面向水下可见光通信的新型硫化锑探测器研究.pdf

d o i:1 0.1 3 7 5 6/j.g t x y j.2 0 2 3.0 4.0 1 2专题:水下光通信技术朱佳伟,漆宝梁,王行健,等.面向水下可见光通信的新型硫化锑探测器研究J.光通信研究,2 0 2 3(4):7 3-7 8.Z h uJW,Q iBL,W a n gXJ,e t a l.R e s e a r c ho nN o v e lA n t i m o n yS u l f i d eD e t e c t o r s f o rU n d e r w a t e rV i s i b l eL i g h tC o mm u n i c a-t i o nJ.S t u d yo nO p t i c a lC o mm u n i c a t i o n s,2 0 2 3(4):7 3-7 8.面向水下可见光通信的新型硫化锑探测器研究朱佳伟1 a,漆宝梁1 a,王行健1 a,唐荣欣1 b,余礼苏1 a,王正海1 a,邓 辉2,吴之旭1 b,夏 勇1 a,王玉皞1 a(1.南昌大学a.信息工程学院;b.空间科学与技术研究院,南昌 3 3 0 0 3 1;2.福州大学 物理与信息工程学院,福州 3 5 0 1 0 8)摘要:可见光通信(V L C)由于其传输速度快和保密性强等诸多优势已成为了一种行之有效的水下通信技术。光在水下传播时容易发生散射现象,导致光传播的能量随传输距离的增大而减少,因此改善接收端响应度是实现水下V L C的关键和核心。为此,文章首先针对探测器前端设计了一种新型的全息波导聚光系统,可有效提升水下探测器的信噪比;然后,构建了具有弱光探测能力的低成本硫化锑薄膜探测器。在上述基础上搭建V L C系统,实验结果显示,其接收端探测器的暗电流仅为1 0-7A/c m2,3d B带宽为2 2 0k H z,响应度达0.2A/W,且在蓝绿光波段的外量子效率超过7 0%。因此,新型硫化锑薄膜探测器结合全息波导聚光系统可以实现针对可见光的弱光探测,是一种十分有效的水下可见光接收系统。关键词:水下可见光通信;硫化锑;探测器;全息光栅;光波导中图分类号:T N 9 2 9 文献标志码:A 文章编号:1 0 0 5-8 7 8 8(2 0 2 3)0 4-0 0 7 8-0 6R e s e a r c ho nN o v e lA n t i m o n yS u l f i d eD e t e c t o r sf o rU n d e r w a t e rV i s i b l eL i g h tC o mm u n i c a t i o nZ H UJ i a-w e i1 a,Q IB a o-l i a n g1 a,WA N GX i n g-j i a n1 a,T A N GR o n g-x i n1 b,Y UL i-s u1 a,WA N GZ h e n g-h a i1 a,D E N GH u i2,WUZ h i-x u1 b,X I AY o n g1 a,WA N GY u-h a o1 a(1.a.S c h o o l o f I n f o r m a t i o nE n g i n e e r i n g;b.I n s t i t u t eo fS p a c eS c i e n c ea n dT e c h n o l o g y,N a n c h a n gU n i v e r s i t y,N a n c h a n g3 3 0 0 3 1,C h i n a;2.C o l l e g eo fP h y s i c sa n dI n f o r m a t i o nE n g i n e e r i n g,F u z h o uU n i v e r s i t y,F u z h o u3 5 0 1 0 8,C h i n a)A b s t r a c t:V i s i b l eL i g h tC o mm u n i c a t i o n(V L C)h a sb e c o m e a ne f f e c t i v eu n d e r w a t e r c o mm u n i c a t i o n t e c h n o l o g yd u e t o i t s a d v a n-t a g e ss u c ha s f a s t t r a n s m i s s i o ns p e e da n ds t r o n gc o n f i d e n t i a l i t y.W h e nl i g h tp r o p a g a t e su n d e r w a t e r,i t i sp r o n et os c a t t e r i n g,r e s u l t i n g i nad e c r e a s e i nt h ee n e r g yo f l i g h tp r