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马鞍山中弘光伏有限公司

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丝网印刷操作规范以及常见问题处理

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1.0

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丝网印刷操作规范以及常见问题处理

页数：

一、目 的
确保硅片经过丝网印刷后，背电极、背电场、正电极达到丝网印刷工艺标准。
二、 适用范围
产品型号： M156、
3.职责权责（规定工艺文件的权责）
3.1所有人员都必须严格按照本文件规定的工艺控制文件进行操作；
3.2生产系统负责标准的实施、反馈和问题的解决；
3.3质量部负责标准的检查、监控和反馈，出具质量报告；
3.4 技术部负责标准的制定、更新和抽查，接受生产系统和质量中心的反馈信息。
4. 工艺流程 :
上一道工序
生产部

生产部

PECVD

上料

三道印刷
检查
正面试印刷
检查
背场试印刷
检查
背极试印刷

烧结

二.操作规范
一.浆料使用要求：
1、背极银浆、正面电极银浆使用前需要在滚筒搅拌机上搅拌24小时。铝浆也需要搅拌1个小时以上，但是必须三道浆料分开搅拌，不能混搅。使用前正极银浆还需要水浴。
2、开盖使用三道浆料时，还需要手动用上浆料铲刀搅拌一会。
3、使用前需要仔细查看浆料型号，避免错用浆料。
目前工艺要求：
第一道使用的浆料是：FERRO 33612
第二道使用的浆料是：儒兴8252
第三道使用的浆料是：贺利氏9235
4、加完三道浆料，应在浆料桶边缘刮干净上料铲刀上的浆料，并及时盖上浆料桶的盖，擦干净浆料桶四周与上料刀。对于第三道银浆需要及时放回水浴槽继续水浴。
5、加浆料的原则：少量多次、以能覆盖住印刷图案为宜。
二.网板的擦拭要求：
1.上新网版时，必须用无尘布酒精擦拭一遍。
2.在生产连续的状况下，原则上不需要擦网版，不得不擦时，用无尘布在手上展开，顺着细栅、电极方向均匀地来回擦拭。
3.对于第三道的断栅、虚印、白点、粗线等不良，先用干的无尘布擦拭，不行时再用无尘布蘸松油醇擦拭。
4.对于第二道印刷，用无尘纸擦就好，无需用无尘布。
三、背电极
1、取镀好膜的硅片时，先看清流程单上是否有特别标注，若为特别标注批次，必须得到工艺人员的确认才能向下流转。
2、把硅片放入丝网承载器时需确认PEVCD的挂钩印方向是否在与背电极垂直的一边上。
3、倒入浆料需要注意适量，浆料在回料的时候必须能完全覆盖整个印刷图形，且回浆刀到达最里端时，整个刀面必须有浆料流下。但也不允许把网板整面都铺满浆料。
4、印刷中间添加浆料时必须先搅拌3分钟，再添加适量的浆料。且添加完浆料要盖紧瓶盖，并把瓶口周围的做好清理。
5、更换刮条时，必须先确认整个侧面是否平整或有无缺口，且要彻底清洁整个刮头，不能有干的浆料在其表面。
6、在第1道使用的任何器件（如刮头）不允许拿到第2、3道使用。
7、浆料铲刀用完需立即做清理，保持悬挂在设备侧面的铲刀表面无浆料。
8、台面纸只要粘有浆料必须立即做出更换。
9、背电极网板小三角出现漏浆，不允许用胶带进行粘贴后，再印刷。必须立即做更换。
10、烘箱托盘上不能有碎片存在，必须做好及时清理工作。
11、做好设备表面及内部的5S清洁工作。
12、印刷重量必须保证在0.08-0.1g之间，若超出范围立即通知工艺人员进行调整。（每批称重1片）
四、背场
1、倒入浆料需要注意适量，浆料在回料的时候必须能完全覆盖整个印刷图形，且回浆刀到达最里端时，整个刀面必须有浆料流下。但也不允许把网板整面都铺满浆料。
2、印刷中间添加浆料时必须先搅拌3分钟，再添加适量的浆料。且添加完浆料要盖紧瓶盖，并把瓶口周围的做好清理。
3、更换刮条时，必须先确认整个侧面是否平整或有无缺口，且要彻底清洁整个刮头，不能有干的浆料在其表面。
4、在第2道使用的任何器件（如刮头）不允许拿到第1、3道使用。
5、浆料铲刀用完需立即做清理，保持悬挂在设备侧面的铲刀表面无浆料。
6、台面纸只要粘有浆料必须立即做出更换。
7、背场网板出现漏浆，不允许用胶带进行粘贴后再印刷。必须立即做更换。
