车间ESD管理程序.doc

嘉兴华珅电子科技有限公司文件编号QMS-B-ME-008版 本A编写人员王刚版 序000车间ESD管理程序审 核杨建国批 准邓文辉编写日期2009-06-21修订日期 版本修订历史记录版本号修订内容修订时间1.0第一次下发2009年06月21日起草 : 日期 : 审核 : 日期 : 批准 : 日期 :1.0目的 以防止静电破坏电子组件及产品，保证产品之品质良好，提高产品之寿命及可靠性为目的。2.0适用范围 适用于本公司内所有产品物料之采购、验收、储存、搬运、加工、包装及生产装配、产品测试等全过程。3.0 名词定义3.1 ESD (Electro Static Discharge) 主要是指两个带有不同静电电位之物体，当它们接近并能够发生电荷传送，由于电荷的传送产生了电流，使器件损坏或造成寿命上的伤害，一般称为静电泄放或简称ESD。3.2 SSD (Static Sensitive Device): 凡对静电敏感的电子元器件一般称为静电敏感元器件或简称SSD。4.0 职能分工 4.1 ME指导ESD设备、设施的主要设置项目做维护、点检。 4.2 各制程操作人员每天对工作台面的接地线是否连接良好做点检。 4.3 IPQC负责依据车间ESD稽核检查表进行ESD点检稽核。 4.4 各职能部门负责按ESD控制文件要求实施。5.0 参考文件 ESD控制国际标准6.0程序说明 6.1 ESD保护由设计来源或零件供应商提供组件及产品之防护等级。范围涉及采购、收料、储存、运送、制程、测试及可靠性实验。ME汇总ESD防护要求，相关环节必须严格按ESD控制要求规范作业。 6.2 采购ESD 控制 6.2.1依据ME之规定，物料采购按零件承认书对SSD组件采购时，须在采购单注明ESD防护要求；其它ESD防护器材采购时，须按ME测试工程师制定的标准进行采购。 6.2.2 须向经认可的ESD产品供货商采购，并保持最新的ESD认可供应商清单。 6.2.3 要求供货商提供合乎规格之包装、标示及正确的发票。 6.3 收货部门防ESD控制 6.3.1 依据采购订单，对ESD零件进行清点验收，检查是否有外包装或(及)发票确认为ESD组件。 6.3.2 ESD组件与非SSD应分区堆放，并做显著标示。 6.3.3 检查ESD组件的包装与标示是否正确。6.3.4 开启ESD组件包装的区域应配置适当的ESD防护设备，如防静电桌垫，ESD手环等。6.3.5 ESD防护器材收货时除数量正确外，还应对其ESD防护等级用专用的仪表进行检测，确定进货静电防护等级与标准是否相符，禁止不合格ESD防护产品进入工厂。 6.4 进料检验(IQC)的ESD控制6.4.1 IQC需依零件承认书上之要求进行检验，确认静电防护及标示是否正确。6.4.2 IQC在做检验时要求在静电防护良好的区域(工作场所)进行，须有ESD手环，ESD工作衣、手套、防静电桌垫，工作桌须接静电地。 6.4.3 检验员需对不当标示或不当包装的组件，依不合格品处理程序执行。 6.4.4 检验员对防静电气泡袋、静电桌面、静电手套、周转车、料箱、料盒等防静电材料需按要求对其进行静电检测，并如实在防静电材料IQC检验记录表中记录好检测数据，如检测到不良即依不合格品处理程序执行。 6.5 零件材料储存,暂存部门的ESD控制 6.5.1 在仓库存放SSD须在存放区加以标示清楚。 6.5.2 存放架要接地处理。 6.5.3 不可在存放区直接拆开组件包装，直接接触组件须在有良好的静电防护下方可接触组件。 6.5.4 在存放区搬运SSD须使用专用工具(防静电车)，并使包装完整。 6.5.5 物料周转区须严格按材料存放区ESD控制规范进行作业。 