LDI曝光设备说明-日立DE-S.pdf

LDI曝光骰明（日立DE-S）LDI曝光a 明日立DE-Sppt课件1LDI曝光骰明（日立DE-S）LDI曝光制程介貂大铜L曝光裂程定羲2.HDI曝光裂程流程明3.LDI技街明4.LDI曝光儒介貂ppt课件2LDI曝光骰明(日立DE-S)1.曝光裂程定羲曝光(Expo su re)利用UV o r金雷射光符客户需要之影像斡移到基 板干膜上，搭配彳发段虑理工序，以完成客户所需 之圈I形形成.-f lp影像樽移前影像樽移后ppt课件3LDI曝光骰明（日立DE-S）2.HDI曝光裂程流程明2.1 HDI曝光裂程前彳复流程2.1.1 N Process曝光整板重灌孔整平前虑理 贴膜去膜 触刻 影,：/77t1/77 zzpy t3me JBE-nrLDI曝光骰明（日立DE-S）2.1.2 C.M.Process贴膜去膜融刻影ppt课件5LDI曝光骰明（日立DE-S）2.1.3 Q/L Process雷射孔去夥渣整板甯去膜 ppt课件AOI 0黑化6LDI曝光骰明（日立DE-S）2.1.4 A/L Process孔雷射孔贴膜去醪渣曝光影整板1：裾L他刻ppt课件去膜7LDI曝光骰明（日立DE-S）2.2 HDI曝光装程品皙BS馨圈ppt课件8LDI曝光骰明（日立DE-S）3.LDI技就需免明3.1 血定囊3.2 LDI之僵黠就明3.3 LDI技型貌明3.4 LD1之技淅建用在板面上之例ppt课件9LDI曝光骰明（日立DE-S）3.1 加定囊LDI是Laser Director Imag ing（金雷射直接成像）的幺宿氤指的是利用 新型技彳后直接符客户所需之影像资料通谩光的方式描描到板面上,较之前傅统曝光檄（需要符影像资料事先重在D/F）在技彳标上迤步；LDI曝光骰明（日立DE-S）3.2 L3之倭黠貌明直接成像技街L D I 傅幺充曝光檄Dry film直接招81案打印在乾膜上八 利用UV光符底片上固定!|案傅移/I 到乾膜上LDI不需底片，可省底 片成本及底片簿装日寺ppt课件 J 11LDI曝光骰明（日立DE-S）Ac c ur at e Regist r at io n;Aut o Alignment&Sc alingAlignment(Best fit)Alignment&Scaling(Perfect fit)傅统曝光檄LDI曝光檄ppt课件12LDI曝光骰明(日立DE-S)材料涨缩改善Date:2009/12/29 Panel size:18“*22”System model:Paragon8800i Panel thickness:14.5milDry film resist:Asahi AQ-3088 Exposuer energy:25mjLDI序列号SN层别layer解析度 resolutionSCALING.XSCALING.Yexposure time1co-18000dpi1.0006291.00064226 secSO-11.0006001.00062826 sec2CO-18000dpi1.0006191.00064026 secSO-11.0006651.00059226 sec3CO-18000dpi1.0006611.00057226 secSO-11.0006651.00059226 sec4co-14000dpi1.0005901.00063524 secSO-11.0006121.00067424 secR(PPM)75 202LDI曝光檄可采用CCD自勤量洌J板角靶黑占，根獴量洌系吉果自勤整 影像幺宿放比，并可符此幺宿放比曝光到板子的板遏贼展。