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高洁净净化厂房的施工与验收测试

吴 刚 钱艺柏 钱忠美
( 江苏省华建建设股份有限公司 518034)

［提要］ 本文介绍了深圳飞通光电大厦洁净厂房防静电地坪、 金属岩棉板隔墙与吊顶、 高效过滤器等分项工程的施工与安装工艺; 介绍了洁净厂房的验收与测试方法。
［关键词］洁净厂房 施工工艺 验收与测试 维护管理

随着中国产业结构的调整和高新技术产业的迅猛发展, 微电子、 光电通讯、 生物制药、 精细化工、 精密仪器等一批新型生产企业的建立, 其研制、 生产所需的洁净厂房的规模越来越大, 要求越来越高, 对施工企业的技术、 工艺与管理也提出了新的要求, 本文经过对深圳飞通光电大厦高洁净厂房的施工、 检测、 调试过程的总结, 旨在为今后同类工程的施工与管理提供一些经验。

1 工程概况

深圳飞通光电大厦由全国高新技术开发重点企业深圳飞通光电股份有限公司投资兴建, 该工程为地下一层、 地上十二层, 框架－剪力墙结构, 建筑占地面积1694.30m2, 建筑面积22766 m2, 于 10月经过竣工验收。
2－5层是大厦的核心, 主要用作光电产品的研制、 生产、 检测等, 洁净度等级分为一百级、 一万级、 十万级, 防静电地板的电阻值满足104－106Ω。洁净区层高4.8m, 内墙为50厚岩棉彩钢板隔断, 吊顶为50厚岩棉彩钢板吊顶, 门为铝框彩钢板门, 铝合金观察窗, 净化区地面有防静电PVC板地面、 环氧自流坪、 环氧树脂玻璃钢防腐地面等。
洁净厂房按洁净度等级不同对厂房内的尘粒数、 净压差、 室内噪音、 室内温湿度都有明确的要求, 因此室内装修、 系统安装等也有相应的要求。即使是室外进入洁净区无洁净要求的过渡带, 也仍有较高的装修标准和温湿度要求。我们根据该工程未来生产工艺原理及洁净流程, 在充分理解设计意图的基础上, 编制洁净工程专项施工方案, 制定施工及安装操作标准, 精心组织施工与管理, 顺利完成了该工程的施工和测试, 按期交付使用。

