用下，在试样表面做光栅状扫描，，产生各种同试样性质有关的物理信息（如二次电子，背反射电子），然后加以收集和处理，从而获得表征试样形貌的扫描电子像。
扫描电镜（SEM）广泛地应用于金属材料（钢铁、冶金、有色、机械加工）和非金属材料（化学、化工、石油、地质矿物学、橡胶、纺织、水泥、玻璃纤维）等检验和研究。
在材料科学、金属材料、陶瓷材料半导体材料、化学材料等领域，进行材料的微观形貌、组织、成分分析。各种材料的形貌组织观察，材料断口分析和失效分析，材料实时微区成分分析，元素定量、定性成分分析，快速的多元素面扫描和线扫描分布测量，晶体/晶粒的相鉴定，晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量。
选配附件：
能谱仪：即X射线能量色散谱仪,简称EDS主要是用来分析材料表面微区的化学成分,分析方式有定点定性分析、定点定量分析、元素的线分布、元素的面分布。
波谱仪：(即X射线波长色散谱仪,简称WDS)，用作微区成分分析。分析精度方面比能谱仪精度更高，可以做成分的定量分析。
EBSD(电子背散射衍射仪)：EBSD主要可做单晶体的物相分析,同时提供花样质量、置信度指数、彩色晶粒图,可做单晶体的空间位向测定、两颗单晶体之间夹角的测定、可做特选取向图、共格晶界图、特殊晶界图,同时提供不同晶界类型的绝对数量和相对比例,即多晶粒夹角的统计分析、晶粒取向的统计分析以及它们的彩色图和直方统计图,还可做晶粒尺寸分布图,将多颗单晶的空间取向投影到极图或反极图上可做二维织构分析,也可做三维织构即ODF分析。
离子溅射仪：样品镀覆导电膜（金膜），喷碳，使绝缘材料能够导电，是配合扫描电子显微镜制样必备的仪器。

附件三：技术指标
EVO18是一台高性能、功能强大的高分辨应用型扫描电子显微镜。系统采用多接口的大样品室和艺术级的物镜设计，提供高真空成像功能，可对各种材料表面作分析。并且具有业界领先的X射线分析条件，样品台为五轴全自动控制。标准的高效率无油涡轮分子泵满足快速的样品更换和无污染成像分析。
主要参数：
1.光学系统
1.1、光源：钨灯丝。预对中式灯丝，灯丝具有自动加热、自动对中功能。
1.2、聚焦：具有手动及自动聚焦功能。
1.3、光阑：三级可调物镜光阑。
*1.4、加速电压：200V－30kV，10V步进连续可调。
1.5、图像电平移：±50µm。
*1.6、放大倍数：5×~1000,000×，连续可调。
*1.7、分辨率：高真空二次电子像=3.0nm（30kV）；
低真空背散射电子像=4.0nm（30kV）。
*1.8、探针电流范围：0.5 pA~5 μA，连续可调。
1.9、聚焦工作距离：2mm~145mm。
2.0、电子束气体路径长度：＜2mm。

2、真空系统
*2.1、真空泵系统：涡轮分子泵+机械泵，不需要冷却水。
2.2、真空度：最高真空度：优于0.1mPa；
低真空压力范围：10Pa~400Pa。
2.3、在低真空条件下，保持8.5的工作距离，并且可以做能谱分析。

3、样品系统
*3.1、样品室内部尺寸： 365mm(φ)×275mm（h）。
*3.2 可放置的最大样品尺寸：直径250mm，高度145mm
3.3、最大允许样品重量：不小于5kg。
*3.4、样品台移动方式：五轴马达驱动。
*3.5、样品台移动范围：X 125mm, Y 125mm, Z 50mm,0°~+90°倾斜，360°旋转 。
3.6、样品台移动精度：重复性<2 µm；最小步长<100nm；漂移<40nm/6min。
3.7、样品台具有接触报警与自动停止功能。
3.8、具备样品位置感知功能。

4、 探测器系统
*4.1、具备高真空二次电子探测器。
4.2、具备背散射电子探测器。
4.3、具备X射线能谱仪接口。
4.4、探测器成像模式：同时对二次电子和背散射电子成像，并可在一种图像中任意位置显示另外一种图像。
4.5、扫描方式：全屏、选区、定点、线扫描、线轮廓、扫描旋转、倾斜补偿。
4.6、整机系统控制要求独立控制单元，为检修提供方便。
图像解析度： 3072x 2304 扫描点阵
操作系统： WindowsXP 以及简单友好的SmartSEM扫描电镜操作控制软件
显示器：19" TFT
5、X射线能谱仪
5.1、探测器制冷方式：电制冷型。
5.2、探测器：硅漂移探头。
5.3、有效探测面积：不少于10mm2。
5.3、100,000cps时的能量辨率：Mn Ka：≤133eV
F Ka：≤66eV
C Ka：≤56eV
其 它：≤133eV
6.4、元素探测范围：B（5）~Am（95）
6.5、最大输入计数：>3,000,000cps
6.6、最在输出计数：>1,100,000cps
注：如配热台样品台XY轴移动范围必须大于100MM
附件四、
供货范围及报价

