纯水标准操作程序.doc

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纯水系统操作规程
1. 目的
使运行人员掌握纯水制备系统的正常运行操作
2. 范围
适用于水源水泵房纯水原水泵的启停操作及主厂房C区纯水站内的纯水制备系统
3. 权责
3.1 运行监管单位应严格按系统流程进行操作，准确填写运行记录，随时保证系统可持续并维持稳定的供水品质和压力
3.2 使用单位应保证正确使用超纯水，严禁擅自将超纯水作其它用途、擅自增加用水点
4. 名词定义
4.1 原水：未经处理的天然水（地表、地下水）
4.2 多介质过滤器：主要是去除水中可见的悬浮物和固体颗粒。多介质过滤器的滤材通常用石英砂、无烟煤
4.3 活性炭过滤器：主要去除余氯、有机物，滤材通常用石英砂、活性炭
4.4 SDI:污泥堵塞指数，主要判断反渗透进水胶体和颗粒污染程度的技术指标
4.5 余氯：指游离性质余氯，反渗透进水条件的指标之一
4.6 反渗透(RO)：是一种借助于选择透过（半透过）性膜的功能，以压力作为推动力的膜分离技术,为渗透的逆过程，在高压作用下，使水分子通过RO膜流出纯水，而分子量较大的阴阳离子被浓缩在膜内通过浓水管排出
4.7 反渗透产水：产品水，在反渗透系统运行过程中，透过RO膜进入RO水箱的那一部分水
4.8 反渗透浓水：在反渗透系统运行中，未透过反渗透膜而被排出的,被浓缩的一部分水
4.9 电导率：表示水导电的能力(即水中带电离子含量的多少)，单位：μs/cm
4.10 脱盐率：表示的是反渗透系统对原水盐份的祛除能力
4.11 回收率：表示原水透过反渗透膜所得到的产品水的量
4.12 EDI：即电再生离子交换除盐工艺；是电渗析除盐技术与离子交换除盐技术的有机结合及工艺技术发展而产生的一种更新的纯水除盐工艺；该工艺主要被用来取代传统的电渗析和混合离子交换除盐工艺，从而使系统在无需酸、碱再生的情况下，可连续制取高纯水
4.13 TOC：意为总有机碳，其含量大小象征水中有机物污染程度。TOC值高意味水中有机物含量也高
4.14 混床：由强酸性阴离子交换树脂同强碱性阳离子交换树脂按1.5：1的比例均匀混合而成，一次性使用，不可再生。专门用于电子行业制造工艺用超纯水
4.15 DIW：去离子水，通常使用电阻率衡量其指标，数值越大越好（单位：MΩ.cm）
5 作业程序
5.1 开机准备
5.1.1 检查水源水泵房纯水系统原水泵就地控制柜电源是否送电
5.1.2 检查纯水站控制室主控制柜是否送电，电压应大于380V-400V以上
5.1.3 检查压缩空气是否供应稳定，开关是否开启，减压阀前压力应保持大于0.8MPa以上
5.1.4 检查PAC加药装置是否完好，药剂是否配制
5.1.5 检查NaCLO加药装置是否完好，药剂是否配制
5.1.6 检查NaHSO3加药装置是否完好，药剂是否配制
5.1.7 检查阻垢剂加药装置是否完好，药剂是否配制
5.1.8 检查NaOH加药装置是否完好，药剂是否配制
5.1.9 检查原水池液位情况，液位应持续保持在中液位以上可保证纯水制备系统的正常运行
5.1.10检查中间水箱液位是否在中液位以下，预处理系统当中间水箱低于中液位以下，方可开启进入运行状态
5.1.11检查反渗透水箱液位是否在中液位以下，反渗透系统当反渗透水箱低于中液位以下，方可开启进入制水状态、氮封水箱的液位情况
5.1.12检查氮封水箱液位是否在中液位以下，EDI系统当氮封水箱低于中液位以下，方可开启进入制水状态
5.2 开机操作
5.2.1开机操作----（预处理）
5.2.1.1 在纯水站内将预处理系统将PAC装置计量泵JY-DI-P004加药泵打开，PAC加药浓度为3-10PPM，配药浓度：1%，即每100L溶液，加入PAC化学纯以上纯度试剂3.3 Kg。加药泵的冲程与速度之积等于60%左右
5.2.1.2 在纯水站内将预处理系统将NaCLO装置计量泵JY-DI-P005加药泵打开，NaCLO加药浓度为1-3PPM，配药浓度：0.5%，即每100L溶液，加入NaCLO化学纯以上纯度试剂5 Kg。加药泵的冲程与速度之积等于50%左右
