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操作手冊 AD862/M 文件號 : MN-E00369COP-XX 修訂本 : A 版權所有此文件屬 ASM Technology Singapore Pte. Ltd. 所有, 未經 ASM Technology Singapore Pte. Ltd. 書面許可, 無論是全部或部份均不應該用作工程設計及製造採購。未經 ASM Technology Singapore Pte. Ltd.書面許可, 不得將此文件的部份重印、影印、存入檢索系統或轉讓。 ã Copyright of ASM Technology Singapore Pte. Ltd.。保留所有版權。本手冊之內容, 若經修改, 恕不另行通知。如中、英文版本有任何歧異之處, 皆以英文版本爲準。 ASM Office (Worldwide) 全球業務及維修中心 Should you have any inquiry about machine setup/operation, please contact the ASM office nearest to your area for assistance. 若有任何有關機器的設定或操作的查詢，請與你所在地最近的 ASM 辨事處聯絡。 Singapore 新加坡 ASM TECHNOLOGY SINGAPORE PTE LTD (HEADQUARTERS 總部) 2 Yishun Avenue 7, Singapore 768924 Tel : 65-6752 6311 Fax : 65-6758 2287 China 中國 ASM MICROELECTRONICS TECHNICAL SERVICES (SHANGHAI) CO., LTD Shanghai Office 上海辦事處 2/F, No.55 Qing Yun Road, Shanghai Zhangjiang Hi-Tech Park, Shanghai, PR China 上海市張江高科技園區青雲路 55 號二層 Post Code/郵編：201203 Tel : 86-21-5080 5465 Fax : 86-21-5080 5467 Suzhou Office 蘇州辦事處 Block A #05-03/06, No.5 Xing Han Street Suzhou Industrial Park, Suzhou, PR China 蘇州市蘇州工業園星漢街五號 A 幢 05-03/06 室 Post Code/郵編：215021 Tel : 86-512-6762 6278 Fax : 86-512-6762 6378 Tianjin Office 天津辦事處 Room 704-706, Da An B Building, No 41 You Yi Road He Xi District, Tianjin, PR China 天津市河西區友誼路 41 號大安大廈 B 座 704-706 室 Post Code/郵編：300211 Tel : 86-22-5881 3008 Fax : 86-22-5881 3009 Chengdu Office 成都辦事處 Room D348, Chengdu High-Tech Zone Innovation Service Centre, Chengdu, PR China 成都高新區西芯大道4號創新中心西區孵化園D348 Post Code/郵編：611731 Tel : 86-28-8784 6551 Fax : 86-28-8784 6562 Xiamen Office 廈門辦事處 Room B, 31/F, Bi Li Da Building No. 22 Lv Ling Road, Xiamen, PR China 廈門市呂岭路 22 號必利達大廈 31B 室 Post Code/郵編：361009 Tel : 86-592-5509 125 Fax : 86-592-5509 121 Shenzhen Office 深圳辦事處 4th Floor, Plant 2, Catic Shahe Industrial Area, Qiaoxiang Road, Nanshan