8、烘箱托盘上不能有碎片存在，必须做好及时清理工作。
9、做好设备表面及内部的5S清洁工作。
10、印刷重量必须保证在1.2—1.4g之间，若超出范围立即通知工艺人员进行调整。（每批称重1片）
11、保证印刷图形的完整，出现任何印刷缺失或与背电极连接不正常，立即通知工艺进行处理。
五、 正面电极
1、倒入浆料需要注意适量，浆料在回料的时候必须能完全覆盖整个印刷图形，且回浆刀到达最里端时，整个刀面必须有浆料流下。但也不允许把网板整面都铺满浆料。
2、印刷中间添加浆料时必须先搅拌3分钟，再添加适量的浆料。且添加完浆料要盖紧瓶盖，并把瓶口周围的做好清理。
3、更换刮条时，必须先确认整个侧面是否平整或有无缺口，且要彻底清洁整个刮头，不能有干的浆料在其表面。
4、在第3道使用过的任何器件（如刮头）不允许拿到第1、2道使用。
5、浆料铲刀用完需立即做清理，保持悬挂在设备侧面的铲刀表面无浆料。
6、台面纸只要粘有浆料必须立即做出更换。
7、背场网板出现漏浆，不允许用胶带进行粘贴后再印刷。必须立即做更换。
8、烘箱托盘上不能有碎片存在，必须做好及时清理工作。
9、做好设备表面及内部的5S清洁工作。
10、印刷重量必须保证在0.17-0.20g之间，若超出范围立即通知工艺人员进行调整。（每批称重1片）
11、保证印刷图形的完整，出现断线必须停止设备对网板进行擦拭。
12、若出现其他图形不完整，印刷粘板等问题需立即通知工艺人员到场进行处理。
二. 一些常见问题的处理
第一道印刷
1．漏浆
检查方法：查看四个台面同一位置是否有浆料。
解决方法：根据在硅片上漏浆的位置，确定网版漏浆的位置，查看网版漏浆洞的大小，如果漏洞不大，选择合适的胶带在网版下面将漏浆的位置粘住，试做一片，查看是否仍然漏浆，如果仍然漏浆，重新修补，如果不漏，可以继续使用。如果漏洞太大，无法修补，需更换网版。
2．隐裂
原因：台面上有碎屑，实际压力比设定压力大出许多，网板上沾有碎片，台面纸未铺平。
解决方法：清理碎屑，刮刀高度上升，擦拭网板，更换台面纸。
3．虚印
原因：印刷参数设置有问题或印刷刮条不平，网板使用时间过长，印刷台面不平整。
解决方法：调整印刷参数；如果是因为网板使用的时间太长而造成虚印，在加料时采取少加多次，同时可加大印刷压力，减少印刷速度；观察印刷后刮条刮拭的网版是否干净，试着抬高丝网间距，加大印刷的压力。如果仍然不干净的话，可以尝试着更换刮条。
4．堵网
原因：有干的浆料将本该漏印浆料的地方堵起来。
解决方法：选择“先刮浆后印刷”模式，将印刷头停在靠近自己的地方，按下F5键向上抬起网板，使用带酒精的擦拭布将堵网的地方擦拭干净。
5．印刷图形偏移
原因：印刷参数不正确、印刷台面太脏，造成摄像头校正待印刷硅片位置时发生错误。（感应器脏）
解决方法：调整印刷参数，即印刷的纵横轴的大小，即转角的读书。更换印刷台面的纸张。
第二道印刷
1. 弯曲
原因：硅片的背电场铝浆漏印的太多。
解决方法：调整印刷参数。如：减小丝网间距，同时加大印刷压力、加大刮条的下降距离。同时进行印刷前和印刷后的称重，看印刷是否符合印刷工艺要求。
2．铝苞
原因：印刷浆料薄，网版有破损、折痕
解决方法：减小压力，丝网间距加大，刮刀高度上升。网板破损，需更换网版。
3．粘板
原因：丝网间距太小、印刷刮条不平，丝网刮不干净、印刷台面纸太脏，硅片吸附不住，硅片厚薄不均匀。
解决办法：加大丝网间距和印刷压力；更换刮条；跟换印刷台面的纸张。
4. 漏印（同第一道问题的解决方法）
5. 印刷图形偏移（同第一道问题的解决方法）
第三道印刷：
1. 断栅
原因：网板上粘有东西、堵网
解决方法：使用干净的无尘布擦拭网版，或者用干净的无尘布蘸松油醇擦拭网版，然后再用干净的无尘布擦拭网版，如果是堵网的话，可以选择“先刮浆料后印刷”的印刷方式，将印刷头停在靠近自己的地方，按下F5键向上抬起网版，先使用带酒精的无尘布将堵网的地方擦干净，再次使用干净的无尘布蘸松油醇擦拭网版，然后再用干净的无尘布擦拭网版即可。检查是否是因为铝粉掉落造成的。
2．漏浆
原因：网版有破洞
解决方法：根据在硅片上漏浆的位置，确定网版漏浆的位置，查看网版漏洞的大小，如果漏洞不 大，且不在细栅线上，可以使用封网浆将小孔封住。如果大的话，请更换网版。
3．粗点、白点
原因：网版损坏，有漏洞并且漏洞在细栅线上
解决方法：更换网版