5.2.1.3 将多介质压缩空气JY-DI-V0029阀打至全开，压力应大于0.2MPa以上
5.2.1.4 将水源水泵房1#、2#原水池两端吸水口主管阀门打至全开
5.2.1.5 将水源水泵房原水JY-DI-V0001进水阀打至全开
5.2.1.6 将水泵房1#原水泵JY-DI-V0002进水阀和2#原水泵JY-DI-V0003进水阀打至全开
5.2.1.7 将水泵房1#原水泵JY-DI-V0004出水阀和2#原水泵JY-DI-V0005出水阀打至全开
5.2.1.8 在水源水泵房的原水泵就地控制泵上将预处理系统1#原水JY-DI-P001给水泵和预处理系统2#原水JY-DI-P002给水泵打至自动状态
5.2.1.9 将预处理系统1#多介质过滤器（编号：JY-DI-F006）的JY-DI-V0011进水阀和预处理系统2#多介质过滤器（编号：JY-DI-F007）的JY-DI-V0020进水阀打至全开
5.2.1.10 将预处理系统1#多介质过滤器（编号：JY-DI-F006）的JY-DI-V0019出水阀和预处理系统2#多介质过滤器（编号：JY-DI-F007）的JY-DI-V0028出水阀打至全开
5.2.1.11 将预处理系统1#活性炭过滤器（编号：JY-DI-F008）的JY-DI-V0032进水阀和预处理系统2#活性炭过滤器（编号：JY-DI-F009）的JY-DI-V0040进水阀打至全开
5.2.1.12 将预处理系统1#活性炭过滤器（编号：JY-DI-F008）的JY-DI-V0039出水阀和预处理系统2#活性炭过滤器（编号：JY-DI-F009）的JY-DI-V0047出水阀打至全开
5.2.1.13 将1#中间水箱的JY-DI-V0048进水阀和2#中间水箱的JY-DI-V0049进水阀打至全开
5.2.1.14 将预处理系统JY-DI-P003反洗泵的JY-DI-V0006进水阀和JY-DI-V0007打至全开
5.2.1.15将预处理系统1#多介质过滤器（编号：JY-DI-F006）的JY-DI-V0030反洗进气阀和预处理系统2#多介质过滤器（编号：JY-DI-F007）的JY-DI-V0031反洗进水阀打至半开
5.2.1.16 在纯水站控制室内的控制柜上将预处理系统反洗水泵打至自动状态，此时若中间水箱液位低于中液位以下，预处理系统将会自动启动往中间水箱补水
5.2.1.17 检测ORP值，若ORP值小于200mv时，可将6.2.2中的预处理系统将NaCLO装置计量泵JY-DI-P005加药泵关闭，若ORP值大于200mv时应开启加药泵
5.2.1.18 当预处理系统1#多介质过滤器（编号：JY-DI-F006）和预处理系统2#多介质过滤器（编号：JY-DI-F007）的运行周期运行到监控界面所设定的40hr时，控制柜中的PLC则会自动向其中一台多介质过滤器的就地MF控制柜和反洗水泵发出信号进行反洗，设定的整个反洗时间为44min，具体反洗步骤如下：
5.2.1.18 第一步为排水阶段，开启1#多介质4号JY-DI-V0015气动阀、1#多介质5号JY-DI-V0016气动阀和1#多介质7号JY-DI-V0018气动阀或2#多介质4号JY-DI-V0024气动阀、2#多介质5号JY-DI-V0025气动阀和2#多介质7号JY-DI-V0027气动阀排放一定的水，让空气擦洗时有足够的膨胀空间，该步骤时间设定为4min
5.2.1.19 第二步为空气擦洗阶段，开启1#多介质4号JY-DI-V0015气动阀和1#多介质6号JY-DI-V0017气动阀或2#多介质4号JY-DI-V0024气动阀和2#多介质6号JY-DI-V0026气动阀让砂互相磨擦，去除砂表面杂物。空气压力应≤0.15Mpa，该步骤时间设定为10min
5.2.1.20 第三步为沉降缓冲阶段，开启1#多介质4号JY-DI-V0015气动阀和1#多介质7号JY-DI-V0018气动阀或2#多介质4号JY-DI-V0024气动阀和2#多介质7号JY-DI-V0027气动阀，空气擦洗时，滤料膨胀后，过滤器需静止几分钟，让滤料均匀有序缓慢的降落下来，该步骤时间设定为3min