District, Shenzhen, PR China 深圳南山區僑香路中航沙河工業區(北區) 2號樓4層東 Post Code/郵編：518053 Tel ： 86-755-8830 8533 Fax ： 86-755-8344 6245 Dong Guan Office 東莞辦事處 Room A7-A11, A Block, 4th Floor Tai'an Square Dongshen Road, Dongguan City, Zhang Mu Tou Town, Dongguan, PR China 中國東莞市樟木頭鎮東深公路大道泰安廣場 A 棟四樓 A7-A11 Post Code/郵編：523620 Tel : 86-769-712 5600 Fax : 86-769-712 5601 Nanchang Office 南昌辦事處 Room 1402-4, Jiangxin Guoji Jiayuan Yinzuo, No. 85 Jiefangxi Road, Qingyunpu District Nanchang, PR China 江西省南昌市解放西路 85 號江信國際嘉園銀座大廈 1402-1404 Post Code/郵編：330002 Tel: 0791-8820 1517 Fax: 0791-8820 7178 Hong Kong 香港 ASM PACIFIC (HONG KONG) LTD. 4/F Watson Centre, 16-22 Kung Yip Street Kwai Chung, Hong Kong 先進太平洋(香港)有限公司香港葵涌工業街 16-22 號屈臣氏中心 4 樓 Tel : 852-2619 2000 Fax : 852-2619 2118/9 Europe 歐洲 ASM ASSEMBLY PRODUCTS B.V. Weltevreden 4 A 3731 AL De Bilt The Netherlands Tel : 31-30-8906310 Fax : 31-30-8906320 Japan 日本 ASM ASSEMBLY TECHNOLOGY CO LTD 5F, Tachikawa F-Bldg, 1-7-18 Nishiki-Cho, Tachikawa-Shi Tokyo 196-0022, Japan Tel : 81-42-521 7751 Fax : 81-42-521 7750 Korea 韓國 ZEMOS KOREA INC. / ASM PACIFIC KOR LTD. Seoul Office 3F, 628-6, Deung Chon Dong Kangseo Gu, Seoul 157-030, Korea Tel : 82-2-538 5900 / 82-2-2659 4174 Fax : 82-2-561 5905 / 82-2-2659 4216 Gwangju Office Rm 501, 5F., Hi-Tech Center, 958-14 Daechon-dong, Buk-gu, Gwangju 500-470, KOREA Tel : 82-62-973 4174 Fax : 82-62-973 4216 Malaysia 馬來西亞 ASM ASSEMBLY EQUIPMENT MALAYSIA SDN BHD Penang Office Bayan Point, Block A, No. 15-1-23, 15-1-24 Medan Kampung Relau 11900 Penang, Malaysia Tel : 604-644 9490 Fax : 604-645 1294 Muar Office 1, Tingkat Satu, Jalan Warisan 1 Taman Warisan, Jalan Junid 84000, Muar, Johor, Malaysia Tel : 606-951 5713 Fax : 606-951 5786 Ipoh Office 24A, Jalan Medan Ipoh 1B, Medan Ipoh Bistari, 31400 Ipoh Perak, Malaysia Tel : 605-5423991 / 5423993 Fax : 605-5423992 Petaling