o p a g a t i o nw i t ht h e i n c r e a s eo f t r a n s m i s s i o nd i s t a n c e.T h e r e f o r e,i m p r o v i n gt h er e s p o n s i v e n e s so f t h er e c e i v i n ge n di st h ek e yt e c h n o l o g yt oa c h i e v eu n d e r w a t e rV L C.T h i sa r t i c l ef i r s td e s i g n san e wh o l o-g r a p h i cw a v e g u i d e f o c u s i n gs y s t e mf o r t h e f r o n t e n do f t h ed e t e c t o r,w h i c hc a ne f f e c t i v e l y i m p r o v e t h es i g n a l-t o-n o i s er a t i oo fu n d e r w a t e rd e t e c t o r s.T h e n,w ec o n s t r u c t a l o w-c o s t a n t i m o n ys u l f i d e t h i nf i l md e t e c t o rw i t hw e a kl i g h td e t e c t i o nc a p a b i l i t y.B a s e do nt h eb u i l t V L C s y s t e m,t h ee x p e r i m e n t a lr e s u l t ss h o w t h a tt h ed a r kc u r r e n to ft h er e c e i v e rd e t e c t o ri so n l y1 0-7A/c m2,w i t ha3d Bb a n d w i d t ho f 2 2 0k H z,ar e s p o n s eo f 0.2A/W,a n da ne x t e r n a lq u a n t u me f f i c i e n c yo fo v e r7 0%i nt h eb l u eg r e e n l i g h t b a n d.T h e r e f o r e,t h en e wa n t i m o n ys u l f i d e t h i n f i l md e t e c t o r c o m b i n e dw i t hah o l o g r a p h i cw a v e g u i d e f o c u-s i n gs y s t e mc a na c h i e v ew e a kl i g h td e t e c t i o no fv i s i b l e l i g h t,m a k i n gi tav e r ye f f e c t i v eu n d e r w a t e rv i s i b l e l i g h t r e c e i v i n gs y s-t e m.K e yw o r d s:u n d e r w a t e rV L C;S b2S3;d e t e c t o r;h o l o g r a p h i cg r a t i n g;o p t i c a lw a v e g u i d e0 引 言现代社会不断发展,人们将室外通信的目光慢慢转移 到 水 下1-3。然 而,由 于 水 下 可 见 光 通 信(V i s i b l eL i g h tC o mm u n i c a t i o n,V L C)技术的特殊性,其技术发展还面临诸多挑战4。特别是在水下除蓝绿波段光以外,其他波段光散射较为严重,导致其水下可见光接收模块设计尤为复杂。目前,光电探测器主要以硅基为主,但是硅基材料针对蓝绿波段光的吸光系数较低,且其制作成本高昂5-6。鉴于此,本文提出了一种新型可见光探测器材料硫化锑(S b2S3)7。S b2S3是一种二元化合物,且具有物相单一、无毒环保和价格低廉等优点。重要的是,S b2S3带隙约为1.7 3e V,非常匹配可见光波段探测的需求,而且其在4 0 06 0 0n m光波段的吸光系数理论值高达1.81 05c m-18-1 0。收稿日期:2 0 2 3-0 4-1 5;修回日期:2 0 2 3-0 5-1 0;纸质出版日期:2 0 2 3-0 8-1 0基金项目:国家自然科学基金资助项目(6 2 0 6 1 0 3 0;5 2 0 0 2 0 7 3)作者简介:朱佳伟(2 0 0 0-),男,湖北天门人。硕士,主要研究方向为光电器件与可见光通信系统。通信作者:夏勇,副教授。