既改善封位效果，又便于彳发制程分及材料浅缩康分析，此Sample封位幺吉果：偏移最大L06mil，最小Omil，平均0.76mil02mil偏移数摞CPK=L75 课件LDI曝光骰明（日立DE-S）快速打檄生羟畤缩短PORIlotDCVClopStabilizeKctouchr.nlpFactorMprtsurp&inspectPi-r-Condition传统制程 Total 250-300分（底片型借到曝光段包括底片静置畤5 min.10 min.30 min.10 min.15 min.V?25 min.x2DOELDI 带！j程 Total 5 分(CAM Data output 及Ready Print).ulurm2 min.Prlnr5 min.省掠6个制程时间以及物料ppt课件14LDI曝光骰明（日立DE-S）3.3 LDI技型就明 Po lygo n Mir r o r Syst em DMD(Digit al Mic r o Mir r o r)Syst emFeed directio nOrbotech ParagonH itachi viaDE seriesLDI曝光骰明（日立DE-S）DMD 405nm LDI syst em Expo sur eOpt ic al syst emPa n el f eed directio nppt课件DMD(Digital Micro mirror Device)1DMD有100离片小卷竟片名且成，每彳睇片 40u mLDI曝光骰明（日立DE-S）3.4 LDI之技淅建用在板面上之例3.4.1 封位能力佳Film expo sur eOf f set between la yers 80 u m(Meiko Electronics)ppt课件17LDI曝光骰明（日立DE-S）3.4.2 LDI之解析能力30um L/S with 40um thicknessPPt课侏Oum L/S with 25um thickness18LDI曝光骰明（日立DE-S）4.LDI曝光檄儒介貂LDI曝光横;建部位介貂口放板檄f除鹿檄-a LDI主飕-翻板檄除廛檄-LDI主飕-收板檄ppt课件19LDI曝光骰明（日立DE-S）LD1曝光檄本醴勤作明筌寸位显20LDI曝光骰明（日立DE-S）LD1曝光檄本醴勤作明21_RPiii/S_筌寸位显LDI曝光骰明（日立DE-S）4.LDI曝光介貂4.1 前置定位介貂4.2 立系统介貂4.3 曝光系统明4.4 重月商控制系统明4.5 周遏言殳明ppt课件22LDI曝光骰明（日立DE-S）4.1 前置定位国曾介4.1.1 定位11作用通遇X,Y向拍板用基板定位，以利於符板子放在LDI床耋上日寺,CCD能通 谩重月酎殳定位置找到生 板的tH立孔微而完成立曝光作渠4.1.2 勤作遇程入料检知=基板逵X-Pin=X-Pin拍板r Y-Pin拍板Y-Pin X-PinA I定位移戴手臂吸板移至LDI床翕LDI曝光骰明（日立DE-S）4.L3感鹰系统舆焉逵B pt课件2向LDI曝光骰明（日立DE-S）4.2 封位系统貌明4.2.1 封位谩程定莪422封位原理貌明4.2.3 卦位H和介貂A.1：面工作/吉情及原理介貂B.CCD介貂及鼓定资料4.2.4封位精度硅言愁ppt课件25LDI曝光骰明（日立DE-S）4.2.1封位谩程定羲CCD封基板上之靶黑占定位,或通谩X，Y向性，焉逵if勤后羟生的各 靶黑占信号距，并通遇舆原始资料比封言十算，祷僭出现在基板在X，Y项距的谩程4.2.2封位原理A.tH立遇程QQ封位台吸著 基板基板移入CCD位孔(Alig n)o基板封位孔N0.2靶孑I.1：面 X，Y 项移勤靶黑占舆CCD 中心重合26LDI曝光骰明（日立DE-S）B.靶孔距言十算方式床ppt课件27LDI曝光骰明(日立DE-S)C.