Jaya office B-1-12, Jalan SS6 / 20, Dataran Glomac, Pusat Bandar Kelana Jaya, 47301 Petaling Jaya. Malaysia Tel.: 603-78064942 / 78064943 Philippines 菲律賓 EDGEWARD DEVELOPMENT LIMITED 2108, Prime Street, Corner Enterprise Street Madrigal Business Park, Alabang Muntinlupa City, Philippines 1770 Tel : 63-2-850 4543 Fax : 63-2-850 4547 Taiwan 台灣 ASM ASSEMBLY AUTOMATION (TAIWAN) BRANCH Taipei Office 10F, No. 530, Sec. 2, Chung Shan Road Chung Ho City Taipei Hsien, Taiwan 台北分公司 235 中和市中山路 2 段 530 號 10 樓 Tel : 886-2-2227 3388 Fax : 886-2-2227 3399 Taichung Office 8F-1, No. 135, Sec 2 Chung Shan Road, Tantzu Taichung, Taiwan 台中分公司 427 台中縣潭子鄉中山路 2 段 135 號 8 樓之 1 Tel : 886-4-2535 6390 Fax : 886-4-2535 6820 Kaohsiung Office No. 4-2, East 3 Road Street, N.E.P.Z. Kaohsiung, Taiwan 高雄分公司 811 高雄市楠梓加工出口區東三街 4-2 號 Tel : 886-7-367 6300 Fax : 886-7-367 6399 Hsin Chu Office 1F, No. 7, Lane 91, Dongmei Road Hsin Chu, Taiwan R.O.C. 新竹分公司新竹市東美路 91 巷 7 號 1 樓 Tel : 886-3-573 3750 Fax : 886-3-573 3551 Thailand 泰國 ASM ASSEMBLY EQUIPMENT BANGKOK LTD. 51/3, Vibhavadi Tower, 18/2 Floor Ngamwongwan Road, Ladyao, Chathuchak Bangkok 10900, Thailand Tel : 66-2-941 3181/2 Fax : 66-2-941 3183 U.S.A. 美國 ASM PACIFIC ASSEMBLY PRODUCTS INC. Phoenix Office 3440 East University Drive, Phoenix Arizona 85034-7200, U.S.A. Tel : 1-602-437 4760 Fax : 1-602-437 4630 West Regional Office 97 East Brokaw Road, Suite 100, San Jose California 95112-4209, U.S.A. Tel : 1-408-451 0800 Fax : 1-408-451 0808 AD862/M 操作手冊目錄目錄第 1 章安全指引 1-1 1.1 安全預防 1-1 1.2 1.2.1 機器安裝 1-3 工作環境要求 1-4 1.3 機器包裝 1-5 第 2 章介紹 2-1 2.1 總說明 2-2 2.2 機器規格 2-2 2.3 機械說明 2-4 2.4 AD862 系統結構圖 2-6 2.5 2.5.1 控制面板 2-7 鼠標左擊使用 2-7 2.5.2 鼠標右擊使用: 2-8 2.5.3 在屏幕上校準鼠標指針 2-10 2.5.4 屏幕上顯示的虛擬鍵盤 2-13 2.6 啟動 2-15 第 3 章設定與操作指引 3-1 3.1 介紹 3-1 3.2 3.2.1 點膠組件設定 3-3 點膠臂 3-4 3.2.2 點膠頭 3-6 3.2.3 點膠參數選項 3-9 3.2.4 點膠模組馬達 3-13 