2 洁净厂房施工

2.1 地坪施工
2.1.1 水泥砂浆找平层
（1） 平整度 本工程设计采用结构面上30厚1: 2水泥砂浆找平。为保证后道工序的施工质量, 我们提出了地面平整度每2平方米以内误差不大于±2mm的要求。
（2） 含水率 地板在施工前, 要保证地面充分干燥, 含水率要低于8％, 对于经常有潮气渗出的地面, 需做防水处理。
（3） 地面强度 地面不允许有空鼓和起砂及裂缝现象, 强度等级不少于M15。
（4） 清洁度 地面无尘、 油垢、 酸碱等会影响胶水粘性的杂质。
2.1.2 永久性防静电PVC贴面地板施工
（1） 施工用料
地板: 采用防静电半硬质聚氯乙稀块状塑料地板, 规格600×600, 厚2.5 mm;
粘结剂: 采用氯丁强力橡胶粘结剂;
导电胶: 采用氯丁强力橡胶粘结剂与导电材料配置;
铜箔: 厚度0.05－0.10mm,宽度20－30mm;
酒精: 工业级。
（2） 施工方法
清理地面寻找画出中心十字线, 十字线要求垂直等分;
铺设铜箔网络 在地面上按规定的尺寸粘贴铜箔条形成网状, 粘贴时, 先按测定位置均匀涂上一层粘结剂, 宽度35mm, 待不粘手后, 粘上铜箔条, 交叉处用导电胶粘结, 以保证铜箔条间导通。粘贴好的铜箔网络中有至少4点与接地线接通, 相邻铜箔条间的阻值小于105Ω。
（3） 铺设地板
首先在地面和地板背面均匀的涂上一层氯丁强力橡胶粘结剂, 放置待干, 待粘结剂手感似粘非粘时开始铺设地板, 铺设时从中心位置开始逐块向四周展开, 边贴边用橡皮锤头敲打, 并在铜箔条上涂上少许导电胶以保证每一块地板的背面至少有一点有导电胶与铜箔相粘结。施工过程中, 要经常检查测试地板表面与铜箔条间的电阻, 确保导通。地板铺设完后, 进行打光处理。
2.1.3 自流坪施工
主要用于清洗间, 在基层处理到位的基础上, 将自流坪粉料倒入常温清水, 同时进行搅拌, 形成流态、 均匀的混合物, 将该混合物倒入施工区域, 均匀涂至所要求的厚度即可。
2.2 岩棉壁板及吊顶安装
本工程吊顶及隔断采用50厚岩棉彩钢板。洁净室的安装, 须在粗装饰工程完成后的室内进行, 所有外窗均为中空玻璃固定窗, 天棚以上墙梁板柱均批腻子刷白。室内空间必须清洁、 无积尘, 并在施工安装过程中对零部件和场地随身清扫、 擦净。
2.2.1构配件和材料的开箱启封应在清洁环境中进行, 严格检查其规格性能和完好度, 不合格或已损坏的构配件严禁安装;
2.2.2壁板安装前严格放线, 墙角垂直交接, 防止累计误差造成壁板倾斜扭曲, 壁板的垂直度偏差不大于0.2％;
2.2.3施工安装前时, 首先进行吊挂、 锚固件等与主体结构和楼面、 地面的连接件的固定;
2.2.4为了承受在净压差及设备启动时的压力变化下, 控制吊顶板的起伏变形和开裂。施工时在吊顶中部增焊了纵横方向的φ12加强筋, 增强骨架的整体性。同时吊顶按房间宽度方向起拱, 使吊顶在受荷载后的使用过程中保持平整;
2.2.5安装过程中不撕下壁板表面塑料保护膜, 以防止撞击和踩踏板面;
2.2.6所有门窗线盒洞口安装壁板前开好洞口, 所有管线也事先在夹板岩棉中穿好;
2.2.7天棚与墙面、 墙面与地坪交叉阴角处均有定型连接件连接, 并严格按要求做法完成密封。
2.3 铝框彩钢门、 铝合金固定窗、 铝合金风口及型材的安装
2.3.1铝合金采用平开式安装, 门框四周镶有密封条, 门框简洁易清洗;
2.3.2铝合金固定窗采用圆弧过渡形式, 起到不积尘的作用。型材紧贴彩钢板, 易清洗, 玻璃表面无花斑、 无气孔、 透明度好;
2.3.3铝合金风口按设计尺寸规格定做而成, 表面平整无毛刺, 调节灵活, 安装时与彩钢板紧贴, 易清洗;
2.3.4铝合金型材采用槽铝圆弧一体形式, 整体性好, 强度高;
2.3.5在不同洁净等级区域的通道处, 安装不锈钢质密封放火门与空气吹淋装置;
2.3.6灯具、 风口、 功能接头、 观察窗等各种孔洞的周边、 不同材料的交接处, 均严格按要求作法完成密封和防裂措施, 保证了整个洁净室的气密性。
2.4 高效过滤器的安装
洁净系统中的通风空调设备必须按照国家施工验收规范中设备安装部分的技术措施组织施工, 关于高效过滤器的安装还须注意以下几点:
2.4.1高效过滤器安装前, 必须对洁净室进行全面清扫、 擦净, 净化空调系统内部如有积尘, 应再次清扫、 擦净, 达到清洁要求;
2.4.2洁净室及空调净化系统达到清洁要求后, 净化空调系统必须试运转。连续运转12h以上, 再次清扫、 擦净洁净室后立即安装高效过滤器;
2.4.3高效过滤器的运输和存放按照生产厂标志的方向搁置。运输过程中注意轻拿轻放, 防止剧烈震动和碰撞;
2.4.4高效过滤器安装前,必须在安装现场拆开包装进行外观检查, 内容包括滤纸、 密胶和框架有无损坏, 边长、 对角线和厚度尺寸是否符合要求, 框架有无锈斑, 有无产品合格证, 技术性能是否符合设计要求, 然后进行检漏;
2.4.5安装高效过滤器的框架要平整。每个高效过滤器的安装框架平整度允许偏差不大于1mm;
2.4.6高效过滤器和框架之间的密封采用密封垫和液槽密封或双环密封, 要求把填料表面、 过滤器边框表面和框架表面及液槽擦拭干净;
2.4.7采用密封垫时, 垫的厚度不宜超过8mm, 压缩率为25－30％。采用液槽密封时, 液槽内的液面高度要符合设计要求, 框架各接缝处不得有渗漏现象;
2.4.8安装高效过滤器时, 外框上箭头应和气流方向一致;
2.4.9高效送风口在结构楼板与彩钢板吊顶之间采用花篮螺丝连接, 以便调节。使送风口边框与彩钢板之间紧密, 减轻彩钢板顶棚负荷。