封位原理CCD取靶黑占For E xample:CM模幺且 算距CCD取X方向靶黑占距(mm):XI=500 X2=500.010CCD取Y方向靶黑占距(mm):Y1=600 Y2=600.050CAM原始资料：X l=X2=500.000mmYl=Y2=599.950mm封位祷慎言周整算：(X1+X2)/500.000/2=1.00001(Y1+Y2)/599.950/2=1.000125窗1：回反帚CCD抓取No.1靶黠DMD以算出来的X，丫工郡宿放比大oh宿 小81形迤行曝光DMD就畲符CAM圈形以X事由放大1.0册胛需,Y事由放大1.000125倍封此板迤行LDI曝光骰明（日立DE-S）不祝JU l形才甫正方式【特切衲正结果心斜伸幺宿木甫正彳发、剩余的偏差均等分配。局部燮形的影封全醴的影警少。才票型祷正方法概述1 首先求出理靶黑占和测定靶黑占的各重心坐才票,再求出使雨但I重心 向一致方向移勤的X方向、Y方向的移勤量。2 把靶黑占的理坐I票加上第一求得的移勤量、把重心依照中心 回樽、按X隼由的比例,Y事由比例处理彳灸，使其和测定坐才票接近。道日寺的回樽鱼、X事由比例值、Y事由比例值，决定了使祷正的坐才票和 测定坐才票的距蹄最小的封位理坐才票。依前言己1 及2 的川直序、4点封位的理座才票速接是方形除 祷正彳爰也是是方形。测定在房方形四他项点位置配置的靶黑占位置、假定有一位I黑白1点如ffi示有L的 偏移。才票型祷正就是把偏移的靶黑占迤 行名勺3/4L的祷正、有名勺1/4杀吴差的残留、其他3点也大名勺有1/4L的偏 差的均等分配）29修LDI曝光骰明（日立DE-S）4.2.3封位国结情立欧基板舆CAMB I形立的平台，主要分卷床耋舆CCD主要檄情如下：ppt课件LDI曝光骰明（日立DE-S）A.面工作结横及原理介貂床1：X向伺服，焉逵禹显勤控制光阜尺，每他刻度可精碓到0.1umX率由雨端言殳有才亟限昌性滑现）通谩CNC控制重月取给伺服，焉逵7偃H孔虢,焉逵畲在光阜尺上度 1（H固格，即1um,彳定A黑占到B CNC系统3,焉逵多少偃孔虢,焉逵即可 行迤多少距离隹，反之若，焉逵行走多少距离隹即畲pass多少偃H孔虢给 CNC，用於言十算A到B黑占距离隹战密新操作距离隹1100mm31LDI曝光骰明（日立DE-S）A.1：面工作结横及原理介貂床耋丫向伺服，焉逵禹显勤控制碓到0.1umY向伺服，焉逵性滑境）光阜尺，每他刻度可精Y率由雨端言殳有才亟限昌通谩CNC控制重月取给伺服，焉逵7偃H孔虢,焉逵畲在光阜尺上度 1（H固格，即1um,彳定A黑占到B CNC系统3,焉逵多少偃孔虢,焉逵即可 行迤多少距离隹，反之若，焉逵行走多少距离隹即畲pass多少偃H孔虢给 CNC，用於言十算A到B黑占距离隹叩嘲针可操作距离隹380mm32LDI曝光骰明（日立DE-S）A.1：面工作结横及原理介貂床1：Z向伺服，焉逵禹显勤控制通谩CNC控制重月留给伺服，焉逵方孔虢7偃H孔虢，焉逵即旋樽1周，M 鹰1：面向上or向下降1um，z向可操作距离隹710mmppt课件33LDI曝光骰明（日立DE-S）A.1：面工作结横及原理介貂床1:。向伺服，焉逵凸显勤控制通谩CNC控制重月留给伺服，焉逵言孔虢，1偃H孔虢，焉逵即旋樽1周，M 鹰1：面向上or向下降1um，e向可操作角度卷15度ppt课件34LDI曝光骰明（日立DE-S）A.1：面工作结横及原理介貂床1：板面吸著控制1：面通谩11：鼓凰檄的吸氧口迤行板面真空密著，1：面分卷雨偃作用显启?