5.2.1.21 第四步为反洗阶段，开启1#多介质4号JY-DI-V0015气动阀和1#多介质3号JY-DI-V0014气动阀或2#多介质4号JY-DI-V0024气动阀和2#多介质3号JY-DI-V0023气动阀，再开启反洗泵冲洗过滤器中的污物，反洗水由罐体的下面逆流而进，废水由罐体的顶部排出，该步骤时间设定为15min
5.2.1.22 第五步为正冲阶段，开启1#多介质1号JY-DI-V0012气动阀、1#多介质5号JY-DI-V0016气动阀或2#多介质1号JY-DI-V0021气动阀、2#多介质5号JY-DI-V0025气动阀同时开启原水泵将滤料压实，并把因反洗残留在出水端的水冲洗干净，正洗水由上往下顺流进入，废水由过滤器底端排出，该步骤时间设定为10min
5.2.1.22 第六步为补水排气阶段，系统自动开启开启1#多介质1号JY-DI-V0012气动阀、1#多介质7号JY-DI-V0018气动阀或2#多介质1号JY-DI-V0021气动阀、2#多介质7号JY-DI-V0027气动阀，同时开启水泵房内的1#原水JY-DI-P001给水泵或2#原水JY-DI-P002给水泵原水泵，将过滤器内的空气排出，该步骤时间设定为2min
5.2.1.23 第六步补水排气阶段结束后，反洗后的多介质过滤器自动转入运行状态
5.2.1.24 当预处理系统1#活性炭过滤器（编号：JY-DI-F008）和预处理系统2#活性炭过滤器（编号：JY-DI-F009）的运行周期运行到监控界面所设定的60hr时，控制柜中的PLC则会自动向其中一台多介质过滤器的就地ACF控制柜和原水泵发出信号进行反洗，原水泵由原始的一用一备转变成二用状态，直至整个反洗结束为止。设定的整个反洗时间为31min，具体反洗步骤如下：
5.2.1.25 第一步为反洗阶段，开启1#活性炭4号JY-DI-V0015气动阀和1#活性炭3号JY-DI-V0035气动阀或2#活性炭4号JY-DI-V0044气动阀和2#活性炭3号JY-DI-V0043气动阀，同时开启水泵房内的1#原水JY-DI-P001给水泵或2#原水JY-DI-P002给水泵原水泵冲洗过滤器中的污物，反洗水由罐体的下面逆流而进，废水由罐体的顶部排出，该步骤时间设定为16min
5.2.1.26 第二步为沉降缓冲阶段，开启1#活性炭4号JY-DI-V0036气动阀和1#活性炭6号JY-DI-V0038气动阀或2#活性炭4号JY-DI-V0044气动阀和2#活性炭6号JY-DI-V0046气动阀，空气擦洗时，滤料膨胀后，过滤器需静止几分钟，让滤料均匀有序缓慢的降落下来，该步骤时间设定为3min
5.2.1.27 第三步为正冲阶段，开启1#活性炭1号JY-DI-V0033气动阀和1#活性炭5号JY-DI-V0037气动阀或2#活性炭1号JY-DI-V0041气动阀和2#活性炭5号JY-DI-V0045气动阀将滤料压实，并把因反洗残留在出水端的水冲洗干净，正洗水由上往下顺流进入，废水由过滤器底端排出，该步骤时间设定为12min
5.2.1.28 第三步运行结束后，活性炭过滤器会自动转为运行状态
5.2.2 开机操作----（反渗透）
5.2.2.1 检查中间水箱应高于中液位且反渗透水箱低于中液位时方可启动反渗透系统
5.2.2.2 将水源水泵房水池池顶两端一级反透渗浓水回流阀打至全开
5.2.2.3 将1#中间水箱顶端的二级反渗透浓水回流阀和2#中间水箱顶端的JY-DI-V0056二级反渗透浓水回流阀打至全开
5.2.2.4 将1#反渗透水箱顶端的JY-DI-V0110进水阀和2#反渗透水箱顶端的JY-DI-V0111进水阀打至全开
5.2.2.5 在纯水站内将预处理系统将NaHSO3装置计量泵加药泵打开，NaHSO3加药浓度为3-5PPM，配药浓度：2%，即每100L溶液，加入NaHSO3化学纯以上纯度试剂3Kg。加药泵的冲程与速度之积等于50%左右
5.2.2.6 在纯水站内将预处理系统将阻垢剂装置计量泵加药泵打开，阻垢剂加药浓度为3-5PPM，配药浓度：6%，即每100L溶液，加入阻垢剂标准液化6000ml。加药泵的冲程与速度之积等于60%左右