E-m a i l:8 7 3 8 5 3 1 9 7q q.c o mE d i t o r i a lO f f i c eo fS t u d yo nO p t i c a lC o mm u n i c a t i o n s.T h i s i sa no p e na c c e s sa r t i c l eu n d e r t h eC CB Y-N C-N Dl i c e n s e.372 0 2 3年 第4期总第2 3 8期光 通 信 研 究S TUD YONO P T I C A LC OMMUN I C AT I ON S2 0 2 3.0 8(S u m.N o.2 3 8)与此同时,通过增加聚光系统,可以有效地提升探测器所接收到的光照强度,改善光响应度。本文也提出了一种全息波导聚光系统,该系统使用全息光栅和光波导光学器件,与探测器集成实现聚光功能,且该系统相较于传统聚光系统而言,成本较低。综上所述,设计针对弱光响应的接收端是改善水下V L C技术的关键和核心。而新型S b2S3薄膜探测器结合全息波导聚光系统可以实现针对水下可见光的弱光响应,是一种十分有效的可见光接收系统,此项工作为后续水下V L C系统的发展提供了重要参考。1 全息波导聚光系统1.1 全息波导理论设计设计的全息波导聚光系统结构如图1所示,包括全息光栅、光波导和可见光探测器。其中,全息光栅和可见光探测器集成于光波导上。全息光栅通过其衍射效应,将入射光束汇聚并偏转;衍射角大于波导材料的全反射角,因此衍射光线在波导内部向前传播;衍射光线在光波导内部经过多次全反射最终从光波导下表面耦出,到达可见光探测器,实现聚光功能。全息光栅光波导可见光探测器图1 全息波导聚光系统结构F i g u r e1 S t r u c t u r eo fh o l o g r a p h i cw a v e g u i d ec o n d e n s i n gs y s t e m因此,全息波导聚光系统的设计原则如下:(1)最后汇聚于一点的光线与光波导下表面法线所成的角度要小于全反射角,使得光线从光波导下表面透射出光波导,避免光线继续发生全反射从而在光波导内部继续传播;(2)经过全息光栅偏转后,第一次全反射后的光线不能继续传播到全息光栅上,避免后续光线传播过程出现问题。为求得汇聚点坐标,计算过程及参数如图2所示。计算过程只需分析最靠近光波导下表面的一根光线,因为对于汇聚光线来说,最后一根光线经过全息光栅偏转的角度是最小的,所以只需保证最后一根光线偏转的角度大于全反射角即可。假设光线的全反射次数(不包括全息光栅偏转)为A,A为向xdLd1兹兹兹注：d为光波导的厚度；L为光线到光波导下表面之间的距离；x为每一次偏转光程的水平分量；d1为光线汇聚点坐标。图2 系统计算过程F i g u r e2 S y s t e mc a l c u l a t i o np r o c e s s下取整,可以推导出如下公式:t a n=xd=Ld1,(1)L=A x+d2t a n,(2)A=Lx=Ldt a n,(3)d1=Lt a n=A d+d2。(4)由式(1)式(4)可知,可以通过调整d、L和的大小来控制光线汇聚点的位置。假设光波导的全反射角为T I R,考虑之前需要注意的3点,应满足T I R和2-T I R的条件。基于所需要的结构设计,例如聚光面积、波导厚度等,确定系统初始结构的参数为光波导长3 0mm,宽1 0mm,高2mm;全息光栅厚度5m;汇聚点坐标为(0,-2 0,-1 1)。1.2 基于Z e m a x软件的全息波导聚光系统仿真设计对于全息波导聚光系统而言,我们需要的是真实情况下的光线传播及能量分布,因此本文采用非序列模式下的仿真。在Z e m a x软件的非序列模式下,全息光栅的衍射方向是确定的,但是其衍射效率并没有定义,因此我们需要编写.d l l文件作用于全息光栅上即可实现衍射效率大小的定义1 1。在Z e m a x软件中构造整个系统,并进行非序列光线追迹,如图3所示。将Z e m a x与M a t l a b软件进行交互通信,将在Z e m a x软件 中所得到的探 测器能量数 据记录 到M a t l a b软件里,在Z e m a x软件中通过改变入射光的波长、角度和全息光栅的厚度得到衍射效率的变化,如图4所示。