分别用於不同板面尺寸控制，目的在於符板面平展的吸附在1:面上，言殳定真空度在-12Kpa ppt课件 35LDI曝光骰明（日立DE-S）B.CCD介貂及定作渠作用：撷取基板举寸位靶孔中心黑占离提供主檄言十算靶距提供基落黑占CCD固定位置不能做移勤，此黑占显别於傅统曝光械此雨彳固CCD和DMD固定才裂座上 不勤，CCD1舆CCD2在同意X 申由方向，距；420mm+/-2ppt课件36LDI曝光骰明（日立DE-S）CCD 取靶孔定回M好果保存名0002glass6-0001 亮0003glass6-00011717demo1718demo 21719demo 31720demo 41721demo 51722demo 61723demo 71111G.UNNO3000TK30001.初始条件设定初始条件作成文件NO.文件名输入初始登入保存11OK2222结果(0.0.0001)caB1234eCO600J6FJj J Lilt入9-HI EJ痛光父巳用聿便怛理一Ppt课件Cam 203 47 FP!63&A般“371425LDI曝光骰明（日立DE-S）2.条件设定方法条件选择已登入文件NO.选择文件NO.文件名确认 选择14CE.0600.6F才入卜II曰育九=覆用声像蛆理厂U 1bmp-FJ2J H_*：PPt课件A般A 13 H338LDI曝光骰明（日立DE-S）OK2222 力?番号 1结果(0.0079,0.3167)LDI曝光骰明（日立DE-S）斗i心 同,.Mjn M MI m El 曰illm 孑保存|湖旗|-5 xCE.050Q6F CE入夕尤XXJH*母矩,V 2bg-|力力汇3|条件7月2222X夕登底 登禄|表示1遇次X|438|525 丫|4O：i|486 中，乖TTZ-f JL名testCOI判5 国一o-ioon iB ffl脩tt力3度P 16x16 P 8x8 P 4x4 P 2幺 P 1幅郭抽出抬3.、值（径）辎郭L秋他St渺屁（20-200 半径静容差士瓯一三 士 LUP*04(0-100H3c 01向 00r工检出刃 下-jj 1-1 G255X同情照B月|6 r|1-I G255X4.对位孔登入（2）轮廓抽出十孔型对照 用照相机观察对位孔为了能观察到圆孔，设定扩散&同 轴照明的光量孔型登入(3)(4)画像上按下始点，拖动到点，设 定孔的区域（粉色外框）指定文件名（例:testOOl）登选择表示、（3）确认登入后的孔 根据选择按钮、到这一步为止，登 入后的孔有可能可以被读出PPt课件40LDI曝光骰明(日立DE-S)包包但 同r Ht)5i|t)y2|ny3|条件2222 保存|测定|夕一：/登底 登糅I表不遇火 新税|C|438 625 丫|400 486 中心卜81(443打功 名|testW1磔 新一(0-100)相!债 Itfl XI/入夕一卜|百无犬0金H 5 2bB-V。卜q 16x16 G 83厂 4x4 P 20 9 1柳附出:h%电(径)厘二 向 04蛤郭L秋临|30-jj 0-100X阳帼2。200 f0三 P“01 半径静容照差土 jj 3 00 哪蟀 po 一引 0-100)1r工模出外f函I触a理城闻凡腕|X f-|1023”力丫 f?-|766曲B螂月75 二I 6255上同程建明|o t 1-I 5.对位孔登入(3)轮廓抽出十孔型对照相关值、搜索区域的设定相关值：设定后的值向下改动的话,会出现 测定失败搜索区域：孔鉴别分解能的选择(检查)(1)数值越大处理时间越快、只能初步的检出孔。(2)数值越小处理时间越慢、越能详细的检出孔。PPt课件41LDI曝光骰明（日立DE-S）51 1n/52|ZJ3|条件22226.对位孔登入（4）轮廓抽出+孔型对照2222(0.008,0.3161)力番号1CE.0500.6F。入公卜|田HjHMOHBSJiiL.U 3bg-八夕一登 留泉表示遇X|410-|686 丫（244（521 中，力 L名|testOO1-判定 fo-100H 相副通力;1，口定八夕一登i录登理表示逋 X（410 陋 Y巧的中可77+1/名 kestOOi力;1|力力条件乃倜2222力番号1原点7廿从2222抬果(0.008,0.3161)S入*卜|日毋光工工watt rg u 3b26彳：/卜|日国阳9轮廓抽出的设定P设掂触照明 历一目+I-I 0-255）d eg 同睢照明|0 引+|-|同岫Ka耳n 三二二二一里上测定保存匚面7.