6.5.6 对磁带/磁盘及其它软件或资料储存的媒体，应装在防静电的包装袋内，并存放有明显标志且有良好接地的料架或柜内，取放时应佩戴好接地良好的防静电环。 6.6 物料运送ESD控制:6.6.1 对SSD须使用专用防护工具运送。 6.6.2 搬运人员须戴防静电手套、防静电脚环，穿防静电衣、鞋等。 6.6.3 运送过程中须有正确ESD包装。 6.6.4 依据物料运送规范，不得使SSD材料相互碰撞、摩擦、堆栈。 6.7 制造过程中的ESD控制: 6.7.1 SSD加工区域，作业员须穿好防静电衣、防静电鞋，戴好静电帽，戴好防静电手环，并确保防静电手环可靠接地，需走动的工位作业员须戴好防静电脚环；未做好静电防护者不能接触SSD；工作台铺防静电桌垫，静电接地良好，作业中正确使用防静电各种工具。(如ESD电烙铁，静电排除装置等)。6.7.2 对SSD加工中若须离开原包装，操作人员须做静电防护，戴好接地良好静电手环并于加工后放回原包装或其它防静电容器内。6.7.3 SSD在组装中，依据ME工艺工程师作业指导书进行特殊防护及使用其规定工具，并定期点检其有效性。6.7.4 制程工作人员所使用的静电环和防静电鞋均需每天二次用“人体静电综合测试仪”加以测试，确认功能正常，并作好记录。详见7.1 人体静电综合测试SOP及7.2静电环与静电鞋测试记录表。6.7.5 定期对操作员工进行使用ESD工具、设施及取用SSD程序的完整训练，并作记录。 6.7.6 每个工作台须有ESD防护料件(如袋、乳棉海绵、箱等)。 6.7.7 所有进入车间人员，必须经过ESD静电鞋测试仪测试人体综合阻值，通过方可进入，否则一律不准进入车间，生产作业人员每天上班测一次防静电鞋，以确定防静电鞋的有效性，并做好记录，详见7.1 人体静电综合测试SOP及7.2静电环与静电鞋测试记录表。 6.7.8 做好每日的日常点检工作,并将点检情况记录在静电插座/卡扣线及静电线末端点检表中。6.8 IPQC稽核：6.8.1 IPQC须协助生产单位检查作业员静电防护措施是否正确及抽测各防静电设施是否正常；6.8.2 IPQC依车间ESD稽核检查表进行ESD点检稽核，并记录好数据;6.8.3 IPQC每日上班前监督员工进行静电鞋和静电手腕带的测试. 6.9 生产测试及测试工程须使用ESD工作台。 6.9.1 清除测试区内静电源。 6.9.2 定期检查ESD设施，保证有效性。 6.9.3 SSD组件传送至下一个工作区时，设有防护袋装。6.9.4 当施加工作电压时，设备接地应良好。6.10 品管部ESD控制 6.10.1 定期审核各部门是否依照ESD控制程序进行作业，定期进行ESD点检并做好记录。6.10.2 定期审核供货商是否符合ESD规定。6.10.3 ESD工作须经QA检验确认。 6.10.4 定期审核ESD训练计划，工程图是否有正确的ESD警告条文或警告。 6.12 ME ESD控制:6.12.1 定期检查及测试ESD设备设施是否完好、性能及可靠性,并将检测数据准确填写至车间ESD电阻电压点检表中。6.12.2 依据设备保养和管理程序对ESD设备检验测试、定期测试、校正并作好记录ESD故障有关的资料须经常维护，问题范围与故障趋势所需调查校正措施须向相关主管报告。 6.12.3 ME须测试SSD组件，以对它们的ESD敏感度进行分类。 6.12.4 ME负责所有ESD测试项目之SOP及相关记录表单的编写。 6.13 ESD点检 6.13.1 点检条件: 全部点检均在生产场地内进行，环境温度20-28， 相对湿度30%-65%。6.13.2 点检仪器：表面阻抗测量仪。 6.13.3 测试技术指标见6.15。