3 系统综合验收

3.1验收条件
验收应在对各分部工程做外观检查, 单机运转、 系统联合试运转, 空态或静态条件下的洁净室性能检测和调整以及对有关的施工检查记录审查合格后进行;
3.2洁净室各分部工程的外观检查应符合下列要求
3.2.1高效空气过滤器与风管连接及风管与设备的连接处应有可靠密封;
3.2.2净化空调器、 净压箱、 回风口无灰尘;
3.2.3洁净室的内墙面、 吊顶表面和地面, 应光滑平整、 色泽均匀、 不起灰尘, 地板无静电现象;
3.2.4送回风口及各类末端装置、 各类管道、 照明及动力线配管以及工艺设备穿越洁净室时, 穿越处的密封处理应可靠严密。
3.3 验收的检测结果应全部符合设计要求, 其检测项目应符合下列规定
3.3.1通风机的风量及转速的检测;
3.3.2风量的测定和平衡;
3.3.3室内净压的检测调整;
3.3.4自动调节系统联动运转;
3.3.5高效空气过滤器的检漏( 检测) ;
3.3.6室内洁净度级别( 检测) ;
3.4 洁净室验收时, 施工单位应提供下列文件
3.4.1设计文件或变更的证明文件及有关协议和竣工图;
3.4.2主要材料、 设备和调节仪表的出厂合格证书或检验文件;
3.4.3单位工程、 分部分项工程质量自检检验评定表;
3.4.4土建掩蔽工程系统和管线掩蔽工程系统封闭记录, 设备开箱检查记录, 中间验收单, 竣工验收单。

4 测试

4.1技术指标
4.1.1洁净度
一百级 ≥0.5μm的尘埃颗粒数≤3.5颗/升
≥5μm的尘埃颗粒数≤0.0颗/升
一万级 ≥0.5μm的尘埃颗粒数≤350颗/升
≥5μm的尘埃颗粒数≤2.5颗/升
十万级 ≥0.5μm的尘埃颗粒数≤3500颗/升
≥5μm的尘埃颗粒数≤25颗/升
采用Y09－6尘埃粒子计数器检测
4.1.2室内噪声
≤65db( A) 单向流 采用ND－12声级器检测
≤60db( A) 非单向流 采用ND－12声级器检测
4.1.3室内压差
≥5－10Pa 采用YYT－200B斜管压差计检测
4.1.4室内温度
按设计要求为22℃±2℃
4.1.5室内湿度
按设计要求为50±5％
4.2测试方法
4.2.1高效过滤器检漏－粒子计数器法( 采用Y09－6尘埃粒子计数器)
（1） 被检测高效过滤器必须已测过风量, 在设计风速的80－120％之间运行;
（2） 在被检测高效过滤器上风测定大气尘的微粒数, 以大于或等于0.5μm微粒为准其浓度必须大于或等于3.5*104粒/L;
（3） 检漏时采样口放在距离被检测过滤器表面2～3cm处, 以5～20mm/s的速度移动, 对被检测过滤器整个表面、 封头胶和安装框架进行扫描。
4.2.2静压差的测定( 采用YYT－200B斜管压差计)
（1） 静压差的测定应在所有的门关闭时进行, 并应从平面上最里面的房间依次向外测定;
（2） 对于洁净度高于100级的单向流(层流)洁净室, 还应测定在门开启状态下, 离门口0.6m处的室内侧工作面高度的粒子数。
4.2.3室内洁净度的测定( 采用Y09－6尘埃粒子计数器)
（1） 测定洁净度的最低限采样点数的规定
面积( m2)
洁 净 度
≥100级
1000级
10000级
100000级
＜10 m2
2～3
2
2
2
10
4
3
2
2
20
8
6
2
2
40
16
13
4
2
100
40
32
10
3
200
80
63
20
6
400
160
126
40
13
1000
400
316
100
32
（2） 测点的分布
多于5点时可分层布置, 但每层不少于5点;
5点或5点以下时可布置在离地0.8m高平面的对角线上或该平面上的两个过滤器之间的地点。
4.2.4室内噪声的测定( 采用ND－12声级计)
（1） 测噪声仪器为带倍频程分析仪的声级计。一般只测4声级的数值;
（2） 测点位置: 面积＜15m2, 室中心1点, 测点高度距地面1.1m。

5 结语

高洁净净化厂房能否满足使用功能的要求, 不但取决于设计、 施工的质量, 也取决于维护管理的水平。对于高洁净度级别的洁净室特别重要。洁净室运行的日常维护管理主要包括人员管理、 出入制度、 用具的选择与管理、 卫生和安全制度、 洁净服制度和教育培训等方面。随着高新技术产业的发展, 企业对产品生产环境的要求愈来愈严格, 在执行国家标准方面, 各企业采用的工序及工艺也千差万别, 以上经过飞通光电大厦高洁净厂房的施工实践, 对洁净厂房系统的施工工艺、 施工技术措施和验收测试作一总结, 为更好地执行国家相关标准, 制定洁净厂房施工的通用工艺提供一定的实践和理论基础。