3.3 3.3.1 晶粒取及放模組設定 3-15 晶片台 3-15 3.3.2 設定晶片台角度修正的旋轉中心點 (只適用於單環- AD862) 3-20 3.3.3 設定晶片台退出位置 3-21 3.3.4 設定單環晶片工作旋轉台之工作角度 3-22 3.3.5 焊頭及頂針設定 3-23 3.4 3.4.1 晶片檢視設定 3-45 教讀晶片 3-45 3.4.2 晶粒排列設定 3-47 i 3.4.3 設定形狀晶片教讀步驟 3-67 3.4.4 搜尋晶粒参數說明 3-87 3.4.5 選項 3-90 3.5 3.5.1 工作台設定 3-92 工作台 3-92 3.5.2 料架設定 3-96 3.5.3 固晶點程序設定 3-98 3.5.4 設定固晶後檢視 3-139 3.5.5 固晶後檢視之統計結果 3-145 3.6 3.6.1 一般設定 3-152 參數檔 3-152 3.6.2 其他操作設定 3-159 3.7 3.7.1 自動固晶 3-160 單晶片固晶 3-161 3.7.2 設定固晶 – 吸取與放置路線設定 3-162 3.7.3 數量 3-163 3.7.4 工具使用紀錄 3-166 3.7.5 自動固晶功能選項 3-167 3.7.6 自動固晶功能選項 (2) 3-168 第 4 章其他 4-1 4.1 機械校正 4-1 4.2 4.2.1 工具更換步驟 4-6 安裝吸嘴 4-6 4.2.2 安裝頂針 4-7 4.3 漏固晶粒感應器調節 4-7 4.4 弱力吹氣調節 4-9 4.5 控制板面 (二) 4-10 4.6 4.6.1 特殊功能鍵 4-11 特殊功能鍵 – 更多 4-13 4.7 4.7.1 快捷鍵 4-14 維修頁面 4-22 4.7.2 警報説明 4-31 4.7.3 排除故障例子 4-37 第 5 章附錄 5-1 5.1 培訓大綱 5-1 AD862/M 操作手冊修訂記錄修訂記錄修訂本修訂說明修改部份 A 初版橙色字體為菜單，藍色外框是基本設定，橙色外框是編程設定。 1-1 AD862/M 操作手冊第 1 章 – 安全指引第 1 章安全指引 1.1 安全預防安全規範是完成高質量產品的保障，建議用戶在操作之前首先熟讀並理解本操作手冊的內容。要求安全措施熟讀本手冊用戶應完全熟悉機器操作與指令說明。確認設備需求最終使用者必須遵照機器手冊說明的規格及機器背後的標籤去檢查電壓，電流及空氣壓力是否符合機器規格。機器維修時，請拔掉電源插頭為避免任何電氣帶來的傷害，當機器維修時為保護您的安全請斷開主電源。拔掉交流電後，應等待 5 分鐘為避免任何電氣帶來的危害，這是非常重要的步驟。因為高容量電容器正常情況下完全放電需 5 分鐘的時間。門與機蓋必須關上並上鎖僅維修時才能將門打開，以避免發生觸電意外。嚴格遵照 <預防維修保養計劃> 為使機器高效率運轉及延長服務壽命，必須依照本手冊中所提到的預防維修保養計劃對機器進行定期維護保養。請參照附錄。與擺臂保持安全距離擺動的擺臂與移動擺臂鋒利的吸嘴尖是危險部件，用戶應保持安全距離以避免受到傷害及損壞擺臂。受磁工具或物件必須移離磁石組件當受磁工具或物件被吸進磁石組件，必須把所有物品尋找出來，並移開及試驗其組件運動是否正常，才啟動馬達。要求安全的理由 / 結果請勿自行維修機器僅合格的工作人員及維修工程師才允許去維修機器。這是為了防止對機器造成更大的損壞和對人員的傷害。請勿將接地線拔除任何時候接地線必須是牢固的以防止電氣帶來的危害。請勿拆卸機器蓋板使用者暴露在無遮掩的機器旁是危險的。操作時必須保障高電壓端子和移動部件的安全性。請勿阻礙空氣流通為了避免機器過熱及火險。請勿搬遷機器除非必要，請勿任意搬遷機器。請勿忽視從安全方面考慮進行一定的維護保養是不可忽略的。 1-1 一般資訊一般安全必須遵守操作手冊中所包含的一些注意事項和警告資訊以保證安全及流暢操作。在接通機器電源之前，必須先確認電壓及電流是否與機器背面標示的電源相符合。重要提示所有用戶在操作機器之前必須接受完整的培訓。用戶應遵照本手冊所給的正確設定與指導方針去操作。任何時候都必須考慮安全預防措施。本機器包含有暴露部件。固晶過程中應避免與關鍵部件或移動部件接觸，否則會發生馬達失步，影響固晶質量。本機之馬達類型已大部份採用線性馬達，故當防塵蓋被移開時，螺絲、墊片或小型受磁工具必要小心放好及遠離至少 12 英吋。