6.13.4 点检项目&周期: 6.13.4.1 防静电地板表面电阻 (次/月) 6.13.4.2防静鞋与人体综合阻值 (次/天) 6.13.4.3 ESD工作台(台垫)静电电阻 (次/月)6.13.4.4 防静电母线接地电阻 (次/月)6.13.4.5 货架静电电阻 (次/月)6.13.4.6 料车台面对车轮电阻 (次/月)6.13.4.7 周转箱，零件料盒表面电阻 (次/月)6.13.4.8 工作服(工作帽，手套)表面电阻 (次/月，抽查)6.13.4.9 流水线传送带表面电阻 (次/月)6.13.4.10 防静电手环连接电阻 (次/天)抽查项目抽查结果高于30%不合格，继续抽查10个点，不合格率高于0%提出不良改善方案，且抽查结果高于30%不合格，继续抽查20个点，不合格率高于0%提出不良改善方案，抽查结果须做好记录，填写相应表单。6.13.5点检方法6.13.5.1表面电阻测试时，对每车间静电地板不得少于五点，接地电阻、传送带不得少于三点，周转箱不少于三只，静电鞋不少于三双，静电衣不少于10件，工作台不少于三张。6.13.5.2 点检周期: 见6.13.4。6.13.5.3该点检方法根据中华人民共和国电子行业标准(SJ/T10694-1996)电子产品制造防静电系统测试方法所制定。 6.14 ESD表面电阻测试&接地电阻测试 6.14.1 测试条件:全部测试均在场地内进行，环境温度20 - 28，相对湿度30% -65%。 6.14.2 测试仪器:采用表面阻抗测量仪，型号:QUICK4996.14.3 测试技术指标见6.15 6.14.4 测试项目 6.14.4.1 防静电地板 (次/月) 6.14.4.1.1 在铺设地面上随机选定测试点。 6.14.4.1.2 测试地面对地级母线电阻。 6.14.4.1.3 测试地面表面电阻。6.14.4.1.4 测试步骤:测试时，将电极和被测物表面清洁，在电极下面加 一层湿滤纸垫，将正极接于被测物，负极接地，按下按钮，读出并记录测量值。6.14.4.2 工作台 (次/月) 随机选定测试点，不少于三张工作台。 6.14.4.2.1测试工作台面表面电阻。 6.14.4.2.2测试工作台面对手环插孔电阻。 6.14.4.2.3测试工作台对地系统电阻。6.14.4.3综合项目 6.14.4.3.1 测试鞋底体积电阻。 6.14.4.3.2 测试工位器具及物流传递器具 6.14.4.3.3 测试容器表面电阻。 6.14.4.3.4 测试手环。 6.14.4.3.5测试手环连接电缆系统电阻。6.14.4.3.6测试防静电鞋和人体综合电阻。 6.14.4.4 具体操作参照相关ESD操作SOP。做相应的记录，填写7.3工作服(工作帽，手套)表面电阻点检表和7.4车间ESD表面电阻电压点检表。6.14.5 本测试规范依据中华人民共和国电子工业部SJ/T 10533、SJ/T 10630及SJ/T 10694标准，以及An American National Standard Approved August 4 1999-ANSI/ESD S20.20-1999标准制定。6.15 ESD相关测试技术指标6.15.1 流水线防静电输送皮带、工作台垫表面电阻:106-1096.15.2流水线防静电输送皮带，工作台垫上任意仪一点对地电阻：106-1096.15.3防静电线任意一点对地电阻 106.15.4 有绳防静电手环至地的电阻:1M10% 注:以上数据为中华人民共和国电子行业最新版SJ/T10694-1996,以及美国最新版ANSI/ESD S20.20-1999之标准。7.0 附件7.1 人体综合静电测试标准作业指导书7.2 静电环与静电鞋测试记录表7.3工作服(工作帽，手套)表面电阻点检表7.4车间ESD电阻电压点检表7.5车间ESD稽核检查表7.6静电插座/卡扣线及静电线末端点检表7.7防静电材料IQC检验记录表8.0 流程图 无 第 6页 共 6页