对位孔登入(6)轮廓抽出十孔型对照画像处理领域作为对象孔以外认出的时候、需要设定画像 处理领域。领域的设定方法：在画像表示上，按下始点拖动到终 点为止，按下选择确定按钮。初期值可以设定最大领域。全部设定结束后测定(0-255港。5“ppt课件44LDI曝光骰明（日立DE-S）对位孔无法认出洌定髭果工一77彳儿2222 力番号1结果(0.0081.0.3161)OK7了彳及2222 力?番号1果(0.008,0.3161)对位孔认出后、保存45LDI曝光明（日立DE-S）4.2.4封位精度碓言愁目的：石得忍LDI曝光檄举寸位精度是否在言殳定靶圉内，以石霍保板面封位品Q O Q-0L-基型板（玻璃装作）止匕板21X24上每隔5cm言殳立璟形圈才票基型板贴干膜，使用LDI曝光，影 璟形圈才票内留LDI曝出的PAD到3D檄1:量洌J干膜PAD中心和基型板 璟形圈才票中心，差不大於15umppt课件LDI曝光骰明（日立DE-S）4.3曝光系统貌明4.3.1 曝光遇程定莪4.3.2 曝光系统结情433 LD冷郤系统介貂4.3.4 光路能量洌J定ppt课件47LDI曝光骰明（日立DE-S）4.3.1曝光谩程定莪板子封位完成后回到定位位置，各他DMD始工作，分显现迤行捕描曝光；40mm DMD捕描度显域：86mm X 4=344mmppt课件48LDI曝光明（日立DE-S）D M D光路系统D M D 反射M;微M;MM;片&匕E一比432曝光系统结情考斐光飕|光路整合（透级J且）LD光源系板 基ppt课件49LDI曝光骰明（日立DE-S）LD光源系统LD是丽境不同型晶片在重屋作用下 分别释放正负离隹子，而羟生光春普，通谩晶 片内、幺&幺彖物整合可符光卷普整合成同一槿波 晨的光路（如右圈）；ppt课件50LDI曝光骰明（日立DE-S）透幺且：通谩一系列片MW 黑占光源樽燮成平行的面光源LD光源是黑占光源ppt课件51LDI曝光骰明（日立DE-S）DMD光路系幺充Syst em Co nf igur at io nHitachi original light source provides and sustains uniform light intensity for a long time.PatteringDMD Digital Micro-Mirror Deviceppt课件52LDI曝光骰明（日立DE-S）DMD:Digital Micro-Mirror Device1024 X 768，面大小在40umppt课件53LDI曝光骰明（日立DE-S）Scanning Point on panelPanel mo t io n dir ec t io nMult iple expo sur e High-r eliabilit y expo sur e syst emMero Lens有偃1角度 畲使打在板面的光路 存在重未复谩程。避免 某佃孔的光路辗激彝 日寺其他光能加以祷充Ult r a High-r eso lut io n Ult r a Fine pat t er ning Expo sur e Syst emAngle bet ween t he panel and t he Ar r ayppt课件55LDI曝光骰明（日立DE-S）4.3.3 LD冷郤系统介貂作用：LD凌光源工作遇程中彝熟,卷保持工作温度，使用冷郤水谨行循璟以保持ppt课件56LDI曝光骰明（日立DE-S）冷郤水循璟管路冷郤水迤出管路冷容I7檄分流盒彝光飕冷郤循璟管路ppt课件57LDI曝光骰明（日立DE-S）4.3.4光路能量测定Vas|ioo-%(Max 