.异常处理及返工处理

工 序
故障表现

诊 断
措 施

印刷

印刷

印刷
外观
铝珠
印刷过厚
降低印刷厚度，调整印刷参数－－提高印刷压力、减小丝网间距
绒面过大
提醒制绒工序改善
浆料不匹配
更换其他型号浆料
铝疱
印刷厚度偏薄
增大印刷厚度，调整印刷参数－－降低印刷压力、增大丝网间距
印刷不均匀
网版破损
更换网版
刮胶磨损
更换刮胶
刮胶安装不良
重新安装刮胶
绒面过大
提醒制绒工序改善

浆料问题
浆料不均匀
重新搅拌
浆料异常
更换另一个批次的浆料
浆料型号
更换其他型号浆料
翘曲
刮胶安装不良
重新安装刮胶或者更换新刮胶
印刷过厚
降低印刷厚度，调整印刷参数－－提高印刷压力、减小丝网间距
硅片过薄
更换抗弯曲浆料
网版张力不均匀
更换网版
硅片厚薄不均
原材料问题
虚印断线
印刷头在印刷行进过程中抖动
需请设备人员进行相应调整解决
网版制版不良
更换网版，反馈供应商
印刷参数设置不合理
调整印刷参数—加大压力，减小丝网间隙
刮胶翘曲或者破损
重新安装刮胶或者更换新刮胶
网版张力不均
更换网版
堵网
擦拭网版或更换网版
印刷台面或者网框支架不平
需请设备人员进行相应调整解决
部分区域过厚或者过薄甚至缺印
硅片本身厚度不均匀
原材料问题
印刷台面或者网框支架不平
需请设备人员进行相应调整解决
印刷参数
降低丝网间隙、加大压力
刮胶安装不良
重新安装刮胶
印刷头在印刷行进过程中压力或者速度不均匀
需请设备人员进行相应调整解决
浆料不够
工艺规定禁止
节点
网版制版不良
更换网版，反馈供应商
印刷参数设置不合理
降低压力
外观
刮胶不良
更换刮胶或使用方型刮胶
漏浆
网版制版不良
更换网版，反馈供应商
网版破损
修补或更换网版
印刷台面、传送皮带等有浆料残留
清理印刷台面、传送皮带等
印刷偏移
设备问题
需请设备人员进行相应调整解决
网版未对好
重新校对网版
网版制版不良
更换网版，反馈供应商
印刷碎片
印刷参数设置不合理
降低压力，提高丝网间隙
定位夹具过紧
调整定位夹具
真空吸碎
调小真空吸力
传送过程中撞碎
调节传送装置
非印刷原因
找寻其它工序以及材料问题进行相应解决
正电极云纹
网版制版不良
更换网版，反馈供应商
背电极脱落
多次印刷和烘干
工艺规定禁止
硅片被擦拭过后直接印刷
工艺规定禁止
沿背电极裂片
背电极、背场印刷过厚
调节印刷参数—加大印刷压力，增加丝网间隙
烘干条件
适当降低烘干温度
其他因素
材料、浆料、电极图形等