5.2.2.7 在纯水站内将预处理系统将NaOH装置计量泵加药泵打开，配药浓度：0.5%，即每100L溶液，加入NaHSO3化学纯以上纯度试剂0.5Kg。加药泵的冲程与速度之积等于50%左右
5.2.2.8 将中间水箱连接阀JY-DI-V0052手动阀门及1#中间水箱出水阀JY-DI-V0057和2#中间水箱出水阀JY-DI-V0058打至全开
5.2.2.9 将1#反渗透增压泵进水阀JY-DI-V0059手动阀和2#反渗透增压泵进水阀JY-DI-V0060手动阀打至全开
5.2.2.10 将1#反渗透增压泵出水阀JY-DI-V0061手动阀和2#反渗透增压泵出水阀JY-DI-V0062手动阀打至全开
5.2.2.11 当设备运行在冬季时，将1#板式换热器JY-DI-V0069旁通阀和2#板式换热器JY-DI-V0067旁通阀置于关闭状态
5.2.2.12将1#板式换热器JY-DI-V0073热水出水阀和2#板式换热器JY-DI-V0076热水出水阀打至全开
5.2.2.13 将1#板式换热器JY-DI-V0071热水进水阀和2#板式换热器JY-DI-V0074热水进水阀打至全开
5.2.2.14 将1#板式换热器JY-DI-V0066纯水出水阀和2#板式换热器JY-DI-V0068纯水出水阀打至全开
5.2.2.15 将1#板式换热器JY-DI-V0065纯水进水阀和2#板式换热器JY-DI-V0067纯水进水阀打至全开
5.2.2.16 在PCW4管道上将板式换热器末端总回水阀打至全开
5.2.2.17 在PCW4管道上将板式换热器前端总进水阀打至全开
5.2.2.18 将PCW4管道上的旁通阀打至关闭
5.2.2.18 若当设备运行在夏季时，则应先将PCW4管道上的旁通阀打至全开
5.2.2.19 在PCW4管道上将板式换热器前端总进水阀打至关闭状态
5.2.2.20在PCW4管道上将板式换热器末端总回水阀打至关闭状态
5.2.2.21 将1#板式换热器JY-DI-V0065纯水进水阀和2#板式换热器JY-DI-V0067纯水进水阀打至关闭状态
5.2.2.22 将1#板式换热器JY-DI-V0066纯水出水阀和2#板式换热器JY-DI-V0068纯水出水阀打至关闭状态
5.2.2.23 将1#板式换热器JY-DI-V0071热水进水阀和2#板式换热器JY-DI-V0074热水进水阀打至关闭状态
5.2.2.24将1#板式换热器JY-DI-V0073热水出水阀和2#板式换热器JY-DI-V0076热水出水阀打至关闭状态
5.2.2.25 将1#板式换热器JY-DI-V0069旁通阀和2#板式换热器JY-DI-V0067旁通阀置于全开状态
5.2.2.26 将1#保安过滤器JY-DI-V0078出水阀和2#保安过滤器JY-DI-V0080出水阀置于全开状态
5.2.2.26 将1#保安过滤器JY-DI-V0077进水阀和2#保安过滤器JY-DI-V0079进水阀置于全开状态
5.2.2.27 将1#反渗透水箱JY-DI-V0131出水阀和1#反渗透水箱JY-DI-V0130出水阀置于全开状态
5.2.2.28 将反渗透系统低压清洗泵JY-DI-V0086进水阀和反渗透系统低压清洗泵JY-DI-V0087出水阀置于全开状态
5.2.2.29 将一级反渗透1#高压泵JY-DI-V0082进水阀和一级反渗透2#高压泵JY-DI-V0084进水阀置于全开状态
5.2.2.30 将一级反渗透1#高压泵JY-DI-V0083出水阀和一级反渗透2#高压泵JY-DI-V0085出水阀置于全开状态
5.2.2.31 将一级反渗透二段JY-DI-V0091入口进水阀置于全开状态
5.2.2.32 将一级反渗透产水调节JY-DI-V0092出水阀置于全开状态
5.2.2.33 将二级反渗透1#高压泵JY-DI-V0100进水阀和二级反渗透2#高压泵JY-DI-V0102进水阀置于全开状态
5.2.2.34 将二级反渗透1#高压泵JY-DI-V0101出水阀和二级反渗透2#高压泵JY-DI-V0103出水阀置于全开状态