100%)上OpenWe|Mfmai end llllllllllllllllll E|ExpoweSMus石*5 *U5V N S 作脑W 工电1CNC(MARK-30)RS232LD cpu 界面卡光纤RTDX Bo a rd(Rea l time Driver)DMDx2 控制板LD控制板曝光机控制原理主控制板PPt课件螺杆极限sen so r吸板鼓风机6,真空sen so r信号线外接物流LDI曝光骰明（日立DE-S）4.4.2 Work Station 工作系统明Work Station主要卷言殳定料虢参数及修雷射能量以及依照言殳定参数迤行生羟 作总是檄器典人空插舌的窗口；A.言殳定料虢生羟参数工作阜欠飕阜欠it内部介面ppt课件65LDI曝光骰明（日立DE-S）迤入料虢言殳定重面 RegMte*new tnw0h 2r填嘉工作名耦，即料虢名，眉 别名CAM程式m型，逗取ODB+Fileppt课件66LDI曝光骰明(日立DE-S)依照CAM提供新料虢资料路彳型if取原始资料，在Step/Layerit项分别if取要装作的 内容及眉另 U(A SO/CO,C.M.SO-Lar/CO-Lar,N S0-1/C0-1)黠if B rowser戈斐!鹰资料逗撵要曝光的内容67ppt课件LDI曝光骰明（日立DE-S）new imglnQ2“Jo br wo eFo r nwtf Be f WneSt ef xLo vBFwWec*W*9r19 c o nd t c mt o nf t ng sequenc e End o f Jo b queueC 8Hmngo c g/MVo r Wo wdIHc knest MMSc ner tDo t a SAVB ef ler M0r：八R?RM4T KaFront嗦建卷正面 B ack嗦建卷反面,逗撵Fronts曝光参数者殳定:Chg Po la:正片逗撵Alig n men t:#位言殳定Mirro r:境像作渠 分X,Y方向和不迤行库竟像作渠Ro ta tio n:翻樽作*分90/80,270度翻斡Spo t:路甫慎 言殳定Sca lin g:言殳定自 勤漾缩作渠Deta il:曝光 才裳名田项骰1定68LDI曝光骰明(日立DE-S)Mirror:像作棠逗撵X以X方向谨行像(CAM)溟撵Y以Y方向迤行像 正常不逗撵(如下1I)|U Imaging condition registrationImarjinn 气hRRtfd I 明明 iRpi-im闩门inn mnd IC Yes Alignment po sit io nRotation:旋傅作棠逗撵No不暹行旋斡谴撵90卷以原黑占(CAM)谨行顺日寺方州度旋斡，其他推，正常作棠不ppt课件69LDI曝光骰明（日立DE-S）Chg Pola:正片#NoA 片，溟撵Yes卷正片Spot:、糠路 Xt,甫定Normal:嵬嵬嶂 Reverse:纵 X.Compensationppt课件70LDI曝光骰明（日立DE-S）Lig n men t:4H立 IS：定逗项本逗项有No,Yesif撵,if No表示檄台不迤行封位就直接迤行曝光（用於内眉及干膜能量，旗帽式黑占裂作）正常曝光生羟中要逗撵Yes功能,逗此功能后黑占逗右遏的 Alig n men t Po sitio n 按卷丑，迤行幺田目的定(Sing le C MultiAlignment position specificationCameraAlig nment toleranceCoord inate systemAlig nment marksCameral