不然，它們被吸在移動組件及磁石之間，會造成移動組件嚴重損壞。為保證良好的品質與機器的高效率，必須定期維修機器。計劃請參照附錄。維修處理提示斷開主電源，同時關掉空氣壓力供應。在檢修時，請參考圖冊中提供的配線圖和概要圖示。並有各模組和連線圖示去強調故障部分使維修技術人員能容易地尋找出問題所在。圖冊中也有機械圖補充供參考。在更換或訂購機械零件時是非常有用的。如果有些電器零件因不適當的工作環境而造成避免不了的磨損或損壞，推薦用戶使用同牌子及同型號的部件去更換。 1.2 機器安裝電源及耗電量電壓 220V/110V 頻率 50/60Hz 耗電量 660W 壓縮空氣 58 PSI (4 bar) 消耗氣體 230 LPM @ 4 bar 真空 -90kPa 操作環境溫度 10 - 30°C 相對濕度標準 70% @32°C (非冷凝) 注意 : 離機器 1 公尺距離內所測的噪音為少於 72dB(A)。 1-5 1.2.1 工作環境要求所需之工作環境應在使用者操作機器和技術人員進行維修保養時，特別是在遇緊急情況下可自由移動。電源開關，馬達開關或緊急開關必須保持暢通。所有開關必須隨時可輕易被開啟或關閉。圖 1-1 AD862/M 和操作員工作區域頂視圖 1.3 機器包裝 - 關閉機器電源並斷開電源供應。 - 切斷空氣供應的來源，將塑膠管與壓縮空氣來源的閥門拆分離。 - 拆下膠漿盤進行清潔以防止變乾。清潔點膠針並確保無膠漿殘留。 - 拆下信號燈，並確定拆分開末端的接線。 - 安全綁緊所有移動部件，例如: 擺臂、點膠臂、焊頭連接、頂針器組件、晶圓環底座和工件台的 x-y 工作台，用塑膠泡棉將其固定。 - 將機器固定水平校正支撐腳墊向上鬆開，讓腳輪去支撐機器重量。 - 將機器分離下的易毀損零件放置於一個整理隔離紙箱中集中管理。 - 將機器放到條板箱並上緊所有六角螺母。 - 將小零件置放於整理箱中並一起放入同一大條板箱中。 - 在條板箱中置放足夠數量的乾燥劑。 - 完成後檢查條板箱是否完全密合封閉。 - 用粘合膠或油漆在上面標示警告標示。 i 注意: 所有的警告標示必須是易讀的而且須標貼於條板箱最容易注意的可見地方。 i 警告: 使用鏟車移動或提升起機器時請特別小心。應選擇機器的前方或後方鏟起機器，以免對機器造成毀損。 AD862/M 操作手冊第 2 章 – 介紹第 2 章介紹本手冊包含有 ASM AD862/M 自動固晶機的一般結構，功能以及操作資訊。其目的是根據良好的實際製造經驗，幫助用戶在工序設定與系統操作方面都能夠有效的利用本機器。 2-17 2.1 總說明 AD862 固晶機系列包括 AD862 和 AD862M。 AD862 配有單晶片固定環的旋轉盤，可接受大至 6 英吋外徑的晶圓環。 AD862M 是配有三個晶片固定環的旋轉選擇盤之全自動固晶機，晶片旋轉選擇盤工作台設計適用於三片不同類型但面積相約的晶片同時固晶在基片或 PCB 上。機器由高速處理器系統控制。雖然固晶工序很複雜，但機器的全自動運行使得操作比較簡單。晶片底座系統可接受大至 6 英吋外徑的晶圓環。工作台通過嶄新運動控制器(NU)由線性馬達驅動。此外，自我教讀可編程系統用於具有群組和重複功能的 PCB 固晶模式。本手冊不僅介紹機器的一般結構和功能，還介紹了操作步驟。建議用戶在操作機器之前首先熟讀本操作手冊的內容。 2.2 機器規格以下部分說明機器規格以及每一單獨模組的設計與工序說明，詳細如下所示: 1. 設備需求電壓 : 220V/110V 頻率 : 50/60Hz (工廠預設) 耗電量 : 660W 壓縮空氣 : 58 PSI (4 Bars) 消耗氣體 : 230 LPM 焊頭冷卻消耗氣體量 : 30 LPM 或以上 2. 機器尺寸與重量尺寸 (深´ 寬´ 高) : 1150 mm ´ 1070 mm ´ 1700 mm 重量 : ~ 680 kg 3. 焊頭 / 擺臂焊頭 : 直接驅動焊頭固晶吸嘴 : 表面拾取類型 4. 晶圓系統晶片尺寸 : 6 ´ 6 mil 至 50 x 50 mil (可作預先圖像識別) 6 ´ 6 mil 至 200 ´ 200 mil (不可作預先圖像識別) (* 50 mil 或以上，需要專用部件) 標準 : 6 英吋 (152 mm) – 擴晶後最外徑 4.7 英吋 (119 mm) – 擴晶後最大直徑角度修正 : ± 10 度晶圓環處理 : 手動裝載/卸載晶片數 (AD862M) : 最多 3 個晶片數 (AD862) : 只有 1 個 (可另選晶圓環旋轉修正功能) 5. 