Item
Sale Code
Description
1
EVO-18-BU

Basic Unit EVO 18. Tungsten emission system, air admittance to 400 Pa, 5-axis motorised stage with software joystick, SE-detector, and multilingual Win XP Pro
EVO 18主机。钨灯丝发射系统，低真空工作可达400Pa，带有软件操纵杆的5轴马达驱动计算机居中样品台，二次电子探测器， Win XP Pro操作系统。
2
19TFT
19" colour flat panel display monitor
19 寸彩色液晶显示器
3
JOYSTICK
Styled Dual Joystick Controller
双轴遥感操作器
4
CONTROLPANEL-UK
Control panel with rotary controls and keyboard. UK English
旋钮操作控制面板
5
CHAMBERSCOPE
Chamber scope with IR illumination displayed to full screen (stage door mounted)
具有红外照明、全屏幕显示的样品室观察系统（CCD)
6
CENTRE
Centre Point and Centre Feature. To bring a point, or area, to the centre of the field of view.
中心点和中心特征功能。
7
EVO-FISHEYE
OptiBeam mode for very low magnification imaging during navigation.
鱼眼模式用于低倍率观察
8
LM-4QBSD
LM 4QBSD-1kV 16 mm diode.
背散射电子探测器
9
EXTIF
External scan input and video output cable. Includes Remote Control using RS232 (REMCON)
能谱接口
10
EDX
牛津XMAX-20电制冷能谱仪
11
MPSH
Multi purpose sample holder
多用途样品托
12
EVO-SPECIMEN-PREP
Specimen preparation kit (Including UPS)
样品准备工具。
13
Parts
其他附件耗材
灯丝3盒(10支)
碳导电胶5卷, 机械油2瓶,真空脂一支.

总计：
26万美金

附件五、
计划进度及培训

Attachment 5 : Plan & Training
交货期为收到L/C后四个月.
System delivery: 4 months after receipt of L/C

供方与需方配合进行：

1． 设备到达需方地址后，供方在接到需方安装通知十四日内派工程师到达现场进行安装调试。
After system arrives, seller will start installation within 14 days upon arrival notification.
2． 安装调试完毕后，马上对用户人员进行培训。
After completion of installation, on-site training will commence.
培训内容： - 电镜及附件的操作 Microscope Basic Operation
- 电镜及附件的日常维护 Microscope daily maintenance
- 样品观测、分析、获取图象Sample Analysis and image taking
3． 培训时间3-5天或可针对用户情况延长时间。
Standard training takes minimum one week and can be extended if necessary.

附件六、
环境要求

Power 100-240V 50/60 Hz Single Phase
电源 100-240V 50/60 Hz 单相

Consumption 2kVA – 3kVA (dependent on accessories fitted)
功耗 2kVA – 3kVA（取决于安装的附件）

The incoming single-phase supply should preferably be a spur that feeds the SEM. A 13Amp power socket will be required for the SEM, plus one for the rotary pump (two if the system is an EP with two rotary pumps). Power sockets for accessories should be connected to the same phase. It should not supply neighboring equipment likely to generate an abnormal amount of line-borne interference. A safety ground of less than 0.25Ω to earth is required. A 5-meter long earth cable is supplied with the EVO and should be connected to a separate M8 earth stud.
进来的单相电源最好是供给SEM的支线。对于SEM需要一个13安培的电源插座，另加一个用于旋转泵的插座（如果系统是带有两个旋转泵的EP，则另加两个插座）。用于附件的电源插座应连接到同一相上。它应不供给附近可能产生异常干扰的仪器。需要一个小于 0.25Ω 接地电阻的保护接地。一根 5 米长的接地线与 EVO 一起提供，并将连接到独立的 M8 地线螺栓上。

Ambient Temperature
环境温度
20-30ºC. It is recommended that for operator comfort the room temperature is maintained between 22º and 24º Deg C.
20-30ºC。为了操作者的舒适，建议室温保持在22ºC和24ºC之间

Relative Humidity
相对湿度
Less than 65%
小于 65%

Compressed Nitrogen
压缩氮气
Dry nitrogen is highly recommended for chamber and pump ventilation during specimen exchanges. The minimum pressure should not be less than 0.2 bar; otherwise, ventilation time for the chamber would be too long. The maximum pressure must be limited to 0.3 bar. With the chamber opened nitrogen consumption is approximately 3 l/min. at 0.2 bar above ambient pressure. The purity of the nitrogen should be about 99.996%. The pipe supplied is 4mm internal diameter and 6mm external diameter.
强烈建议，在样品更换期间用干燥的氮气对样品室与真空泵进气。最低压力应不小于 0.2 bar；不然，对样品室进气时间将太长。最大压力必须限制在 0.3 bar。在高于周围压力 0.2 bar 时，在样品室打开时氮气的消耗量大约是 3 l/min。氮气的纯度应约为 99.996%。提供的管子为 4mm 内径和 6mm 外径。