5.2.2.35 将二级反渗透1#高压泵JY-DI-V0101出水阀和二级反渗透2#高压泵JY-DI-V0103出水阀置于全开状态
5.2.2.36 将二级反渗透产水调节JY-DI-V0106出水阀置于全开状态
5.2.2.37 将反渗透水箱JY-DI-V0114连接阀置于全开状态
5.2.2.38 在纯水站控制室的控制面板上将反渗透系统低压清洗泵电源开关打开，并置于自动状态
5.2.2.39 在纯水站控制室的控制面板上将1#和2#反渗透增压泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为一用一备，在自动运行时PLC可下达命令给系统在不同的制水周期自动切换泵的使用形式
5.2.2.40 在纯水站控制室的控制面板上将一级反渗透系统的1#和2#反渗透高压泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为一用一备，在自动运行时PLC可下达命令给系统在不同的制水周期自动切换泵的使用形式
5.2.2.41 在纯水站控制室的控制面板上将二级反渗透系统的1#和2#反渗透高压泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为一用一备，在自动运行时PLC可下达命令给系统在不同的制水周期自动切换泵的使用形式
5.2.2.42 调节一级反渗透产水流量，逐渐将一级反渗透JY-DI-V0090慢慢打开，并观察流量计，在进水水温为25℃情况下，浓水回流流量不应小于15M3∕hr，产水流量不应小于45 M3∕hr
5.2.2.43 调节二级反渗透产水流量，逐渐将二级反渗透JY-DI-V0104慢慢打开，并观察流量计，在进水水温为25℃情况下，浓水回流流量不应小于7M3∕hr，产水流量不应小于38 M3∕hr
5.2.2.44 系统运行后观察ORP值，若该值低于200mv以下，先将NaHSO3装置计量泵加药泵关闭，继续观察5min后还无上升现象，则该计量装置加药泵可暂时置于关闭状态
5.2.2.45日常运行时密切观察保安过滤器的压差，为避免反渗透膜受到致命污染，当压差≥0.03Mpa时或保安过滤器运行时间超过240小时，必须立即检查并更换滤芯
5.2.2.46 日常运行时密切观察一级反渗透系统的段间压差和产水压差，当排除水温影响时，原则上在同等的不温条件下，实时压差不应大于历史压差的15%时。若排除为水温影响而压差增大后应考虑化学清洗反渗透膜，清洗步骤参考纯水系统操作维护手册，清洗时应考虑生产线生产情况，由系统工程师监督执行
5.2.3开机操作----（EDI）
5.2.3.1 将1#反渗透水箱JY-DI-V0116回流阀或2#反渗透水箱回流阀置于1∕4状态
5.2.3.2 将1#反渗透水箱JY-DI-V0131出水阀和1#反渗透水箱JY-DI-V0130出水阀置于 全开状态
5.2.3.3 将氮封水箱JY-DI-V0192氮气入口阀置于2∕3状态
5.2.3.4 将EDI装置纯水产水JY-DI-V0147调节出水阀置于全开状态
5.2.3.4 将EDI装置浓水进水JY-DI-V0148调节气动阀的前端手动阀置于全开
5.2.3.6 将EDI装置1#EDI模块浓水出水JY-DI-V0153手动阀置于全开
5.2.3.7 将EDI装置1#EDI模块浓水进水JY-DI-V0151手动阀置于全开
5.2.3.8 将EDI装置1#EDI模块纯水出水JY-DI-V0152手动阀置于全开
5.2.3.9 将EDI装置1#EDI模块纯水进水JY-DI-V0150手动阀置于全开
5.2.3.10 将EDI装置2#EDI模块浓水出水JY-DI-V0157手动阀置于全开
5.2.3.11 将EDI装置2#EDI模块浓水进水JY-DI-V0155手动阀置于全开
5.2.3.12 将EDI装置2#EDI模块纯水出水JY-DI-V0156手动阀置于全开
5.2.3.13 将EDI装置2#EDI模块纯水进水JY-DI-V0154手动阀置于全开