由图可知,在整个系统中,衍射效率最大值为9 3.0 7%,与理论计算结果相比而言,在满足布拉格47光通信研究2 0 2 3年 第4期 总第2 3 8期图3 非序列追迹过程F i g u r e3 N o ns e q u e n t i a l t r a c k i n gp r o c e s s衍射 效率1.00.80.60.40.20衍射 效率1.00.80.60.40.20衍射 效率1.00.80.60.40.20衍射 效率1.00.80.60.40.20-20-15-10-505101520角度偏移/理论计算仿真结果(b)衍射 效率随波长偏移变化(b)Diffraction efficiency varies with wavelength shift(a)衍射 效率随角度偏移变化(a)Diffraction efficiency varies with angle shift-0.3-0.2-0.100.10.20.3波长偏移/滋m-0.3-0.2-0.100.10.20.3波长偏移/滋m(d)衍射 效率随全息光栅厚度变化(d)Diffraction efficiency varies with the thicknessof holographic gratings(c)角度偏移时,衍射 效率随波长偏移变化(c)When the angle shifts,the diffraction efficiencyvaries with the wavelength shift012345678910全息光栅厚度/滋m理论计算仿真结果理论计算仿真结果理论计算仿真结果图4 衍射效率随角度偏移变化F i g u r e4 D i f f r a c t i o ne f f i c i e n c yc h a n g e sw i t ha n g u l a r s h i f t条件时,导致衍射效率差异的原因考虑到材质的吸收;在不满足布拉格条件时,导致衍射效率差异的原因还包括光线在全息光栅上的二次耦合。综上所述,全息波导聚光系统可以大幅度增强探测器所接收到的光照强度,与此同时,光电探测器的性能也是水下V L C高质量传输的一项重要指标。2 聚光系统与探测器实验平台搭建全息波导聚光系统主要是用于集中探测器表面所接收到的光强,其具体实验平台搭建如图5所示,所搭建演示平台在室内正常环境下进行。当激光光源发射一束光后,经过全息波导聚光系统然后打到探测器表面,S b2S3光电探测器接收到对应的光信号后转换成电信号,经过后续电信号处理就可以还原出所传输的信号。整套系统中,S b2S3光电探测器需要对准激光光源,使两者处于同一水平线上。Sb2S3光电探测器激光光源全息波导聚光系统图5 聚光系统与探测器实验平台搭建F i g u r e5 C o n s t r u c t i o no f e x p e r i m e n t a lp l a t f o r mf o rs p o t l i g h t s y s t e ma n dd e t e c t o r当聚光系统集成到S b2S3光电探测器表面后,其整个实验平台如图6所示,这种点对点场景比较适用于水下V L C的真实情况。Sb2S3光电探测器激光光源图6 聚光系统集成后的实验平台F i g u r e6 E x p e r i m e n t a l p l a t f o r ma f t e r i n t e g r a t i n gt h es p o t l i g h t s y s t e m57朱佳伟 等:面向水下可见光通信的新型硫化锑探测器研究3 S b2S3光电探测器的光电性能分析水下V L C情况尤为复杂,所以对接收器件的性能要求极为严格。图7所示为S b2S3材料的吸收系数,由图可知,此类探测器在蓝绿光波段的吸收系数非常高,很适合作为水下V L C的接收源。当前关于S b2S3光电探测器的研究主要集中于纳米线型和光电导型,然而纳米线型合成工艺复杂,造价昂贵,并且不适合大面积成膜,光电导型的响应速度和带宽等性能基本不能满足V L C的需求,故这两种S b2S3光电探测器结构导致其实际应用受到阻碍。吸收系数/m-11.41071.21071.01078.01066.01064.01062.01060400500600700800波长/nm图7 S b2S3吸收系数F i g u r e7 A b s o r p t i o nc o e f f i c i e n to fS b2S3针对水 下V L C的 复 杂 性,本 文 制 作 研 究 的S b2S3薄膜光电探测器结构为正负(P o s i t i v e-N e g a-t i v eJ u n c t i o n,P N)结型。其为一种自供电的S b2S3薄膜探测器(玻璃/导电玻璃(F l u o r i n e-d o p e dT i nO x i d e,F TO)/T i O2/S b2S3/A u),其器件结构示意图如图8(a)所示,本文制作的S b2S3薄膜探测器尺寸为0.2c m0.2c m,其中,S b2S3层上的A u和F TO边缘上的A u分别作为器件的阳极和阴极。S b2S3薄膜光电探测器的横截面扫描电子显微镜(S c a n n i n gE l e c t r o n i cM i c r o s c o p y,S EM)图像如图8(b)所示,图中用不同颜色标记着器件的每层结构,S b2S3(p型)和T i O2(n型)形成P N结,光生载流子在S b2S3层产生,然后通过内建电场将电子空穴对有效分离,空穴通过空穴传输层移动到阳极处。此结构为自供电型结构,当应用于水下V L C时无需外加偏压工作,在一定程度上节约了现有资源。