工件台 XY 工作台點膠行程範圍 : 8 英吋 x 5.5 英吋 (203 mm x 140 mm) 6. 系統性能 XY : ± 1.5 mils (± 38.1 um) ± 5° (AD862M) ± 3° (AD862) 週期時間 : 165 ms (週期時間取決於晶片尺寸，固晶延遲，工件台行走時間和膠漿黏性) 7. 圖像識別系統觀測範圍 : 5 mm x 5 mm 2.3 機械說明 AD862/M 固晶機可以分為 4 個功能模組，每個功能模組都由數個執行特定任務的組件構成，如下列裝配編排圖所示。 AD862 或 AD862M 組件編排圖晶片台晶片台組件頂針器組件工件台料架工作台固晶機固晶系統焊頭組件點膠模組光學系統固晶光學組件晶片光學組件焊頭組件焊頭(旋轉)方向的移動機械結構部分由馬達驅動，擺臂上的吸嘴吸起晶片環上的晶片並把它帶到固晶位置，漏固晶粒感應器用於探測晶片在的取晶及固晶後的狀態。頂針器組件頂針器組件的主要功能是用頂針與真空卡盤使晶片與薄膜分開。對於 AD862M，頂針器系統有一個配有不同軸套尺寸的單一頂針系統和多頂針系統用於處理不同晶片尺寸和厚度。晶片台組件 AD862 - 單晶片台是包含由線性馬達驅動的 X 及 Y 方向，並以伺服馬達驅動具備有旋轉晶片角度校正功能的旋轉台。在被擴張後的晶片放在圓環後，晶片是否作出修正取決於晶片圖像在識別系統計算，晶片計算後須要修正，旋轉台及 X 及 Y 工作台就開始自動校正晶片。 AD862M – 多晶片台是包含由線性馬達驅動的 X 及 Y 方向，並以伺服馬達驅動旋轉臺，此旋轉臺已安裝有三個晶片固定環作旋轉選取的。已被擴張的晶片放在固定環後，由視覺系統提供的圖像識別系統就開始工作來自動搜尋晶片。光學系統 AD862M 有兩個光學系統：一個是在固晶位置用來識別已固晶片的圖像，另一個在晶片位置用來識別未分類晶片的圖像。每個光學系統都由一個手動調節工作台驅動的 CCD 攝像機及可發光系統組成。點膠組件 (點膠模組) 點膠針固定在旋轉點膠臂上，旋轉點膠臂直接由伺服馬達驅動，其組件由垂直伺服馬達驅動之滑塊連動。點膠盤固定在點膠臂預備位置，點膠量是由膠漿盤上顯示表來控制，當點膠針尖下降至點膠碟表面時，根據膠漿之厚度、點膠針之結構及取膠時間來拾取適當的點膠量。點膠制程是點膠針在取膠位置先下降至預設點膠盤上取膠，上升至點膠頭原點位置後，點膠臂移動至點膠位置，並下降至預設點膠高度，完成點膠制程便返回取膠位置。料架工作台工作台由兩個獨立的線性馬達直接驅動的雙料架工作台組成。整個工作台的控制是由嶄新控制系統執行的。馬達編碼器運動控制板控制卡驅光線控制板動模組感應器和電磁閥光學系統固晶 USB Cam 晶片 USB Cam RAM CPU 觀測和主PC NU 驅動控制電源模組控制電源模組電源模組電源模組 2.4 AD862 系統結構圖 2.5 控制面板鼠標主要用來執行各種功能及操作機器.關於鼠標點擊功能描述如下: 鼠標及鼠標墊位於機器前側. 右擊左擊鼠標使用 2.5.1 鼠標左擊使用單點擊一次，進入想要的圖標頁面。菜單或屏幕顯示及圖示步驟 / 指示步驟 1: 把鼠標箭頭移動到相應的圖標處。步驟 2: 指向此圖標。左擊步驟 3: 單點擊左按鈕。菜單或屏幕顯示及圖示步驟 / 指示步驟 4 : 進入 “料架設定”頁面。 2.5.2 鼠標右擊使用: 通過鼠標右擊拖住屏幕並移到相應的工作台。菜單或屏幕顯示及圖示步驟 / 指示步驟 1: 把鼠標箭頭移到(HD)鼠標圖標處。步驟 2: 定位在此按鈕處。左擊步驟 3: 點擊鼠標左按鈕。菜單或屏幕顯示及圖示步驟 / 指示步驟 4: 移動視頻屏幕上的鼠標箭頭並移動屏幕上的白色十字線。步驟 5: 右擊按住鼠標右按鈕並移動到想要的位置。步驟 6: 屏幕上將出現帶有尾線的藍色圓，然後工作台將按相同方向移動，產生的藍尾線越長，工作台移動的距離也就越多。 J 菜單或屏幕顯示及圖示步驟 / 指示步驟 7: 釋放右擊按鈕，相應的工作台將停止移動。 2.5.3 在屏幕上校準鼠標指針設定步驟: 步驟 / 指示菜單或屏幕顯示及圖示 1. 左點擊主頁面上“設定”按鈕。 2. 固晶屏幕以工作台 “開始校正”。注: 如果光學放大倍率改變，須進行校正。 3. 