5.2.3.14 将EDI装置3#EDI模块浓水出水JY-DI-V0161手动阀置于全开
5.2.3.15 将EDI装置3#EDI模块浓水进水JY-DI-V0159手动阀置于全开
5.2.3.16 将EDI装置3#EDI模块纯水出水JY-DI-V0160手动阀置于全开
5.2.3.17 将EDI装置3#EDI模块纯水进水JY-DI-V0158手动阀置于全开
5.2.3.18 将EDI装置4#EDI模块浓水出水JY-DI-V0165手动阀置于全开
5.2.3.19 将EDI装置4#EDI模块浓水进水JY-DI-V0163手动阀置于全开
5.2.3.20 将EDI装置4#EDI模块纯水出水JY-DI-V0164手动阀置于全开
5.2.3.21 将EDI装置4#EDI模块纯水进水JY-DI-V0162手动阀置于全开
5.2.3.22 将EDI装置5#EDI模块浓水出水JY-DI-V0169手动阀置于全开
5.2.3.23 将EDI装置5#EDI模块浓水进水JY-DI-V0167手动阀置于全开
5.2.3.24 将EDI装置5#EDI模块纯水出水JY-DI-V0168手动阀置于全开
5.2.3.25 将EDI装置5#EDI模块纯水进水JY-DI-V0166手动阀置于全开
5.2.3.26 将EDI装置6#EDI模块浓水出水JY-DI-V0173手动阀置于全开
5.2.3.27 将EDI装置6#EDI模块浓水进水JY-DI-V0171手动阀置于全开
5.2.3.28 将EDI装置6#EDI模块纯水出水JY-DI-V0172手动阀置于全开
5.2.3.29 将EDI装置6#EDI模块纯水进水JY-DI-V0170手动阀置于全开
5.2.3.30 将EDI装置7#EDI模块浓水出水JY-DI-V0177手动阀置于全开
5.2.3.31 将EDI装置7#EDI模块浓水进水JY-DI-V0175手动阀置于全开
5.2.3.32 将EDI装置7#EDI模块纯水出水JY-DI-V0176手动阀置于全开
5.2.3.33 将EDI装置7#EDI模块纯水进水JY-DI-V0174手动阀置于全开
5.2.3.34 将EDI装置8#EDI模块浓水出水JY-DI-V0181手动阀置于全开
5.2.3.35 将EDI装置8#EDI模块浓水进水JY-DI-V0179手动阀置于全开
5.2.3.36 将EDI装置8#EDI模块纯水出水JY-DI-V0180手动阀置于全开
5.2.3.37 将EDI装置8#EDI模块纯水进水JY-DI-V0178手动阀置于全开
5.2.3.38 将EDI装置9#EDI模块浓水出水JY-DI-V0185手动阀置于全开
5.2.3.39 将EDI装置9#EDI模块浓水进水JY-DI-V0183手动阀置于全开
5.2.3.40 将EDI装置9#EDI模块纯水出水JY-DI-V0184手动阀置于全开
5.2.3.41 将EDI装置9#EDI模块纯水进水JY-DI-V0182手动阀置于全开
5.2.3.42 将EDI装置10#EDI模块浓水出水JY-DI-V0189手动阀置于全开
5.2.3.43 将EDI装置10#EDI模块浓水进水JY-DI-V0187手动阀置于全开
5.2.3.44 将EDI装置10#EDI模块纯水出水JY-DI-V0188手动阀置于全开
5.2.3.45 将EDI装置10#EDI模块纯水进水JY-DI-V0186手动阀置于全开
5.2.3.46 将EDI装置纯水进水JY-DI-V0145手动调节总进水阀置于全开
5.2.3.47 将EDI装置1#保安过滤器出水JY-DI-V0142手动阀和2#保安过滤器出水JY-DI-V0144手动阀置于全开
5.2.3.48 将EDI装置1#保安过滤器进水JY-DI-V0141手动阀和2#保安过滤器进水JY-DI-V0143手动阀置于全开
5.2.3.49 将EDI装置1#增压泵出水JY-DI-V0134手动阀和2#增压泵出水JY-DI-V0135手动阀置于全开
5.2.3.50 将EDI装置1#增压泵进水JY-DI-V0132手动阀和2增压泵进水JY-DI-V0133手动阀置于全开