判断此类器件性能的好坏,主要是看器件的光/电响应度R、比探测率D*、带宽和响应时间等这些重要参数是否达到所需要求。例如,响应度R表明了器件对可见光信号的响应能力,其值可由公式R=E Q E(q/h c)计算得出1 2,式中:E Q E为外量子效率;为入射光波长;q为电子电荷量的绝对值;Sb2S3AuTiO2FTO玻璃AuFTO玻璃TiO2Sb2S31 滋m(b)SEM图(b)SEM image(a)结构图(a)Structure diagram图8 S b2S3薄膜探测器表征结构图F i g u r e8 S t r u c t u r a l d i a g r a mo fS b2S3t h i nf i l md e t e c t o rh为普朗克常数;c为光速。S b2S3薄膜探测器响应度R随波长的变化曲线如图9(a)所示。由图可知,在4 5 05 8 0n m波段之间,器件的响应度超过了0.2A/W,表明此器件具有较强的光/电转换能力。比探测率D*也是表示器件检测能力的重要参数,其基于噪声电流和响应度R推断得出1 3:D*=R/(2q Jd)1/2,式中,Jd为暗电流密度。S b2S3薄膜探测器的比探测率D*随波长的变化曲线如图9(b)所示。对于D*推算公式而言,当Jd的值越小时,探测器的探测性能越好。由上述两公式计算得出,在3W/c m2的5 3 0n m发光二极管(L i g h tEm i t t i n gD i o d e,L E D)(索雷博)灯光照射时的器件响应度R为0.2 4A/W、比探测率D*为3.5 7 1 01 1J o n e s,在水下V L C中能很好地接收到光信号并转换成电信号。Sb2S32D*/Jones3140400600800波长/nmR/AW-10.30.20.10400600800波长/nmSb2S3(b)比探测率D*(b)Specific Detectivity D*(a)响应度R(a)Response R1011图9 S b2S3薄膜探测器光响应度和比探测率随波长的变化曲线F i g u r e9 P e r f o r m a n c ed i a g r a mo fS b2S3t h i nf i l md e t e c t o rl i g h t r e s p o n s i v e n e s sa n dc u r v eo f s p e c i f i cd e t e c t i v i t yc h a n g i n gw i t hw a v e l e n g t h为了真实了解S b2S3薄膜光电探测器的响应速67光通信研究2 0 2 3年 第4期 总第2 3 8期度,我们使用示波器进行了测试,如图1 0所示。由图可知,S b2S3薄 膜 光 电 探 测 器 的 上 升 时 间 为1.5 6s,下降时间为1.5 8s,远超出了同类材料探测器的性能。归一化电压(a.u.)-0.4-0.200.20.40426810时间/滋s子r=1.56 滋s子f=1.58 滋s注：子r为Sb2S3薄膜光电探测器的上升时间；子f为Sb2S3薄膜光电探测器的下降时间。图1 0 S b2S3薄膜光电探测器响应速度F i g u r e1 0 D e t e c t o r r e s p o n s es p e e dc h a r to fS b2S3t h i nf i l mp h o t o d e t e c t o r图1 1所示为P N结型S b2S3薄膜光电探测器的带宽图。由图可知,此结构S b2S3薄膜光电探测器的3d B带宽为2 2 0k H z,达到一般物联网通信系统的基本速率。为了更好地了解S b2S3薄膜光电探测器的性能,我们还测试了器件在黑暗条件下和5 3 0n mL E D灯光不同光照强度下的电流-电压(C u r r e n t-V o l t a g e,I-V)曲线,如图1 2(a)所示。由图 可 知,在 零 偏 压 情 况 下,暗 电 流 可 达 到1 0-7A/c m2,这对于V L C接收器件来说是非常小的。在本工作中,我们也讨论了器件在不同光照强度下的电流-时间(C u r r e n t-T i m e,I-T)曲线数据,如图1 2(b)所示。由图可知,随着光照强度的增加,光电流也随之线性增加,但是暗电流还是保持在相对较低的水平。归一化响应(a.u.)-10-8-6-4-22468频率/Hz105图1 1 频率响应曲线图F i g u r e1 1 T h ec u r v eo f f r e q u e n c yr e s p o n s e图1 3所示为本文研究的水下V L C系统的整体模型图,由图我们可以大致了解整个水下V L C的系统模型框架。首先控制中心需要将发射的数据传输到驱动模块中,通过传输数据与驱动电流叠加来控制L E D灯的闪烁,L E D的闪烁会传输我们需要的信号。