only Camera2 0nlyppt课件-Multi alig nment specification-ameraW#Autd)矍封位，LDI曝光骰明（日立DE-S）手勤官殳定封位孔位置（需要输入封位孔X,Y座位位置）,可使用鼠年票直接在聿欠飕上黑占it 直接招位置输入Scaling:言殳定遍幺宿作棠Auto卷自勤月息幺宿模式:板子方底幺宿多少，曝光日寺的61形就畲相愿的方底幺宿多少,At是保持一致性，封位品好，生羟日寺it撵此按卷丑；Fixed卷固定混幺宿模式像板子涨缩多少，曝光日寺的圈形就畲以一槿方底幺宿比例迤行，封位品不佳（不建言莪使用）ppt课件72LDI曝光骰明（日立DE-S）曝光田项三殳定言殳定曝光椁面移勤速度09m/min,移勤速度越快曝光精度、幺勺差，但羟量高，反之精度 高，但羟量低CS卷丫方向一次曝光格数，每格2.65um，SX方向一次曝光格如 每格72.65um,Stepz CS,S面稹内以倍率迤行曝光作棠2.65um73LDI曝光骰明（日立DE-S）板厚言殳定Wo r kbo ar d t hic kness Measur ementThic kne-Measur e Mo de|V Mil mm a!Separ at ely f r o m alignment Of：|po sit io n|Po siio n r elat ive t o o r iginIn c ase o f alignment spec if ic at io n(dat a c o o r dinat e syst em)ASgnment posit io n:CS I 0 S I 0 mm|3:L.R.一三Alignment spec if ic at io n(mac hine c o o r dinat e syst em)Jn c ase o f no alignment lef t bot t o m posit io n:CS I s I 0 mmSET Canc elSET J Canc el|根獴裂程卡输入板子厚度逗撵每片量洌J扳厚or不量or首件量测it撵封位的同日寺量洌J输入板厚差值 及量测位置黑占ppt课件74LDI曝光骰明（日立DE-S）B.生羟操作作棠切换重面到LD隈耋仞JWS主榭切换作棠Monitor示重面ppt课件75LDI曝光骰明（日立DE-S）第攵E xposure作棠程序:启攵完成介面启攵中黑占田屣鼾忍逗撵要生羟的料虢黑占Set完成后石雀言愁76LDI曝光骰明（日立DE-S）封要生羟的料虢再迤行检查：检查项目：是否有封位言殳置，曝光原黑占是否和CAM一直，料虢名耦是否正石翟隔别 封鹰是否正常（依照言殳定料虢明迤行）ppt课件77LDI曝光骰明（日立DE-S）生羟资料傅入DE言殳倩:I JlimIHIIPIIRITP3 M 一 E tw i/a/MO izm黑占it Start按卷丑资料停送中（曝光按卷丑灰F皆）停送完成（曝光按卷丑可逗取）生羟作棠：攵口右圈，黑占逗 Start Imag ing”按卷丑 即始迤行生羟,第一片生羟完 通谩逗撵可迤行速生崖。r停止生羟作棠；ppt课件78LDI曝光骰明（日立DE-S）C.LD能量言周整打LD Lig ht Volume Ad justment，如上圈，在此重面Value值中输入 即可迤行能量的言殳定，言殳定完成后需迤行干膜能量脩洌昨式，以逵到最佳化言殳定 参数，具飕作棠如附件ppt课件79LDI曝光骰明（日立DE-S）D.LD光照度测定及校正测定LD光源能量衰减日寺用，直接使用能量照度言十洌情式，洌情式日寺LD能 量者殳定100%，富能量洌情式衰减逵到80%日寺，需要迤行LD更换作棠-b elected boarcB oard Name:|PIO-32/32L(PCI)l/u