左單點擊“PCB 設定” 。 4. 左單點擊“選項” 。步驟 / 指示菜單或屏幕顯示及圖示 5. 用鼠標將工作台移至一個圖像。 6. 左單點擊“開始校正” 。 7. 左單點擊“是”。 8. 左單點擊 “OK” 。步驟 / 指示菜單或屏幕顯示及圖示 9. 把鼠標指針移至固晶屏幕，定位於一個特殊點，然後右點擊一次。 10. 特殊點位於綠色十字線。它顯示完成。 2.5.4 屏幕上顯示的虛擬鍵盤菜單或屏幕顯示及圖示步驟 / 指示屏幕上沒有虛擬鍵盤顯示步驟 1: 移動鼠標箭頭到鼠標圖標(K) 處。步驟 2: 定位在此按鈕。左擊 (打開虛擬鍵盤.) 步驟 3: 單點擊鼠標左按鈕。步驟 4: 鍵盤顏色變為綠色，屏幕鍵盤顯示在菜單頁面。 (屏幕上的虛擬鍵盤被觸發) 屏幕上的虛擬鍵盤 · [del] - 調節過程中刪除任何不想要的值或錯誤輸入的數字。 · [esc] - 終止任何操作或機器運動。 · [ent] - 執行加亮部分的功能或接受一個值。 · [a] 至 [z] - 輸入字母，主要用於輸入 Window 目錄上的文件名. · 功能鍵設定/操作 [F1] 搜尋晶片 [F2] 無功能 [F3] 鏡頭 : 攝像機選擇 – 晶片或固晶 [F4] 停止 [F5] 退出(工作台/晶片工作台) [F6] 膠 - 偏距設定與測試快捷鍵 [F7] 吸嘴 - 清洗吸嘴 [F8] 選項 [F9] 馬達電源與原點功能 [F10] 離開 - 退出程式 · ; ; ; 2.6 啟動請按照以下指示執行機器啟動: 位置指示 1.2 步驟 1 1.1 連接主電源。 1.2 檢查電壓設定。 1.1 1.3 接通壓縮空氣供應。 1.3 0.4 M Pa 2.1 步驟 2 2.1 順時鐘方向旋轉 EMO 按扭，使 2.2 其按扭在關閉狀態。 2.2 按下綠色按扭打開。位置指示步驟 3 旋轉主氣壓閥開闢至 “ON”。步驟 4 雙點擊 “DieBonder”圖標。初始化將會開始並且各模組開始整流及歸位。硬件與圖像識別系統的初始化完成後，選擇: 名稱說明暖開機系統會通過載入機器關機前使用的參數檔來進行初始化。 (參數檔中的參數包括工作台內的(料架設定、 PCB 設定及固晶點設定、晶粒取放模組內的 (焊頭/頂針、晶片工作台)設定、影像辨識系統(晶片及固晶的觀測圖像)及膠模組(點膠) 設定等)。冷開機系統會在不載入參數檔的情況下使用默認參數進行初始化。 AD862/M 操作手冊第 3 章 – 設定與操作指引第 3 章設定與操作指引 3.1 介紹本章將爲你說明在基本設定操作、或器件轉換時所需的設定步驟；以及自動固晶時的操作步驟。如果機器沒有被冷開機或未執行手動調節，那麽對新元件只需執行一次設定步驟。用戶界面 AD862M 3-1 AD862M 初始化設定: 晶片檢查設定初始化設定另存新的封裝檔點膠設定 - 點膠高度 - 膠偏移 - 選項 (延遲) 焊頭/頂針設定 1.固晶位置及固晶十字交叉線 2.取晶位置及晶片十字交叉線料架設定 1. 設定料架數量 2. 設定料架位置多晶片設定 (只適用於 AD862M) PCB 設定 1. 教讀對點 2 教讀對點圖像固晶點設定 1. 固晶點位置 2. 教讀圖形焊頭/頂針設定 1. 漏固晶粒感應器 2. 固晶高度 3. 頂針器上升高度晶片台設定 1. X-Y 極限設定完成橙色字體為菜單，藍色外框是基本設定，橙色外框是編程設定。 3-101 3.2 點膠組件設定圖 3.2.1 側視圖揀取位置點膠位置揀取膠漿高度膠漿盤點膠針點膠高度 PCB 固晶光學系統 3.2.1 點膠臂在點膠臂設定頁面，用戶可以定義揀取膠漿位置。名稱說明揀取位置應該設定在點膠針可在膠漿導軌的中心位置獲取膠漿，且點膠臂不會碰到膠漿盤組件的位置。只有當更換全新機械裝置時才應進行設定。點膠位置這應該是點膠臂中連接機械限定處的唯一位置。設定步驟: 步驟 / 指示菜菜單或屏幕顯示及圖示 1. 點擊主頁面上“設定” 。 2. 點擊 “點膠”圖標。 3. 點擊“點膠臂” 副頁面。 4. 點擊“揀取位置” 數字框。 5. 點擊“單步計數” 。 6. 輸入每次增加的步數並點擊 “ENTER” 。 7. 點擊 “+” 或 “-“進行調節。 8. 設定點膠臂不會碰到膠漿盤。 9. 點擊 “確定” 。

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