由于水下光照衰减严重,所以使用了全息电流/A电压/V时间/s10-910-810-710-610-510-4-1.0-0.500.51.0Dark7 滋W/cm252 滋W/cm2260 滋W/cm21 mW/cm2(b)器件I鄄T曲线图(b)I鄄T curve of device(a)器件I鄄V曲线图(a)I鄄V curve of device电流/A10-610-521 滋W/cm241 滋W/cm2134 滋W/cm2286 滋W/cm2953 滋W/cm201020304050图1 2 探测器光生电流图F i g u r e1 2 D e t e c t o rp h o t o g e n e r a t e dc u r r e n td i a g r a m波导聚光系统来汇聚光源,使光电探测器能接收到尽可能多的光。然后使用高性能的S b2S3薄膜光电探测器作为光源接收端,将所接收到的光信号转换成电信号,传输给后续电路进行放大滤波解调等操作,最后还原出所需要传输的信号,供接收器件使用。控制中心驱动调制LED水下设备放大解调Sb2S3薄膜光电探测器全息波导聚光系统图1 3 水下V L C系统的整体模型图F i g u r e1 3 O v e r a l lm o d e l d i a g r a mo fu n d e r w a t e rV L Cs y s t e m4 结束语综上所述,为实现水下V L C的高灵敏度探测,本文提出了S b2S3薄膜光电探测器结合全息波导聚光系统的解决方案。通过仿真和实验显示,全息波导聚光系统能够有效地将探测器接收之前的散射光斑汇聚于探测器中央,其系统效率高达9 0%。解决散光问题后,本文又制作了新型P N结结构S b2S3薄膜光电探测器,并对器件的光电性能做了相应的77朱佳伟 等:面向水下可见光通信的新型硫化锑探测器研究测试。实验结果显示,S b2S3薄膜光电探测器的各项光电性 能十分符合 水下V L C的 要 求,特 别 是S b2S3薄膜光电探测器在蓝绿光波段的外量子效率超过7 0%,这是本探测器能够在水下进行可见光高质量通信的重要因素。因此,结合全息波导聚光系统和新型S b2S3薄膜光电探测器的可见光接收模块可以很好地实现水下高灵敏度探测,此项工作为后续水下V L C系统的长远发展提供了重要参考价值。参考文献:1 赵晓燕.水下可见光通信关键技术研究J.电子技术与软件工程,2 0 2 1(4):1 5-1 6.Z h a oXY.R e s e a r c ho nK e yT e c h n o l o g i e s o fU n d e r w a-t e r V i s i b l e L i g h t C o mm u n i c a t i o nJ.E l e c t r o n i cT e c h n o l o g ya n dS o f t w a r eE n g i n e e r i n g,2 0 2 1(4):1 5-1 6.2 郭银景,徐锋,屈衍玺,等.水下可见光通信关键技术综述J.光通信研究,2 0 2 0(2):1-6.G u oYJ,X uF,Q u Y X,e ta l.O v e r v i e w o fK e yT e c h n o l o g i e so fU n d e r w a t e rV i s i b l eL i g h tC o mm u n i-c a t i o nJ.S t u d yo nO p t i c a lC o mm u n i c a t i o n s,2 0 2 0(2):1-6.3 王林宁,刘鹏展,胡芳仁,等.面向6 G网络的水下光通信系统J.移动通信,2 0 2 2,4 6(6):4 5-5 1.W a n gLN,L i uPZ,H uFR,e t a l.U n d e r w a t e rO p-t i c a lC o mm u n i c a t i o nS y s t e mf o r 6 GN e t w o r kJ.M o-b i l eC o mm u n i c a t i o n,2 0 2 2,4 6(6):4 5-5 14 L i nR,L i uX,Z h o uG,e ta l.I n G a N M i c r o-L E DA r-r a yE n a b l e d A d v a n c e d U n d e r w a t e r W i r e l e s s O p t i c a lC o mm u n i c a t i o na n d U n d e r w a t e r C h a r g i n gJ.A d-v a n c e dO p t i c a lM a t e r i a l s,2 0 2 1,9(1 2):2 0 0 2 2 1 1.5 A l iM F,J a y a k o d yD N K,L iY.R e c e n tT r e n d si nU n d e r w a t e r V i s i b l e L i g h tC o mm u n i c a t i o n(UV L C)S y