5.2.2.51 在纯水站控制室的控制面板上将EDI装置的1#和2#增压泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为一用一备，在自动运行时PLC可下达命令给系统在不同的制水周期自动切换泵的使用形式
5.2.3.52 调节EDI装置纯水产水JY-DI-V0147手动阀，将流量调至≥30 M3∕hr，浓水流量不应小于3 M3∕hr
5.2.3.53日常运行时密切观察保安过滤器的压差，为防止滋生更多的细菌等微生物污染水质及降低EDI膜块的使用寿命，当压差≥0.03Mpa时或滤芯使用时间超过720小时，必须立即检查并更换滤芯
5.2.3.54日常运行时密切观察EDI装置运行状况，若当产水电阻明显下降至10MΩ.CM以下时，而相应的模块电流超过5A，电压超过350V时，应考虑电再生EDI模块，再生步骤参考纯水系统操作维护手册。再生时应由系统工程师监督执行
5.2.4开机操作----（供水系统）
5.2.4.1 将氮封水箱顶端TCO生产给水管的回水手动总阀和一般生产线给水管的回水手动总阀置于半开状态
5.2.4.2 将超纯水供TCO生产给水管的给水手动总阀和一般生产线给水管的给水总阀置于半开状态
5.2.4.3 将超纯水供水系统的1号0.22μｍ过滤器的JY-DI-V0222出水手动阀和2号0.22μｍ过滤器的JY-DI-V0224出水手动阀置于全开
5.2.4.4 将超纯水供水系统的1号0.22μｍ过滤器的JY-DI-V0221进水手动阀和2号0.22μｍ过滤器的JY-DI-V0223进水手动阀置于全开
5.2.4.5 将超纯水供水系统的1号超纯水增压泵的JY-DI-V0218出水手动阀和2号超纯水增压泵的JY-DI-V0220出水手动阀置于全开
5.2.4.6 将超纯水供水系统的1号超纯水增压泵的JY-DI-V0217进水手动阀和2号超纯水增压泵的JY-DI-V0219进水手动阀置于全开
5.2.4.7 将超纯水供水系统的1号抛光混床JY-DI-P045的出水阀JY-DI-V0208号手动阀置于全开
5.2.4.8 将超纯水供水系统的1号抛光混床JY-DI-P045的进水阀JY-DI-V0207号手动阀置于全开
5.2.4.9 将超纯水供水系统的2号抛光混床JY-DI-P046的出水阀JY-DI-V0210号手动阀置于全开
5.2.4.10 将超纯水供水系统的2号抛光混床JY-DI-P046的进水阀JY-DI-V0209号手动阀置于全开
5.2.4.11 将超纯水供水系统的3号抛光混床JY-DI-P047的出水阀JY-DI-V0212号手动阀置于全开
5.2.4.12 将超纯水供水系统的3号抛光混床JY-DI-P047的进水阀JY-DI-V0211号手动阀置于全开
5.2.4.13 将超纯水供水系统的4号抛光混床JY-DI-P048的出水阀JY-DI-V0214号手动阀置于全开
5.2.4.14 将超纯水供水系统的4号抛光混床JY-DI-P048的进水阀JY-DI-V0213号手动阀置于全开
5.2.4.15 将超纯水供水系统的5号抛光混床JY-DI-P049的出水阀JY-DI-V0216号手动阀置于全开
5.2.4.16 将超纯水供水系统的5号抛光混床JY-DI-P049的进水阀JY-DI-V0215号手动阀置于全开
5.2.4.17 将超纯水供水系统的1号185除TOC UV灯JY-DI-V0202出水阀和2号185除TOC UV灯JY-DI-V0205出水手动阀置于全开
5.2.4.18 将超纯水供水系统的1号185除TOC UV灯JY-DI-V0201进水阀和2号185除TOC UV灯JY-DI-V0204进水手动阀置于全开
5.2.4.19 将超纯水供水系统的1号185除TOC UV灯JY-DI-V0203旁通手动阀和2号185除TOC UV灯JY-DI-V0206旁通手动阀置于关闭位置
5.2.4.20 将超纯水供水系统的1号超纯水增压泵JY-DI-V0196出水阀和2号超纯水增压泵JY-DI-V0198出水手动阀置于全开
5.2.4.21 将超纯水供水系统的1号超纯水增压泵JY-DI-V0195进水阀和2号超纯水增压泵JY-DI-V0197进水手动阀置于全开