Rotary Pump Exhaust
旋转泵排气
The rotary pump produces oil mist during pump down, this can contaminate the environment and create a health hazard when used in enclosed surroundings. The oil mist filter supplied and /or an external exhaust must be connected to the rotary pump. The pipe should be a plastic tube with an inner diameter of 10 mm.
在抽真空期间，旋转泵产生油雾，在封闭环境中使用时，它能污染环境并危害健康。旋转泵上必须连接提供的油雾过滤器和/或外部排气。管子应为内经为10mm的塑料管。

Vibration
震动
Velocity level:
速度水平：
Less than 6 µm/sec rms. from 0-30Hz.
Less than 12 µm/sec rms. above 30 Hz.
Measurement directions: X Y and Z
小于 6 µm/sec rms。从0-30Hz。
小于 12 µm/sec rms。30 Hz以上。
测量方向：X、Y、Z

Stray Magnetic Field
杂散磁场
The maximum permissible stray field in the room is 3 x 10-7 T (peak to peak) =3 mG (peak to peak).
室内最大允许杂散磁场为 3 x 10-7 T（峰-峰值）= 3 mG（峰-峰值）。

The environmental and utility requirements are the responsibility of the customer and shall be provided at the time of installation. Failure to comply with these conditions may adversely affect the performance figures quoted in this specification.
环境与实用要求是用户的责任，并应在安装时提供。如果不满足这些条件，可能会对技术规格中给出的性能产生不利的影响。

ZEISS Technical Support will be happy to suggest suppliers of anti-vibration platforms and AC field cancellation systems should these be required.
ZEISS技术支持建议使用减震台和 AC 磁场消除系统。

尺寸及重量：

The following data is provided as a guide only: -
下面提供的数据只作为指导：-

The ZEISS EVO® is supplied in two containers.
ZEISS EVO® 用两个包装箱来提供。

Container 1: Re-Usable Wooden Box
包装箱 1：可重复使用的木箱

Overall Dimensions
整体尺寸

140cm x 122cm x 135cm
Overall Weight
整体重量

110kg

Container 2: Cardboard box on Euro Pallet
包装箱 2：欧洲推荐的硬纸板箱

Overall Dimensions
整体尺寸

191cm x122cm x 110cm

Overall Weight
整体重量

102kg

Plinth Un-crated
基体（无包装）

Overall Dimensions
整体尺寸

98cm deep x 78.4cm wide x 158cm high
98cm 深 x 78.4cm 宽 x 158cm 高
Overall Weight
整体重量

600kg

附件七、 质保及其它服务

ZEISS在中国境内的维修保养部是直接由ZEISS亚洲新加坡总部负责。所有维修保养工程师都经过ZEISS工厂培训。目前维修部的结构如下：
Service Support in China will be directly by Zeiss Singapore. All service engineer are factory trained. Service support structure as follows:

1． 固定维修站： 在北京有2位维修工程师、无锡有3位维修工程师， 上海有1位维修工程师及1位应用专家，广州有2位维修工程师.向目前ZEISS的用户提供服务。
Service location: 2 Field Service Engineers in Beijing
3 Field Service Engineers in Wuxi
1 Field Service Engineer in Shanghai
1 Application Specialist in Shanghai
2Field Service Engineers in GUAMGZHOU
2． 流动维修站： 目前在新加坡有4位资深工程师及4位维修工程师，如有需要将随时协助ZEISS中国境内工程师包括安装、检修工作等，以弥补由于ZEISS用户数量短期内的急剧增加而需要的安装调试及维修工作。
Service Backup: 4 Senior Service Specialists and 4 Service Engineers from Carl Zeiss SMT Pte Ltd, Singapore will support in emergency situations.

3． 远程遥控服务：根据我们多年在世界各地的经验，80%以上用户提出的“技术问题”都是由于用户本身，特别是电镜新用户还没有完全熟练掌握电镜的操控，或对于某些样品的测试方式不熟悉而产生的，并非电镜本身出现故障。针对此点，我们设立了远程遥控技术服务，我们的技术人员每天24小时提供热线电话技术服务，即时协助、解答操作员提出的问题
Hot Line support: Service engineers are reachable 24 h by phone to cover operator problems due to unfamiliarity with the system.

4． 紧急维修服务：收到用户书面维修通知后，24小时内我方维修人员赶抵现场进行有关的维修工作，尽快恢复设备的正常运作。
Emergency support: Upon written notice, service engineer will be available on-site within 24working hours.

5． 零备件 ： 为了保障设备的正常运作，缩短维修的时间，ZEISS将储存零备件于上海，它将包涵ZEISS电镜重要的备换件。如需要由海外ZEISS总厂或ZEISS新加坡备件中心空运零配件，运输时间将不超过 8个工作日。
Spare Parts: Critical Spare Parts will be kept in store in Carl Zeiss Shanghai. Parts which are not on stock can be shipped within 8 working days.

6. 维修保证 ： 对于所有ZEISS SEM产品，供方将提供技术维修服务和最少10年的备件供应。
Part availability: All spare parts are available minimum for 10 years

7. 升级保证 ： 在硬件允许的条件下，保证软件免费升级。
Upgradebility: Software upgrades are provided free of charge as long as no additional hardware or hardware modification is involve
Attachment-13/14
瑞士ARL