s t e m sJ.I E E EA c c e s s,2 0 2 2,1 0:2 2 1 6 9-2 2 2 2 5.6 Z h o uYJ,Z h uX,H uFC,e ta l.C o mm o n-a n o d eL E Do naS iS u b s t r a t ef o rB e y o n d1 5 G b i t/s U n d e r w a t e rV i s i b l eL i g h tC o mm u n i c a t i o nJ.P h o t o n i c sR e s e a r c h,2 0 1 9,7(9):1 0 1 9-1 0 2 9.7 J i aY,D e n gH,L i nX,e ta l.D e p l e t e dS b2S3T h i nF i l mP h o t o c o n d u c t i v eD e t e c t o r sw i t hF a s tR e s p o n s eS p e e da n dH i g hP o l a r i z a t i o nS e n s i t i v i t yJ.A d v a n c e dM a t e-r i a l s I n t e r f a c e s,2 0 2 2,9(2):2 1 0 1 5 0 4.8 S h a hU A,C h e nS,K h a l a fG M G,e t a l.W i d eB a n d g a pS b2S3S o l a rC e l l sJ.A d v a n c e dF u n c t i o n a lM a t e r i a l s,2 0 2 1,3 1(2 7):2 1 0 0 2 6 5.9 L i nX,D e n gH,J i aY,e ta l.S e l f-P o w e r e dS b2S3T h i n-f i l m P h o t o d e t e c t o r s w i t h H i g h D e t e c t i v i t yf o r W e a kL i g h tS i g n a lD e t e c t i o nJ.A C SA p p l i e dM a t e r i a l s&I n t e r f a c e s,2 0 2 2,1 4(1 0):1 2 3 8 5-1 2 3 9 4.1 0D e n gH,C h e n gY,C h e nZ,e ta l.F l e x i b l eS u b s t r a t e-S t r u c t u r e dS b2S3S o l a rC e l l sw i t hB a c k I n t e r f a c eS e l e n i-z a t i o nJ.A d v a n c e d F u n c t i o n a l M a t e r i a l s,2 0 2 3,3 3(1 2):2 2 1 2 6 2 7.1 1朱秀丽.全息波导显示的光能追迹与成像分析D.南京:东南大学,2 0 2 0.Z h uXL.L i g h tE n e r g yT r a c i n ga n dI m a g i n gA n a l y s i so f H o l o g r a p h i c W a v e g u i d e D i s p l a yD.N a n j i n g:S o u t h e a s tU n i v e r s i t yS c i e n c e,2 0 2 0.1 2A h m a d iM,W uT,H uB.AR e v i e wo nO r g a n i ci n-o r g a n i cH a l i d eP e r o v s k i t eP h o t o d e t e c t o r s:D e v i c eE n-g i n e e r i n ga n dF u n d a m e n t a lP h y s i c sJ.A d v a n c e dM a-t e r i a l s,2 0 1 7,2 9(4 1):1 6 0 5 2 4 2.1 3D o uL,Y a n gY,Y o uJB,e ta l.A u t h o rC o r r e c t i o n:S o l u t i o n-p r o c e s s e d H y b r i d P e r o v s k i t e P h o t o d e t e c t o r sw i t h H i g hD e t e c t i v i t yJ.N a t u r eC o mm u n i c a t i o n s,2 0 1 9,1 0(1):1 8 6 6.(上接第1 3页)2 金晓宇,邓蓉,马军,等.水下光通信L E D阵列光源方法与实现J.舰船电子工程,2 0 1 4,3 4(9):1 4