Ad d ress:oxCttODevice Name:dioooIRQ j NoneDriver No.:Group No.j 1-Input PortOFF:目 0N:B B IB it7 B it6 印t5 B it4 B it3 B it2 B it1 B itO Port口国国口晅曰曰国-JE 3O O O I I I I I II i111111 1111 i r i r i nOutput PortOFF:匚豆ON:国)B it7 B it6 B it5 B it4 B it3 B it2 B it1 B itO PortOOOOOa OOFT d 国回国国曰画国国jr J 回曰曰酗曰曰k 事曰国曰曰国曰酗IF 口82551 Chi|Port/|r hI Port I ChnlnterruInterruInterruInterruInterruppt课件80LDI曝光骰明（日立DE-S）4.4.3 CNC工作系统貌明A.控制部件貌明a.床1：X向伺服，焉逵禹显勤控制CNCb.床1：Y向伺服，焉建3显勤控制c.床1：Z向伺服，焉建3显勤控制d.床1：6向伺服，焉建务显勤控制檄1:温控系统控制 物流聊勤系幺充控制ppt课件81LDI曝光骰明（日立DE-S）床1：X向伺服，焉逵禹显勤控制通谩CNC控制重月取给伺服，焉逵7偃H孔虢,焉逵畲在光阜尺上度 1（H固格，即1um,彳定A黑占到B CNC系统3,焉逵多少偃孔虢,焉逵即可 行迤多少距离隹，反之若，焉逵行走多少距离隹即畲pass多少偃H孔虢给 CNC，用於言十算A到B黑占距离隹，现密新操作距离隹1100mm82LDI曝光骰明（日立DE-S）床1：Y向伺服，焉逵禹显勤控制Y向伺服，焉逵性滑境），每他刻度可精通谩CNC控制重月取给伺服，焉逵7偃H孔虢,焉逵畲在光阜尺上度 1（H固格，即1um,彳定A黑占到B CNC系统3,焉逵多少偃孔虢,焉逵即可 行迤多少距离隹，反之若，焉逵行走多少距离隹即畲pass多少偃H孔虢给 CNC，用於言十算A到B黑占距离隹叩嘲针可操作距离隹380mm83LDI曝光骰明（日立DE-S）床1：Z向伺服，焉逵禹显勤控制通谩CNC控制重月留给伺服，焉逵方孔虢7偃H孔虢，焉逵即旋樽1周，M 鹰耋面向上or向下降1um，z向可操作距离隹710mmppt课件84LDI曝光骰明（日立DE-S）床1：。向伺服，焉逵凸显勤控制通谩CNC控制重月留给伺服，焉逵言孔虢，1偃H孔虢，焉逵即旋樽1周，M 鹰1：面向上or向下降1um，6向可操作角度卷15度ppt课件ri 85LDI曝光骰明（日立DE-S）45周遏配套系统就明4.5.1 LDI横;醴送凰系统貌明4.5.2 光源冷若I7系统介貂ppt课件86LDI曝光骰明（日立DE-S）4.5.1曝光室冷却系统与曝光机连接图LDI曝光骰明（日立DE-S）曝光室冷却系统曝光室外侧送风口曝光室内侧送风口 L D冷却送风口LDI曝光骰明（日立DE-S）曝光室冷却系统一正视图控制面板紧急停止开关曝光室温控制器设定：222至曝光室送风风管甯源控制箱LDI曝光骰明（日立DE-S）LDI曝光明（日立DE-S）曝光室冷却系统一正视图轴流式风车压缩机冷却水回水 流量计冷却水进水 温度涨冷却判管冷凝水盛盘控制压缩机启停LDI曝光骰明（日立DE-S）4.5.2 LD冷郤系统介貂作用：LD凌光源工作遇程中彝熟,卷保持工作温度，使用冷郤水谨行循璟以保持ppt课件92LDI曝光骰明（日立DE-S）LD光源产生器冷却系统LD光源产生器4st 板式热交换器冰水机(出水温度15Q)冷却水进出ppt课件93LDI曝光骰明（日立DE-S）冷郤水循璟管路冷郤水迤出管路冷容I7檄分流盒彝光飕冷郤循璟管路ppt课件94LDI曝光骰明（日立DE-S）THE ENDppt课件95