5.2.4.21 将初级纯水给水泵的JY-DI-V0227出水阀置于全开
5.2.4.22 将初级纯水制氢补水给水管路的手动阀和PCW4补水给水管路的手动阀置于全开
5.2.4.23 将初级纯水PCW4补水给水管路的电动阀及其前后手动阀门置于全开，电动阀应该时常保持通电状态，若电动阀未通电则无法给PCW4系统补水
5.2.4.24 将初级纯水PCW4补水给水管路上的旁通手动阀置于关闭
5.2.4.25 将初级纯水给水泵的JY-DI-V0226进水阀置于全开
5.2.4.22在纯水站就在控制柜上将初级纯水水泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为为变频泵，可根据具体的使用点使用情况在变频器上设置需求的压力，初始设置为40%，即0.4Mpa，当所有用水点关闭后，水泵会继续运转，当运行压力超过设定设定值，即超过0.4Mpa，水泵就会停止，若低于0.4Mpa则会启动
5.2.4.22在纯水站控制室的控制面板上将超纯水供水系统的1#和2#超纯水增压泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为一用一备，在自动运行时PLC可下达命令给系统在不同的制水 周期自动切换泵的使用形式
5.2.4.23在纯水站控制室的控制面板上将超纯水供水系统的1#和2#超纯水给水泵电源开关打开，并置于自动状态，该泵为一用一备变频使用，变频压力根据需求点使用要求控制在0.4±0.05 Mpa，在自动运行时PLC可下达命令给系统在不同的制水周期自动切换泵的使用形式
5.2.4.24当超纯水增压泵开启后超纯水给水泵进水口会在4S~5S内迅速达到0.4Mpa，此时超纯水泵自动启动
5.2.4.25将超纯水供TCO生产给水管的给水手动总阀和一般生产线给水管的给水总阀逐渐慢慢打开，直至管道内部的空气排净，压力表读数稳定后将阀门打至全开状态，此时给水流量应大于39M3∕hr ，供水压力应保持在0.4±0.07 Mpa左右，电阻率应大于10MΩ.CM ---18MΩ.CM
5.2.4.26日常运行时密切观察0.22μｍ滤器的压差，为防止滋生更多的细菌等微生物，污染水质，影响生产品质，当压差≥0.03Mpa时或滤芯使用时间达到2160小时，必须立即检查并更换滤芯。更换该滤芯时，应考虑生产线的生产情况，由系统工程师监督执行，运行人员不得擅自更换或检查该滤芯
5.3 关机操作
5.3.1关机操作----（预处理）
5.3.1.1 关闭原水泵
5.3.1.2 在纯水站关闭多介质总进水手动阀
5.3.1.3在纯水站关闭活性炭总产水手动阀
5.3.2关机操作----（反渗透）
5.3.2.1 关闭二级反渗透高压泵
5.3.2.2 关闭一级反渗透高压泵
5.3.2.3关闭反渗透增压泵
5.3.2.4关闭反渗透进水总阀
5.3.2.5关闭一级和二级反渗透产水总阀
5.3.3关机操作----（EDI）
5.3.3.1 关闭EDI增压泵
5.3.3.2 关闭EDI进水总阀
5.3.3.3关闭EDI产水总阀
5.3.4 关机操作----（供水系统）
5.3.4.1 关闭超纯水给水泵
5.3.4.2 关闭超纯水给水增压泵
5.3.4.3 关闭氮封装置开关
5.3.4.4 关闭超纯给水给水、回水总阀
5.3.4.5 关闭超纯水增压泵进水总阀
5.3.4.6 关闭初级纯水水泵
5.3.4.7 关闭初级纯水水泵前后阀门
5.4 注意事项
5.4.1 在手动运行反渗透系统时，应先进行低压冲洗
5.4.2 在反渗透系统运行时，应将ORP和PH探头的进水和排水阀打开，若排水未打开，
仪表会读取死水的读数，导致人员无法正常判断ORP和PH的实际值
6 参考文件
无
7.使用表单
7.1 纯水制备运行表（Best-T-Q-CW-12-004-001）
7.2 纯水供水运行表（Best-T-Q-CW-12-004-002）

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